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JPS60247106A - 形状検査装置 - Google Patents

形状検査装置

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Publication number
JPS60247106A
JPS60247106A JP59104249A JP10424984A JPS60247106A JP S60247106 A JPS60247106 A JP S60247106A JP 59104249 A JP59104249 A JP 59104249A JP 10424984 A JP10424984 A JP 10424984A JP S60247106 A JPS60247106 A JP S60247106A
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JP
Japan
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printed circuit
circuit board
light
pins
shape inspection
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JP59104249A
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JPH0310041B2 (ja
Inventor
Moritoshi Ando
護俊 安藤
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Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
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Publication date
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Priority to KR8503078A priority patent/KR900000653B1/ko
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Priority to EP85303515A priority patent/EP0162683B1/en
Priority to DE8585303515T priority patent/DE3576737D1/de
Publication of JPS60247106A publication Critical patent/JPS60247106A/ja
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    • G—PHYSICS
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    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
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    • G—PHYSICS
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  • Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ｆａ）　発明の技術分野 本発明はプリント基板の半田付は検査装置に係り、特に
高密度化され多数のピンを有するＩＣの半田フィレット
検査に好適な形状検査装置に関する。
Ｔｂ）　技術の背景 近年ＩＣは益々高密度化の傾向にあり、それに伴いＩＣ
ピンの数も必然的に増加しＩＣパッケージ側面部だけで
は収容しきれず、ＩＣパッケージの裏面に何列にも配列
されるようになってきた。
またＩＣピンのピッチも細かいため、現状ではプリント
基板との半田付は検査はＩＣパッケージの最外列のＩＣ
ピンについては比較的容易に検査できるが、内部のＩＣ
ピンについては非常に困難でほとんど無検査に近い状況
である。
しかし、これらのプリント基板を使用した装置の信転性
を確保するためには全部のＩＣピンについて検査する必
要があり、ＩＣパンケージの裏面に配列されたＩＣピン
の半田付けの状態を検査できる装置の開発が要望されて
いる。
ｆｉｌ　従来技術と問題点 プリント基板とＩＣピンの半田付けの検査方法として電
気的な短絡、開放の検査は種々の自動機が開発され実用
に供されている。しかし、この方法はあくまでも動作機
能として良否を判定するためのもので、半田のなじみ不
良や半田ひげ等のように電気的な検査方法では合格とな
るが、信頼性上極めて重大な問題を引き起こすおそれの
ある半田付けの外観検査については適用できない。
半田付けの形状検査方法として目視または顕微鏡による
検査方法が一般的である。また複雑な方法ではあるが光
を細いスリットを通して帯状にして半田付けされた面に
照射し、その光の形状より半田フィレットの形状を調べ
る光切断法もある。
しかし、いずれの方法も光をＩＣピンの半田付は部に照
射し、その反射光を見るためにＩＣの集積度の低い時は
検査可能であるが、集積度の高いＩＣでは奥の列のＩＣ
ピンについては適用できないという欠点があった。
ｆｄｌ　発明の目的 本発明は上記従来の欠点に鑑み、プリント基板に搭載さ
れた高集積度ｒｃパンケージ裏面の奥深い個所の半田付
は状態を検査できる装置の提供を目的とする。
＋ｅｌ　発明の構成 上記本発明の目的は、ＩＣパッケージとプリント基板の
間隙が非常に狭く、かつ奥深い箇所のＩＣピンの半田付
は状態の検査に際して、ＩＣの搭載されたプリント基板
の裏面側より半透明のプリント基板を通して、ＩＣパン
ケージとプリント基板の狭い間隙が均一に照明できる照
明装置と、ＩＣパッケージとプリント基板の間隙よりＩ
Ｃピンを検査できるようＩＣパンケージ側面に近接して
ＩＣピンからの光を上方に直角に曲げるために設置され
た反射プリズムと、該反射プリズムの上部に長焦点深度
を有する顕微鏡とにより構成されて成ることを特徴とす
る形状検査装置により達成される。
すなわち本発明においては、従来のようにＩＣパッケー
ジとプリント基板の狭い間隙を側面より光の照射する方
法では、前列のＩＣピンが邪魔をして奥の列のＩＣピン
には光が到達しないので、プリント基板が光に対して半
透明なのを利用してプリント基板の裏面側より光を照射
することによりＩＣパンケージの下側も照明でき、それ
を長焦点深度を有する光学系で結像すれば５列程度（５
鶴程度）のＩＣピンを同時に焦点を結ばせ検査すること
ができる。
ｆｆ）　発明の実施例 以下本発明の一実施例について図を参照して詳細に説明
する。
第１図は本発明による一実施例の形状検査装置の構造を
示す要部側面図である。ＩＣパンケージ１の搭載された
プリント基板２を支持する中央部が創り貫かれたプリン
ト基板支持台３の下方に、前記プリント基板２の裏面に
光を照射するための照明装置４が設置されている。また
、前記プリント基板２上にはプリント基板２に搭載され
たＩＣパンケージ１の側面に近接して反射プリズム５が
設置されている。さらに該反射プリズム５の上方には長
焦点深度を有する顕微鏡６が設置されている。
次に、本発明の形状検査装置の動作原理について説明す
る。ＩＣパンケージ１の搭載されたプリント基板２の裏
面に照明装置４から光を照射すると、プリント基板２は
主として素材がガラスエポキシ樹脂のため光に対して半
透明であり、プリント基板内部で照射光を拡散させるが
一部の光は透過させる。このためＬＣパンケージの下部
の検査すべきＩＣピンの半田付は部分はプリント基板か
らの拡散光で均一に照明される。
プリント基板２とＩＣパッケージ１の間隙は略１龍で、
その狭い間隙よりＩＣピンの半田付は部１１を検査する
ために、ＩＣパッケージ１の側面に近接して設置された
反射プリズム５により光を上方に直角に曲げて、長焦点
深度を有する顕微鏡６に′より検査する。この顕微鏡６
は対物レンズ１２の後方に小なる絞り１３を入れること
により実現できる。
第２図は本発明の形状検査装置でプリント基板２に半田
付けされたＩＣピンの半田付は部１１の形状検査の結果
を示す。この装置では、ＩＣピンのピンチ１．２ＨのＩ
Ｃで最外列より第５列のピンまで同時に焦点をあわせて
検査が可能である。また、プリント基板部分が拡散面と
して光るため、該プリント基板と半田フィレットの境界
が明瞭に観察できる。
本実施例では直接顕微鏡で検査する方法について述べた
が、第３図のごとく顕微鏡の代わりに対物レンズ１２．
絞り１３．レンズ１５で構成される長焦点深度を有する
光学系にＴＶカメラ１４を接続してＴＶモニターで検査
する方法や拡大投影器等で検査する方法も可能である。
（ｇｌ　発明の効果 以上詳細に説明したように本発明によれば、プリント基
板裏面側からの照明と長焦点深度を有する光学系の組合
せで、ＩＣパッケージの奥深くにあるＩＣピンの半田フ
ィレットの形状検査が確実にでき、ＩＣの搭載されたプ
リント基板の信頼性が著しく向上できるといった効果が
ある。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の一実施例の形状検査装置の構造を示す
側面図、第２図は半田付けされたｒｃピンの状態を示す
図、第３図はＴＶカメラを接続した他の実施例の光学系
を示す図である。 図において、１はＩＣパッケージ、２はプリント基板、
３はプリント基板支持台、４は照明装置、５は反射プリ
ズム、６は顕微鏡、１１はＩＣビンの半田付は部、１２
は対物レンズ、１３ば絞り、１４ばＴＶカメラ、１５は
レンズである。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. プリント基板に半田付けされたＩＣピンの半田フィレッ
    ト形状検査装置において、ＩＣの搭載されたプリント基
    板の裏面側より該プリント基板に光を照射する照明装置
    を具備し、ＩＣパッケージ側面に近接してＩＣパンケー
    ジとプリント基板の間隙より出てくるＩＣピンの半田フ
    ィレット部の光を直角に上方に曲げるために設置された
    反射プリズムおよび該反射プリズムの上方に長焦点深度
    を有する光学系より構成されて成ることを特徴とする形
    状検査装置。
JP59104249A 1984-05-22 1984-05-22 形状検査装置 Granted JPS60247106A (ja)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP59104249A JPS60247106A (ja) 1984-05-22 1984-05-22 形状検査装置
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JP59104249A JPS60247106A (ja) 1984-05-22 1984-05-22 形状検査装置

Publications (2)

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JPS60247106A true JPS60247106A (ja) 1985-12-06
JPH0310041B2 JPH0310041B2 (ja) 1991-02-12

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US (1) US4686565A (ja)
EP (1) EP0162683B1 (ja)
JP (1) JPS60247106A (ja)
KR (1) KR900000653B1 (ja)
DE (1) DE3576737D1 (ja)

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