JPS6120032Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6120032Y2 JPS6120032Y2 JP13998181U JP13998181U JPS6120032Y2 JP S6120032 Y2 JPS6120032 Y2 JP S6120032Y2 JP 13998181 U JP13998181 U JP 13998181U JP 13998181 U JP13998181 U JP 13998181U JP S6120032 Y2 JPS6120032 Y2 JP S6120032Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- hearth
- liner
- evaporation
- hearth liner
- copper
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
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- 230000008020 evaporation Effects 0.000 claims description 13
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 claims description 4
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- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 9
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- 229910052582 BN Inorganic materials 0.000 description 4
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- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 3
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Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
本考案は特に真空蒸着装置で、例えばアルミニ
ウム（以下、単にAlと記す）を電子ビーム蒸発
源を用いて蒸着する際にるつぼの中に入れて使用
する所謂ハースライナーに関するものである。ハ
ースライナーは、蒸発源が挿入されるハースが冷
却されているために問題となる蒸着パワーの増大
を解決するために、蒸発源とハースとの間に挿入
されるものである。
ウム（以下、単にAlと記す）を電子ビーム蒸発
源を用いて蒸着する際にるつぼの中に入れて使用
する所謂ハースライナーに関するものである。ハ
ースライナーは、蒸発源が挿入されるハースが冷
却されているために問題となる蒸着パワーの増大
を解決するために、蒸発源とハースとの間に挿入
されるものである。
従来、このようなハースライナーは、Ｗ，
Ta，BN（ボロンナイトライド）コンポジツト
（EC）ライナー等を使用し種々の金属を蒸着する
際に銅ハース内に挿入していた。しかしこれらの
ライナーを使用してもAlを蒸着する際に3KWの
蒸着パワーが投入されないとAlが蒸発するには
いたらなかつた。
Ta，BN（ボロンナイトライド）コンポジツト
（EC）ライナー等を使用し種々の金属を蒸着する
際に銅ハース内に挿入していた。しかしこれらの
ライナーを使用してもAlを蒸着する際に3KWの
蒸着パワーが投入されないとAlが蒸発するには
いたらなかつた。
本考案は以上の欠点を除去するために形状を変
更し3KW以下の低い蒸着パワーでAlを溶融蒸発
させかつ基板（蒸着すべき）への二次電子の影響
及び温度上昇を最小限に抑えることができること
を特徴としたAl蒸着用ハースライナーである。
更し3KW以下の低い蒸着パワーでAlを溶融蒸発
させかつ基板（蒸着すべき）への二次電子の影響
及び温度上昇を最小限に抑えることができること
を特徴としたAl蒸着用ハースライナーである。
次に図面を用いて本考案をより詳細に説明す
る。
る。
第１図は従来のハースライナーである。即ち、
図のように銅ハース１にハースライナー２を挿入
してAlに電子ビームを照射し、Al2を蒸発させる
わけであるが、このようなハースライナーである
と、接触部分４から熱が冷却されている銅ハース
１へと逃げていき、このために蒸着パワーを
3KW（10KV，0.3A）以上投入しないと、殆ど
Al2の蒸発は見られない。
図のように銅ハース１にハースライナー２を挿入
してAlに電子ビームを照射し、Al2を蒸発させる
わけであるが、このようなハースライナーである
と、接触部分４から熱が冷却されている銅ハース
１へと逃げていき、このために蒸着パワーを
3KW（10KV，0.3A）以上投入しないと、殆ど
Al2の蒸発は見られない。
第２図は本考案の一実施例によるAl蒸着用ハ
ースライナーである。即ち、銅ハース１にハース
ライナー３を挿入し、その中にAlソース２を入
れるものであるが、本考案の特徴とするところ
は、ギヤツプ５を設けてAlソース２の入つてい
る部分を銅ハース１と接触させないようにし、熱
の逃げを極力抑え又底の部分には図のようにゲタ
をはかせてなおかつ底板の部分は銅ハースの底の
部分にぴつたりと入るようにし、位置出しの役目
もしている。
ースライナーである。即ち、銅ハース１にハース
ライナー３を挿入し、その中にAlソース２を入
れるものであるが、本考案の特徴とするところ
は、ギヤツプ５を設けてAlソース２の入つてい
る部分を銅ハース１と接触させないようにし、熱
の逃げを極力抑え又底の部分には図のようにゲタ
をはかせてなおかつ底板の部分は銅ハースの底の
部分にぴつたりと入るようにし、位置出しの役目
もしている。
又、AlとBNコンポジツトハースライナー３と
のぬれ性が良いため蒸着中に中のAl2がハースラ
イナー３の外側にはい上つた場合も底部のゲタの
部分にたまり、銅ハース１と接触しない様に考え
たものである。このような、ハースライナー３
（材質はBNコンポジツト）を製作使用することに
より、蒸着パワー560W（10KV56mA）程で60
Å／secという高い蒸発速度が得られ、従来の
3KW（10KV、0.3A）で10Å／secと比較すると
パワーが約1/3で蒸発速度が６倍以上という非常
に熱効率の良いハースライナーであるといえる。
又、基板（蒸着されるもの）への２次電子の影
響、熱の影響がなくなり特性も大幅な改良向上が
できる。
のぬれ性が良いため蒸着中に中のAl2がハースラ
イナー３の外側にはい上つた場合も底部のゲタの
部分にたまり、銅ハース１と接触しない様に考え
たものである。このような、ハースライナー３
（材質はBNコンポジツト）を製作使用することに
より、蒸着パワー560W（10KV56mA）程で60
Å／secという高い蒸発速度が得られ、従来の
3KW（10KV、0.3A）で10Å／secと比較すると
パワーが約1/3で蒸発速度が６倍以上という非常
に熱効率の良いハースライナーであるといえる。
又、基板（蒸着されるもの）への２次電子の影
響、熱の影響がなくなり特性も大幅な改良向上が
できる。
第１図は従来のAl蒸着用ハースライナーを示
す断面図、第２図は本考案の一実施例を示すハー
スライナーの断面図である。 １……銅ハース、２……Alソース、３……ハ
ースライナー。
す断面図、第２図は本考案の一実施例を示すハー
スライナーの断面図である。 １……銅ハース、２……Alソース、３……ハ
ースライナー。
Claims (1)
- 蒸発源とこれを収納するハースとの間にハース
ライナーが介在し、かつ前記ハースライナーと前
記ハースとの間に空間ができるように前記ハース
ライナーが支持部によつて支持された蒸着装置に
おいて、前記支持部の前記ハース側の端部を前記
ハースの底の部分と実質的に同じ大きさにしたこ
とを特徴とする蒸着装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13998181U JPS5845363U (ja) | 1981-09-21 | 1981-09-21 | 蒸着装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13998181U JPS5845363U (ja) | 1981-09-21 | 1981-09-21 | 蒸着装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5845363U JPS5845363U (ja) | 1983-03-26 |
| JPS6120032Y2 true JPS6120032Y2 (ja) | 1986-06-17 |
Family
ID=29933156
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13998181U Granted JPS5845363U (ja) | 1981-09-21 | 1981-09-21 | 蒸着装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5845363U (ja) |
-
1981
- 1981-09-21 JP JP13998181U patent/JPS5845363U/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5845363U (ja) | 1983-03-26 |
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