JPS60141463A - 研磨用部品 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、金属及び硬個フ０ラスチンク等の研磨機に関
し、史に訃しくは、光学的表面精度を必要とするビデオ
ディスク用ニッケルスタンバ−〇研磨や、特に非球面プ
ラスチックレンズ成形用金型のレンズ転写面の研磨や、
非球面プラスチックレンズそのものの光字研磨な行うた
めの研Ｆｆｈ機用部品に関するものである。

従来光学研磨では、ガラスのレンズやプリズムの他層か
古くから行われてきている。しかし乍らこれらの研磨は
いずれも平面及び球面の研磨に限って行われている。

光学の分訪では、非球面の研磨をどうやって行うかとい
うことが、その測定法の確立が期待されているのと同様
に久しく望まれている。非球面の光学面によって、たと
えば球面収差の補正が簡窪１に行える等、そのメリット
は極めて大きなものがあり、又新らしい光学技術の応用
が考えられるからである。

史に最゛近になって、プラスチックの光学的な利用範囲
が広がり、例えばカメラの撮影用レンズに非球面のプラ
スチックレンズを使用したり、ビデオディスク、コンピ
ュータ用メモリーディスク等に硬旬のプラスチックが使
用されはじめており、それらを製造するために、新らし
い光学仙腸技術の確立が望まれている。

この様な分野での研磨の実情は、例えば非球面プラスチ
ックレンズ成形用金型や、ディスク成形用金型の場合、
高い精度が要求されればされる程、機械研磨が難しくな
り、高度の研磨技術を有した熟練工が手作業で研磨をし
、それ故仕上がる迄に長時間を要し、非能率な上に極め
てコストの高いものになっている。

一方、ここ数年来、工作機械の加工精度が飛躍的に高め
られたものが開発されてきて、超精密機Ｉｉ＆加工と吋
′ばれる分野が登場してきた。超鞘密機械加工とは、例
えば加工品の形状粘度を６μｍ以下の誤差に抑えること
を指す。このような高精度のＨ％　４Ｊρ加工が実用化
されてきた理由として、第１に空＠、　ｎｌ＋受や静圧
油軸受等の超精密軸受が実用化されてきたこと、第２に
位置や寸法、形状等の測定にレーず干渉計が使われるよ
うになってきたこと、第３に加工に使用するバイトや砥
石の月質として、４１結晶ダイヤモンドバイトや焼結ダ
イヤモンド砥石、或はタイヤモンドに次いで硬いとされ
るボラ・グン（や方晶窒化はう素）製の切削・研削用工
具が開発されてきたこと等が挙げられる。

こうした？ｉｉオ＾留加工機械により、金属やプラスデ
ック等の累月を高い寸法精度や形状精度を有する製品に
加工することができる。そうして、もし光学的な表面精
度が必要であれば、その加工面を僅かに数μｍの厚さだ
け研磨することによって、必要な光学面にすることがで
きる。・ しかし乍らこのような研磨は、平面や球面に関してであ
れば、前述したようにガラスのレンズやプリズムの研磨
技術の応用により、機械研磨を行うことができるが、非
球面や複雑な形状であることの多い金型面の研磨に関し
ては、手作業によるしかないのが実情である。手作業に
よる研磨でも、１部にハンディな研磨機が使われている
が、例えば広く大きなワークの上で、小さな研肛治具を
直線往復運動（振動）させたり、回転運動させたりしな
がら、ワークの全面にわたって高精度の光学面に仕上げ
をしていくのは、極めて困難で熟練を要する仕事である
。

初て、研磨のメカニズムについては、学問的に今だに未
解決の部分が多く、ガラスレンズ等の研磨においても、
現在も尚多くの研究がなされている。金属やプラスチッ
クの研肝作用の解析についても、まだこれから勢力的に
なされなければならない分野である。

本発明者は、精密機械加工面の微小部分の除去研磨につ
いて、長年研究してきた結果、研磨のメカニズムについ
である程度の解析をすることができた。微小部分除去研
磨では主に次の４つの作用が匍１くものど渚えられる。

（１）削り取る作用 （２）押しつぷず作用 （３）溶ｔ￥１１させる作用 （４）再結合の作用 以上４つの作用は被研磨面の材質によって大きく異なる
。例えば（４）の再結合の作用は、プラスチックでは働
かず、同じ金属でも非晶質にくらべ結晶組織を持つもの
に強（作用し、特に結晶粒界において効果の七るしいこ
とがわかった。又（３）の溶融させる作用は、金属より
もプラスチックの研磨の時に孝るしいこともわかった。

細動作業においては、研磨治具とワークの研磨面との間
に研爪１羽と研胆・液とを介在させるが、この時、研磨
治具と研磨拐と研磨面の６者に、それぞれ昇った相対的
な慮・動を与える必要のあることかわかった。史に硬さ
の異なる結晶組織が共存する場合、一般的な細胞作業で
は、結晶粒界において微小な凹凸がみられる、いわゆる
ミカン肌（オレンジビール）を％生じゃすいが、研磨治
具に適当な圧力を加えることによって、たとえそのよう
な共晶多相構造の金属であっても、ミカン肌を発生させ
ることなく超鏡面が得られることを発見した。

更に重要なことは、本発明が対象としている微小研磨作
業において、前述の６渚に与える相対運動と研磨治具に
与える圧力との間に、新らしい関係を見い出したことで
ある。

即ち従来は、自動研磨を考える場合、研磨効率を上げる
ために、研り治具に与える圧力を高くして、相対運動も
できるだけ大きくするという方法がとられてきた。この
場合研磨治具と研磨材と研磨面の６者がフリーな状態に
おかれることが少なく、殆んど研磨治具と研磨材とがし
っかり固定されている。つまり砥石、サンドに一パー、
ＷＩ［＋ベルト、研磨布等で研磨する方法である。

このような研磨方法では、研磨効率は上げることができ
るが、精密研磨は難しく、佃磨面の形状精度が狂ってし
まい、光学的価値が失われてしまう。文面そのものにも
無数の細かな傷が発生して面の和らさということからも
、光学的に使用するＫは限界のあるものとなる。

本発明者は、微小研磨を詳細に検討した結果、研磨治具
と研か？利と研磨面とはそれぞれ接触しながらもフリー
な状す、目にしておいて、しかも尚、研磨ｎ１シーけω
１磨拐をある程度は捕捉し、又ある程度は自由な状伸に
しておいた土で、研ル（治具に一定の１力を加犬乍ら、
トヒ較的ゆっくりした速度で６者間に相対的な平行移動
の運動を与え、ると、極めて伐れた研ル１が行えること
を見い出したのである。

ろ名聞の連動によって、研磨面は枠く僅かずつ平たんに
なっていく。そうして研磨材は？ｉ７Ｆ磨面との〒４１
１突、或は研ト旧同志の衝突によって、少しずつ小さく
崩壊してゆく。そのことで更に研磨５１１はイたんＩ／
Ｃなってゆく。ワークの面を全体にわたって均一にω１
磨するには、研珀・治具を面全体に均一に移動させれは
よいのである。

このような研磨で、相対的な移動速度を早くすると、研
馴簡に深い傷が発生しやすいばかりでなく、仙Ｋｖｃよ
る取り代が瑞るしく多くなり、研磨面の形状が狂ってし
まう。又深い傷の集積はミカン肌を呈し、最終的な光学
面を刊ることができなくなることがわかった。以上のよ
うな研究結果から、本発明者は以下に述べろように、微
小部分の除去に適した精密研磨機の完成に成功したので
ある。

本発明による研磨機によれば、プラスチックや金属の加
工品の面を、平面や球面のみならず、非球面でもコニカ
ル面でも、或は馬の鞍のような複雑な立体曲面でも、一
定の形状及び寸法範囲内のものであれば、高精度の光学
面に仕上げることができる。

本発明の概略を述べると、独自に開発した回転ユニバー
サルヘッドのヘッドプレートに適切な形状で且つ適切な
材質の研磨治具を数個けて他層を行う。すなわち円盤状
のヘッドプレートはそれ自身と、押えのプレート、及び
ドライブシャフトとそれに固定する２枚のガイドプレー
ト、更にガイドプレートにはさまれたガイドボールと、
該ガイドポールとヘッドプレートとを連結するガイドシ
ヤフトとによって、回転ユニバーサルヘッドを構成１−
ろ。モータ等による回転力は、メインシャフトから、ド
ライブシャフトに伝えられ、ドライブシャフトからガイ
ドプレート、ガイドプレートからガイドシャフトに伝え
られる。ガイドシャフトによりヘッドプレートに伝えら
れた力で研磨治具が回転して、ωｆＭ作業が行われるの
である。

かかる役割によるユニバーサルヘラドラ用いることによ
り、適切な形状の研磨治具をワークの研磨面に常に平行
になるように接触させて研磨を行うことができるのであ
る。

研磨面の傾斜に対してはユニバーサル機構が働く。しか
じ本ルン計によるユニバーザル機構の傾斜面追従性は、
回転数がは’ｆ　６０　ＯＲＰＭ程度迄である。本発明
による研磨速度は、金属の場合でも３　［Ｉ　Ｑ　ＲＰ
Ｍ以下であるから、傾斜面での回転追従性は十二分に余
裕がある。更にワークの研磨面の高低の変化に対しては
、メインシャフトとドライブシャフトの中空状の端部の
嵌合部分がスライドすることにより、対応することがで
きる。又研磨圧力の調整は、２つのシャフトの中壁状の
部分に、適当な圧縮バネを挿入することにより対処でき
るが、より精密に研磨圧力の調整を行う場合には、メイ
ンシャフトもしくは回転駆動の原動機の側に空気圧又は
油圧の圧力調整機能をもたせればよい。

本設側のユニバーザル機構のメインシャフト軸に対する
ヘッドプレートの振れ角度は、最大２５゜以内である。

このためメインシャフト軸を垂直方向に対し８０°以内
の角度で振らすようにすれば、曲率が非常に小さい場合
を除き、殆んど如何なる立体曲面に対しても、研磨治具
は研磨面に対し正しく接触して研磨を行うことができる
。

更にワークの研磨面全体にわたって均等な研磨を行うた
めに、本発明ではワークを置く載物台を極めてゆっくり
回転させ乍ら、水平方向に任意に移動できるように工夫
した。そしてワークの形状によっては、回転載物台を回
転させないで水平移動させるだけでも、優れた鏡面研磨
ができるようにした。しかしながら、研磨の取り代（研
摩代）が１０μｍ’ｌこえて太き（なると、ワークの回
転及び水平移動の運動だけでは、研磨面に微妙な不均一
性がザわれることかわかった。これを防ぐためＫは、研
磨治具が散りつけであるユニバーサルヘッドの方にも、
ワークの水平移動及び回転の連動とは全く無関係な、水
平移動の運動（殆んど１方向だけでよい）を与えてやれ
ばよいことがわかった。

以下図面により、本発明の詳細な説明する。

第１　図は、メインシャフトとユニバーサルヘッドの断
面を示したものである。図で１のメインシャフトの上の
方の細くなった端部を、回転用スクロールチャック等で
招待して、回転力をメインシャフトに与えるのである。

この部分の長さを適当に長くしておくと、ワークの高さ
に応じてユニバーザルヘッドの高さを、調整できるから
都合がよい。２はドライブシャフトであって、下端が球
状に、上端か中空状に作ってあり、上端をメインシャフ
トの下端の中空状の部分に差し込んである。

ドライブシャフトの中１８ｊにはスプラインが切ってお
って、その球状側には、５のガイドブ０レートをドライ
ブシャフトに固定するだめの、フランジが設けである。

スプラインには、メインシャフトの下端に固定したがイ
ドシュー８の爪が嵌合していて、このためドライブシャ
フトはメインシャフトから抜けることなく、スプライン
の長さの分だけ上下にスライドできるのである。そして
この爪とスプラインとの嵌合により、回転力がメインシ
ャフトからドライブシャフトに伝えられるのである。

ドライブシャフトが上下にスライドできるためにメイン
シャフトの中空状の部分の長さは、メインシャフトとド
ライブシャフトが嵌合している部分の長さに加えて、ド
ライブシャフトのスプラインの長さより、数センチメー
トル長くしておく。こうすることにより、研磨圧力を高
くするための圧縮バネを、メインシャフトとドライブシ
ャフトの中空状の部分に挿入したとしても、スライドス
トロークに十分な余裕を持たせることができる。メイン
シャフトとドライブシャフトの嵌め合い公差を小さく押
えることができれば、２つのシャフトの中空状の部分の
空気がバネの役目をして、デラスチツク研厨１のように
、研磨圧力を低くしたい時には、用材：・バネが不快で
ある。

３はドライブシャフトの球状部分をはさむだめの押えの
プレート、４は同じ役目を持ち又研磨治具を取りつける
ための、ヘッドプレートである。両者とも円盤状で、そ
の中心部分の半球状空間でドライブシャフトの球状部分
をはさんで、数ケ所をビスとナツトでとめである。但し
押えのフ０レートσ）力は、中心の半球状空間も、後述
するその周辺のカイトシャフト用半球状窒間も、その１
部分は各シャフトを辿−まため欠けた状態にしである。

かくて２枚のプレートは、ドライブシャフトの球状部分
からし」ずねろことなく自由に回転し、且つドライブシ
ャフトの軸に対し１定の角度節回で、どの方向にもｋｌ
斜することができるのである。押えのプレート及びヘッ
ドプレートの中心から１定の距離のところＫけ２個以上
（４飼料度迄）の球状空１ｕ」かあって、この部分には
円柱状でその１端が球状のガイドシャフト６０球状の部
分をはさみこむ。そしてガイドシャフトの円柱状の部分
は、前述したドライブシャフトのフランジに取り付けた
２枚のがイドプレート５にはさまれて、中心に１通孔な
有し且つ自由に回転するがイドボール７の、該貫通孔に
、図に示したようにガイドボールからはずれないような
十分な長さをもって貫通せしめる。

かくして、ヘッドプレート４はドライブシャフトの輝１
に対し１定の傾斜角を維持したま＼、回転を続けること
ができる。

即ちヘッドプレートに取りつけた研磨治具が適切な形状
であれば、研磨治具の研磨作業に携わる面は、ワークの
研磨面に正しく接して回転運動ができるのである。ヘッ
ドプレートがドライブシャフトの軸に対し傾斜した状態
で回転する詩には、ガイドシャフトは、ガイドボールの
貫通孔を軸方向にスライドしつつ、而してガイドボール
はミソスリ運動をしながら、ガイドシャフトに回転カケ
伝えるのである。

第１図の９は圧縮バネの案内ピン４である。又１０のネ
ジ穴は、研磨治具乞取りつけるための止めネジ用σ）も
のである。

＆Ｌ　２　ａ図、第２ｂ図と、卯、６図と第４図とにつ
いて説明−Ｊ−れば、本発明の全体像が理解できる筈で
ある。

〜ろ２ａ図、第２ｂ図の１１は、ワークを置く回転載物
台である。載物台の下の主軸は、軸受箱１２内のスラス
ト及びラジアル軸受に嵌め込んである。又主軸には載物
台を回転させるために、チェノスプロケットが取りつけ
である。主軸の４１ｈ受箱の片隅には、小型で高トルク
、且つ低速回転のモータ２３が取り付けてあって、この
モータの主軸ニ嵌めたもう１つのチェンスデロケットｉ
先の載物台の主軸に嵌めたスプロケットとを駆動用チェ
ノ２４で結んで、回転力を載物台に与えるようにしてい
る。

載物台の主軸の軸受箱には、載物台を水平に固定し、且
つ該載物台を左右に水平移動させるための移動軸１３及
び１３′が貫通させである。このうち１３′の軸にはネ
ジが切ってあって、このネジ１１？：＆’工、１個のナ
ツトを嵌め、該ナツトを載物台主軸の軸受箱に固定する
。而し七、軸１３′の駆動用モータ１４を正逆回転させ
ることにより、回゛転載物台ケ左右に移動させることが
できるのである。

第２ａ図は、載物台を中心に上から見た概略図、第２ｂ
図は横から見た概略図である。第２ａ図により、載物台
の主軸の軸受箱乞面接ささえる２本の軸、すなわち１３
及び１３′の配置がどうなっているかよくわかる。

勿論、以上の説明における支えと移動用の軸、すなわち
１３と１３′とが、本発明において図解したものの方式
が唯一で且つ本質的なものであるということではない。

本発明のこの部分の骨子は、回転載物台に水平な移動を
行わせるということであって、１３及び１３′に相当す
るものが、摺動軸受でお′つて、駆動を行うのがチェノ
方式であっても、ピニオンギアとラックギアとによる方
式であっても何等差し障りはない。このことは以後の説
明に関しても同様である。すなわち、例えば回転載物台
を前後に動かすことや、特許請求の範囲記載の第１項の
研ト用部品ケ、上下左右に動かすことに関しても、本説
明で図解する方法が唯一本俤的なものということではな
く、支えと移動を行うこと自体が、どのような方法によ
るものであろうと、本質的なことなのである。更に本発
明における必要条件は、特許請求の範囲記載の第１項の
研磨用部品が常に使用されているということである。

さて、第２図において回転載物台を前後に動かすために
、１３及び１３′の２軸の両端を支え、且つ固定するた
めの２つの可動軸受１５を、更に２本の前後移動用軸１
６及び１６′で支えている。

そして１６′の軸にはネジを切り、このネジに嵌めたナ
ツトを軸１６′側の可動軸受１５に固定しである。面し
て軸１６′駆動用モータ１７を正逆回転させることによ
り、回転載物台を前後に移動させることができる。

かくして載物台を回転させ乍ら、左右及び前後に動かす
事ができるのである。

仙腸作業に際しては、研磨治具の研磨面に対する存在時
間が、研磨面の全面にわたって均等になるように、例え
ばタイマーによって制御したり、コンピュータ制御によ
り第２ａ図、第２ｂ図のモータ１４と１７を駆動させれ
ばよいのである。

第２ａ図、第２ｂ図の１８は、研磨機全体のべしスであ
偽第弱＆瓜・研磨機を横から見たところを便宜上、主要
部についてのみ概略的に示したものである。

回転載物台の運動に関しては既に述べたので殆んど省略
しである。

第４図は第６図に示した研磨機を上から見たところを概
略で示したもので、第２図及び第６図の研磨機のペース
１８は省略しである。

第６図、第４図で１９は、特許請求の範囲記載の第１項
の研磨用部品に回転運動を与えるためのモータで、これ
はハンガービン２０によりスライダ２１に吊り下げられ
ている。２２はモータ１９の回転速度を制御するための
減速機で、これに付属したスクロールチャック２５に研
磨用部品のメインシャフトを把持せしめるのである。研
ｉ用部品のメインシャフト１に、第６図で判るように研
磨治具２６乞取りつげて、載物台２７に設置したワーク
を研Ｍ１−るのである。第６図では、研磨用部品のメイ
ンシャフト１がはｙ垂直になるようにセットしてあって
、ワークの研磨面の傾斜に対しては、研磨用部品のユニ
バーサル機構が働いているところを示している。

スライダー２１において、バンカービン２０を把持する
ための装置は垂直面内で回転できるようになっていて、
ハンガービンを任意の角度のところで、振れ止めビン２
８で止めることができるようにしである。こうすること
により、研磨用部品のユニバーサル機構の動作範囲を、
実質的に大きくすることができる。

ハンガービンの振れ機構については、パルスモータ等乞
使うことにより、研磨中であっても自動的にハンガービ
ンの角度、即ち研磨用部品のメインシャフトの」ト直情
に対する角度を任意に変えることができる。

そうすれば研磨用部品のユニバーサル機構の能力を大幅
に広げることができ、既に述べたように、曲率が非常に
小さい場合を除き、殆んど如何なる立体曲面に対しても
、研磨治具２６を常に正しく接触させて研磨作業を行う
ことができる。

スライダ２１は、スライダ駆動用モータ２９により、ス
ライダ移動用軸３０の上ケ左右に動かすことができる。

更にこのスライダ移動用軸３００両端の軸受３１及び３
１′は、これを支える４本の支柱３２及び３２’（３２
“）によって必要な高さのところに、スライダ移動用軸
３０が水平になるように支えられている。更に又この４
本の支柱３２及び３２’　（３２’　）は、研磨機ベー
ス１８上に置かれた２本の前後用摺動軸３３及び３３′
に嵌合せしめた前後用軸受３４及び３４′上に垂直に固
定されている。

スライダ移動用軸３０と前後用摺動軸３３及び３３′と
は直交させである。

４本の支柱３２及び３２’　（３２’　）のうちの３２
′には、その上部およそ２分の１の長さにわたってネジ
が切ってあり、上下用モータ３５によってこの支柱を正
逆回転させることにより、該支柱のネジ部に嵌めて且つ
スライダ移動用軸３００軸受３１′に固定したナツトの
動きによって、スライダ移動用軸３０’Ｙ水平に保った
ま＼上下に動か−［ことができる。すなわち、結果的に
研磨用部品を」−下ｒ（動かＪ−ことができるのである
。

又前後用軸受３４及び３４′は、移動用モータ３６によ
って、前後用摺動軸上３３及び３３′上を前後に移動さ
せることができる。これらの機構により総合的にみて、
結果として研磨用部品χ任意の商さで任意の位（翰に、
且つその回転軸すなわちメインシャフトを任意の角度に
配償することができる。

更に実際の製作に関しいくつかの要点を述べると次のよ
うになる。

第１図でメインシャフト１及びドライブシャフト２０拐
質は硬くて丈夫な工具鋼を使用した方がよい。

又ガイドシュー８、ガイドボール１、ヘッドプレート４
等は真ちゅう又は砲金等の比較的軟質で且つ摺ｖＡ特性
に恢れた拐質のものが適している。

第２図で回転載物台１１は、頑丈に作る必要がある。又
載物台の平面性も大切である。載物台下部の主軸も丈夫
に作ることが大切である。第６図、第４図で大切なこと
は、１つはスライダ２１が、研磨作業中にぐらつかない
ように、全体を頑丈に且つ精度よく作っておくことであ
る。

もつとも本発明による研肺作業では、研磨機全体に要す
る動力は極めて少なく、大型の金型の研磨に際してもせ
いぜい５００Ｗ程度であるから、そのことを考慮して制
作すれば十分である。

ハンガーピン２０の材雀は、工具鋼が適してい２つは、
前後用摺動の動作ストロークは短かくてよいということ
である。このことは研磨作業の技術的要因に由るもので
あるが、およそ２０〜４０期のストロークを考えておく
と十分である。

６つは、衆知のことであるが、４本の支柱３２及び３２
’（３２’）′？：使用して、これをガイドに上下に移
動させる機構については、軸受３１及び３１′において
、該支柱にスライドするガイド穴が精確且つ頑丈に作ら
れていなければ１例えばスライダがスライダ移動用軸上
偏った位置にあって軸に対し偏荷重をかけたりした場合
に、ブレーキのような働きをして、上下にうまく動かな
くなってしまうことである。

これを粒けるには、支柱にスライドするガイド穴の長さ
を長くするとか、大力式にしないでたとえばアリシア方
式でスライＰさせる等を工夫するとよいのである。

以下実施例について述べる。

実施例１ 第１図の研磨用部品の大きさを全体の高さで２００ｍ／
ＩＴ１とした。又ヘツｒプレートの直径を８０Ｔｎ／　
とじた。（第１図は実寸である）研磨機のペース′１−
なわち第２ａ図、第２ｂ図もしくは第６図、第４図にお
ける１８を６００　”４Ｘ　４５０　”／　とした。ω
１磨機の高さを全体として６５０ｍ／とした。第２ａ図
、第２ｂ図における、ｍ 載物台回転ホ動用モータの出力は５．３Ｗ、回転数で研
磨用部品を回転させろためのモータ１９の出力は３０Ｗ
で可変、回転方向は右回り、即ち研磨治具と研磨面とは
対面して逆方向に回るようにした。その他の各移動及び
摺動を行うための駆動モータは全て出力３０Ｗで、減速
機で最高１５　［］　ＲＰＭの可変とした。

載物台はステンレスで作り、台の厚さヲ２０１′′ｌ／
Ｑとした。又研磨作業の移動、摺動及び研磨用部品のメ
インシャフトの振り、すなわち第６図、第４図のスライ
ダ２１に組み込まれた止めネジ２８によって振り角度ケ
設定する＠構に対する制御方式は、ワークの形状及び研
磨面に要求されろ件部に従い、タイマとリミットスイッ
チによる方法、マイクロコンピュータ−を使用してゾロ
／１゛ラム：＋７トロールする方法のいずれでも対応で
きるようにした。実際には、極めて複雑な金型の研磨作
業においてのみプログラムコントロールが適し、他の殆
んどの研磨作業では、タイマとリミットスイッチによる
方法の方が簡単で且つ作業性もすぐれていムこンがｈカ
）つた。

ビデオディスク用の金型を本研磨轡を用いて、ダイヤモ
ンドコンパウンド研磨材により、、４６６００゜／ｆ１
．２００、／１６１．８１］０．　扁３，０００．１６
８．０口Ｏ（イ１］シ数字は砥粒のＮＢＳ　％ＴＪ、格
に応じたコンパウンドメーカの呼び番号）の順で研磨し
た。

従来の手作業では、およそ１週間の研磨時間が必要で、
面相らさ平均０．０５μｍ、形状精度０．２μｍ（およ
そ中ろ５Ｄに対し）であったが、本研磨枦によると１０
時間で、面粗らさ平均０．００５　ｔｔｍ、形状都度０
．０５　μｍとなった。

実施例２ 上記の研ａ機を用いビデオディスク用スタンパ−〇）専
面を研ｇ１・した。椙ηはニッケルでありスタンパ−の
厚さは上でよそ２００μｍでおる。実施例１と同じよう
に力゛イヤモン′ドフンパウンドでガ祇６００〜／Ｔ６
８．０００迄６時間で研磨した。研磨式はおよそ２０μ
ｍ１研磨後の面の平均相らさは０．０１７ｚｎ＋、最犬
村１らさ０．２６μｍであった。

手作業による何層では、およそ５日間を要し、オレンジ
ピールの発生が避けられなかった。

実施例６ 上記の研磨機を用い、曲率およそ１２０ｍ／ｍ口径４０
１／のレンズ成形用金型の入子の凹面研ｕ　？　行った
。ダイヤモンＰコンパウンドヲ扁１４．０００迄使用し
て研磨した結果は、ニュートンフリンジテストでＮ＝１
、面相らさの最大値０．００５μｍであった。手作業に
よる研磨では、およそ４日間の時間でＮ；４程度が限度
であり、たが、本研磨では８時間で上記の研磨ができて
、しかも複数イ固の研磨に対し全て同じ程度の成果を得
ろことができた。

実施例４ 上記の研磨機を用いて、口径およそ１５０ｍ／ｍ、最大
肉厚およそ６５ｍ／の架橋ポリメチルメタクリレート製
の、ビデオプロジェクション投影用非球面レンズを研磨
した。

研磨材には、特殊なりリーム状酸化セリュウムを用いて
、超精密機械加工によるダイヤモンドバイト面を、はソ
１５分で光学面に研磨仕上げをし、従ってレンズ１個当
たりおよそ３０分で研磨を終えて、所定の成果が得られ
た。

この４４％合、ｍｌ用部品のメインシャフトとドライフ
シャフトの嵌合部には、スフ０リンゲを用イナかった。

ヌ本研暦槻によれば、上記のような材質のワークに対し
ては、’６ｆｆ　ｌｊｒ時間を２０分以上かけると、形
状精ｔ−Ｃに狂いが生じ易いことが判った。

実施例５ 上ｔ１】σ）他層機の研磨機用部品のユニバーサル機樺
レートの［」径が４０罰のものを用いて、架橋ポリメチ
ルメタクリ１／−ト製の口径４　ｍｍの非球面レンズケ
台）１都した。このレンズによりＨθ−Ｎｅレーデのイ
９１光光線を４μｍ直径のスポット強度に絞ることがで
きた。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の研磨用部品の断面図、第２ａ図、第２
ｂ図は本発明の研磨機用部品に関する部分を、研磨用部
品とその周辺装置とを除いて、第２ａ図は平面図、第２
ｂ図は側面図、枦６図は本発明の主要部の側面図で、第
４図はその平面図である。 １・・・・・・メインシャフト ４・・・・・・ヘッドプレート １１・・・・・・載物台 ２６・・・・・・研磨治具 ２Ｔ・・・・・・ワーク 代理人　浅　村　皓 手続補正群（自発） 昭和５９年２月７θ口 特許庁長官殿 １、事件の表示 昭和５８年１’Ｊ＃’ＦＩゾ１第２４６６８２　号２、
発明の名称 研　磨　用　部　品 ３、補正をする者 ＄１′１との関係　持１：′１出願人 （１，所 氏　名 、２．１９　株式会社光エネルギ応用研究所４、代理人 ５、補１１命令のＦ１イ］ 昭和　年　月　１１ ６、補止により増加する発明の数 ７、捕ｉ１Ｅの対象 明細書の発明の詳細な説明の欄 図面 ８、　ｈｌｉ正の内容　別紙のとおり （１）　明細書第２０頁第２０行の「載物台２７」を「
載物台１１」に訂正する。 （２）　同第２１頁第１行の「ワーク」を「ワーク２７
」に訂正する。 （３）　同第２７頁第９行の「中６５０」を［直径ろ５
０ｆｉＪに訂正する。 （４）　図面の第３図を添付図面の朱書の如く訂正する
。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 （１）　スクロールチャック等の回転用把持具に把持さ
   せるための、１端が中空状のメインシャフトを有し５．
   、ｔｅ中を部には、１端が中空で他端が球状で且つその
   中間部分には、１定の長さのスプラインが切ってあり、
   スプラインの球状側の端にはフランジを有するドライブ
   シャフトの中空の側を差し込み、且つドライブシャフト
   のスプラインの溝部には、該７７＋＋部と嵌合する爪を
   持つガイ−シューを差し込んで、該ガイ−シューは、ド
   ライブシャフトかメインシャフトから抜けたり、勝手に
   回転しないようにメインシャフトの中突状の端部に固定
   してあって、 史に該１ライプシヤフトの球状部を、その中心部分に該
   球状部に相応する半球状空間部を有する円盤状の２枚の
   板、即ち押えのプレートとヘッドプレートではさみ、数
   ケ所をビスとナツトでとめてあって、且つ該２枚のプレ
   ートの中心の球状空間部から１定の距離には、２個以上
   のガイドシャフト用球状空間、即ち各プレート毎に半球
   状の空間部があって、ここには１端が球状を楢するがイ
   ドシャフトの球状部をセットし、該ガイドシャフトの円
   柱状の他端は、ドライブシャフトのフランジに同定した
   ２枚の円盤状のガイドプレートにはさまれて、どの方向
   にも回転自由なガイドポールの中心部に貫通せしめた穴
   を貫通してセットしてあり、而して該ガイドボールのガ
   イドプレートニおける位置は、前述の押えのデ１ノート
   もしくはヘッドプレートのガイドシャフト用球状空間の
   位置−に４１１応しており、かくしてメインシャフトの
   回転により、ヘッドプレートの面かメインシャフトの軸
   に対し、１定角度の範囲内で水平面に対し１定の角度を
   保ったま＼回転可能な様にして成る、研磨用部品。 （２、特許請求の範囲第１項記載の研磨用部品において
   １定の距離に設置した被研磨物を置く回転載物台が、回
   転しながら水平面内で移動できるようにして成る研磨棲
   用部品。 （３）　特許請求の範囲第１項記載の研磨用部品に於て
   前記メインシャフト軸を垂直方向に対し８０゜以内の角
   度で振らずことができて、且つ水平及び垂直方向に移動
   できるようにして成る研磨用部品。