JPS61196222A - 多面体走査装置 - Google Patents
多面体走査装置Info
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- JPS61196222A JPS61196222A JP61029163A JP2916386A JPS61196222A JP S61196222 A JPS61196222 A JP S61196222A JP 61029163 A JP61029163 A JP 61029163A JP 2916386 A JP2916386 A JP 2916386A JP S61196222 A JPS61196222 A JP S61196222A
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- light
- scanning
- polygonal
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- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/08—Mirrors
- G02B5/09—Multifaceted or polygonal mirrors, e.g. polygonal scanning mirrors; Fresnel mirrors
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
- G02B26/10—Scanning systems
- G02B26/12—Scanning systems using multifaceted mirrors
- G02B26/129—Systems in which the scanning light beam is repeatedly reflected from the polygonal mirror
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は光走査装置に係り、特に彎曲面を有する多面体
走査器を備える光走査装置に関する。
走査器を備える光走査装置に関する。
（従来の技術）
現在の多くのラスク出力走査装置及びラスク入力走査装
置には、回転多面体の回転軸に平行な平面状反射面すな
わち反射小面を具備する回転多面体を利用する。このよ
うな小面の回転運動によって、入射する規準ビームの反
射光は、多面体の回転中心と小面との中門の軸のまわり
を回転するように現われる。このような走査装置では、
しばしば、多面体に運動を伝えるために使用する軸受の
不正確と多面体の面における実際の小面の回転及び位置
決めの不正確とによって、走査装置に発生する変動効果
が問題となる。この変動効果は、一様でないラスク走査
を行わせるので、入力走査又は出力走査において出力走
査線に不規則な位置を生じる。
置には、回転多面体の回転軸に平行な平面状反射面すな
わち反射小面を具備する回転多面体を利用する。このよ
うな小面の回転運動によって、入射する規準ビームの反
射光は、多面体の回転中心と小面との中門の軸のまわり
を回転するように現われる。このような走査装置では、
しばしば、多面体に運動を伝えるために使用する軸受の
不正確と多面体の面における実際の小面の回転及び位置
決めの不正確とによって、走査装置に発生する変動効果
が問題となる。この変動効果は、一様でないラスク走査
を行わせるので、入力走査又は出力走査において出力走
査線に不規則な位置を生じる。
米国特許第３．８９７．１３２号に提案されている多面
体の平らな、平行小面からの二重反射によって変動を打
消す方法では、変動は消去できるが、余分な彎曲効果を
もたらしてしまう。同一の発明者であって、本出願の譲
受人による１９８３年９月１５日付、米国特許出願第５
３２．３２３号は多面体の作用小面からの二重反射によ
って変動を補正し、しかも彎曲による欠点なしで変動補
正を実現する多面体走査装置を開示している。多面体の
回転軸に平行な小面をもつ回転多面体の回転軸に対し横
方向に光ビームを当てるのではなく、多面体の回転軸に
対して所定の傾斜角をもつ小面を備える回転多面体に光
ビームをそれらの小面上に入射するものである。平らな
固定反射鏡からの２回の反射によって光ビームは同一の
小面上に再投射されて、変動は補正され、しかもこの場
合、彎曲効果を生じない。
体の平らな、平行小面からの二重反射によって変動を打
消す方法では、変動は消去できるが、余分な彎曲効果を
もたらしてしまう。同一の発明者であって、本出願の譲
受人による１９８３年９月１５日付、米国特許出願第５
３２．３２３号は多面体の作用小面からの二重反射によ
って変動を補正し、しかも彎曲による欠点なしで変動補
正を実現する多面体走査装置を開示している。多面体の
回転軸に平行な小面をもつ回転多面体の回転軸に対し横
方向に光ビームを当てるのではなく、多面体の回転軸に
対して所定の傾斜角をもつ小面を備える回転多面体に光
ビームをそれらの小面上に入射するものである。平らな
固定反射鏡からの２回の反射によって光ビームは同一の
小面上に再投射されて、変動は補正され、しかもこの場
合、彎曲効果を生じない。
このような装置にあっては、第２回の小面反射の後、光
ビームは、接線平面上にあって適当な屈折力をもつ通常
の走査光学レンズ装置を通ることによって、走査光ビー
ムが線状にされて走査すべき面上に集光される。走査光
学レンズ装置の機能が反射面又は反射鏡によって達成で
きれば、走査光学レンズ装置を省略できて有利である。
ビームは、接線平面上にあって適当な屈折力をもつ通常
の走査光学レンズ装置を通ることによって、走査光ビー
ムが線状にされて走査すべき面上に集光される。走査光
学レンズ装置の機能が反射面又は反射鏡によって達成で
きれば、走査光学レンズ装置を省略できて有利である。
その有利さは、構成素子の数量の減少ばかりでなく、全
体の光学系統が反射鏡だけで構成できるので、どのよう
な波長においても同一の焦点と同一の走査特性をもたせ
ることができる。
体の光学系統が反射鏡だけで構成できるので、どのよう
な波長においても同一の焦点と同一の走査特性をもたせ
ることができる。
平らな小面をもつ多面体は、金属被覆ガラス又は単体金
属によって構成できる。そのような多面体は、例えば、
アクリル・プラスチックを使用する射出成形によって製
作することはできない。溶融プラスチックの表面張力が
平滑表面に対しては不確定であるので、小面を十分な精
度にまで平坦にすることは不可能である。射出成形によ
って製作可能な多面体走査装置を得ることが望ましい。
属によって構成できる。そのような多面体は、例えば、
アクリル・プラスチックを使用する射出成形によって製
作することはできない。溶融プラスチックの表面張力が
平滑表面に対しては不確定であるので、小面を十分な精
度にまで平坦にすることは不可能である。射出成形によ
って製作可能な多面体走査装置を得ることが望ましい。
また、射出成形による多面体が走査光学レンズ装置の機
能を実現できれば、便利であって、その場合の利点は、
部品数の減少だけでなく、走査光学レンズ装置の機能が
反射面によって実現可能となることによって全体の光学
系が反射面だけで構成できるので、すべての波長にわた
って同一焦点と同一走査特性をもつことによって、どの
ような色のレーザ又は光源に対しても走査装置が使用可
能となる。
能を実現できれば、便利であって、その場合の利点は、
部品数の減少だけでなく、走査光学レンズ装置の機能が
反射面によって実現可能となることによって全体の光学
系が反射面だけで構成できるので、すべての波長にわた
って同一焦点と同一走査特性をもつことによって、どの
ような色のレーザ又は光源に対しても走査装置が使用可
能となる。
（発明の要約）
多面体の小面からの二重反射を利用するラスク走査装置
は、非球面曲率をもつ表面とする。また、非点収差及び
彎曲を生じない走査を得るために、非球面形の面が通常
の走査レンズ装置の走査及び集光機能を果たす。
は、非球面曲率をもつ表面とする。また、非点収差及び
彎曲を生じない走査を得るために、非球面形の面が通常
の走査レンズ装置の走査及び集光機能を果たす。
（発明の細説）
ラスタ入力走査装置又はラスタ入力走査装置の多面体の
小面として、平坦なものでなく、曲率、すなわち光学的
パワーをもつものを提案する。そのような小面の曲率に
よって、走査光学レンズ装置の機能を果たすことができ
るので、走査装置から光学レンズ装置が除去でき、すべ
ての波長の光に対して使用可能な、反射面だけの走査装
置が得られる。
小面として、平坦なものでなく、曲率、すなわち光学的
パワーをもつものを提案する。そのような小面の曲率に
よって、走査光学レンズ装置の機能を果たすことができ
るので、走査装置から光学レンズ装置が除去でき、すべ
ての波長の光に対して使用可能な、反射面だけの走査装
置が得られる。
回転多面体小面の曲率又はパワーを選択する場合、可能
な動作特性は、球面収差、コマ収差、非点収差、視野曲
率、彎曲及び変動の補正である。
な動作特性は、球面収差、コマ収差、非点収差、視野曲
率、彎曲及び変動の補正である。
走査装置の光電感応面において、０．０７６２ａｇ＋（
３ミル）のスポット光に対する球面収差は無視でき、コ
マ収差も通常無視できる程膚に十分率さいが、非点収差
、視野曲率、彎曲及び変動の補正は重要な動作特性であ
る。
３ミル）のスポット光に対する球面収差は無視でき、コ
マ収差も通常無視できる程膚に十分率さいが、非点収差
、視野曲率、彎曲及び変動の補正は重要な動作特性であ
る。
彎曲については、米国特許出願
第５３２．３２３号に記載されている方法によって補正
できる。小面が走査ビームの通路における唯一の能力を
もった素子であるときは、２回の小面反射における交さ
走査面で規準されるように光ビームを設計することによ
って、変動は補正できる。これは、交さ走査面において
小面の前方焦点にビーム源を配置することによって実行
できる。
できる。小面が走査ビームの通路における唯一の能力を
もった素子であるときは、２回の小面反射における交さ
走査面で規準されるように光ビームを設計することによ
って、変動は補正できる。これは、交さ走査面において
小面の前方焦点にビーム源を配置することによって実行
できる。
彎曲した小面の光学的パワーは、ビームの入射角ならび
に第１反射における交さ走査面における曲率によって定
まる。ビーム源は、第１反射の前方距離りの位置に配置
しなければならない。ここに、ＤはＣＯＳ （１）／
（２” Ｃ）であり、■は走査の中心における交さ走査
面への入射角であり、またＣは第１反射における交さ走
査面の小面の曲率である。
に第１反射における交さ走査面における曲率によって定
まる。ビーム源は、第１反射の前方距離りの位置に配置
しなければならない。ここに、ＤはＣＯＳ （１）／
（２” Ｃ）であり、■は走査の中心における交さ走査
面への入射角であり、またＣは第１反射における交さ走
査面の小面の曲率である。
非点収差は次の方法によって補正できる。二次曲面反射
鏡は、ビームの主光線が解析幾何学における、二次曲面
の“焦点″といわれる点を通過するときは、どのような
視７界角においても非点収差を生じないことが知られて
いる。反射した主光線は必ず他の゛焦点″を通過する。
鏡は、ビームの主光線が解析幾何学における、二次曲面
の“焦点″といわれる点を通過するときは、どのような
視７界角においても非点収差を生じないことが知られて
いる。反射した主光線は必ず他の゛焦点″を通過する。
この非点収差の証明には、ブリュゲマン・エッチ中ビー
（Ｂｒｕｅｇｇｅｍａｎｎ、 Ｈ，Ｐ、 ）の１９６８
年フォーカル・プレス（ロンドン） （Ｔｈｅ Ｆｏｃ
ａｌ Ｐｒｅｓｓ（Ｌｏｎｄｏｎ）） 、第１章、”円
錐形反射鏡”（ＣｏｎｉｃＭｉｒｒｏｒｓ ）を参照さ
れたい。入射角が変って主光線がちはや“焦点“を通過
しないときは、ビームは非点収差を生じる。入射角とと
もに接線焦点は減少するがサジタル焦点は増加するから
である。
（Ｂｒｕｅｇｇｅｍａｎｎ、 Ｈ，Ｐ、 ）の１９６８
年フォーカル・プレス（ロンドン） （Ｔｈｅ Ｆｏｃ
ａｌ Ｐｒｅｓｓ（Ｌｏｎｄｏｎ）） 、第１章、”円
錐形反射鏡”（ＣｏｎｉｃＭｉｒｒｏｒｓ ）を参照さ
れたい。入射角が変って主光線がちはや“焦点“を通過
しないときは、ビームは非点収差を生じる。入射角とと
もに接線焦点は減少するがサジタル焦点は増加するから
である。
［１９５７年、マツフグローヒル書店にューヨーク）出
版、ジエンキンズ、エフ、ニー及びホワイト−ｘツチ、
イー（Ｊｅｎｋｉｎｓ、 Ｆ、Ａ、、 ａｎｄＷｈｉｔ
ｅ、 Ｈ，Ｅ、）著“光学の基礎“（Ｆｕｎｄａｓｅｎ
ｔａｌｓｏｆ ０ｐｔｉｃｓ）の９５ページ参照］。焦
点の用語は本説明において二つの意味をもつことに注意
されたい。引用符で囲んだ場合は、二次曲面の幾何学的
「焦点」を意味する。引用符で囲まないときは、ビーム
の光学的集光を意味する。主光線が「焦点」を通過しな
いように、接線平面内の入射角を変えると、ビームは、
ある符号、例えば正符号をもつ非点収差を生じる。いま
、主光線を「焦点」に対し逆方向に移動させると非点収
差は減少する。主光線が「焦点」を通過するとき、非点
収差はゼロになる。主光線が「焦点」をこえて移動する
とき、非点収差は負符号となる。このようにして、主光
線が「焦点」の一方の側から他方の側に移動するとき、
非点収差は一方の符号からゼロを通過して他方の符号に
変化する。なおまた、同一の開始点及び終了点から、主
光線が「焦点」を通過しないように接線平面及びサジタ
ル平面の双方における入射角を変化させると、非点収差
は、かならずゼロの値を通過する。従って、非点収差が
ゼロとなる主光線の連続した位置が存在する。しかしな
がら、この連続位置は、ラスク走査装置の場合のように
平らな用紙上の書込みにビームが使用されるときは、必
ずしも直線を示さない。一般に二次曲面反射鏡からの１
回だけの反射を使用する走査装置は、非点収差を生じな
いが、彎曲を生じる。
版、ジエンキンズ、エフ、ニー及びホワイト−ｘツチ、
イー（Ｊｅｎｋｉｎｓ、 Ｆ、Ａ、、 ａｎｄＷｈｉｔ
ｅ、 Ｈ，Ｅ、）著“光学の基礎“（Ｆｕｎｄａｓｅｎ
ｔａｌｓｏｆ ０ｐｔｉｃｓ）の９５ページ参照］。焦
点の用語は本説明において二つの意味をもつことに注意
されたい。引用符で囲んだ場合は、二次曲面の幾何学的
「焦点」を意味する。引用符で囲まないときは、ビーム
の光学的集光を意味する。主光線が「焦点」を通過しな
いように、接線平面内の入射角を変えると、ビームは、
ある符号、例えば正符号をもつ非点収差を生じる。いま
、主光線を「焦点」に対し逆方向に移動させると非点収
差は減少する。主光線が「焦点」を通過するとき、非点
収差はゼロになる。主光線が「焦点」をこえて移動する
とき、非点収差は負符号となる。このようにして、主光
線が「焦点」の一方の側から他方の側に移動するとき、
非点収差は一方の符号からゼロを通過して他方の符号に
変化する。なおまた、同一の開始点及び終了点から、主
光線が「焦点」を通過しないように接線平面及びサジタ
ル平面の双方における入射角を変化させると、非点収差
は、かならずゼロの値を通過する。従って、非点収差が
ゼロとなる主光線の連続した位置が存在する。しかしな
がら、この連続位置は、ラスク走査装置の場合のように
平らな用紙上の書込みにビームが使用されるときは、必
ずしも直線を示さない。一般に二次曲面反射鏡からの１
回だけの反射を使用する走査装置は、非点収差を生じな
いが、彎曲を生じる。
本発明は小面からの２回反射を使用する。第１回６反射
では、ビームが「焦点」の一方の側を通過し、第２回の
反射で「焦点」の他方の側を通過する。ビームは第１回
の反射で一方の符号の非点収差を生じ、第２回の反射で
反対符号の非点収差を生じる。全走査にわたって、二つ
の符号が互いに打消すように入射角を選択することがで
きる。
では、ビームが「焦点」の一方の側を通過し、第２回の
反射で「焦点」の他方の側を通過する。ビームは第１回
の反射で一方の符号の非点収差を生じ、第２回の反射で
反対符号の非点収差を生じる。全走査にわたって、二つ
の符号が互いに打消すように入射角を選択することがで
きる。
１回の反射では、非点収差を生じない一つの連続位置が
存在する。２回反射によって各反射において走査上非点
収差を打消す無限に異る入射角が存在する。この無限の
入射角の中から、非点収差も彎曲も生じない少くとも１
組の入射角を見出すことが可能である。
存在する。２回反射によって各反射において走査上非点
収差を打消す無限に異る入射角が存在する。この無限の
入射角の中から、非点収差も彎曲も生じない少くとも１
組の入射角を見出すことが可能である。
多面体小面の曲率は、球形であってはならない。
球形表面は、前述した重要な動作特性のすべてを制御す
るのに十分な設計パラメータが利用できないからである
。多面体小面が回転対称であるが球形ではない面、すな
わち、二つの直交平面において二つの曲率をもち、非点
収差を生じない非球形面が提案される。多面体小面に対
するそのような非球形面の例は、二次曲面又は円環面で
ある。もつとも非球形面は、次の形式を備えるものなら
ばどのような形状のものでもよい。
るのに十分な設計パラメータが利用できないからである
。多面体小面が回転対称であるが球形ではない面、すな
わち、二つの直交平面において二つの曲率をもち、非点
収差を生じない非球形面が提案される。多面体小面に対
するそのような非球形面の例は、二次曲面又は円環面で
ある。もつとも非球形面は、次の形式を備えるものなら
ばどのような形状のものでもよい。
直角座標において、
Ｃ＝面の極における曲率
Ａ、Ｂ、Ｃ，Ｄ−４次、６次、８次、１０次の変形項二
次曲面形が円環面形よりも好ましい。円環面形に対して
は、非点収差を生じないか、又は一定儲の非点収差を生
じるような入射角と円環面の向きの組合せを１組以上見
出すことはほとんど不可能だからである。
次曲面形が円環面形よりも好ましい。円環面形に対して
は、非点収差を生じないか、又は一定儲の非点収差を生
じるような入射角と円環面の向きの組合せを１組以上見
出すことはほとんど不可能だからである。
二次曲面反射鏡は、２つのパラメータによって完全に記
述することができる。二次曲面を数学的に記述するため
には、これらのパラメータは通常、それぞれ、ａ“及び
９ｂ”、長軸及び短軸として表わされる。しかしながら
、これらのパラメータは、楕円面と双曲面に対しては別
の方程式を必要とするもので、１つの方程式で両方を表
わすことはできない。以下に使用するパラメータはｒｋ
“及びｖｌｅ“であって、それぞれ、二次曲面の頂点（
極）における曲率半径と離心率である。
述することができる。二次曲面を数学的に記述するため
には、これらのパラメータは通常、それぞれ、ａ“及び
９ｂ”、長軸及び短軸として表わされる。しかしながら
、これらのパラメータは、楕円面と双曲面に対しては別
の方程式を必要とするもので、１つの方程式で両方を表
わすことはできない。以下に使用するパラメータはｒｋ
“及びｖｌｅ“であって、それぞれ、二次曲面の頂点（
極）における曲率半径と離心率である。
２／（１−８２）となる。もしｅ２が１よ″ｒｋ
り大きいときは、ｂ２は負になって、双曲面に対する条
件となることに注意ありたい。従って、一つの方程式で
楕円面と双曲面の両方を表わすので、二次曲面の一般的
な数学的記述は極めて簡略化される。
件となることに注意ありたい。従って、一つの方程式で
楕円面と双曲面の両方を表わすので、二次曲面の一般的
な数学的記述は極めて簡略化される。
上記の説明において、二次曲面を得るために円錐断面が
長軸″ａ“のまわりに回転される。これは、また扁長球
面とも呼ばれる。楕円をその短軸のまわりに回転して得
られる扁平球面は、この非点収差方程式には含まれない
。それは円環面と同じ制限、すなわち、非点収差を生じ
ない入射角と向きとの組合せは一つ以上存在できないか
らである。
長軸″ａ“のまわりに回転される。これは、また扁長球
面とも呼ばれる。楕円をその短軸のまわりに回転して得
られる扁平球面は、この非点収差方程式には含まれない
。それは円環面と同じ制限、すなわち、非点収差を生じ
ない入射角と向きとの組合せは一つ以上存在できないか
らである。
（実施例）
本発明に係る走査装置の一実施例を第１図に示した。多
面体１２は、通常の駆動電動機装置（図示してない）に
よって中心線（Ｃ／Ｌ）として示した線のまわりを一定
の角速度で回転される。この多面体は、任意の数の非理
面形小面を備えることができるが、この例の場合は、回
転多面体が偶数個、例えば８個の別個の小面を具備する
。ゼロ傾斜角多面体を使用する通常の走査装置のように
、多面体小面は、回転軸すなわち中心線と平行にはなっ
ておらず、多面体小面は、゛傾斜尚″（Ｄ、Ａ、）とし
て示した角度をもって中心線に傾いている。例えば、レ
ーザ１０のような光源からの光が回転多面体１２の−っ
の小面２２に、小面２２の垂線と角度ｌをもって入射す
る。多面体１２は、外部に反射小面をもつように示しで
あるが、内部に反射小面をもつ多面体も使用することが
できる。図示を容易にするために、レーザ１゜と小面２
２との間には何も光学装置を示してないが、選択したレ
ーザの形式によっては何等かの光学装置が必要になる。
面体１２は、通常の駆動電動機装置（図示してない）に
よって中心線（Ｃ／Ｌ）として示した線のまわりを一定
の角速度で回転される。この多面体は、任意の数の非理
面形小面を備えることができるが、この例の場合は、回
転多面体が偶数個、例えば８個の別個の小面を具備する
。ゼロ傾斜角多面体を使用する通常の走査装置のように
、多面体小面は、回転軸すなわち中心線と平行にはなっ
ておらず、多面体小面は、゛傾斜尚″（Ｄ、Ａ、）とし
て示した角度をもって中心線に傾いている。例えば、レ
ーザ１０のような光源からの光が回転多面体１２の−っ
の小面２２に、小面２２の垂線と角度ｌをもって入射す
る。多面体１２は、外部に反射小面をもつように示しで
あるが、内部に反射小面をもつ多面体も使用することが
できる。図示を容易にするために、レーザ１゜と小面２
２との間には何も光学装置を示してないが、選択したレ
ーザの形式によっては何等かの光学装置が必要になる。
レーザ１０からの光線１は、中心線と同一平面上にあっ
て、回転多面体１２の小面２２に向って進行する。この
光線は非理面形小面２２に当って、入射角と等しい反射
角をもって反射される。
て、回転多面体１２の小面２２に向って進行する。この
光線は非理面形小面２２に当って、入射角と等しい反射
角をもって反射される。
光が小面２２で反射した後、反射光は、第１平面反射鏡
面１８まで進行する。光線１は小面２２で反射して光線
２となる。光線１は多面体１２の位置にかかわらず空間
に静止しているが、光線２は多面体の回転にしたがって
回転する。反射鏡面１８は、第１図の平面に垂直方向に
十分大きなものにして、小面２２の走査中、常に光線２
が反射鏡面１８に突き当るようにしなければならない。
面１８まで進行する。光線１は小面２２で反射して光線
２となる。光線１は多面体１２の位置にかかわらず空間
に静止しているが、光線２は多面体の回転にしたがって
回転する。反射鏡面１８は、第１図の平面に垂直方向に
十分大きなものにして、小面２２の走査中、常に光線２
が反射鏡面１８に突き当るようにしなければならない。
光線２が反射鏡面１８で反射されたのを光線３と示した
。面１８から光線３は第２平面反射鏡面２０に向って進
み、そこから反射されたものを光線４と表わしたことは
第１図に示す通りである。
。面１８から光線３は第２平面反射鏡面２０に向って進
み、そこから反射されたものを光線４と表わしたことは
第１図に示す通りである。
光線３は光線２と同一角速度で回転するので、反射鏡面
２ｏは走査中光線３を反射するために反射鏡面１８より
大きなものでなければならない。面２０は面１８より小
面２２から光学的に離れているからである。光線４は逆
に小面２２に向って進行するが、小面２２は光線２が反
射された後における角速度と同一の角速度を維持する。
２ｏは走査中光線３を反射するために反射鏡面１８より
大きなものでなければならない。面２０は面１８より小
面２２から光学的に離れているからである。光線４は逆
に小面２２に向って進行するが、小面２２は光線２が反
射された後における角速度と同一の角速度を維持する。
小面２２は回転を続けまた光線４も小面２２と同一方向
に移動を続けるので、小面２２は反射鏡面２０はと大き
い必要はない。反射ｌ！１８及び２０と小面２２との間
隔は、短いものにして、反射鏡及び小面があまり大きく
ならないようにしなければならない。小面走査装置を設
計する当業者は反射鏡及び多面体が大きくなりすぎない
ようにレーザビームパラメータの適正値を選択する方法
を理解しているであろう。
に移動を続けるので、小面２２は反射鏡面２０はと大き
い必要はない。反射ｌ！１８及び２０と小面２２との間
隔は、短いものにして、反射鏡及び小面があまり大きく
ならないようにしなければならない。小面走査装置を設
計する当業者は反射鏡及び多面体が大きくなりすぎない
ようにレーザビームパラメータの適正値を選択する方法
を理解しているであろう。
光１１４は、走査中、多面体の回転にしたがって回転す
るので、小面２２とは多くの入射角で交わる。小面２２
で再度反射されて、光１ｉ４が光線５となるが、光線５
は、小面２２の垂線に対し角度Ｉ２をもち、光電感応面
２４に集光される。ビームは第１小面反射の後規準され
、また第２小面反射後、面２４に集光される。
るので、小面２２とは多くの入射角で交わる。小面２２
で再度反射されて、光１ｉ４が光線５となるが、光線５
は、小面２２の垂線に対し角度Ｉ２をもち、光電感応面
２４に集光される。ビームは第１小面反射の後規準され
、また第２小面反射後、面２４に集光される。
多面体１２は、非球面形をもつ小面を具備するので、多
面体１２は、例えばアクリル・プラスチックを使用する
射出成形によって製作することができる。このようにし
て、ここに開示した装置は素子の少ない点からコスト効
果的であるほか、個別素子製造の点からもコスト効果的
である。
面体１２は、例えばアクリル・プラスチックを使用する
射出成形によって製作することができる。このようにし
て、ここに開示した装置は素子の少ない点からコスト効
果的であるほか、個別素子製造の点からもコスト効果的
である。
第１図は本発明の構成を示す光学的構成図である。
１０−・・・・・レーザ
１２・・・・・・多面体
１８・・・・・・第１反射鏡
２ｏ・・・・・・第２反射鏡
２２・・・・・・小面
２４・・・・・・光電感応面
Claims (2)
- （１）一つの回転軸をもつ多面反射鏡装置、前記多面反
射鏡装置に入射する光源を導入する光源装置で、この装
置による光が前記多面反射鏡装置の各面から順次反射さ
れる前記の光源装置、前記多面反射鏡装置からの前記反
射光の通路に配置される第１固定反射鏡、及び前記第１
固定反射鏡からの反射光の通路に配置される第２固定反
射鏡で前記光を前記回転多面反射鏡装置の同一面で反射
させ、前記の最終反射光が前記回転多面反射鏡装置の一
回転によつて所定範囲内の弧状の走査光ビームとなるよ
うに前記の第２固定反射鏡を備える光走査装置において
、多面体配列の平面でない反射鏡小面を備え前記反射鏡
小面が前記多面反射鏡装置の回転軸に対して所定の傾斜
角度を有する多面体走査装置。 - （２）一つの回転軸をもつ多面反射鏡装置、前記多面反
射鏡装置に入射する光源を導入する光源装置で、この装
置による光が前記多面反射鏡装置の各面から順次反射さ
れる前記の光源装置、前記多面反射鏡装置からの前記反
射光の通路に配置される第１固定反射鏡、および前記第
１固定反射鏡からの前記反射光の通路に配置される第２
固定反射鏡であつて、前記光を前記回転多面反射鏡装置
の同一反射面で反射させ、前記の最終反射光が前記多面
反射鏡装置の一回転によつて所定範囲内の弧状の走査光
ビームとなる前記の第２固定反射鏡を備える光走査装置
において、多面体配列の球面でない反射鏡小面を備え、
前記反射鏡小面が前記多面反射鏡装置の回転軸に対して
所定の傾斜角度を有する多面体走査装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US06/703,970 US4624528A (en) | 1985-02-21 | 1985-02-21 | Scanning systems with polygon scanner having curved facets |
| US703970 | 1991-05-22 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61196222A true JPS61196222A (ja) | 1986-08-30 |
| JPH0587805B2 JPH0587805B2 (ja) | 1993-12-20 |
Family
ID=24827535
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61029163A Granted JPS61196222A (ja) | 1985-02-21 | 1986-02-14 | 多面体走査装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4624528A (ja) |
| JP (1) | JPS61196222A (ja) |
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