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JPS6021614A - 音叉型水晶振動子の支持構造 - Google Patents

音叉型水晶振動子の支持構造

Info

Publication number
JPS6021614A
JPS6021614A JP13048283A JP13048283A JPS6021614A JP S6021614 A JPS6021614 A JP S6021614A JP 13048283 A JP13048283 A JP 13048283A JP 13048283 A JP13048283 A JP 13048283A JP S6021614 A JPS6021614 A JP S6021614A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
tuning fork
base
lead
type crystal
vibrator
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP13048283A
Other languages
English (en)
Inventor
Kunihiro Takahashi
邦博 高橋
Nobuyoshi Matsuyama
松山 信義
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Seiko Instruments Inc
Original Assignee
Seiko Instruments Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Seiko Instruments Inc filed Critical Seiko Instruments Inc
Priority to JP13048283A priority Critical patent/JPS6021614A/ja
Publication of JPS6021614A publication Critical patent/JPS6021614A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
    • H03H9/02Details
    • H03H9/05Holders or supports
    • H03H9/0504Holders or supports for bulk acoustic wave devices
    • H03H9/0514Holders or supports for bulk acoustic wave devices consisting of mounting pads or bumps
    • H03H9/0519Holders or supports for bulk acoustic wave devices consisting of mounting pads or bumps for cantilever

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Acoustics & Sound (AREA)
  • Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本発明は基部に凹部のある音叉型水晶振動子の支持構造
に関するものである。
〈従来技術〉 近年、捩れ振動をする音叉型水晶振動子が注目されてい
る。その理由は、同じ音叉型水晶振動子において屈曲振
動をさせた時の)61波数よりも捩れ振動の周波数が高
く、又、厚みすべり振11flを利用するAT水晶等の
周波数よりも低い周波数が得られるためである。
又、屈曲振動と捩れ振動の弾性結合を利用して、年差数
秒等の高精度腕時計用水晶振動子を得ようとする試みも
なされている。
換れ振動単独であるにせよ、屈曲振動と捩れ振動の弾性
結合を利用する場合であるにせよ、音叉型水晶振動子が
捩れ振動を利用している限り、その基部における振動変
位は非常に大きい。音叉+hi+先端の振動子の厚み方
向変位が捩れ振動の最大変位であるが、その変位の大き
さを1とした時の基部端における振動変位は約10″2
の値である。一方、屈曲振動の最大変位は音叉腕先端の
振動子の幅方向変位であるが、その値を1としだ時の基
部端における振動変位は約118〜10−4の値である
。この事から、如何に音叉型水晶振動子における捩れ振
動の基部端における振動変位が大きいかが分る。
第1図、2J2図、第6図は音叉型水晶振動子の平面図
を表わしている。音叉型水晶振動子の基部とは、音叉型
水晶振動子の内、2本の音叉腕を除いた部分を―°う、
捩れ振動をする音叉型水晶振動子の基部において、最も
大きい変位成分は振動子の厚み方向変位である。第1図
、第2図、第3図に示す6つの形状の基部端である直#
+lAE、CD。
liF上における捩れ振動の振動子厚み方向変位Uを第
4図に示す。この結果は有限袂素法のh舞により得られ
たものである。但し、第4図の結果は捩れ振動が捩れの
基本振動を行っている場合の特性を示している。捩れの
高次振動を利用する場合も、第4図の結果とAi4 i
4的には多少異なるが、定性的にはほぼ同等の結果が得
られる。第4図におハて、41は直線AB上、42は直
線CD上、43け直線EF上における変位をそれぞれ示
している。第4図から明らかなように、第1図に示す形
状を持つ音叉型水晶振動子の場合、基部に凹部を設けな
いと、基部端の幅方向端部で、即ち点Aと点B付近で振
動変位の大きいあおり振動を行う。
この基部端におけるあおり振動は、捩れ振動をする音叉
型水晶振動子にとって特有のものである。
ところが、第2図あるいは第3図の様に基部に凹部を設
けると、基部端における変位の絶対値は小さくなり、し
かもあおり振動も消失する。
音叉型水晶揚動子を基部において支持する場合、基部に
おける変位が大きいと、支持材を通して振動子の振動エ
ネルギーが漏れる振動モレの現象が生ずる。振動モレが
大きいと、安定な周波数温度特性や周波数エージング特
性が得られない欠点を持つ。この様に、捩れ振動を利用
する音叉型水晶振動子の基部に凹部を設け、その四部よ
りも基部端側で支持すると、振11リモレの少ない、即
ち安定な周波数温度特性や周波数エージング特性が得ら
れる特徴を持っている。
ところで、第2図あるいは第3図に示す様な基部に四部
を設けた音叉型水晶振動子は、第1図に示す基部に凹部
のない形状に比較し、耐衝撃性に弱い性質を持っている
。即ち基部に凹部を設けた音叉型水晶振動子の耐衝撃特
性を強くするには、振動子以外の適切な条件を見つけな
ければならない。
〈発明の目的〉 本発明は、耐@撃特性に弱い基部に凹部を設けた音叉型
水晶振動子の耐衝撃特性を改善し、落下による衝撃に振
動子が折れない支持構造を提供することを目的としたも
のである。
〈実施例〉 以下、本発明の詳細な説明する。
第5図は、音叉ノ(す水晶振動子が容器に封入された状
態を示す側面図である。51は音叉型水晶振動子、52
は電気的リードを兼ねた支持材、56はプラグ、54は
容器を表わしている。Dは容器の直径、LCは容器の全
長である。現在の腕時計用水晶振動子の容器は、Dが1
.5〜2.0 +++m、 TJが5〜6間の大きさが
主流である。この容器に音叉型水晶振動子を封入する場
合、振動子の全長は4唄以下が望ましい。父、フォトリ
ソグラフィを利用して音叉型水晶振動子を作製する場合
、振動子の厚みが厚いと水晶をエツチングするのに非常
に時間がかかり、量産性に不向きである。このため振動
子の厚みは100μm以]′:である事が望ましい。振
動子の厚みが薄く、シかも基部に凹部が設けられた音叉
型水晶振動子は、衝撃に対し非常に折れ易い欠点を持っ
ている。
基部に凹部が設けられた音叉型水晶撮動子が落下衝撃に
よシ折れる場合、その折れる箇所を第6図と第7図に示
す。第6図は基部端に、第7図は基部の中間の位置に凹
部が設けられた音叉型水晶振動子を示している。61と
71はせ父型水晶振動子、62と72は電気的リードを
兼ねた支持材破線65,64,65,75,74.75
は衝撃によシ折れる箇所をそれぞれ示している。63と
75はリードと水晶の接触箇所の内、最も音叉腕先端に
近い箇所から折れる事を示している。64と74は基部
に設けだ凹部から折れる事を示し−Cいる。65と15
は、音叉腕のつけ根であ為叉部から折れる事を示してい
る。腕のつけ根である叉部から折れる場合と基部におい
て折れる場合とでは、衝撃による折れの構格は異なる。
落下仙j撃によシ振動子が折れる機構を、第8図と第9
図において考えてみる。第8図は基部端に四部が設けら
れている廿叉型水晶振動子が容器に封入されている状態
を示す側面図であシ、第9図はその平面図でりる。81
,91は音叉型水晶振動子、82.92は叉部、83は
基部における四部の始′まりの位置、84と95は電気
的リードを基ねた支持材、85と94はプラグ、86と
95は容器を表わしている。振動子が最も折れ易い、即
ち、]辰励動に加わる衝撃力が最も大きい落下の方向は
、第8図においては矢印87の方向に、第9図に二(、
−いてはへ面に垂直方向に落ちた場合である。落下して
衝撃を受けた瞬間、音叉腕先端はまず慣性から、矢印8
8の方向へたわむ。その時、リードの振動子との接触箇
所の内、音叉腕先端に最も近い箇所89及び凹部の始ま
る箇所83.96に強い上向きの衝撃力が働らく。この
結果、第6図に示す破線65,64.第7図に示す破線
73゜74の箇所で折れる。このリードから振動子に伝
わシ衝撃力は、衝撃によるリード84と93のたわみが
小さい程強い。リードのたわみが大きければ、リードか
ら振動子に伝わる衝撃力は弱まり、第6図に示す破、i
泉63や64あるいは第7図に示す破線75や74に沿
った折れは生じない。
第10図は、衝撃によりリードがたわむ様子を示したリ
ードに支持された音叉型水晶振動子の側面図である。1
01け音叉す水晶振動子、102は又部、103は基部
に設けた凹部の始壕る箇所、104は電気的リードを兼
ねた支持材、105はプラグを表わしている。第10図
においてδ、Lは、衝はによるリードのたわみヲ表わし
ている。δLは、振動子の基部端とプラグ1田のリード
の長さをAL、リードの厚みをtr、リードのヤング率
をEとするとほぼ次式で表わすことができる。
δI、=4 L’ / (K t L” )この様に、
振動子の衝撃力を弱めるためには、リードの祠質が一定
の時には、リードの長−さtLを長くするか、リードの
厚むtを薄くすれば良い。
リードは、現在一般にヤング率Eが14000に9/、
Jのコバールが使われている。厚みが200μm以上の
コバールで支持した基部に四部のある音叉型水晶振動子
を、コンクリート板上11nから路下させた時、第6図
に示す破線63,64,73゜74等で折れることが分
った。これは、リードの厚みを200μm以上にすると
衝撃によるリードのたわみが小さくなり、拘馨時にリー
ドから振動子に加わる衝撃力が非常に大きくなるためで
ある。
振動子の厚みが100μm以下になれば、衝撃によるリ
ードから振動子如伝わる衝撃力は同じでも耐衝撃性は弱
くなる。
一方、リードから振動子に伝わる衝撃力を弱めるために
は、衝撃時のリードのたわみδLを大きくする必要があ
る。そのためには、リードの厚みを小さくし、し7かも
振動子の基部端とプラグの距離t1を長くすれば良い。
故に、リードの厚みは200μm以下にし、LLも長く
すれば良い。ところで、衝撃により IJ−ドがたわむ
結果、振動子も静止状態の位置から変位する。衝撃によ
る音叉腕先端の静止位置からの変位δRを第10図に示
す。このδRがあまり大きいと、音叉腕先端は容器の内
壁に衝突し、叉部に大きな#i撃力が加わる。
この結果、音叉型水晶振動子は第6図の65及び第7図
の75で示す破線において折れる。
このため、前述した如く振動子が基部で折れないために
衝撃時にリードはある程度たわまなければならないが、
・)反対に、振動子が叉部で折れない庭めにはリードは
たわみすぎても困るのである。
衝撃によりリードがたわみすぎないためには、振動子の
基部端とプラグの間の距離をある値より小さくする必要
がある。基部に凹部のある長さ4咽、厚み50μmの音
叉型水晶振動子を100μm厚のコバール製リードで支
持し、かつ直径2咽の容器に封入して、コンクIJ −
ト板上1mから落下実験を行なった。その結果、振子の
基部端とプラグの間の距離LLが500μm以上になる
と、衝撃により音叉腕先端は容器にぶつかり、叉部が折
れることが分った。
第11図は、本発明の音叉型水晶振動子の実施例を示し
ている。111は基部に凹部を設けた音叉型水晶振動子
、112は電気的リードを兼ねた支持材、113はプラ
グをそれぞれ示している。
音叉型水晶振動子の基部の同一平面上を電気的リードを
兼ねた支持材112が2本で支那している。
iK叉散型水晶振動子全長りは4■以下であり、厚みは
100μm以下である。リード112のヤング率は10
000〜15000にり/−の値を持ち、リードの厚み
は200μm以下である。振動子の基部端とプラグの間
の距離LLは500μm以下である。ヤング率が100
00〜15000に47 mAの範囲にある値を持つ時
、上述の議論はほぼ適用できる。又、本発明の具体的な
実施例を以下に示す。
第11図において、音叉型水晶振動子の全長りは3.3
 mm、音叉腕の長さZaは1調、基部の長さzbは2
.3 m+n、四部の長さtCil″i0.6間、振動
子の最大幅Wは1調、基部の凹部の切りこみ量Wは0、
2 am、振動子の厚臥は約5571 mである。IJ
−ドのヤング率は約14000に4’/−のコバール、
リードの厚みは125%m、振動子の基部端とプラグの
間の距離は300μmである。この本発明の基部に凹部
のある音叉型水晶振動子の支持構造は、耐衝撃に非常に
優れ、コンクリート板上1mから落下させても折れるこ
とはなく、シかも落下前後の振動子の周波数シフトも非
常に少ない。
ところで、第11図に示す基部に設けた四部の切り込み
量Wがあまり大きいと、リードの条件だけでは衝撃に強
い構造にならない。2ケ所の切り込み量の和2Wが振動
子の最大幅Wの半分以下であることが望ましい。即ち、
本発明の音叉型水晶振動子は次式の関係を満たす必要が
ある。
2 w / W ≦05 この条件は、第5図に示す形状、即ち、基部の基部端で
なく、基部の中間の位置に凹部を設けた音叉型水晶振動
子にもあてはまる。
〈発明の効果〉 以上詳細に説明した様に、本発明の音叉型水晶振動子の
支持構造は耐衝撃性に優れ、しかも振動子の特性を安定
に保つ優れた特徴を持っている。
【図面の簡単な説明】
第1図、第2図、第3図は音叉型水晶振動子の平面図、
第4図は、第1図、第2図、第3図に示す形状の音叉型
水晶振動子が捩れ振動をする時の基部端における振動子
の厚み方向変位を示すグラフ、第5図は、音叉型水晶振
動子が容器に封入された状態を示す側面図、第6図と第
7図は、基部に凹部を設けた音叉型水晶振動子が衝撃に
よシ折れる箇Iツ「を示した音叉型水晶撮動子の平面図
、第8図は基部端に凹部のある音叉型水晶振動子が容ト
器に刺入されている状態を示す側面図、第9図は基部外
1に凹部のある音叉型水晶振動子が容器に封入されてい
る状態を示す平面図、第101dは、衝撃によりリード
がたわむ様子を示した音叉型水晶振動子の側面図、第1
1図は、本発明の実施例を示す音叉型水晶振動子の支持
構造の平面図である。 111、・・・音叉型水晶振動子 112・・・リード 113・・・プラグ L ・・・振動子の全長 W ・・・凹部の切り込み量 tL ・・・振動子の基部端とプラグの間のリードの距
離 以 上 第2図 第3 +=<+ E F −〉チ重り子の基割り嘉の位置 第5図 第6図 第7図 第8図 第9図 第H口

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)全長が4論以下で、振動子の厚みが100μm以
    下の基部に凹部が設けられた音叉型水晶振動子を、その
    基部の同一平面上において、ヤング率が10000〜1
    5000に9/叫2の範囲にある値を持つ電気的リード
    を兼ねた2本の支持材で振動子を支持するとともに、基
    部端とプラグの間隔は400μm以下で、かつリードの
    厚みは200μm以下であることを特徴とする音叉型水
    晶振動子の支持構造。
  2. (2)基部に設けた凹部の切り込み量Wが、振動子の最
    大幅Wに対し、2w/W≦0.5の条件を満たすことを
    特徴とする特許請求の範囲第1項記載の音叉型水晶振動
    子の支持構造。
JP13048283A 1983-07-18 1983-07-18 音叉型水晶振動子の支持構造 Pending JPS6021614A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP13048283A JPS6021614A (ja) 1983-07-18 1983-07-18 音叉型水晶振動子の支持構造

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JP13048283A JPS6021614A (ja) 1983-07-18 1983-07-18 音叉型水晶振動子の支持構造

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JPS6021614A true JPS6021614A (ja) 1985-02-04

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ID=15035306

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9319022B2 (en) 2012-07-26 2016-04-19 Seiko Epson Corporation Resonator element, resonator, oscillator, and electronic apparatus
US10181836B2 (en) 2012-12-19 2019-01-15 Seiko Epson Corporation Resonator element, resonator, oscillator, electronic device, and moving object

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9319022B2 (en) 2012-07-26 2016-04-19 Seiko Epson Corporation Resonator element, resonator, oscillator, and electronic apparatus
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