JPS61179893A

JPS61179893A - 部分めつき装置

Info

Publication number: JPS61179893A
Application number: JP2050585A
Authority: JP
Inventors: Minoru Fujita; 実藤田; Minoru Kobayashi; 実小林
Original assignee: Mitsubishi Electric Corp
Current assignee: Mitsubishi Electric Corp
Priority date: 1985-02-05
Filing date: 1985-02-05
Publication date: 1986-08-12

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕この発明は部分めっき装置に関するものである。

〔従来の技術〕

第３図は従来の部分めっき装置を示す断面図であプ１図
において、（１）は陰極となる被加工材、（２）は被加
工材（１）の被めっき部以外をじゃへいするマスク、（
３）は被めっき部へめっき液を高速で噴出するノズルで
、めっき液噴射ノズル、（４）は被加工材（１）の被め
っき部で、この部分のみマスク（２）が開口されている
。（５１はノズル（３）に設けられた陽極、（６）は被
加工材（１）の非めっき面を固定する固定部材で。

例えば固定板である。

従来の部分めっき装置は上記のように構成され。

例えば被加工材（１）をマスク（２）と固定板（６）の
間に固定した後、めっき液噴射ノズル（３）よりめっき
液を噴出する。この際、被加工材（１）は電源（図示せ
ず）のマイナスに、陽極（５）はプラスに接続されてお
シ。

めっき液が被加工材＋１）に接触すると通電され、被加
工材（１）の被めっき部（４）にめっきが施される。ノ
ズル（３）より噴出されためつき液はマスク（２）とめ
っき液噴射ノズル（３）の間を流れ落ちるようになって
いる。

〔発明が解決しようとする問題点ｊ上記のような従来の部分めっき装置で部分めっきを行う
場合、生産性を高めるために９通常の条件よυ高電流密
度で電解し高速でめっきを行っている。これをさらに高
速で行なうには、めっき液の噴出速度を増大して多くの
金属イオンを強制的に供給する。あるいはめつき液の金
属塩濃度の増加や、めっき浴温度の増加などが考えられ
る。しかし、噴出速度を増大して金属イオンを強制的に
供給するのには限界がある。さらに、被めっき部が微小
化すると、これに従ってマスクや噴出ノズルの形状が決
定され、噴出速度の増大は困難である。また、めっき液
を高濃度化や高温化すると。

めっき皮膜の特性低下やめつき液の劣化などが起こると
いう問題点があった。

この発明は、かかる問題点を解決するためになされたも
ので１通常のめつき液を用いて、高電流密度でめっきを
可能にし、高速で部分めっきを行うことのできる部分め
っき装置を得ることを目的とする。

〔問題点を解決するための手段〕

この発明に係る部分めっき装置は、被加工材の被めっき
部以外をしやへいするマスク、被めっき部にめっき液を
噴出するノズル、被加工材を固定する固定部材、被加工
材にプラス、ノズルにマイナスを通電する電源、及びこ
の電源の通電に同期して、被めっき部の背面にエネルギ
ービームを照射するエネルギービーム発生器を備えたも
のである。

〔作用〕

この発明においては、被加工材の背面からエネルギービ
ームを照射することにより２局所的な熱集中が生じ、め
っき液を局部的に加熱し、界面における微小かくはんを
引き起すため、被めっき部が活性化され、金属イオンの
供給を促進し、高電流密度によるめっきを可能とする。

〔実施例〕

第１図はこの発明の一実施例を示す断面図であり、（７
）は適当なエネルギー密度を有するエネルギービームで
２例えばレーザビームである。このエネルギ−ビーム（
７）は、エネルギービーム発生器αので発生し、固定部
材９例えば固定板（９）に設けられた開口部（８）を通
って、被めっき部（４）の背面に照射される。例えばＣ
ｕに銀めっきを行なう場合には。

被加工材（１）としてＣｕ、　　めっき液としてシアン
化銀の溶液などを用いて行なう。

第２図はこの発明における全体の概要を示す構成図であ
り、ａｌｌはめつき電源、ａりはめっき液噴出装置、（
Ｉ３は各装置を制御するコントローラである。

上記のような部分めっき装置において部分めっきを行な
う場合、従来と同様に被加工材（１）をマスク（２）と
固定板（９）との間に固定した後、めっき液噴射ノズル
（３）よりめっき液を噴出する。めっき液と被加工材（
１）が接触するとめつき電源ａ１によシミ極（５）と被
加工材（１）に通電される。この通電に同期してエネル
ギービーム発生器（ＩＩより開口部（８）を通して適当
なエネルギー密度を有するエネルギービーム（７）を被
めっき部（４）の背面に照射する。このエネルギービー
ム（７）によって加熱された被めっき部（４）とめつき
液界面では、急激なめつき液の加熱が起こる。このため
イオン移動が増大し９局部的な微小沸騰作用によって被
加工材（１）の拡散層が減少し。

導電性が飛躍的に増大する。この状態でめっきが行なわ
れるため、高電流密度によるめっきが可能となり、めっ
きの高速化を図ることができる。

この際、コントローラ（１３によってエネルギービーム
発生器−，めっき電源Ｉ、及びめっき液噴出装置ａ１Ｊ
は連動制御されているため、エネルギービーム、印加電
圧、電流などはオン−オフなどの変調を加えることが可
能である。このため、めつき膜厚の制御やめつき皮膜の
品質を向上させることができる。

この発明において、めっき液の加熱はごく微小部分にの
み限られるため、めっき液全体を加熱した場合に起こる
ようなめつき液の劣化は起こらない。さらに被めっき部
（４）が微小化しても界面における局所的加熱の効果が
大きいため、めっき液の噴流が小さくてもめつき可能と
なシ、マスク（２）やめっき液噴射ノズル（３）の形状
に比較的関係なく。

めっきの高速化を図ることができる。

〔発明の効果〕

この発明は以上説明したとおシ、被加工材の被めっき部
以外をしやへいするマスク、被めっき部にめっき液を噴
出するノズル、被加工材を固定する固定部材、被加工材
にプラス、ノズルにマイナスを通電する電源、及び電源
の通電に同期して。

被めっき部の背面にエネルギービームを照射するｘ　、
１．　／ｌ／ｌ／ビーム発生器を備えることによシ、高
電流密度によるめっきを可能にし、めっきを高速化して
生産性の高い部分めっき装置を提供できる効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例を示す断面図、第２図はこ
の発明の一実施例の全体を示す構成図。第３図は従来の部分めっき装置を示す断面図である。（１）・・・被加工材、（２）・・・マスク、（３）・
・・ノズル、（４）・・・被めっき部、（７）・・・エ
ネルギービーム、（９）・・・固定部材、　Ｑｌ−°°
エネルギービーム発生器。なお２図中、同一符号は同一、又は相当部分を示す。

Claims

【特許請求の範囲】

（１）被加工材の被めつき部以外をしやへいするマスク
、上記被めつき部にめつき液を噴出するノズル、上記被
加工材を固定する固定部材、上記被加工材にプラス、上
記ノズルにマイナスを通電する電源、及びこの電源の通
電に同期して、上記被めつき部の背面にエネルギービー
ムを照射するエネルギービーム発生器を備えた部分めつ
き装置。
（２）エネルギービーム発生器は、レーザビーム発生器
であることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の部
分めつき装置。