JPS60137717A - 洗浄用搬送装置 - Google Patents
洗浄用搬送装置Info
- Publication number
- JPS60137717A JPS60137717A JP24337983A JP24337983A JPS60137717A JP S60137717 A JPS60137717 A JP S60137717A JP 24337983 A JP24337983 A JP 24337983A JP 24337983 A JP24337983 A JP 24337983A JP S60137717 A JPS60137717 A JP S60137717A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- purifying
- carrier
- base
- arm
- tub
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000000746 purification Methods 0.000 title abstract 3
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims description 26
- 239000007788 liquid Substances 0.000 abstract description 3
- 239000007921 spray Substances 0.000 abstract 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 10
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 5
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 5
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 3
- 239000000725 suspension Substances 0.000 description 3
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 2
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 2
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 2
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 2
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67017—Apparatus for fluid treatment
- H01L21/67028—Apparatus for fluid treatment for cleaning followed by drying, rinsing, stripping, blasting or the like
- H01L21/6704—Apparatus for fluid treatment for cleaning followed by drying, rinsing, stripping, blasting or the like for wet cleaning or washing
- H01L21/67057—Apparatus for fluid treatment for cleaning followed by drying, rinsing, stripping, blasting or the like for wet cleaning or washing with the semiconductor substrates being dipped in baths or vessels
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Cleaning In General (AREA)
- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は、ウェハー等を自動的に洗浄する装置におけ
る搬送装置に関するものである。
る搬送装置に関するものである。
ウェハー等の自動洗浄装置は、第１図に示すように洗浄
槽ａが複数個並設され、ウェハー等を収納したキャリア
ｂが吊持機構Ｃを介して回動アームｄの先端部に取付け
られ、この回動アームｄの駆動軸θはカバーｆの内側に
設けられた移動テーブル（図示せず）に取付けられて前
記洗浄槽ａに沿って水゛１′方向にスライドする構成と
なっている。
槽ａが複数個並設され、ウェハー等を収納したキャリア
ｂが吊持機構Ｃを介して回動アームｄの先端部に取付け
られ、この回動アームｄの駆動軸θはカバーｆの内側に
設けられた移動テーブル（図示せず）に取付けられて前
記洗浄槽ａに沿って水゛１′方向にスライドする構成と
なっている。
そして、移動テーブルによって所定位置に移動させると
共に、前記回動アームｄを回動させてキャリアｂを洗浄
槽ａに浸漬し、薬品による洗浄後ＦＴび回動アームを先
とは逆方向に回動させてキャリアｂを洗浄槽ａから引き
上げ、この一連の動作を繰り返しながら複数個の洗浄槽
ａにて順次洗浄するようになっている。
共に、前記回動アームｄを回動させてキャリアｂを洗浄
槽ａに浸漬し、薬品による洗浄後ＦＴび回動アームを先
とは逆方向に回動させてキャリアｂを洗浄槽ａから引き
上げ、この一連の動作を繰り返しながら複数個の洗浄槽
ａにて順次洗浄するようになっている。
この場合、前記カバーｆにスリット孔ｇを設けて前記駆
動軸ｅがスライドできるように形成し、かつ洗浄槽ａ内
の薬液やガスが飛散してカバーｆの内部に浸入しないよ
うに駆動軸ｅと共に移動する帯状のシール部材りで常時
スリット孔ｇを閉塞するようにしている。
動軸ｅがスライドできるように形成し、かつ洗浄槽ａ内
の薬液やガスが飛散してカバーｆの内部に浸入しないよ
うに駆動軸ｅと共に移動する帯状のシール部材りで常時
スリット孔ｇを閉塞するようにしている。
しかしながら、前記各洗浄槽ａに対するキャリアｂの出
し入れが回動アームｄの回転運動によるためキャリアｂ
に遠心力が作用し、しかもギヤリアｂの回転角度が大き
いだめ付着した薬液やガスが飛散しやすく、スリット孔
ｇとシール部材りとの僅かな隙間からカバーｆ内に浸入
し、或いはカバーｆの前面側周辺に付着して腐食の原因
となっていた。
し入れが回動アームｄの回転運動によるためキャリアｂ
に遠心力が作用し、しかもギヤリアｂの回転角度が大き
いだめ付着した薬液やガスが飛散しやすく、スリット孔
ｇとシール部材りとの僅かな隙間からカバーｆ内に浸入
し、或いはカバーｆの前面側周辺に付着して腐食の原因
となっていた。
本発明ｉ＋１、このような従来の不都合を除去するため
になされ、キャリアの円弧運動を小さく抑えて洗浄時の
薬液やガスの飛散を防止できるように１７た６″、作用
搬送装置を提供することを目的とする。
になされ、キャリアの円弧運動を小さく抑えて洗浄時の
薬液やガスの飛散を防止できるように１７た６″、作用
搬送装置を提供することを目的とする。
この日的冗おいて、本発明は複数個並設された／、に浄
槽に沿って水平移動するベースに上下方向に移Ｉ仙する
テーブルを設け、このテーブルにキャリアを吊持する回
動アームの駆動軸を取付けた構成を９旨とするものであ
る。
槽に沿って水平移動するベースに上下方向に移Ｉ仙する
テーブルを設け、このテーブルにキャリアを吊持する回
動アームの駆動軸を取付けた構成を９旨とするものであ
る。
以下、図示の実施例により本発明を具体的に説明すると
、１辷ｔカバー内に設けられたベースであり、下面側に
設けられだローラ２でガイドレール３を１夾フトイマ１
けるようにして、このガイドレール３に沿って水平移動
できるようになっている。４はベースＩＶこ固定された
駆動用モータであり、その回転１Ｉ１１１１にピニオン
５が取付けられ、このピニオン＆：Ｌ 前記ガイドレー
ル３に沿って設けられたラック６に噛合しており、この
ラックとピニオンによってベース１を所定１移動させる
ことができる。７は前記ベース１の上部に取付けられた
門型のフレームであり、中央部にねじ棒８が正逆回転自
在に取付けられ、このねじ棒の一ヒ端部にはスプロケッ
ト９が設けられ、とのスプロケットはベース１の側部に
固定された駆動用モータ１０のスプロケット１１トチェ
ーン１２で巻回されている。１３は前記ねじ棒８の両側
に設けられたがイドバーであり、上端部がフレーム７に
それぞれ固定されている。Ｍ Ｉｒ、、Ｊ：上面の中央
にハウジング１５が、両側にシリンダ１６がそれぞれ取
付けられたテーブルであり、ハウジング１５は前記ねじ
棒８に螺挿され、シリンダ１６は前記ガイドバー１３に
それぞれ摺動可能に嵌合しており、前記モータ１０を駆
動させると、前記フレーム７内をテーブル１４が上下動
するように外っている。１７はハウジング１５に取付け
られた駆動軸であり、この駆動軸は前記従来例と同様に
力・ぐ−のスリット孔を通して前面側に突出し、キャリ
アを吊持した回動アームを取付けるようｒなっている。
、１辷ｔカバー内に設けられたベースであり、下面側に
設けられだローラ２でガイドレール３を１夾フトイマ１
けるようにして、このガイドレール３に沿って水平移動
できるようになっている。４はベースＩＶこ固定された
駆動用モータであり、その回転１Ｉ１１１１にピニオン
５が取付けられ、このピニオン＆：Ｌ 前記ガイドレー
ル３に沿って設けられたラック６に噛合しており、この
ラックとピニオンによってベース１を所定１移動させる
ことができる。７は前記ベース１の上部に取付けられた
門型のフレームであり、中央部にねじ棒８が正逆回転自
在に取付けられ、このねじ棒の一ヒ端部にはスプロケッ
ト９が設けられ、とのスプロケットはベース１の側部に
固定された駆動用モータ１０のスプロケット１１トチェ
ーン１２で巻回されている。１３は前記ねじ棒８の両側
に設けられたがイドバーであり、上端部がフレーム７に
それぞれ固定されている。Ｍ Ｉｒ、、Ｊ：上面の中央
にハウジング１５が、両側にシリンダ１６がそれぞれ取
付けられたテーブルであり、ハウジング１５は前記ねじ
棒８に螺挿され、シリンダ１６は前記ガイドバー１３に
それぞれ摺動可能に嵌合しており、前記モータ１０を駆
動させると、前記フレーム７内をテーブル１４が上下動
するように外っている。１７はハウジング１５に取付け
られた駆動軸であり、この駆動軸は前記従来例と同様に
力・ぐ−のスリット孔を通して前面側に突出し、キャリ
アを吊持した回動アームを取付けるようｒなっている。
なお、＋８ 、 ］９はテーブル１／ｌに取付けられた
シリンダであり、そのピストンロンドの動作により歯車
２０ 、２１をそれぞれ正逆回転できるようにしてあり
、図示は省略したがこれら歯車から前記回動アームの吊
持機構に動力を伝達して吊持機構を駆動できるＪ二うに
なっている。寸だ、図において２２゜２３１１７Ｌ前記
、駆動軸１７に動力を伝達するだめの歯車である。
シリンダであり、そのピストンロンドの動作により歯車
２０ 、２１をそれぞれ正逆回転できるようにしてあり
、図示は省略したがこれら歯車から前記回動アームの吊
持機構に動力を伝達して吊持機構を駆動できるＪ二うに
なっている。寸だ、図において２２゜２３１１７Ｌ前記
、駆動軸１７に動力を伝達するだめの歯車である。
本発明如係る洗浄用搬送装置は、上記のように構成さｆ
ｌ、、ウェハー等の洗浄作業は第４図に示すように、ベ
ース１の水平（Ｘ軸）移動と１．アームの回転（Ｒ）
、ｉｌｊ動と、テーブル１４の上下（Ｚ軸）移動とによ
りなされる。即ち、ベース１をＸ軸方向に移動さ１（−
てＡ点で停止させ、つぎにアームを回転させてキャリア
をＢ点で止め、この状態からテーブルト１をＺ ｉｌｌ
＋方向に下降させてキャリアを洗浄槽に浸ｈ’Ｊ Ｌ
（０点）、洗浄後テーブル１／Ｉを」二昇させて０点か
らＤ点に戻し、アームを回転させてＤ点からＢ点に戻し
て−サイクルが終了する。ついで、ＴＧ−＞Ｆ→０→Ｈ
→■→Ｊの順で次の洗浄槽でのサイクルがなされ、この
ような要領にて洗浄作業が連続的になされるのである。
ｌ、、ウェハー等の洗浄作業は第４図に示すように、ベ
ース１の水平（Ｘ軸）移動と１．アームの回転（Ｒ）
、ｉｌｊ動と、テーブル１４の上下（Ｚ軸）移動とによ
りなされる。即ち、ベース１をＸ軸方向に移動さ１（−
てＡ点で停止させ、つぎにアームを回転させてキャリア
をＢ点で止め、この状態からテーブルト１をＺ ｉｌｌ
＋方向に下降させてキャリアを洗浄槽に浸ｈ’Ｊ Ｌ
（０点）、洗浄後テーブル１／Ｉを」二昇させて０点か
らＤ点に戻し、アームを回転させてＤ点からＢ点に戻し
て−サイクルが終了する。ついで、ＴＧ−＞Ｆ→０→Ｈ
→■→Ｊの順で次の洗浄槽でのサイクルがなされ、この
ような要領にて洗浄作業が連続的になされるのである。
この場合、各洗浄槽に７１するギーヤリアの出ｌ−入れ
は上下移動によりなされるので、従来のアーム回転運動
のみによる場合と比べると、キャリアに旬着した洗浄薬
液やガスの飛散を極力防止することができる。そして、
キャリアから滴下する薬液は洗浄槽内に戻されるので、
洗浄槽の周辺部が薬液で汚されるのを防ぐことができる
。寸だ、アームの回転角度に１．従来」：り小さくて済
むので、ギヤリアに加わる遠心力が小となり、薬液の飛
散を防止すると共に、キャリアの揺動を防止し、洗浄作
業を安全かつ確実になすことができる。
は上下移動によりなされるので、従来のアーム回転運動
のみによる場合と比べると、キャリアに旬着した洗浄薬
液やガスの飛散を極力防止することができる。そして、
キャリアから滴下する薬液は洗浄槽内に戻されるので、
洗浄槽の周辺部が薬液で汚されるのを防ぐことができる
。寸だ、アームの回転角度に１．従来」：り小さくて済
むので、ギヤリアに加わる遠心力が小となり、薬液の飛
散を防止すると共に、キャリアの揺動を防止し、洗浄作
業を安全かつ確実になすことができる。
以上説明したように、本発明はウェハー等の自動洗浄装
置における搬送装置にＺ軸（上下）運動を付加したので
、洗浄薬液やガスの飛散を確実に防止することができ、
カバー内外の薬液による腐食を未然に防止でき、その効
果は甚大である。唸だ、Ｚ軸運動に必要な移動数はそれ
程大きくないから前記カバーに形成するスリット孔の幅
（高さ）寸法を従来よりも若干大きく形成するだけでよ
いので、シール機構を著しく変更する必要がなくシール
性を低下させることもない。
置における搬送装置にＺ軸（上下）運動を付加したので
、洗浄薬液やガスの飛散を確実に防止することができ、
カバー内外の薬液による腐食を未然に防止でき、その効
果は甚大である。唸だ、Ｚ軸運動に必要な移動数はそれ
程大きくないから前記カバーに形成するスリット孔の幅
（高さ）寸法を従来よりも若干大きく形成するだけでよ
いので、シール機構を著しく変更する必要がなくシール
性を低下させることもない。
４、同曲のｆｌｔｉ ｆｌ’−な説明
第１図は、自動洗浄装置の外観図、第２図は本発明の一
実施例を示す要部の正面図、第３図は同じ＜ （ｌｕｌ
ｌ而図、面図図は洗浄作業時の動作を示す説明図である
。
実施例を示す要部の正面図、第３図は同じ＜ （ｌｕｌ
ｌ而図、面図図は洗浄作業時の動作を示す説明図である
。
１ ベース、 ７・ ・・フレーム、
８ ・ネジ棒、 ９・・・スジロケット、１０ ・・・
モータ、１１・・・−スジロケット、１２・・ チェー
ン、１３・−・ ガイトノぐ−１１４・・テーブル、
１５・・・・）＼ウノング、１６ ・ンリング、 １７
・・・・・駆動軸。
モータ、１１・・・−スジロケット、１２・・ チェー
ン、１３・−・ ガイトノぐ−１１４・・テーブル、
１５・・・・）＼ウノング、１６ ・ンリング、 １７
・・・・・駆動軸。
Claims (1)
- 複数個並設された洗浄槽に沿って水平移動するベースに
、ｌ二下方向に移動するテーブルを設け、このテーブル
にキャリアを吊持する回動アームの駆動軸を取付けたこ
とを特徴とする洗浄用搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24337983A JPS60137717A (ja) | 1983-12-23 | 1983-12-23 | 洗浄用搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24337983A JPS60137717A (ja) | 1983-12-23 | 1983-12-23 | 洗浄用搬送装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60137717A true JPS60137717A (ja) | 1985-07-22 |
Family
ID=17102974
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24337983A Pending JPS60137717A (ja) | 1983-12-23 | 1983-12-23 | 洗浄用搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60137717A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63145074U (ja) * | 1987-03-16 | 1988-09-26 | ||
| US5996596A (en) * | 1997-11-19 | 1999-12-07 | Coburn Optical Industries, Inc. | Method and apparatus for cleaning ophthalmic lenses and blocks |
| CN109875894A (zh) * | 2019-04-02 | 2019-06-14 | 牛书珍 | 一种智能中药熬制设备 |
| CN111524831A (zh) * | 2020-04-24 | 2020-08-11 | 江苏芯梦半导体设备有限公司 | 清洗机花篮运送机构 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5738218A (en) * | 1980-08-13 | 1982-03-02 | Teikoku Denki Kk | Apparatus for conveying barrel |
-
1983
- 1983-12-23 JP JP24337983A patent/JPS60137717A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5738218A (en) * | 1980-08-13 | 1982-03-02 | Teikoku Denki Kk | Apparatus for conveying barrel |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63145074U (ja) * | 1987-03-16 | 1988-09-26 | ||
| JPH0339655Y2 (ja) * | 1987-03-16 | 1991-08-21 | ||
| US5996596A (en) * | 1997-11-19 | 1999-12-07 | Coburn Optical Industries, Inc. | Method and apparatus for cleaning ophthalmic lenses and blocks |
| CN109875894A (zh) * | 2019-04-02 | 2019-06-14 | 牛书珍 | 一种智能中药熬制设备 |
| CN109875894B (zh) * | 2019-04-02 | 2021-04-16 | 湖北辰美中药有限公司 | 一种智能中药熬制设备 |
| CN111524831A (zh) * | 2020-04-24 | 2020-08-11 | 江苏芯梦半导体设备有限公司 | 清洗机花篮运送机构 |
| CN111524831B (zh) * | 2020-04-24 | 2022-04-15 | 江苏芯梦半导体设备有限公司 | 清洗机花篮运送机构 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US3335839A (en) | Conveying machine | |
| CN104617016A (zh) | 晶圆处理装置 | |
| CN1163947C (zh) | 处理装置及机械手装置 | |
| US4493333A (en) | Corrosion-resistant work transfer system | |
| CN110724984B (zh) | 一种电镀件处理设备 | |
| CN109760437A (zh) | 一种自动化水转印加工方法 | |
| JP2010125421A (ja) | ワーク洗浄装置 | |
| JPS60137717A (ja) | 洗浄用搬送装置 | |
| CN220461498U (zh) | 转台驱动装置外置式清洗仓 | |
| CN204407300U (zh) | 晶圆处理装置 | |
| CN115921172A (zh) | 一种有机硅树脂漆膜加工装置 | |
| KR20030042336A (ko) | 접시형 자동 살수장치 | |
| JP7626303B2 (ja) | 容器洗浄装置 | |
| JP2003237565A (ja) | 吊り下げ搬送設備 | |
| JPS6039164A (ja) | 表面処理装置 | |
| JP2900281B2 (ja) | 移動槽台車のトラバーサ装置 | |
| CN216655659U (zh) | 一种废盐处理用反应槽 | |
| CN118513315B (zh) | 一种电气自动化生产清洗设备及清洗方法 | |
| KR101968571B1 (ko) | 바스켓 요동장치 | |
| JPH0616475U (ja) | バレル式表面処理装置における被処理物の液切り装置 | |
| JPS6345874B2 (ja) | ||
| CN213678657U (zh) | 一种工业传送带清洗装置 | |
| JP2742559B2 (ja) | 容器シール面のクリーニング方法及び装置 | |
| JP2007152270A (ja) | ボトル洗浄装置 | |
| US3513967A (en) | Container moving mechanism |