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JPS61159777A - 電歪効果素子 - Google Patents

電歪効果素子

Info

Publication number
JPS61159777A
JPS61159777A JP60000569A JP56985A JPS61159777A JP S61159777 A JPS61159777 A JP S61159777A JP 60000569 A JP60000569 A JP 60000569A JP 56985 A JP56985 A JP 56985A JP S61159777 A JPS61159777 A JP S61159777A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
electrostrictive
layer
internal electrode
conductive material
layers
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP60000569A
Other languages
English (en)
Inventor
Takeshi Nishizawa
西澤　猛
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by NEC Corp filed Critical NEC Corp
Priority to JP60000569A priority Critical patent/JPS61159777A/ja
Publication of JPS61159777A publication Critical patent/JPS61159777A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/80—Constructional details
    • H10N30/87—Electrodes or interconnections, e.g. leads or terminals
    • H10N30/871—Single-layered electrodes of multilayer piezoelectric or electrostrictive devices, e.g. internal electrodes
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/50—Piezoelectric or electrostrictive devices having a stacked or multilayer structure

Landscapes

  • Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は電歪効果素子に関し、特に電歪材と内部電極材
とが層状に複数枚一体化形成された積層型の電歪効果素
子に関する。
〔従来の技術〕
従来、第２図に示すように電歪材層ｌと内部電極層２と
を複数枚積み重ねて熱圧着一体化した後、焼結して形成
された電歪効果素子３では、電歪材層ｌと内部電極層２
との間の接着力を大きくするために内部電極層２の導電
材料に銀粉末・パラジウム粉末・白金粉末などの金属粉
の焼結体と、複合ペロプスカイト化合物からなる電歪材
とを一定の比率で混合して用いている。
これは内部電極層２２の導電材と電歪材との混合物を用
いると、電歪材層ｌと内部１ｃ＆層２内の電歪材が焼結
し、接着力が大幅に増加する現象を利用するためである
。
金属粉としては白金粉末など貴金属の粉が使用できるが
、Ｘ歪効果素子の値段を安くするために銀粉末とパラジ
ウム粉末との金属粉の焼結体が通常使用されている。
〔発明が解決しようとする問題点〕
しかし、内部電極層２を構成する導電材に銀粉末・パラ
ジウム粉末の混合粉末を用いた電歪効果素子３では電歪
材層ｌと内部電極層２との間の接着力に層毎のバラツキ
があり、かつ接着力が大幅に減少することが発生する。
この接着力のバラツキの傾向は、電歪効果素子３の最外
層の内部Ｘ極層２と最外層の電歪材層１との間の接着力
が最も小さく、中間層の内部電極層２と中間層の電歪材
層１との間の接着力が最も大きい。
この傾向を示す原因としては、最外層にある内部電極層
２が電歪材層１を介して大気と接している。このため最
外層の内部電極層２中の銀が蒸発しやすく、逆に中間層
の内部電極層２中の銀は蒸発しすらい。
焼結時に蒸発した銀のあとには気孔が生じ、内部電極層
２と電歪材層１との接着力が低下する。
このため内部電極層２の金属として銀粉末、パラジウム
粉末を用いた従来の電歪効果素子３では最外層の電歪材
層ｌと最外層の内部電極層２との間の接着力が特に弱く
なり、電歪効果素子３の駆動を行うと内部電極層２にク
ラックが入るという欠点がある。
〔問題点を解決するための手段〕
本発明の目的はこのような従来の欠点を解消した電歪効
果素子を提供することにある。
本発明によれば、電歪材と導電材との混合物層を導電材
層の両面に形成させた内部電極層と、内部電極層と電歪
材層とを層状に複数枚積層させた構造を含むことを特徴
とする電歪効果素子が得られる。
〔実施例〕
以下、本発明について図面を参照して説明する。
第１図は本発明の一実施例の断面図である。本実施例で
用いた電歪材１１は複合ペロブスカイト化合物であるニ
ッケル・ニオブ酸ジルコン酸チタン酸鉛であり、化学式
で表現すると、 Ｐｂ　（（Ｎ　Ｌ／ｓ　Ｎｂｔ／ｓ　）＠、ＩＺ　ｒｏ
、ｓｓＴ　ｉａ、ｓｓ　）　０３である。この電歪材１
１は温度１１２０℃で２時間加熱することにより焼結で
きる。
一方、内部電極層２２の導電材として銀粉末とパラジウ
ム粉末をＶ型混合器などで混合し、それにビヒクルを添
加してペースト化したものを使用しである。
また導電材と電歪材との混合物として前述ペーストに電
歪材を重量比で２０チ添加したものを使用しである。
上述の電歪材、導電材、および導電材と電歪材との混合
物とを用いて第１図に示す積層構造の電歪効果素子（以
後素子と略称）３３を作った。この素子３３０寸法は２
■ｘ３■Ｘ９ｍである。
素子３３は９■の縦方向に内部電極層２２と電歪材層１
１とを積み重さねた構造であり、Ａ面およびＢ面が素子
３３の作用面である。
素子３３の内部電極層２２は３層構造に形成しである。
内部電極層３３の厚みは約５μｍであり、導電材層２２
Ａは厚さ約３μｍ、混合物層２２Ｂは厚さ約１μｍから
出来ている。
本実施例では内部電極層２２は５０層を有しており、そ
の間に厚さ約１１５μｍの電歪材層１１が介挿されてい
る。また内部電極層２２の最上層と最下層の外側に電歪
材層１１からなる保護層１１人、１１Ｂがある。
この素子をＪＩＳ−Ｒ−ｘｓｏｘ　（７アインセラば、
クスの曲は試験方法）にもとづいて２■Ｘ３ｍＸ９ｍ＋
１１の素子を２個直列にエポキシ樹脂接着剤で接続した
サンプルの曲げ強度試験を実施した。その結果を従来例
と対比して第１表に示す。
従来例の索子では最外層から割れるが、本実施例の素子
ではほぼランダムな個所で割れた。
〔発明の効果〕
以上説明したように、本発明は銀の蒸発の大きい導電材
と電歪材との混合物層の厚みを薄くすることにより内部
電極層に発生する気孔を少なくできる。また３層構造を
とらずに混合物層だけを薄くした場合は内部電極の切れ
が発生し、電歪効果が小さくなってしまう欠点があり、
本発明の様に３層構造にする必要がある。
以上の様に３層構造の電歪効果素子にすると曲は強度が
大きくなる効果がある。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明一実施例の電歪効果素子の断面図。第２
図は従来の電歪効果素子のｆｉＪｒａ図。 １．１１・・・・・・電歪材層、ＩＩＡ、ＩＩＢ・・・
・・・保護層、２．２２・・・・・・内部電極層、３，
３３・・・・・・電歪効果素子、２２人・・・・・・導
電材層、２２Ｂ・・・・・・混合物層。 第１　＠

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 　電歪材と導電材との混合物層を導電材層の両面に形成
    させた内部電極層と、前記内部電極層と電歪材層とを層
    状に複数枚積層させた構造を有することを特徴とする電
    歪効果素子。
JP60000569A 1985-01-07 1985-01-07 電歪効果素子 Pending JPS61159777A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP60000569A JPS61159777A (ja) 1985-01-07 1985-01-07 電歪効果素子

Applications Claiming Priority (1)

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JP60000569A JPS61159777A (ja) 1985-01-07 1985-01-07 電歪効果素子

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS61159777A true JPS61159777A (ja) 1986-07-19

Family

ID=11477337

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP60000569A Pending JPS61159777A (ja) 1985-01-07 1985-01-07 電歪効果素子

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JP (1) JPS61159777A (ja)

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