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JPS60125573A - タイミングパルス発生器 - Google Patents

タイミングパルス発生器

Info

Publication number
JPS60125573A
JPS60125573A JP58232814A JP23281483A JPS60125573A JP S60125573 A JPS60125573 A JP S60125573A JP 58232814 A JP58232814 A JP 58232814A JP 23281483 A JP23281483 A JP 23281483A JP S60125573 A JPS60125573 A JP S60125573A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
register
phase
timing
value
signal
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP58232814A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH0536752B2 (ja
Inventor
Yoshihiko Hayashi
良彦 林
Ikuo Kawaguchi
川口 郁夫
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
Priority to JP58232814A priority Critical patent/JPS60125573A/ja
Publication of JPS60125573A publication Critical patent/JPS60125573A/ja
Publication of JPH0536752B2 publication Critical patent/JPH0536752B2/ja
Granted legal-status Critical Current

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Classifications

    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11CSTATIC STORES
    • G11C29/00Checking stores for correct operation ; Subsequent repair; Testing stores during standby or offline operation
    • G11C29/04Detection or location of defective memory elements, e.g. cell constructio details, timing of test signals
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/2851Testing of integrated circuits [IC]
    • G01R31/2882Testing timing characteristics

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Tests Of Electronic Circuits (AREA)
  • Test And Diagnosis Of Digital Computers (AREA)
  • Manipulation Of Pulses (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明は、タイミングパルス発生器に係り、特に半導体
素子の試験・検査に好適なタイミングパルス発生器に関
するものである。
〔発明の背景〕
ICテスタ用のタイミングパルス発生器は、大きく分け
ると、一般に、テスト周期を決定するレイトジェネレー
タ(またはピリオドジェネレータ)と、そのテスト周期
に対して任意の位相で信号を発生する複数個の7エイズ
ジエネレータ(まだはディレィジェネレータ)とによっ
て構成される。
第1図のブロック図を用いて、従来のタイミングパルス
発生器の一例について説明する。ここでは、フェイズジ
ェネレータは、1個として説明を行なうが、これによっ
てタイミングパルス発生器の説明を制限することはない
テスト周期信号112位相信号14は、実時間でタイミ
ングを変更するために、外部からのタイミング選択信号
10によってタイミングの実時間制御をする。
タイミング選択信号10がテスト周期信号11によって
タイミングレジスタ7に取り込まれ、テスト周期情報が
書き込まれているレイトメモリ6と、位相信号情報が書
き込まれているフェイズメモリ16とがアクセスされ、
テスト周期情報と位相信号情報が読み出される。その情
報に従ってタイミングパルス発生器は、テスト周期信号
11゜位相信号14を出力する。
テスト周期を作成する部分であるレイトジェネレータ9
は、発振器1の発振周期すなわち基本クロックの整数倍
でテスト周期を決定するレイトカウンタ2と、基本タロ
ツクの周期以上にテスト周期の分解能を向上させるだめ
にレイトカウンタ2の出力を遅延させる可変遅延回路3
と、可変遅延回路3を用いて分解能を上げたため、前回
のテスト周期で設定した可変遅延回路3の遅延量と、今
回のテスト周期の基本クロックの周期未満の設定値の加
算演算を行なうディレィアダー5と、演算結果を保持す
るレイトレジスタ4と、位相信号14を作成する部分で
あるフェイズジェネレータ15に対してテスト周期信号
11と同位相の基本クロックを供給するために発振器1
の出力を遅延させる可変遅延回路8とから構成される。
フェイズジェネレータ15Aは、テスト周期信号11に
同期した基本クロックすなわちフェイズクロック13を
フェイズカウンタ18によって計数し、フェイズレジス
タ17の値と一致した時刻に一致出力を生成する。この
ままでは、フェイズジェネレータ15Aの設定分解能は
、フェイズクロック13の周期すなわち発振器1の基本
周期によって決まってしまうため、可変遅延回路19に
よって分解能を向上し、位相信号14を出力する。
すなわち、フェイズジェネレータ15は、あらかじめフ
ェイズメモリ16内に書き込まれているタイミング情報
に従い、1テスト周期中に任意に設定した位相パルスを
1回出力する機能を有するものである。
一方、ICテスタの試験対象であるメモリIC。
ロジックICを試験する場合は、規格に定められた周波
数又はクロックからの遅れ時間等で動作しうるか否かの
選別試験がある。これは、試験対象がメモリICであれ
ばアクセスタイムによってグレード分類を行なうことで
あり、ロジックICであれば動作周波数のクラス分けと
なる。また、このようなIC,LSIの開発段階では、
素子の遅延時間を正確に計測することが要求される。
このような時間計測をして被試験素子の検査を行なう場
合、ICテスタは、判定用ストローブ信号のタイミング
で期待値データと比較良否判定を行なうが、ストローブ
信号では1ポイントにおける期待値との比較となるので
、正確な時間測定をするには、ストローブ信号のタイミ
ングをテスト周期毎に変化させ、判定結果がフェイルか
らパスに変化する点、又はパスからフェイルとなる変化
点を検出して時間計測をすることが必要となる。
このストローブ信号のタイミングはタイミング発生器で
作成され、ストローブ信号のタイミング設定は、あらか
じめタイミングパルス発生器内の高速メモリに書き込ん
でおく必要がある。しかし、高速メモリが高価であり、
大容量高速メモリが実現されていないため、従来の−I
Cテスタでは、タイミング設定ができるレベル数は16
レベル程度である。そのため、正確な時間計測を行なう
には、16レベルのタイミング設定をホス)CPUが高
速メモリに書き込み、テスタ高速部を起動建せて16レ
ベルのタイミング設定で判定比較をしたのち、テスタ高
速部を停止し、再度ホス)CPUが高速メモリにタイミ
ング設定データを書き込むという作業を繰返し行ない、
正確な時間測定を行なうようにしていた。そのため、テ
スタ高速部が動作している時間、すなわち被試験ICを
測定して。
いる時間にくらべ、ホストCPUがテスタ高速部の設定
データの書き換えにかかる時間の方が長くなり、ICテ
スタのスループットを大幅に低下させていた。
〔発明の目的〕
本発明の目的は、上記した従来技術の欠点をなくシ、半
導体素子の試験・検査などで、その所望の各種のタイミ
ング情報に応じて広範囲のタイミング信号を発生するこ
とができるタイミングパルス発生器を提供することにあ
る。
〔発明の概要〕
本発明に係るタイミングパルス発生器は、レイトジェネ
レータから外部へ送出されるテスト同期信号に同期した
フェイズクロックを計数し、外部から与えられるタイミ
ング選択信号に基づくタイミング切換信号と上記テスト
同期信号とに従い、上記計数結果を所望値だけ遅延させ
、それに基づいて位相信号を送出するようにしたフェイ
ズジェネレータを具備したタイミングパルス発生器にお
いて、発生・送出すべき位相信号の初期値・変化幅およ
び変化数を記憶する手段と、その初期値・変化幅の記憶
値から上記位相信号のタイミング情報を算出する手段と
、上記位相信号の発生・送出数を上記変化幅の記憶値と
上記のタイミング情報の算出結果とに応じて制御する手
段とを、フェイズジェネレータに設けるようにしたもの
である。
これを要するに、タイミングパルス発生器内ノ高速メモ
リの容量を増大させずにタイミングの設定数を増大させ
るため、タイミング設定の初期値。
変化幅と変化数とを記憶しておくメモリ又はレジスタと
、この値からタイミング設定値を算出する演算手段とを
設け、初期値から変化幅ずつ位相の異なったタイミング
信号を変化数だけ発生するように制御するものである。
〔発明の実施例〕
第2図は、本発明に係るタイミングパルス発生器の一実
施例のフェイズジェネレータブロック図であシ、テスト
周期ごとにタイミングの設定値を所望時間ずつ増加又は
減少する位相信号を作成するフェイズジェネレータに関
するものであり、以下、その説明を行なう。なお、レイ
トジェネレータについては、前述の第1図のものと同様
であるものとする。
ここで、10はタイミング選択信号、11はテスト周期
信号、12はタイミング切換信号、13はフェイズクロ
ック、14は位相信号、15はフェイズジェネレータ、
16はフェイズメモリ、17はフェイズレジスタ、18
はフェイズカウンタ、19は可変遅延回路、20はマル
チプレクサ、21はフェイズ制御回路、22はR8フリ
ップフロップ、23は初期値レジスタ、24はマルチプ
レクサ、25は演算ユニット(ALU)、26はレジス
タ、27は変化幅レジスタ、28は変化数レジスタ、2
9は変化数カウンタ、30はALUレジスタである。
フェイズジェネレータ15は、テスト周期信号11に同
期したフェイズクロック13を計数するフェイズカウン
タ18と、その−散出力を遅延する可変遅延回路19と
によって設定された時間に位相信号14を出力する。
その設定値は、フェイズレジスタ17又はレジスタ26
の値がマルチプレクサ20によって選択され、フェイズ
カウンタ18と可変遅延回路19とにロードされる。こ
こでマルチプレクサ20が7エイズレジスタ17を選択
した場合は、従来のタイミングパルス発生器と同様に、
あらかじめフェイズメモリ16に格納されているタイミ
ング情報に従って位相信号を出力する。
次に、タイミング切換信号12により、フェイズ制御回
路21JSフリツプフロツプ22を介してマルチプレク
サ20がレジスタ26の出力を選択した場合について説
明する。
タイミング切換信号12によってフェイズ制御回路21
が起動されると、レジスタ26がリセットされ、マルチ
プレクサ24は初期値レジスタ23の出力を選択するた
め、ALU25は、ALUレジスタ30に従い、初期値
レジスタ23の値とレジスタ26の値との加算又は減算
を行なう。ここでは説明の便宜上、ALU25は加算演
算を行なうものとする。この演算結果は位相信号14に
よってレジスタ26に格納される。マルチプレクサ20
はレジスタ26の出力を選択しているため、フェイズカ
ウンタ18.可変遅延回路19には初期値レジスタ23
の値が設定され、テスト周期信号11に対して初期値レ
ジスタ23の値だけ遅延した位相信号14が出力される
一方、マルチプレクサ24は、フェイズ制御回路21に
よって変化幅レジスタ27の値を選択している。そのた
め、ALU25は、レジスタ26に格納されている初期
値レジスタ23の値と変化幅レジスタ27の値とを加算
演算する。その演算結果は、レジスタ26に格納され、
その値がフェイズカウンタ18.可変遅延回路19にロ
ードされるため、位相信号14は、テスト周期信号11
に対して、初期値レジスタ23と変化幅レジスタ27と
の値が加算された時間後に出力される。以後、この動作
が繰返されるため、初期値レジスタ23の値をTd1変
化幅レジスタの値をΔtとすると、第3図のタイミング
チャートに示すように、位相信号14は、テスト周期ご
とに、それに対してΔtずつ遅延量が増加する信号とな
る。
ここで、位相信号14の発生数は変化数レジスタ28の
値によって決定される。すなわち、変化数レジスタ28
の値が変化数カウンタ29KO−ドされ、そのロードさ
れた値だけ位相信号14を計数したのち、RSフリップ
フロップ22をリセットする。それによシ、マルチプレ
クサ20はフェイズレジスタ10を選択するため、Δを
分解能で位相信号14が変化するモードから通常のモー
ドに復帰する。
ALUレジスタ30によってALU25が減算を行なう
場合は、第4図のタイミングチャートに示すように、位
相信号14は、テスト周期ごとに、それに対してΔtず
つ遅延量が減少する信号となる。
このように本実施例によれば、初期値、変化幅。
変化数を与えることによって、初期値から変化幅ずつ異
なった変化数の位相信号を発生することができる。
〔発明の効果〕
以上、詳細に説明したように、本発明によれば、初期値
、変化幅、変化数のタイミング情報を与えることにより
、変化数に相当するタイミング信号の発生ができるので
、メモリIC等のアクセスタイムの試験、まだロジック
ICのスイッチング試験、さらにICテスタ本体のスキ
ュー計測を、タイミング情報が書き込まれた小容量の高
速メモリを書き換えることなく高速に実行することがで
き、IC試験の効率向上に顕著な効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
第1図は、従来のタイミングパルス発生器の一例のブロ
ック回文第2図は、本発明に係るタイミングパルス発生
器の一実施例のフェイズジェネレータのブロック図、第
3図、第4図は、そのタイミングチャートである。 10・・・タイミング選択信号、11・・・テスト周期
信号、12・・・タイミング切換信号、13・・・フェ
イズクロック、14・・・位相信号、15・・・フェイ
ズジェネレータ、16・・・フエイズメモリミ 17・
・・フェイズレジスタ、18・・・フェイズカウンタ、
19・・・可変遅延回路、20・・・マルチプレクサ、
21・・・フェイズ制御回路、22・・・RSフリップ
フロップ、23・・・初期値レジスタ、24・・・マル
チプレクサ、25・・・ALU、26・・・レジスタ、
27・・・変化幅レジスタ、28・・・変化数レジスタ
、29・・・変化数カ第1図 第2図

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1、レイトジェネレータから外部へ送出されるテスト同
    期信号に同期したフェイズクロックを計数し、外部から
    与えられるタイミング選択信号に基づくタイミング切換
    信号と上記テスト同期信号とに従い、上記計数結果を所
    望値だけ遅延させ、それに基づいて位相信号を送出する
    ようにしたフェイスジェネレータを具備したタイミング
    パルス発生器において、発生・送出すべき位相信号の初
    期値・変化幅および変化数を記憶する手段と、その初期
    値・変化幅の記憶値から上記位相信号のタイミング情報
    を算出する手段と、上記位相信号の発生・送出数を上記
    変化幅の記憶値と上記のタイミング情報の算出結果とに
    応じて制御する手段とを、フェイズジェネレータに設け
    るように構成したことを特徴とするタイミングパルス発
    生器。
JP58232814A 1983-12-12 1983-12-12 タイミングパルス発生器 Granted JPS60125573A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP58232814A JPS60125573A (ja) 1983-12-12 1983-12-12 タイミングパルス発生器

Applications Claiming Priority (1)

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JP58232814A JPS60125573A (ja) 1983-12-12 1983-12-12 タイミングパルス発生器

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS60125573A true JPS60125573A (ja) 1985-07-04
JPH0536752B2 JPH0536752B2 (ja) 1993-05-31

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ID=16945187

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JP58232814A Granted JPS60125573A (ja) 1983-12-12 1983-12-12 タイミングパルス発生器

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JP (1) JPS60125573A (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61292579A (ja) * 1985-06-20 1986-12-23 Nec Corp 試験信号発生回路
JPH026767A (ja) * 1988-06-20 1990-01-10 Advantest Corp Ic試験用波形発生装置
WO2004031789A1 (ja) * 2002-10-01 2004-04-15 Advantest Corporation 試験装置、及び試験方法

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US7216271B2 (en) 2002-10-01 2007-05-08 Advantest Corporation Testing apparatus and a testing method

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JPH0536752B2 (ja) 1993-05-31

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