JPS6046375A - 黒色酸化物被膜形成用溶液及びその溶液を使用して銅又は銅合金を誘電体に積層させる方法 - Google Patents
黒色酸化物被膜形成用溶液及びその溶液を使用して銅又は銅合金を誘電体に積層させる方法Info
- Publication number
- JPS6046375A JPS6046375A JP10440084A JP10440084A JPS6046375A JP S6046375 A JPS6046375 A JP S6046375A JP 10440084 A JP10440084 A JP 10440084A JP 10440084 A JP10440084 A JP 10440084A JP S6046375 A JPS6046375 A JP S6046375A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- solution
- copper
- polymer
- ppm
- black
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C22/00—Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive liquid, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals
- C23C22/05—Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive liquid, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals using aqueous solutions
- C23C22/60—Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive liquid, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals using aqueous solutions using alkaline aqueous solutions with pH greater than 8
- C23C22/63—Treatment of copper or alloys based thereon
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/38—Improvement of the adhesion between the insulating substrate and the metal
- H05K3/382—Improvement of the adhesion between the insulating substrate and the metal by special treatment of the metal
- H05K3/385—Improvement of the adhesion between the insulating substrate and the metal by special treatment of the metal by conversion of the surface of the metal, e.g. by oxidation, whether or not followed by reaction or removal of the converted layer
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K2203/00—Indexing scheme relating to apparatus or processes for manufacturing printed circuits covered by H05K3/00
- H05K2203/03—Metal processing
- H05K2203/0315—Oxidising metal
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/46—Manufacturing multilayer circuits
- H05K3/4611—Manufacturing multilayer circuits by laminating two or more circuit boards
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Production Of Multi-Layered Print Wiring Board (AREA)
- Chemical Treatment Of Metals (AREA)
- Laminated Bodies (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は様々な金属の黒色酸化層形成液に関し、更に詳
しくは多層印刷回路板製造に４６ける、誘導体に対する
銅の畜着性を増すために特に有効な畑の黒色酸化層形成
に関する。
しくは多層印刷回路板製造に４６ける、誘導体に対する
銅の畜着性を増すために特に有効な畑の黒色酸化層形成
に関する。
多層印刷回路板（ま、実装Ｚ反が冒く、導体が短くてす
み、かつ、信頼性が高い。同時に容量かつ小型である。
み、かつ、信頼性が高い。同時に容量かつ小型である。
このため、多層印刷回路板はよりコンパクトな電気機器
の需要が急速に増加しつつあるこの数年間、ますますそ
の使用が増えてぎた。
の需要が急速に増加しつつあるこの数年間、ますますそ
の使用が増えてぎた。
多層印刷回路板は通常、パターン未印刷の銅の薄１８で
両（１１１１を覆われた絶縁性基招を必要な数、用いて
作成される。普通はポジ型フォトレジストを該銅層上に
塗布し、露光、現像により、該銅層上にレリーフレジス
ト画像を得る。該銅を適当な腐蝕剤により腐蝕すること
で、該レジストの現像により、露出した銅は除去され、
該レジスト層下の銅は、腐蝕剤から保護されるので、こ
の結果、該保設的レジスト層下には銅回路が作成される
。該レジストを除去し、プラスチック層又は部分硬化プ
ラスチック（プレプレグ）を含浸させた繊維材料層を多
重中間層の電導性銅パターン間に配置する。最も外側の
層は、この段階では、腐蝕されておらず、パターン未印
刷の銅層であることが多い。
両（１１１１を覆われた絶縁性基招を必要な数、用いて
作成される。普通はポジ型フォトレジストを該銅層上に
塗布し、露光、現像により、該銅層上にレリーフレジス
ト画像を得る。該銅を適当な腐蝕剤により腐蝕すること
で、該レジストの現像により、露出した銅は除去され、
該レジスト層下の銅は、腐蝕剤から保護されるので、こ
の結果、該保設的レジスト層下には銅回路が作成される
。該レジストを除去し、プラスチック層又は部分硬化プ
ラスチック（プレプレグ）を含浸させた繊維材料層を多
重中間層の電導性銅パターン間に配置する。最も外側の
層は、この段階では、腐蝕されておらず、パターン未印
刷の銅層であることが多い。
この積層制料全体を加熱及び加圧し、多層印刷回路板を
作成する。次に該多層印刷回路板に必要な型の穴を必要
な数だけ開け、最後に本技術において通常用いられろ方
法で、最も外側のパターン未印刷の銅層に、レジスト、
露光、及び腐蝕を適用して成る方法を用いて、電導性パ
ターンを印刷する。該複数の電導層間に必要な電気接続
は、めつき貫通孔を通じてなされる。
作成する。次に該多層印刷回路板に必要な型の穴を必要
な数だけ開け、最後に本技術において通常用いられろ方
法で、最も外側のパターン未印刷の銅層に、レジスト、
露光、及び腐蝕を適用して成る方法を用いて、電導性パ
ターンを印刷する。該複数の電導層間に必要な電気接続
は、めつき貫通孔を通じてなされる。
多層印刷回路板作成法は本技術において公知であり、例
えば米国特許第４０７５７５７号、第４１５０４２１号
、及び第４２１１６０３号を含む多数の出版物に記載さ
れており、更に詳しくは、クームズ著「印刷回路ハンド
ブック」第２版、ニユーヨーク、マノククローヒルフノ
クカンパニー出版（１９７９年）の２０−３〜２３−１
９ページがら成る第６節に記載されて℃・るが、これら
は全て参考文献として本明細病の一部を構成する。
えば米国特許第４０７５７５７号、第４１５０４２１号
、及び第４２１１６０３号を含む多数の出版物に記載さ
れており、更に詳しくは、クームズ著「印刷回路ハンド
ブック」第２版、ニユーヨーク、マノククローヒルフノ
クカンパニー出版（１９７９年）の２０−３〜２３−１
９ページがら成る第６節に記載されて℃・るが、これら
は全て参考文献として本明細病の一部を構成する。
本技術にお℃・て、多層印刷回路板の複数の層は剥離し
やすい傾向があることが知られている。層剥離は、該電
導性銅パターンと該中間に配置された誘電体との間の密
着が不充分である結果生じる場合が多い。これは、該銅
導体が通常平滑であろため該誘電被膜に密着するに充分
な数の定着点又は定着場所がないためである。該誘電体
に対する銅の密着を強めるために、該電導性パターンに
様様な化学処理がなされてきた。このような処理の一例
に該中間層の銅導体を黒色酸化して、その表面を粗くし
、該誘電体に対する銅の密着性を増大させることがある
。黒色酸化法はそれほど目覚しくはないが予想以上の成
功をおさめている。
やすい傾向があることが知られている。層剥離は、該電
導性銅パターンと該中間に配置された誘電体との間の密
着が不充分である結果生じる場合が多い。これは、該銅
導体が通常平滑であろため該誘電被膜に密着するに充分
な数の定着点又は定着場所がないためである。該誘電体
に対する銅の密着を強めるために、該電導性パターンに
様様な化学処理がなされてきた。このような処理の一例
に該中間層の銅導体を黒色酸化して、その表面を粗くし
、該誘電体に対する銅の密着性を増大させることがある
。黒色酸化法はそれほど目覚しくはないが予想以上の成
功をおさめている。
前記米国特許第４０７５７５７号において、錨と誘電体
との密着な強化１−ろため、銅の黒色鍛化物を用いろこ
とには、いくつか間、睨があることが認めら、Ｔｔで２
つ、七のため前記特許においでは、し黒色酸化物の代わ
りに該電導性銅層乞きめの粗い密層性を高めろ金属層で
破損している。この方法は、黒色酸化層よりもビＩｉ倒
、がっコスト高となる。
との密着な強化１−ろため、銅の黒色鍛化物を用いろこ
とには、いくつか間、睨があることが認めら、Ｔｔで２
つ、七のため前記特許においでは、し黒色酸化物の代わ
りに該電導性銅層乞きめの粗い密層性を高めろ金属層で
破損している。この方法は、黒色酸化層よりもビＩｉ倒
、がっコスト高となる。
多層回路板製造におけろ黒色酸化物の使用に伴５不利な
点もまた、本明細舌の１部乞構成するスロミ／スキー、
他による著作、［めっきと表面仕上げＪ １９８２年６
月出りの第５９巻の９６〜９９ページに記載されて（・
ろ。著者の認めるところでは、銅と誘′五体との間の密
着性は、不安定かつ許容レベル以下であることが多い。
点もまた、本明細舌の１部乞構成するスロミ／スキー、
他による著作、［めっきと表面仕上げＪ １９８２年６
月出りの第５９巻の９６〜９９ページに記載されて（・
ろ。著者の認めるところでは、銅と誘′五体との間の密
着性は、不安定かつ許容レベル以下であることが多い。
著者によれば、この密着力の弱さの原因としては該酸化
層が厚すぎ、もろく、機械的に弱く、均質性に欠けるた
めである。著者の指摘するところでは、本技術において
、黒色酸化物被膜の形成に用いる従来の亜塩素酸ナトＩ
Ｊウム浴を稀釈して得たより薄い酸化被膜を用いること
で、この問題を解決しようと試みた人々もいる。しかし
、これらの努力は実らなかった。すなわち、この稀釈浴
を用いて形成する薄い酸化物の性質形状が一定ぜず不安
定であるため、加熱作業中に縮んでしまい、該多層回路
板の層剥離乞またもや引き起こすのである。最後に著者
は該黒色酸化層を最適化するために注意深く制＠された
条件下で噴霧法によりこの黒色酸化吻問題？解決しよう
と努力したことについて述べている。これにより良好な
結果が１１）もれたが、噴霧設備と、処理パラメーター
の注意深い制御が心安であるため、著者に工ろこの試み
はコマーシヤルベースにはのらないと著名は報告してい
ろ。
層が厚すぎ、もろく、機械的に弱く、均質性に欠けるた
めである。著者の指摘するところでは、本技術において
、黒色酸化物被膜の形成に用いる従来の亜塩素酸ナトＩ
Ｊウム浴を稀釈して得たより薄い酸化被膜を用いること
で、この問題を解決しようと試みた人々もいる。しかし
、これらの努力は実らなかった。すなわち、この稀釈浴
を用いて形成する薄い酸化物の性質形状が一定ぜず不安
定であるため、加熱作業中に縮んでしまい、該多層回路
板の層剥離乞またもや引き起こすのである。最後に著者
は該黒色酸化層を最適化するために注意深く制＠された
条件下で噴霧法によりこの黒色酸化吻問題？解決しよう
と努力したことについて述べている。これにより良好な
結果が１１）もれたが、噴霧設備と、処理パラメーター
の注意深い制御が心安であるため、著者に工ろこの試み
はコマーシヤルベースにはのらないと著名は報告してい
ろ。
本発明は、該黒色酸化被膜の様々な特性を調節し、かつ
、銅を８電基体に題着させろ能力を強化するような黒色
酸化被膜形成液用添加物に関する。
、銅を８電基体に題着させろ能力を強化するような黒色
酸化被膜形成液用添加物に関する。
該添加物は、液中に少量溶解する溶解性重合体であり、
より薄くかつ均質性が人である黒色酸化被膜形成を引き
起こす。該被膜は、機械的に稠ｒで強く機械的摩擦２受
けても、本発明の添加物を加えていない溶成から形成さ
れた黒色酸化被膜がそうであるように、ばらばらの粒状
の黒色酸化銅粉末を生ずることはな（゛。
より薄くかつ均質性が人である黒色酸化被膜形成を引き
起こす。該被膜は、機械的に稠ｒで強く機械的摩擦２受
けても、本発明の添加物を加えていない溶成から形成さ
れた黒色酸化被膜がそうであるように、ばらばらの粒状
の黒色酸化銅粉末を生ずることはな（゛。
本発明の黒色酸化液は、従来の方法による多層回路板製
造及び他の用途並びに他の金属に対しても使用されろ。
造及び他の用途並びに他の金属に対しても使用されろ。
鏝１の密ブ音力乞何ｉ化するためにこの黒色酸化処理液
乞川−・ることも′こより、銅導体と誘電層との間に常
に安定したンｉ４足しうろ程文の出着が得られろ。
乞川−・ることも′こより、銅導体と誘電層との間に常
に安定したンｉ４足しうろ程文の出着が得られろ。
本発明の黒色酸化液は、本技術において、銅及びその合
金を黒イヒさせろために従来用いられていろ浴液に、不
発明によろ水Ｒｊ性小中合体添加することで改良を加え
たものである。、本技術の目的に適する先行技術の黒色
に上液は、通常、此迄素ｔｉ、又は、ベルオキシニリン
酸塩のようなペル化合物のような酸化削のアルカリ溶液
より成る。この袖の先行技術溶液の１例は、谷考文献と
して本明細書の２部乞（、〜成する米国特許第２４６０
８９６号において開示されている。このＮ：液は、はぼ
重量比で亜塩素酸１に対し、苛性ソーダ２０割合で、水
１ガロンにつぎ乾燥固体が１〜２ボンド（４５４ｇ〜９
ｏｓ９）の分量を混合して成る。該ｆｉ液は、２００１
’〜２１２下（約９３°Ｃ〜１００℃）の温度で使用す
る。更に改良を加えた溶′液が参考文献として、不明イ
、ｌｌｌ書の１部’ｌ： ＋４１；成する米国特許第２
４３７４４１号において開示されており、この溶液にお
いては、＋ｉｉｌ記の基本的配合１τ〃［１えて亜塩素
酸と水酸化物との全軍量の約０５％〜約：ろチの分Ｊ１
１のホスフェート化合物が添加されろ。この溶液は、前
記引用特許の溶液とほぼ同じ温度で使用ずろが、この黒
色ｆ口上液中に浸漬′ｆる時ｉＨ］は、若干短くＬζろ
。これら２つの特許の教示する所に基さ、不発明の添加
物を加えてよい、ｙ、す、色酸化基礎溶散は々ｆましく
は、下記に示すものである： アルカリ金属亜塩素酸塩 （５−＋； ｕ 、７／ｅア
ルカリ金（〈水酸化物 ５−２０ゾ／ｅトリアルカリ金
属ホスフエート ２２−１ｏ／ｌ水を加えて１１とする
〇 本発明の添加物を加えることにより改良されうろ、黒色
酸化銅形成液の別の配合は、参考文献として不明Ｋ（１
１書の１部乞構成−「る米国特許第３６５７０２３号に
おいて開示されて℃・る。この特許の黒色酸化液は、カ
リウムベルオキ／ニリン酸塩（Ｋ４Ｐ２Ｏ７）のような
ペルオキシニリンｆ設ＺＡ化合物と、水酸化ナトリウム
又は水ｒｊＺ化カジカリウムを混合して成る。有用なペ
ルオキ／ニリン酸塩化合物としてはアンモニウムペルオ
キシニリン酸塩、ベルオキ／ニリンＩｆ２塩のナトリウ
ム、カリウム、及びリチウム塩のようなアルカリ金属ベ
ルオキシニリ７ Ｉ”Ｊ 塩、ベルオキシニリン皺のカ
ルシウム塩及びマグネシウム塩及びこれらの混合物のよ
うなアルカリ土４Ｊｊ金属ベルオキ／ニリン酸塩がある
。こ２ｔらの化合物は通常似粉末混合物として配合され
適量の水に溶けて・銅又は鋼の合金０９表面を真黒（（
黒化１−る効果のある溶７仮に形成する。この種の溶液
は通常、乾燥固体において約７．７チ〜約６６７チのペ
ルオキシニリン酸塩化合物と残りの成分トしては、水酸
化ナトリウム又は水酸化カリウ４とン含有する。これら
の成分を用いて、黒色・酸化水溶液を準備するが、十分
な分量の該乾燥成分な水と混合し、１１につぎ該ペルオ
キシニリン酸塩化合物Ｚ約５〜１２０９と、１１につぎ
約６０〜１２０ｇの水酸化ナトリウム又は水酸化カリウ
ムを含有する黒色酸化液を得る。この黒色酸化液は約１
５（１下〜約２１０下（約６５．５°Ｃ〜９９°Ｃ）、
好ましくは約１６５下〜２０５下（約７４℃〜９６°Ｃ
）の温度で使用する。処理すべき銅又は銅の合金の表１
αｉに４１４足のゆくような黒色酸化被膜乞形成するに
必安な該浴中の浸漬時間は、一般的に大幅に異なるが、
並通は約５〜３０分、又は他の条件次舅でこれより長く
なることもある。
金を黒イヒさせろために従来用いられていろ浴液に、不
発明によろ水Ｒｊ性小中合体添加することで改良を加え
たものである。、本技術の目的に適する先行技術の黒色
に上液は、通常、此迄素ｔｉ、又は、ベルオキシニリン
酸塩のようなペル化合物のような酸化削のアルカリ溶液
より成る。この袖の先行技術溶液の１例は、谷考文献と
して本明細書の２部乞（、〜成する米国特許第２４６０
８９６号において開示されている。このＮ：液は、はぼ
重量比で亜塩素酸１に対し、苛性ソーダ２０割合で、水
１ガロンにつぎ乾燥固体が１〜２ボンド（４５４ｇ〜９
ｏｓ９）の分量を混合して成る。該ｆｉ液は、２００１
’〜２１２下（約９３°Ｃ〜１００℃）の温度で使用す
る。更に改良を加えた溶′液が参考文献として、不明イ
、ｌｌｌ書の１部’ｌ： ＋４１；成する米国特許第２
４３７４４１号において開示されており、この溶液にお
いては、＋ｉｉｌ記の基本的配合１τ〃［１えて亜塩素
酸と水酸化物との全軍量の約０５％〜約：ろチの分Ｊ１
１のホスフェート化合物が添加されろ。この溶液は、前
記引用特許の溶液とほぼ同じ温度で使用ずろが、この黒
色ｆ口上液中に浸漬′ｆる時ｉＨ］は、若干短くＬζろ
。これら２つの特許の教示する所に基さ、不発明の添加
物を加えてよい、ｙ、す、色酸化基礎溶散は々ｆましく
は、下記に示すものである： アルカリ金属亜塩素酸塩 （５−＋； ｕ 、７／ｅア
ルカリ金（〈水酸化物 ５−２０ゾ／ｅトリアルカリ金
属ホスフエート ２２−１ｏ／ｌ水を加えて１１とする
〇 本発明の添加物を加えることにより改良されうろ、黒色
酸化銅形成液の別の配合は、参考文献として不明Ｋ（１
１書の１部乞構成−「る米国特許第３６５７０２３号に
おいて開示されて℃・る。この特許の黒色酸化液は、カ
リウムベルオキ／ニリン酸塩（Ｋ４Ｐ２Ｏ７）のような
ペルオキシニリンｆ設ＺＡ化合物と、水酸化ナトリウム
又は水ｒｊＺ化カジカリウムを混合して成る。有用なペ
ルオキ／ニリン酸塩化合物としてはアンモニウムペルオ
キシニリン酸塩、ベルオキ／ニリンＩｆ２塩のナトリウ
ム、カリウム、及びリチウム塩のようなアルカリ金属ベ
ルオキシニリ７ Ｉ”Ｊ 塩、ベルオキシニリン皺のカ
ルシウム塩及びマグネシウム塩及びこれらの混合物のよ
うなアルカリ土４Ｊｊ金属ベルオキ／ニリン酸塩がある
。こ２ｔらの化合物は通常似粉末混合物として配合され
適量の水に溶けて・銅又は鋼の合金０９表面を真黒（（
黒化１−る効果のある溶７仮に形成する。この種の溶液
は通常、乾燥固体において約７．７チ〜約６６７チのペ
ルオキシニリン酸塩化合物と残りの成分トしては、水酸
化ナトリウム又は水酸化カリウ４とン含有する。これら
の成分を用いて、黒色・酸化水溶液を準備するが、十分
な分量の該乾燥成分な水と混合し、１１につぎ該ペルオ
キシニリン酸塩化合物Ｚ約５〜１２０９と、１１につぎ
約６０〜１２０ｇの水酸化ナトリウム又は水酸化カリウ
ムを含有する黒色酸化液を得る。この黒色酸化液は約１
５（１下〜約２１０下（約６５．５°Ｃ〜９９°Ｃ）、
好ましくは約１６５下〜２０５下（約７４℃〜９６°Ｃ
）の温度で使用する。処理すべき銅又は銅の合金の表１
αｉに４１４足のゆくような黒色酸化被膜乞形成するに
必安な該浴中の浸漬時間は、一般的に大幅に異なるが、
並通は約５〜３０分、又は他の条件次舅でこれより長く
なることもある。
本発明の黒色酸化液は、先行技術の溶液に小′ｊ１１で
あるか有効な、溶液中に溶解又は分散用能石仁合成又（
工天然の〕１【合体ヲ徐加して改良したものである。不
発明において有用な重合体（、（は、セルロースエーテ
ル、種々の澱粉、ポリビニルアルコーノベボリビニルビ
ロリドン及びこれらの共重合体、ベン°ｌ・ン、ゼラチ
ン、ポリアミド、ポリアクリルアミド及びこｉｚらの共
重合体、カゼイノ、アルギン酸ナトリウム等カーある。
あるか有効な、溶液中に溶解又は分散用能石仁合成又（
工天然の〕１【合体ヲ徐加して改良したものである。不
発明において有用な重合体（、（は、セルロースエーテ
ル、種々の澱粉、ポリビニルアルコーノベボリビニルビ
ロリドン及びこれらの共重合体、ベン°ｌ・ン、ゼラチ
ン、ポリアミド、ポリアクリルアミド及びこｉｚらの共
重合体、カゼイノ、アルギン酸ナトリウム等カーある。
該重合体の分子量は臨海的ではないと考えてよく、前記
材料はその種類により液体として使用してもよく、非常
な高分子量の重合体の形で用いてもよ〜・。このような
重合体を該黒色酸化液に添加する値は臨界的ではなく、
数ｐｐｍ （例えばｌｌ当たり０．００２ ｇ ）から
数１１０００ｐｐ （例えばｌｌＫつき約１ｏ、ｏｇ）
までの債が使用でき、小量であればある種の利点があり
、量が多くなつえも有用であるが多すぎると溶液の粘性
が増すので望ましくない。好ましい量は、約３ｐｐｍ（
０，００３，！？／ｌ）から約１００ｐｐｍ（０，１，
！９＃） であるか、最も好ましゝ゛濃度は溶液の約５
〜２０ ｐｐｒｎである。
材料はその種類により液体として使用してもよく、非常
な高分子量の重合体の形で用いてもよ〜・。このような
重合体を該黒色酸化液に添加する値は臨界的ではなく、
数ｐｐｍ （例えばｌｌ当たり０．００２ ｇ ）から
数１１０００ｐｐ （例えばｌｌＫつき約１ｏ、ｏｇ）
までの債が使用でき、小量であればある種の利点があり
、量が多くなつえも有用であるが多すぎると溶液の粘性
が増すので望ましくない。好ましい量は、約３ｐｐｍ（
０，００３，！？／ｌ）から約１００ｐｐｍ（０，１，
！９＃） であるか、最も好ましゝ゛濃度は溶液の約５
〜２０ ｐｐｒｎである。
本発明の黒色酸化液は従来σつ方法で使用する。
銅又は銅合金の物品の表面を該黒化液中に浸漬すろ前に
まず該銅の物品を従来用いられている任意の中性又はア
ルカリ洗浄溶に浸漬した後、酸性浸漬浴に浸すことが望
ましい。このアルカリ水溶液の洗浄浴としては、例えば
トリナトリウムホスフェート、炭酸ナトリウム及び該表
面を濡れやすくするためのアルカリ安定性界１活性剤０
混合液又は、本技術において周知の他の任意の多数のア
ルカリ洗浄化合物の混合液を用いてよい。この洗浄作業
の第２段階に用いろ該酸性浸漬浴は例えば硫酸、硝酸、
硫酸−硝酸光沢浬漬浴、クロム酸光沢浸漬浴等であって
よい。好ましくはアルカリ洗浄段階の後、及び酸性処理
段階の後で、該物品を冷水できれいに洗う。
まず該銅の物品を従来用いられている任意の中性又はア
ルカリ洗浄溶に浸漬した後、酸性浸漬浴に浸すことが望
ましい。このアルカリ水溶液の洗浄浴としては、例えば
トリナトリウムホスフェート、炭酸ナトリウム及び該表
面を濡れやすくするためのアルカリ安定性界１活性剤０
混合液又は、本技術において周知の他の任意の多数のア
ルカリ洗浄化合物の混合液を用いてよい。この洗浄作業
の第２段階に用いろ該酸性浸漬浴は例えば硫酸、硝酸、
硫酸−硝酸光沢浬漬浴、クロム酸光沢浸漬浴等であって
よい。好ましくはアルカリ洗浄段階の後、及び酸性処理
段階の後で、該物品を冷水できれいに洗う。
本発明の銅黒化処理は次の段階から成る：１ 銅又は銅
合金の物品の表面をアルカリ洗浄液で処理する。
合金の物品の表面をアルカリ洗浄液で処理する。
２ 該物品乞冷水ですすぐ。
３ 該物品を酸性浸漬浴に浸す。
４ 該物品ン冷水ですすぐ。
５、こうして洗浄にした該物品の表面を、本発明の熱い
黒化水溶液中に浸漬して黒化する。
黒化水溶液中に浸漬して黒化する。
６、該黒化した物品を冷水ですすいだ後、お湯ですすぐ
０ ８、こうして黒化した物品を乾かす。
０ ８、こうして黒化した物品を乾かす。
該黒化した銅の表面の乾がし方は、本技術において公知
の様々一方法がある。例えば杉物品を約１５０下（約６
６°Ｃ）のＧ度に４家ったトノネル乾燥機中をコンベヤ
ーに載せて通過さぜたり、或いは該黒化した物品をお湯
ですすいた後、周囲条件下で常温で乾かしてもよい。
の様々一方法がある。例えば杉物品を約１５０下（約６
６°Ｃ）のＧ度に４家ったトノネル乾燥機中をコンベヤ
ーに載せて通過さぜたり、或いは該黒化した物品をお湯
ですすいた後、周囲条件下で常温で乾かしてもよい。
本発明は、次の具体例乞参傅、するとよりよく坪ノヂｔ
される： 〔具体例１〕 エポキシをシＦｉ糸で破榎してなる、２イ／チ×、１イ
アｆ （５，Ｏ２０，７ｔｘ １０．１６ｃｍ＋）の寸
法の銅被着層積層板をマサチューセノソ州、ニュートン
の７ノブレーカンパニーインコーボレーテノト（Ｓｈｉ
ｐｌｅｙＣｏｍｐａｎｙ 工ｎｃ、）製のニュートラク
リーン（ｔｉｅ−ｕｔｒａｃｌｅａｎ ） ６８洗浄敵
中に１５０°１〜（約６５．５’Ｃ）で５分間浸漬して
清浄にした。次にこの；ｌＪｒ’！品乞すスキ、ンノブ
レーカンパニーＩｎｃ０ｇｔ９）フ＋） 、エッチ（Ｐ
ｒｅ−ｅｔｃｈ ） ７４８ ）ＩＸ蝕液中に、常温で
５分間浸漬して、シシ蝕した。続（・て該部品乞ずすぎ
、１９５’Ｆ （約９０，５°Ｃ）で５分間下記の黒色
酸化浴に浸漬した： 亜塩素酸ナトリウム ３０９／１ 水酸ナトリウム １０９／１ トリナトリウムホスフエート ５ ｇ／ｌ水を加えて１
１と１−る０ 前記配合液に没債した後、該部品を乾かし、検査した。
される： 〔具体例１〕 エポキシをシＦｉ糸で破榎してなる、２イ／チ×、１イ
アｆ （５，Ｏ２０，７ｔｘ １０．１６ｃｍ＋）の寸
法の銅被着層積層板をマサチューセノソ州、ニュートン
の７ノブレーカンパニーインコーボレーテノト（Ｓｈｉ
ｐｌｅｙＣｏｍｐａｎｙ 工ｎｃ、）製のニュートラク
リーン（ｔｉｅ−ｕｔｒａｃｌｅａｎ ） ６８洗浄敵
中に１５０°１〜（約６５．５’Ｃ）で５分間浸漬して
清浄にした。次にこの；ｌＪｒ’！品乞すスキ、ンノブ
レーカンパニーＩｎｃ０ｇｔ９）フ＋） 、エッチ（Ｐ
ｒｅ−ｅｔｃｈ ） ７４８ ）ＩＸ蝕液中に、常温で
５分間浸漬して、シシ蝕した。続（・て該部品乞ずすぎ
、１９５’Ｆ （約９０，５°Ｃ）で５分間下記の黒色
酸化浴に浸漬した： 亜塩素酸ナトリウム ３０９／１ 水酸ナトリウム １０９／１ トリナトリウムホスフエート ５ ｇ／ｌ水を加えて１
１と１−る０ 前記配合液に没債した後、該部品を乾かし、検査した。
得られた酸化層は茶色から黒色で、比戦的厚かった。こ
の被膜乞透明テープを川−・て、４ル着試験を行った。
の被膜乞透明テープを川−・て、４ル着試験を行った。
テープを該嘔化物の表面に押しっげ、一度で引き剥がし
たところ、該被膜によりテープに茶色から黒色の薄膜が
付着した。更に該被膜を紙で１幾械的に拭（・て試験し
たところ、（ｉｔは非接着性酸化物の黒色粒子で被覆さ
れた。
たところ、該被膜によりテープに茶色から黒色の薄膜が
付着した。更に該被膜を紙で１幾械的に拭（・て試験し
たところ、（ｉｔは非接着性酸化物の黒色粒子で被覆さ
れた。
〔具体例２〕
具体例１の処理を、試液に、５ｐｐｍ のピノール（Ｖ
ｉｎｏｌ）ポリビニルアルコールを添加した１表繰り返
した。ビノールコ１【合体（−Ｌ１エアコケミカルカン
パニー（Ａｉ ｒｃｏ Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｃｏｍｐａ
ｎｙ ） ’Ｅりで、４％水溶液として添加された。調
波λＴ Ｉ’＋’を層板を用いた具体例１の処理を具体
例１で用いた黒色酸化液の代わりに、ピノール重合体を
含有する黒色酸化液を用いて、繰り返した。その結果形
成された酸化被膜をテープと紙で試験したところ、テー
プと紙のいずれ：（も粒子の付着がみもれなかったＯ 〔具体例３〕 ピノール重合体の儂度を１０ｐｐｍに増して、具体例２
の処理を繰返した。結果は同じであった。
ｉｎｏｌ）ポリビニルアルコールを添加した１表繰り返
した。ビノールコ１【合体（−Ｌ１エアコケミカルカン
パニー（Ａｉ ｒｃｏ Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｃｏｍｐａ
ｎｙ ） ’Ｅりで、４％水溶液として添加された。調
波λＴ Ｉ’＋’を層板を用いた具体例１の処理を具体
例１で用いた黒色酸化液の代わりに、ピノール重合体を
含有する黒色酸化液を用いて、繰り返した。その結果形
成された酸化被膜をテープと紙で試験したところ、テー
プと紙のいずれ：（も粒子の付着がみもれなかったＯ 〔具体例３〕 ピノール重合体の儂度を１０ｐｐｍに増して、具体例２
の処理を繰返した。結果は同じであった。
〔具体例４〕
次の配合液を準備した：
カリウムペルオそ／ニリンｐ３ｇＨ４１ｚｏｖ／（３水
酸化カリウム （５０！／／石 水を加えて１石とする。
酸化カリウム （５０！／／石 水を加えて１石とする。
具体例１す処理なＥｉユリ返し、形成された酸化被膜を
試験したところ、テープと紙の両方に、黒色酸化物粒子
の付着がみもれた。
試験したところ、テープと紙の両方に、黒色酸化物粒子
の付着がみもれた。
〔具体例５〕
１０ｐｐｍのピノール重合体（す９体例６で使用した）
を具体例４の配合液に添加１、！Ｉ、体制１の処理を施
した。テープと紙σ八・ずれにイ、黒色酸化物の付着が
みもれなかった。
を具体例４の配合液に添加１、！Ｉ、体制１の処理を施
した。テープと紙σ八・ずれにイ、黒色酸化物の付着が
みもれなかった。
〔具体例６〕
具体例２の処理を、この具体例で使用したピノール重合
体の代わりに、下記の重合体な同州用（・て、繰り返し
てよい： ａ、ハーギュリーズパウグーノノンバニー（ｌｌｅ−ｒ
ｃｕｌｃｓ ＰＩ＋ｗｄｅｒ Ｃｏｍｐａｎｙ） 製の
す゛トロンール（Ｎａｔｒｏｓｏｌ ） ヒドロギ゛７
） チ／ｌ／−１４ルｌ’ｕス ｂ、ＢＡＳＦ”ケミカルズカ／バニー製ルビスコール（
Ｌｕｂｉｓｃｏｌ ） （Ｋ−３０）Ｃ０アノリカノサ
イアナミドコ〜ボレー／フン（Ａｍｅｒｉｃａｎ ５ｙ
ａｎａｒｎｉｄｅ Ｃｏｒｐｏｒａｔｉｏｎ）製サイア
ナ？ −（Ｃｙａｎａｍｅｒ ） −Ｐ −２５０ポリ
アクリルアミド ｄ（１”−キュリーズパウダーカンパニー製しテ７ （
Ｒｅｔｅｎ ）２１０改質ポリアクリルアミドＣ，ジエ
ネラルミルズ製パーサマイト（Ｖｅｒ−ｓａｍｉｄｅ
） １４０ポリアミド ポリビニルアルコールの代わりに１’＋ｉＪ記重合体を
用いた結果は、黒色酸化被膜が得られるが、この鮫膜を
テープと紙で試験し−Ｃも、黒色粉末は付着しないであ
ろう。
体の代わりに、下記の重合体な同州用（・て、繰り返し
てよい： ａ、ハーギュリーズパウグーノノンバニー（ｌｌｅ−ｒ
ｃｕｌｃｓ ＰＩ＋ｗｄｅｒ Ｃｏｍｐａｎｙ） 製の
す゛トロンール（Ｎａｔｒｏｓｏｌ ） ヒドロギ゛７
） チ／ｌ／−１４ルｌ’ｕス ｂ、ＢＡＳＦ”ケミカルズカ／バニー製ルビスコール（
Ｌｕｂｉｓｃｏｌ ） （Ｋ−３０）Ｃ０アノリカノサ
イアナミドコ〜ボレー／フン（Ａｍｅｒｉｃａｎ ５ｙ
ａｎａｒｎｉｄｅ Ｃｏｒｐｏｒａｔｉｏｎ）製サイア
ナ？ −（Ｃｙａｎａｍｅｒ ） −Ｐ −２５０ポリ
アクリルアミド ｄ（１”−キュリーズパウダーカンパニー製しテ７ （
Ｒｅｔｅｎ ）２１０改質ポリアクリルアミドＣ，ジエ
ネラルミルズ製パーサマイト（Ｖｅｒ−ｓａｍｉｄｅ
） １４０ポリアミド ポリビニルアルコールの代わりに１’＋ｉＪ記重合体を
用いた結果は、黒色酸化被膜が得られるが、この鮫膜を
テープと紙で試験し−Ｃも、黒色粉末は付着しないであ
ろう。
＋）ｊＪ記ユ」、体側のうち、具体例２及び具体例３と
が本発明の好ましい具体例である。
が本発明の好ましい具体例である。
本発明の黒色酸化液は１羽に多層回路板の製造に有用で
ある。本発明による適当フ、（処理を下記に示す： 外側層と内側層の位置合ぜをチェックする。
ある。本発明による適当フ、（処理を下記に示す： 外側層と内側層の位置合ぜをチェックする。
２ 銅層つをこすって／１゛ｉ浄にし、酸化物、脂、指
紋等を取り除く。
紋等を取り除く。
３ 銅にフォトレジストを施す。
４ フォトレジストを露ンｔ、現像し、該回路パター７
のネガ型画像に銅を露出、露呈させる。
のネガ型画像に銅を露出、露呈させる。
５ 露出した銅をｌＩｒ５蝕液で溶がし、内側回路パタ
ーンをＪｚ蝕して、該レジストに被覆された部分に銅導
体を残す。
ーンをＪｚ蝕して、該レジストに被覆された部分に銅導
体を残す。
６ 残９たフォトレジストを銅導体ノシターンから取り
除く。
除く。
７ｓ１・■休を渭浄にして、積層の準備をする。
８、具体例３の黒色酸化液を用いて、銅上に黒色酸色抜
化被膜成する。
化被膜成する。
９、ベーキングにより、内側層の準備に使用した水、溶
剤、及び化学物質を除去する。
剤、及び化学物質を除去する。
１０ 位置合せ内ピン穴を切断と押抜きにより開け１３
段階位ｊ脂を準備し、内側層と積重ねて、積層を形成す
る。
段階位ｊ脂を準備し、内側層と積重ねて、積層を形成す
る。
１１、加熱及び加圧して、多層構造を積層し、内側層間
のＢ段階材料を完全硬化Ｃ段階エポキシに変換する。
のＢ段階材料を完全硬化Ｃ段階エポキシに変換する。
１２、更に硬化接着するために積層処理後再びベーキン
グを施す。
グを施す。
１３ ゆつき貫通孔を開け、各層間を積層する。
１４ 露出したガラス繊維端を取り除くための再腐蝕を
含めて貫通孔のぼりを取り清浄にする。。
含めて貫通孔のぼりを取り清浄にする。。
１５、 ＠通孔を増感し、銅の無電めつきを施す。
１６外側の銅表面をフォトレジストを施すために、こす
り洗いをし、フォトレンストを施す。
り洗いをし、フォトレンストを施す。
１７ 夕１側の銅層な被覆するフォトレンストを露光、
現像する。
現像する。
１８ 銅の電）官めつきを施し、貫通孔中の銅の厚みを
増す。
増す。
１９、錫と鉛の合金で電解めっきする。
２０ エツジコネクターめっきのために・回路板をマス
キングする。
キングする。
２１ 錫鉛合金を剥ぎ取り、裸銅を露出させる。
２２、エッジコネクターフィンガーパターンをニツケル
と金の合金できつきする。
と金の合金できつきする。
２３、該錫鉛合金をリフローする。
該内側層の銅導体と、該誘電絶縁層との間の接着は、本
発明の黒色酸化液の使用（８段階）により相当増大し、
層剥離による多層板の不合格はかなり減少する。
発明の黒色酸化液の使用（８段階）により相当増大し、
層剥離による多層板の不合格はかなり減少する。
手 続 補 正 書
昭和５９年７月ｒ日
特許庁長官 志賀 学 殿゛う
１、事件の表示
詔和５９年特許願第１０４４００号
２、発明の名称
黒色酸化物形成液
３、補正をする者
事件との関係 特許出願人
住所
名称 シラプレー・カンパニー・インコーポレーテソト
４、代理人 住 所 東京都千代田区大手町二丁目２番１番遣ｖ（戸
汀’ｃ−ル２０６−控室（Ｎ話 ２７０−６６４１〜６
氏名 Ｃ２７７０）九う［１三「 ５、補正の対象 ６賞実ｇら′） ５９・−５・ 明細書の〔発明の詳細＠ｑ？９欄 ６、、、工。、 ７即“６０−４Ｇ”）７５ （７）・
１）明細書第２ｏ貞第２行の次い下言己を（申４１−る
。
４、代理人 住 所 東京都千代田区大手町二丁目２番１番遣ｖ（戸
汀’ｃ−ル２０６−控室（Ｎ話 ２７０−６６４１〜６
氏名 Ｃ２７７０）九う［１三「 ５、補正の対象 ６賞実ｇら′） ５９・−５・ 明細書の〔発明の詳細＠ｑ？９欄 ６、、、工。、 ７即“６０−４Ｇ”）７５ （７）・
１）明細書第２ｏ貞第２行の次い下言己を（申４１−る
。
「 具体例７
亜塩素酸ナトリウムの儂度を１２ＣＨ１／ｌえ増加させ
、そして水酸化すトリウムの儂ｌｆｆ１ ヲ２０＆／
化増加させることを除いて具体例２０手順を繰返した。
、そして水酸化すトリウムの儂ｌｆｆ１ ヲ２０＆／
化増加させることを除いて具体例２０手順を繰返した。
その結果は具体例１と同じであった。」
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、酸化剤のアルカリ水−＠液より成る、銅又は銅の合
金土に黒色酸化波ｊ模形成液において、水溶性又は水分
散性重合体を前記溶液の処理により形成した黒色酸化銅
層の密度又は強度を増すに充分な量、添加して成ること
を特徴とする改良。 ２、該黒色酸化液が水酸化物と酸化剤としてベル化合物
との水溶液から成ることを特徴とする特許請求の範囲第
１項記載の溶〆帳。 ３ 該ベル化合物がアルカリ金属ペルオキシニリン酸塩
であることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の溶
液。 ４、該黒色酸化液が水酸化物と亜塩素酸塩との水ｆ８液
から成ることを特徴とする、特許請求の範囲第１項記ｉ
ｌ＆の溶液。 ５、該亜塩素酸塩と水酸化物がそれぞれアルカリ金属塩
であることを特徴とする、特許請求の範囲第４項記載の
溶液。 ６、 ホスフェート塩を含有することを特徴とする特許
請求の範囲第５項記載の浴液。 ７、該ホスフェートが、トリアルカリ金属ホスフエート
であることを特徴とする、特許請求の範囲第６項記載の
溶液。 ８、該重合体が、溶液の少なくとも３ｐｐｍの分量で存
在することを特徴とする、特許請求の範囲第５項記載の
方法。 ９、該濃度が溶液の約３ｐｐｍから１１００ｐｐの範囲
であることを特徴とする、特許請求の範囲第８項記載の
溶液。 １０、該濃度が、約５ ｐｐｍから２０ｐｐｍの範囲で
あることを特徴とする、特許請求の範囲第８項項記載の
溶液。 １１、該重合体がセルロースエーテル、澱粉、ポリビニ
ルアルコール、ポリビニルビｒＪ リド／及びこれらの
共重合体、ペゾトン、ゼラグ・ン、ポリアシド、ポリア
クリルアミド、及びこれらの共重合体、カゼイン、及び
アルギン酸ナトリウムの中から選択されることを特徴と
する特許請求の範囲第８項記載の溶液。 １２該重合体が、セルロースエーテルであることを特徴
とする特許請求の範囲第１１項記載の溶液。 １３該重合体がポリビニルアルコールであることを特徴
とする、特許請求の範囲第１１項記載の溶液。 １４、’Ｑｂ重合体が、ポリビニルピロリドンでに、ろ
ことを特徴とする、特許請求の範囲第１１項記載の溶液
。 １５ 該重合体が、ポリアミドであることを特徴とする
特許請求の範囲第１１項記載の溶液０１６ 該重合体が
、ポリアクリルアミドであることを特徴とする特許請求
の範囲第１１ＪＪ′Ｊ記載の溶液。 １７ 亜塩素酸塩のアルカリ水溶液から成る銅又は銅の
合金の黒色酸化被膜形成液において、ポリビニルアルコ
ールを溶液の少なくとも３ ｐｐｍ添加して成ることを
特徴とする改良Ｏ １８トリアルカリ金属ホスフェートを含有することを特
徴とする、特許請求の範囲第１７項記載の溶液。 １９該重合体が、溶液の３ｐｐｍから１００ｐｐｒｎの
分ｌで存在することを特徴とする特許請求の範囲第１７
項記載の溶液。 ２０、該重合体の濃度が、溶液の５ｐｐｍから２０ｐｐ
ｍの範囲であることを特徴とする特許請求の範囲第１９
項記載の溶液。 ２１、加熱及び加圧下で、誘電体に銅を積層する方法に
おいて、前記鋼上に稠密で、もろさのない酸化杉膜を形
成する１（充分な時間、少量の水溶性で分散性の重合体
を含有する。酸化剤のアルカリ水溶液を、該銅に高温下
で、接触させて成ることを特徴とする改良。 ２２、該酸化剤が亜塩素酸塩であることを特徴とする特
許請求の範囲第１１記載の方法０ ２３、該重合体が、ポリビニルアルコールであることを
特徴とする特許請求の範囲第２２項記載の方法。 ２４、該ポリビニルアルコールの濃度が、溶液の３ｐｐ
ｍから１１００ｐｐの範囲であることをｌ［４徴とする
、特許請求の範囲第２３項記載の方法。 ２５ 黒色酸化被膜を形成するように、前記溶液により
、処理された銅樽体で誘電基材を被覆し、これを多数積
み重ねて、多層印刷回路板を形成することを特徴とする
特許請求の範囲第２１項記載の方法。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US49708483A | 1983-05-23 | 1983-05-23 | |
| US497084 | 1983-05-23 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6046375A true JPS6046375A (ja) | 1985-03-13 |
| JPS6312142B2 JPS6312142B2 (ja) | 1988-03-17 |
Family
ID=23975393
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10440084A Granted JPS6046375A (ja) | 1983-05-23 | 1984-05-23 | 黒色酸化物被膜形成用溶液及びその溶液を使用して銅又は銅合金を誘電体に積層させる方法 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6046375A (ja) |
| DE (1) | DE3418359A1 (ja) |
| FR (1) | FR2549088A1 (ja) |
| GB (1) | GB2140827B (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62242531A (ja) * | 1986-04-15 | 1987-10-23 | 東芝ケミカル株式会社 | 銅張積層板の黒化処理方法 |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3239090A1 (de) * | 1982-10-22 | 1984-04-26 | Bayer Ag, 5090 Leverkusen | Schwarz-metallisierte substratoberflaechen |
| US4804575A (en) * | 1987-01-14 | 1989-02-14 | Kollmorgen Corporation | Multilayer printed wiring boards |
| JP3400186B2 (ja) * | 1995-05-01 | 2003-04-28 | 三井金属鉱業株式会社 | 多層プリント配線板およびその製造方法 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5613483A (en) * | 1979-07-14 | 1981-02-09 | Matsushita Electric Works Ltd | Artificial verdigris generating method |
| JPS5723065A (en) * | 1980-07-11 | 1982-02-06 | Sanpo Shindo Kogyo Kk | Preparation of selective absorbing surface of solar energy collector |
| JPS57143479A (en) * | 1981-03-02 | 1982-09-04 | Fujikura Ltd | Formation of insulating oxide film on copper or copper alloy |
Family Cites Families (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US2460896A (en) * | 1944-08-19 | 1949-02-08 | Enthone | Composition for blackening copper and copper alloy surfaces |
| US2460898A (en) * | 1944-11-04 | 1949-02-08 | Enthone | Process and composition for coloring copper and copper alloy surfaces |
| US2437441A (en) * | 1945-02-14 | 1948-03-09 | Associated Chemical Company | Coloring metal surfaces |
| GB856928A (en) * | 1956-02-07 | 1960-12-21 | Lord Mfg Co | Treatment of metal surfaces |
| DE1208972B (de) * | 1956-04-18 | 1966-01-13 | Hughes Aircraft Company, Culver City, Calif. (V. St. A.) | Verfahren zum Verbinden eines eine Kupferoberfläche aufweisenden Metalles mit einer Schicht aus polymeren Fluorkohlenwasserstofien |
| US3530012A (en) * | 1965-12-23 | 1970-09-22 | Rasa Kasei Kk | Method of treating metal surfaces |
| US3657023A (en) * | 1970-05-15 | 1972-04-18 | John J Grunwald | Composition for blackening copper |
| BE789631A (fr) * | 1971-10-05 | 1973-02-01 | Dulux Australia Ltd | Procede perfectionne de formation de revetements de phosphate de zinc cristallin et solutions ameliorees pour former du phosphate de zinc |
| JPS5165041A (en) * | 1974-12-04 | 1976-06-05 | Nippon Packaging Kk | Kinzokuno rinsanenhimakukeiseihoho |
| CA1091914A (en) * | 1976-07-05 | 1980-12-23 | Hideo Kogure | Metal surface treatment liquid and rust preventive paint |
-
1984
- 1984-05-17 DE DE19843418359 patent/DE3418359A1/de not_active Withdrawn
- 1984-05-18 GB GB08412768A patent/GB2140827B/en not_active Expired
- 1984-05-23 JP JP10440084A patent/JPS6046375A/ja active Granted
- 1984-05-23 FR FR8408047A patent/FR2549088A1/fr not_active Withdrawn
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5613483A (en) * | 1979-07-14 | 1981-02-09 | Matsushita Electric Works Ltd | Artificial verdigris generating method |
| JPS5723065A (en) * | 1980-07-11 | 1982-02-06 | Sanpo Shindo Kogyo Kk | Preparation of selective absorbing surface of solar energy collector |
| JPS57143479A (en) * | 1981-03-02 | 1982-09-04 | Fujikura Ltd | Formation of insulating oxide film on copper or copper alloy |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62242531A (ja) * | 1986-04-15 | 1987-10-23 | 東芝ケミカル株式会社 | 銅張積層板の黒化処理方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| GB2140827A (en) | 1984-12-05 |
| JPS6312142B2 (ja) | 1988-03-17 |
| DE3418359A1 (de) | 1984-11-29 |
| FR2549088A1 (ja) | 1985-01-18 |
| GB8412768D0 (en) | 1984-06-27 |
| GB2140827B (en) | 1986-09-10 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4512818A (en) | Solution for formation of black oxide | |
| US4997722A (en) | Composition and method for improving adherence of copper foil to resinous substrates | |
| US4997516A (en) | Method for improving adherence of copper foil to resinous substrates | |
| JPH0713304B2 (ja) | 銅の表面処理法 | |
| JPH08335763A (ja) | 銅コーティング | |
| US4717439A (en) | Process for the treatment of copper oxide in the preparation of printed circuit boards | |
| US4647315A (en) | Copper stainproofing technique | |
| KR900001840B1 (ko) | 기판의 도전회로 형성방법 | |
| JP2721632B2 (ja) | 回路板の銅回路の処理方法 | |
| JPS6046375A (ja) | 黒色酸化物被膜形成用溶液及びその溶液を使用して銅又は銅合金を誘電体に積層させる方法 | |
| TWI630855B (zh) | 積層體之蝕刻方法及使用其之印刷佈線基板之製造方法 | |
| JP3400514B2 (ja) | 回路板の処理方法 | |
| JP2884935B2 (ja) | ニッケル又はニッケル合金のエッチング液及びこのエッチング液を用いる方法並びにこのエッチング液を用いて配線板を製造する方法 | |
| JPS63168077A (ja) | プリント配線板の製造法 | |
| JPH02238942A (ja) | 銅箔と樹脂との密着性向上方法 | |
| JPH06316768A (ja) | フッ素を含有するポリイミド樹脂の無電解めっき方法 | |
| JPH0349932A (ja) | 銅と樹脂の接着方法 | |
| JP2966678B2 (ja) | 金属銅と樹脂の複合体の製造方法 | |
| JPH09321443A (ja) | 多層板の製造方法 | |
| JPH06216520A (ja) | 多層プリント基板の製造方法 | |
| JPH0496293A (ja) | 多層印刷回路用基板の製造法 | |
| JP3367189B2 (ja) | 内層用配線板の銅回路の処理方法 | |
| JPH05206639A (ja) | 回路板の銅回路の処理方法 | |
| JPS61163693A (ja) | プリント配線板の製造方法 | |
| JPS6115980A (ja) | 銅の表面処理法 |