JPS6051661A - 導電性セラミツクス - Google Patents
導電性セラミツクスInfo
- Publication number
- JPS6051661A JPS6051661A JP58158259A JP15825983A JPS6051661A JP S6051661 A JPS6051661 A JP S6051661A JP 58158259 A JP58158259 A JP 58158259A JP 15825983 A JP15825983 A JP 15825983A JP S6051661 A JPS6051661 A JP S6051661A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- conductive
- resistance
- temperature
- powder
- sintering
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 title claims description 16
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 15
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- 238000005245 sintering Methods 0.000 claims description 8
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 229910052746 lanthanum Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 4
- 229910052706 scandium Inorganic materials 0.000 claims description 4
- SIXSYDAISGFNSX-UHFFFAOYSA-N scandium atom Chemical group [Sc] SIXSYDAISGFNSX-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 229910052727 yttrium Inorganic materials 0.000 claims description 4
- FZLIPJUXYLNCLC-UHFFFAOYSA-N lanthanum atom Chemical compound [La] FZLIPJUXYLNCLC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 150000001247 metal acetylides Chemical class 0.000 claims description 2
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 claims description 2
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 claims description 2
- VWQVUPCCIRVNHF-UHFFFAOYSA-N yttrium atom Chemical compound [Y] VWQVUPCCIRVNHF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 16
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 14
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 6
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 5
- MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N Zirconium dioxide Chemical compound O=[Zr]=O MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 4
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 4
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 4
- 230000035939 shock Effects 0.000 description 4
- 239000004372 Polyvinyl alcohol Substances 0.000 description 3
- 229920002451 polyvinyl alcohol Polymers 0.000 description 3
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910025794 LaB6 Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 1
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 1
- 229940126540 compound 41 Drugs 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 239000000446 fuel Substances 0.000 description 1
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010439 graphite Substances 0.000 description 1
- 150000002604 lanthanum compounds Chemical class 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
- 150000003326 scandium compounds Chemical class 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 1
- -1 yttrium compound Chemical class 0.000 description 1
Landscapes
- Ceramic Products (AREA)
- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
- Thermistors And Varistors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は良好な電気伝導性を有する導電性セラミックス
に関する。
に関する。
従来から周知の導(社)性セラミックスとしては、シリ
コンカーバイド(stc)系、ランタンクロメ−) (
LaCrOs )系、ジルコニア(ZrO2)系などが
知られている。しかし上記の導電性セラミックスは電気
抵抗が比較的太きく、1ooocの高温時で10−2Ω
口程度が下限である。また上記導電性セラミックスは抵
抗温度特性が負、すなわち温度上昇と共に電気抵抗が減
少するため電流の急増による熱暴走を生じやすく、ヒー
タとして使用した場合には温度制御がむずかしくなる。
コンカーバイド(stc)系、ランタンクロメ−) (
LaCrOs )系、ジルコニア(ZrO2)系などが
知られている。しかし上記の導電性セラミックスは電気
抵抗が比較的太きく、1ooocの高温時で10−2Ω
口程度が下限である。また上記導電性セラミックスは抵
抗温度特性が負、すなわち温度上昇と共に電気抵抗が減
少するため電流の急増による熱暴走を生じやすく、ヒー
タとして使用した場合には温度制御がむずかしくなる。
さらに上記導電性セラミックスは通常多孔質で機械的強
度が小さいなどの欠点がある。
度が小さいなどの欠点がある。
本発明は従来の導電性セラミックスがもつ上記の欠点を
解消すべくなされたもので、機械的強度が大きく、電気
抵抗が小さく、かつ正の抵抗温度特性を有する新規の導
電性セラミックスを提供することを目的とする。
解消すべくなされたもので、機械的強度が大きく、電気
抵抗が小さく、かつ正の抵抗温度特性を有する新規の導
電性セラミックスを提供することを目的とする。
本発明は酸化アルミニウム(kt203)または炭化ケ
イ素(sic)と導電性物質を組合せて複合化すること
により、本発明の目的を達成し得る材料を見い出した。
イ素(sic)と導電性物質を組合せて複合化すること
により、本発明の目的を達成し得る材料を見い出した。
すなわち本発明は、A L 203 またはSiCを主
成分とする基材相中に、金属に類似した性質をもつ非酸
化物系の導電性物質を分散混合し、緻密に焼結してなる
導電性のセラミックスを提供するものである。本発明に
おける非酸化物系の導電物質としては、周期律表のll
a族元素のうちスカンジウム(SC)、イツトリウム(
Y)およびランタン(La)の炭化物、窒化物またけホ
ウ化物等の化合物、例えばスカンジウム化合物の5cI
32゜SCC,8CN、イツトリウム化合物のYB2゜
YI14 、YBs 、YO2、YNおよびランタン化
合物のL aB 41 L aB a t L aCz
# L aN等が用いられる。これらの材料は高導電
性と正の抵抗温度特性を有し、しかも高融点で耐酸化性
にも(9)れるためガに1戊材として好適である。
成分とする基材相中に、金属に類似した性質をもつ非酸
化物系の導電性物質を分散混合し、緻密に焼結してなる
導電性のセラミックスを提供するものである。本発明に
おける非酸化物系の導電物質としては、周期律表のll
a族元素のうちスカンジウム(SC)、イツトリウム(
Y)およびランタン(La)の炭化物、窒化物またけホ
ウ化物等の化合物、例えばスカンジウム化合物の5cI
32゜SCC,8CN、イツトリウム化合物のYB2゜
YI14 、YBs 、YO2、YNおよびランタン化
合物のL aB 41 L aB a t L aCz
# L aN等が用いられる。これらの材料は高導電
性と正の抵抗温度特性を有し、しかも高融点で耐酸化性
にも(9)れるためガに1戊材として好適である。
一方基材にはAt203.3 i Cまたは5jsN4
の1種と各々の成分に適した焼結助剤並びに粒成長を抑
制する成分を添加したものが好ましい。基材成分に上記
材料を選んだ理由は、耐熱温度が高く、熱的、化学的な
安定性に優れ、機械的強度も大きく、シかも耐熱衝撃性
罠も医れるためである。
の1種と各々の成分に適した焼結助剤並びに粒成長を抑
制する成分を添加したものが好ましい。基材成分に上記
材料を選んだ理由は、耐熱温度が高く、熱的、化学的な
安定性に優れ、機械的強度も大きく、シかも耐熱衝撃性
罠も医れるためである。
これらの特長は、例えば本発明を高温ヒータ材とした場
合、耐熱・耐酸化性に優れると共に通電により瞬間的に
赤熱させた時に加えられる熱衝撃に対しても浸れた耐久
性を有し、導電材との組合せ上好適である。
合、耐熱・耐酸化性に優れると共に通電により瞬間的に
赤熱させた時に加えられる熱衝撃に対しても浸れた耐久
性を有し、導電材との組合せ上好適である。
本発明の導電性セラミックスは1、基材成分の粉末と前
記4電拐とをそれぞれ80〜20容積チ、20〜80容
積チの範囲に調合し、これに成形バインダとして例えば
ポリビニルアルコール(P VA )水溶液を加え混合
した凌、所定の形状に成形し、これを真空中あるいは非
酸化性雰囲気中1500〜2200 Cの温度で焼結す
ることにより、理論密度比で90チ以上の密度並びに室
温時で1Ωm以下の抵抗率を有する焼結体を製造するこ
とができる。
記4電拐とをそれぞれ80〜20容積チ、20〜80容
積チの範囲に調合し、これに成形バインダとして例えば
ポリビニルアルコール(P VA )水溶液を加え混合
した凌、所定の形状に成形し、これを真空中あるいは非
酸化性雰囲気中1500〜2200 Cの温度で焼結す
ることにより、理論密度比で90チ以上の密度並びに室
温時で1Ωm以下の抵抗率を有する焼結体を製造するこ
とができる。
本発明において、基材成分と導r17材とを上記割合に
限定した理由は、導電材が20容$%より少ないと焼結
体の抵抗率が1Ωαより大きく、しかも導電材添加量に
対する抵抗率変化が急峻となり抵抗率制御が困難となり
、さらに基材がSiCの場合には抵抗温度特性が負とな
るためである。また80容(HH%よりも多くなると、
得られる焼結体の機械的強度、耐酸化性、耐熱衝撃性な
どの特性が低下するため好ましくない。
限定した理由は、導電材が20容$%より少ないと焼結
体の抵抗率が1Ωαより大きく、しかも導電材添加量に
対する抵抗率変化が急峻となり抵抗率制御が困難となり
、さらに基材がSiCの場合には抵抗温度特性が負とな
るためである。また80容(HH%よりも多くなると、
得られる焼結体の機械的強度、耐酸化性、耐熱衝撃性な
どの特性が低下するため好ましくない。
次に、実施例により本発明の詳細な説明する。
実施例1
基材には平均粒径が約3μmのAt1Os 、 S i
CおよびSi3N4の各粉末を、また導電材には平均粒
径が約2μmのY B a粉末を用いた。焼結助剤は、
SiCにはA L 20 s粉末を2%、5fsN4
およびA t20 s にはMgO粉末を5%および1
%(いずれも市川%)添加した。上記基材とY B 6
粉末を種々の割合に調合し、さらにその全量に対して3
%PVA溶液を15チ加え攪拌らいかい機で混合した。
CおよびSi3N4の各粉末を、また導電材には平均粒
径が約2μmのY B a粉末を用いた。焼結助剤は、
SiCにはA L 20 s粉末を2%、5fsN4
およびA t20 s にはMgO粉末を5%および1
%(いずれも市川%)添加した。上記基材とY B 6
粉末を種々の割合に調合し、さらにその全量に対して3
%PVA溶液を15チ加え攪拌らいかい機で混合した。
次いで混合原料粉は金型を用いて1000 Kg /
cAの圧力を加えて成形体とした。この成形体を黒鉛ダ
イスに入れ、真空度10−3〜10−5Torrの減圧
下でホットプレス焼結(圧力は300 Kg/c4一定
)した。焼結温度はAt203系が1600C,81s
Ni系が1700Cおよび8iC系が2000Gである
。得られた焼結体はいずれも相対密度が95−以上に緻
密化した。また焼結体の室温における抵抗率とYB6混
合量との関係は図に示す如くである。同図において曲線
AはSiC基、曲線BおよびCは5jsN4基およびA
t20s基の焼結体である。図の結果から、導電材であ
るYB6の混合量を20容8!i%以上適当に選ぶこと
により、抵抗率を大略1〜5 X 10−5Ωmの範囲
で任意の値のものが得られる。
cAの圧力を加えて成形体とした。この成形体を黒鉛ダ
イスに入れ、真空度10−3〜10−5Torrの減圧
下でホットプレス焼結(圧力は300 Kg/c4一定
)した。焼結温度はAt203系が1600C,81s
Ni系が1700Cおよび8iC系が2000Gである
。得られた焼結体はいずれも相対密度が95−以上に緻
密化した。また焼結体の室温における抵抗率とYB6混
合量との関係は図に示す如くである。同図において曲線
AはSiC基、曲線BおよびCは5jsN4基およびA
t20s基の焼結体である。図の結果から、導電材であ
るYB6の混合量を20容8!i%以上適当に選ぶこと
により、抵抗率を大略1〜5 X 10−5Ωmの範囲
で任意の値のものが得られる。
第1表は上記の焼結体における相対密度、抵抗温度係数
(20〜800C)及び室温時の曲げ強さである。Y
B 6混合量が20〜80容t+7%の焼結体は相対密
[97%以上、室温の曲げ強さ20Kg/ff1以上で
あり、高密度で高強度の特性を有する。YB6混合量が
80容積チ以上になると相対密度及び曲げ強さが低減す
る。一方抵抗温度係数け、s i 3 N4基及びA
120 s基複合材はY B s2020容積チで正の
値をもつ。SiC基の複合材はYB620容積チは負の
温度係数をもつが、約30容量%以上では正の抵抗温度
係数を有する。
(20〜800C)及び室温時の曲げ強さである。Y
B 6混合量が20〜80容t+7%の焼結体は相対密
[97%以上、室温の曲げ強さ20Kg/ff1以上で
あり、高密度で高強度の特性を有する。YB6混合量が
80容積チ以上になると相対密度及び曲げ強さが低減す
る。一方抵抗温度係数け、s i 3 N4基及びA
120 s基複合材はY B s2020容積チで正の
値をもつ。SiC基の複合材はYB620容積チは負の
温度係数をもつが、約30容量%以上では正の抵抗温度
係数を有する。
実施例2
k120s粉末は実施例1と同じもの、また導電材は市
販の純度99チ以上、粒径5μm以下のSC,Yおよび
Laの各種化合物を用いた。Al t Os粉末60容
積チと、導電材粉末40容積−からなる組成物を混合し
、圧力1000 Kg / cr/lの圧力で円板状に
成形した後、真空ホットプレス装置を用いて真空ホット
プレス焼結した。ホットプレス焼結の争件は、圧力30
0に9/i、温度1700C1時間1 bである。
販の純度99チ以上、粒径5μm以下のSC,Yおよび
Laの各種化合物を用いた。Al t Os粉末60容
積チと、導電材粉末40容積−からなる組成物を混合し
、圧力1000 Kg / cr/lの圧力で円板状に
成形した後、真空ホットプレス装置を用いて真空ホット
プレス焼結した。ホットプレス焼結の争件は、圧力30
0に9/i、温度1700C1時間1 bである。
得られた複合焼結体の特性を第2表に示した。
試作した複合焼結体の相対密度はいずれも97チ以上で
高密度である。抵抗率は導電材の種類により多少異なる
が高導電性であり、曲げ強さも351(り/闘2以上で
高強度を有する。また第1表の焼結体全部について室温
と800C加熱時の抵抗値を11!4べた結果、導電材
の種類によって抵抗変化の値は異なるがいずれも温度が
高くなると抵抗は増大し、正の湿度特性を有する。
高密度である。抵抗率は導電材の種類により多少異なる
が高導電性であり、曲げ強さも351(り/闘2以上で
高強度を有する。また第1表の焼結体全部について室温
と800C加熱時の抵抗値を11!4べた結果、導電材
の種類によって抵抗変化の値は異なるがいずれも温度が
高くなると抵抗は増大し、正の湿度特性を有する。
実施例3
実施例1と同じsi、N、粉末を用い、これにLaB4
またはLaB6粉末(平均粒径はいずれも2μm)を混
合量を変えて添加し、実施例1と同じ条件で成形、ホッ
トプレス焼結して5i3N4−4.af34系及びS
j 3N4−LaBe系の複合焼結体を作製した。両系
の抵抗率と導電材混合量との関係は、第1図の曲線B、
Cとほぼ同等である。またさ 曲げ強も第1表に示した値とほぼ同等であり、抵^ 抗温度特性は室温〜800Cの間で正である。
またはLaB6粉末(平均粒径はいずれも2μm)を混
合量を変えて添加し、実施例1と同じ条件で成形、ホッ
トプレス焼結して5i3N4−4.af34系及びS
j 3N4−LaBe系の複合焼結体を作製した。両系
の抵抗率と導電材混合量との関係は、第1図の曲線B、
Cとほぼ同等である。またさ 曲げ強も第1表に示した値とほぼ同等であり、抵^ 抗温度特性は室温〜800Cの間で正である。
以上、実施例で詳述したように、本発明になる導電性セ
ラミックスは導電材粉末の混合量を調整することにより
1〜5 X 10−5Ωmの範囲で任意の抵抗率のもの
が得らる。また抵抗温度特性が正のものが得られるため
赤熱状態でも電流暴走による溶断を起さず、さらに緻密
質で機械的強度が大きいので耐酸化性や耐熱衝撃性にも
浸れた材料である。
ラミックスは導電材粉末の混合量を調整することにより
1〜5 X 10−5Ωmの範囲で任意の抵抗率のもの
が得らる。また抵抗温度特性が正のものが得られるため
赤熱状態でも電流暴走による溶断を起さず、さらに緻密
質で機械的強度が大きいので耐酸化性や耐熱衝撃性にも
浸れた材料である。
したがってこのような特長をもつ本発明の導電性セラミ
ックスの用途としては、例えば各種のヒータ、自動車用
のグロープラグ、液体及び気体燃料点火用の電気着火器
、あるいは高温用の電rAまだは導体などに好適である
。
ックスの用途としては、例えば各種のヒータ、自動車用
のグロープラグ、液体及び気体燃料点火用の電気着火器
、あるいは高温用の電rAまだは導体などに好適である
。
図は本発明の1例に係る導電性セラミックスの第1頁の
続き ■Int、CI、’ 識別記号 庁内整理番号// H
01C71026918−5EC発明者 小 杉 哲
夫 日立市幸町3丁「所内
続き ■Int、CI、’ 識別記号 庁内整理番号// H
01C71026918−5EC発明者 小 杉 哲
夫 日立市幸町3丁「所内
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、酸化アルミニウム、炭化ケイ素または窒化ケイ素の
1種及びその焼結助剤を適量含む暴利に導電材として周
期律表中[[a族元素の炭化物、窒化物およびホウ化物
の少なくとも1種を20〜80容量チ混合してなる組成
物を焼結して得られる導電性セラミックス。 2、室温時の電気抵抗率が1Ωα以下で、かつ抵抗温度
特性が正である特許請求の範囲第1項記載の導電性セラ
ミックス。 3、前記111a族元素はスカンジウム、イツトリウム
まだはランタンである特許請求の範囲第1項記載の導電
性セラミックス。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP58158259A JPS6051661A (ja) | 1983-08-29 | 1983-08-29 | 導電性セラミツクス |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP58158259A JPS6051661A (ja) | 1983-08-29 | 1983-08-29 | 導電性セラミツクス |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6051661A true JPS6051661A (ja) | 1985-03-23 |
Family
ID=15667707
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP58158259A Pending JPS6051661A (ja) | 1983-08-29 | 1983-08-29 | 導電性セラミツクス |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6051661A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013241322A (ja) * | 2012-04-26 | 2013-12-05 | Ngk Spark Plug Co Ltd | アルミナ焼結体、それを備える部材、および半導体製造装置 |
-
1983
- 1983-08-29 JP JP58158259A patent/JPS6051661A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013241322A (ja) * | 2012-04-26 | 2013-12-05 | Ngk Spark Plug Co Ltd | アルミナ焼結体、それを備える部材、および半導体製造装置 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP0107511B1 (en) | Electroconductive ceramics | |
JPS6060983A (ja) | セラミックヒ−タ及びその製造方法 | |
GB1597282A (en) | High density thermal shock resistant sintered silicon carbide | |
EP0335382B1 (en) | Electrically conductive ceramic material | |
JPS6138144B2 (ja) | ||
EP0180928B1 (en) | Refractory composition and products resulting therefrom | |
JP2949586B2 (ja) | 電導材及びその製造法 | |
JPS59102862A (ja) | 複合焼結セラミクス | |
JPS6033265A (ja) | ヒータ用セラミックス導体 | |
JPS6051661A (ja) | 導電性セラミツクス | |
JPS6461356A (en) | Ceramic material | |
JP3740544B2 (ja) | 炭化珪素質発熱体 | |
JPH0753265A (ja) | 導電性炭化珪素質セラミック材 | |
JP5765277B2 (ja) | 低温用サーミスタ材料及びその製造方法 | |
JP2001261441A (ja) | 導電性SiC焼結体の製造方法 | |
JP3605254B2 (ja) | 半絶縁性窒化アルミニウム焼結体 | |
JPS61146764A (ja) | 窒化アルミニウム焼結体およびその製造方法 | |
JP2547423B2 (ja) | 導電性サイアロンの製造方法 | |
JPH11217270A (ja) | ハニカム構造体 | |
JP2000128641A (ja) | セラミック抵抗体及びその製造方法 | |
JPH075378B2 (ja) | 黒色窒化アルミニウム焼結体とその製造方法 | |
JPH0515751Y2 (ja) | ||
JP2001114563A (ja) | セラミック抵抗体及びその製造方法 | |
JPH0692793A (ja) | エレクトロニクス素子用硼化物材料 | |
JPH0660060B2 (ja) | 窒化アルミニウム焼結体の製造方法 |