JPS60102097A - 超音波振動子の装填方法 - Google Patents
超音波振動子の装填方法Info
- Publication number
- JPS60102097A JPS60102097A JP58209463A JP20946383A JPS60102097A JP S60102097 A JPS60102097 A JP S60102097A JP 58209463 A JP58209463 A JP 58209463A JP 20946383 A JP20946383 A JP 20946383A JP S60102097 A JPS60102097 A JP S60102097A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ultrasonic wave
- back plate
- vibrator
- ultrasonic
- wave vibrator
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 13
- 238000004806 packaging method and process Methods 0.000 title 1
- 230000003014 reinforcing effect Effects 0.000 claims description 14
- 238000000605 extraction Methods 0.000 claims description 8
- 239000013013 elastic material Substances 0.000 claims 1
- 239000004033 plastic Substances 0.000 abstract description 4
- HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N lead zirconate titanate Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ti+4].[Zr+4].[Pb+2] HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 3
- 229910052451 lead zirconate titanate Inorganic materials 0.000 abstract description 3
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 abstract 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 abstract 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 abstract 1
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 7
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 2
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 2
- 241000218645 Cedrus Species 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 1
- 238000002592 echocardiography Methods 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 1
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 1
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 description 1
- 230000002787 reinforcement Effects 0.000 description 1
- 238000005476 soldering Methods 0.000 description 1
- 238000005728 strengthening Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B06—GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS IN GENERAL
- B06B—METHODS OR APPARATUS FOR GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS OF INFRASONIC, SONIC, OR ULTRASONIC FREQUENCY, e.g. FOR PERFORMING MECHANICAL WORK IN GENERAL
- B06B1/00—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency
- B06B1/02—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy
- B06B1/06—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction
- B06B1/0607—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction using multiple elements
- B06B1/0622—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction using multiple elements on one surface
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
- Ultra Sonic Daignosis Equipment (AREA)
- Transducers For Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の属する技術分野〕
不発明は、超音波振動子の装堝方θ’（Ｋ保り、とくに
医用機器等の精密測定に用いられる超音波探触子に内装
される超音波振動子の装填方法に関１−る。
医用機器等の精密測定に用いられる超音波探触子に内装
される超音波振動子の装填方法に関１−る。
超音波探触子に装功される振動子Ｖこは、円板状のもの
や矩形状のものなど種々のものがある。一方、医用およ
び精密測定用の超音波探触子としては、広範囲にわたる
被測定物を）’ｉ！ｆ ｍ測足しながらその変化を信号
処理してＣ）ＬＴもしくは記録紙上に記録するものが多
いことから、その測定精度の向上を図るために９例えは
分解能が良いこと或いは出力側全面から略均−レベルの
超音波出力がおること等、棹々の安ｖ１−を充足［７て
いることが盛装とされている。
や矩形状のものなど種々のものがある。一方、医用およ
び精密測定用の超音波探触子としては、広範囲にわたる
被測定物を）’ｉ！ｆ ｍ測足しながらその変化を信号
処理してＣ）ＬＴもしくは記録紙上に記録するものが多
いことから、その測定精度の向上を図るために９例えは
分解能が良いこと或いは出力側全面から略均−レベルの
超音波出力がおること等、棹々の安ｖ１−を充足［７て
いることが盛装とされている。
第１図ないし第２図Ｖこ従来よ０使用されている医用も
しくは精密測定用の探触子の一例を示す。
しくは精密測定用の探触子の一例を示す。
この従来例においては、′まず分解能向上を意図して高
周波の振動子が使用され、また超音波出力の向上および
ビームの分散防止を図るため整合層３および音響レンズ
２が各々装着されている。更に前記振動子ｌの背面側に
は振動子保持体としての背板４が固着装備されている。
周波の振動子が使用され、また超音波出力の向上および
ビームの分散防止を図るため整合層３および音響レンズ
２が各々装着されている。更に前記振動子ｌの背面側に
は振動子保持体としての背板４が固着装備されている。
なお、５はケースを示す。
そして、前記振動子１は、第３図ないし第５図に示すよ
うに、ジルコン酸チタン酸鉛などの圧電素子１０に対し
て電極１１．１２が図の如き形状に付され、かつリード
、ＪＩ３，１４が各図に示す如くハンダ付されたものが
一般に多く使用てれている。この場合、熾穀子１は、第
６図の如くダイシング加工によって細分化された状態の
ものが使用されている。
うに、ジルコン酸チタン酸鉛などの圧電素子１０に対し
て電極１１．１２が図の如き形状に付され、かつリード
、ＪＩ３，１４が各図に示す如くハンダ付されたものが
一般に多く使用てれている。この場合、熾穀子１は、第
６図の如くダイシング加工によって細分化された状態の
ものが使用されている。
しかし７Ｉｉｉら、この振動子１０ダイシング加工によ
ρ細分化された振動子１ ｉＬ 、 Ｉ Ａ＋・・・の
各々は、例えｉ４その幅ｌが０．１５（ｉｎ）で振動子
Ｉ人相瓦間の間隔Ｓが０．０２［ｍｍ）といつ値である
ことから、前述しンこり−ド線のハンダ付作業により隣
り合う振動子ＩＡ、ｉＡのいくつかが短絡し、またリー
ド線１３．１４装着用のハンダを各振動子ＩＡ毎にその
等量ｆ使用することが困難となっていた。
ρ細分化された振動子１ ｉＬ 、 Ｉ Ａ＋・・・の
各々は、例えｉ４その幅ｌが０．１５（ｉｎ）で振動子
Ｉ人相瓦間の間隔Ｓが０．０２［ｍｍ）といつ値である
ことから、前述しンこり−ド線のハンダ付作業により隣
り合う振動子ＩＡ、ｉＡのいくつかが短絡し、またリー
ド線１３．１４装着用のハンダを各振動子ＩＡ毎にその
等量ｆ使用することが困難となっていた。
一方、前記背板４ｖＣついては、その機能として振動子
１から伝播してくる超音波は略完全に減衰せしめて虚エ
コーの発生を防止することが心安とされている。このた
め、背板４としては、多くはプラスチック系又はゴム系
素材が使用されている。
１から伝播してくる超音波は略完全に減衰せしめて虚エ
コーの発生を防止することが心安とされている。このた
め、背板４としては、多くはプラスチック系又はゴム系
素材が使用されている。
しかしながら、このプラスチック系又はゴム系素材は一
般に熱的および機械的外力に影響されて変形し易いとい
う本質的欠点がある。
般に熱的および機械的外力に影響されて変形し易いとい
う本質的欠点がある。
これに対し、前記背板４に対する振動子１の接着は、接
着強度が大きく且耐久性の大きい加熱接着の手法が採用
されている。このため、背板４が前記振動子の接着時に
第７図のＳ又はＺに示す如く熱変形を米たし、これがた
め、その後に行われる前述したダイシング加工を正確に
行うＫは多くの時間と労力を要するという不都合が生じ
、同時に、第２図に示す整合層３も波長式〔朋〕の１／
４の厚さで全面均一に形成し得ないこととなり、かかる
点においても外部に対して出力面全体から均一レベルの
超音波を出力するの・が困難な状況を呈していた。
着強度が大きく且耐久性の大きい加熱接着の手法が採用
されている。このため、背板４が前記振動子の接着時に
第７図のＳ又はＺに示す如く熱変形を米たし、これがた
め、その後に行われる前述したダイシング加工を正確に
行うＫは多くの時間と労力を要するという不都合が生じ
、同時に、第２図に示す整合層３も波長式〔朋〕の１／
４の厚さで全面均一に形成し得ないこととなり、かかる
点においても外部に対して出力面全体から均一レベルの
超音波を出力するの・が困難な状況を呈していた。
本発明は、〃・かる従来技術の有する不都合を改善し、
超音波出力面の全域から略均−レベルの超音波全出力す
ることを可能とするとともに、生産性の著しい向上およ
び品質の改善全図り得る超音波振動子の装填方法を提供
することを、その目的とする。
超音波出力面の全域から略均−レベルの超音波全出力す
ることを可能とするとともに、生産性の著しい向上およ
び品質の改善全図り得る超音波振動子の装填方法を提供
することを、その目的とする。
そこで、本発明は、直方体状に形成された背板の長手方
向の両側面に熱膨張係数が小さい弾性部材から成る補強
板を固着し、しかるのち前記背板の長手方向の一面Ｖこ
超音波撮動子を加熱接着し、その後Ｖこ当該超音彼振動
子全タイシング加工Ｖこより細分化し、又は、必要に応
じて前記細分化された各振動子の電極面と各補強板に予
め形成された信号引出し用′電極とを、ワイヤボンディ
ング法により導通するという手法娑採用し、これによっ
て前記目的を達成しようとするものである。′〔発明の
実施例〕 以下、本発明の第１実施例を第８図ないし第１１図に基
づいて説明する。
向の両側面に熱膨張係数が小さい弾性部材から成る補強
板を固着し、しかるのち前記背板の長手方向の一面Ｖこ
超音波撮動子を加熱接着し、その後Ｖこ当該超音彼振動
子全タイシング加工Ｖこより細分化し、又は、必要に応
じて前記細分化された各振動子の電極面と各補強板に予
め形成された信号引出し用′電極とを、ワイヤボンディ
ング法により導通するという手法娑採用し、これによっ
て前記目的を達成しようとするものである。′〔発明の
実施例〕 以下、本発明の第１実施例を第８図ないし第１１図に基
づいて説明する。
これらの図において、１は前述した従来例の場合と同様
に超音波振動子を示し、４は振動子保持体としての背板
金示す。前記超音波振動子１としてはジルコン酸チタン
酸鉛等の圧電素子を素材としたものが使用され、また背
板４としては前述した従来例と同様にプラスチック系又
はゴム系部材が主素材として使用されている。この背板
４は、超音波振動子１を装着する面の両角部４Ａ、４Ｂ
が図に示す如く面取りされた状態となっているが、必ず
しもこのように加工されていないものであってもよい。
に超音波振動子を示し、４は振動子保持体としての背板
金示す。前記超音波振動子１としてはジルコン酸チタン
酸鉛等の圧電素子を素材としたものが使用され、また背
板４としては前述した従来例と同様にプラスチック系又
はゴム系部材が主素材として使用されている。この背板
４は、超音波振動子１を装着する面の両角部４Ａ、４Ｂ
が図に示す如く面取りされた状態となっているが、必ず
しもこのように加工されていないものであってもよい。
更に、この背板４の両側面には補強板２０．２１が固着
されている。この各補強板２０゜２１は、熱膨張係数が
小さい弾性部材１例えば金属製酸化物等により形成され
たものが素材として使用されている。また、当該各補強
板２０．２１の外面には、前記超音波振動子１を送受信
用振動子として使用するための信号引出用電極２０Ａ。
されている。この各補強板２０゜２１は、熱膨張係数が
小さい弾性部材１例えば金属製酸化物等により形成され
たものが素材として使用されている。また、当該各補強
板２０．２１の外面には、前記超音波振動子１を送受信
用振動子として使用するための信号引出用電極２０Ａ。
２０Ａ、・・・、２１Ａ、２１Ａ、・−・が複数箇所に
設けられている。
設けられている。
そして、前記背板４に対し、また補強板２０゜２１が第
８図矢印Ａ、Ａの如く当接して固着され、次に超音波振
動子１が同図矢印Ｂの如く当接され加熱接着されるよう
になっている。このため、背板４の熱変形が補強板２０
．２１の作用により抑制されるため、超音波振動子１は
略完全に平面状態全維持して、しかも強固に前記背板４
に固着でれる。
８図矢印Ａ、Ａの如く当接して固着され、次に超音波振
動子１が同図矢印Ｂの如く当接され加熱接着されるよう
になっている。このため、背板４の熱変形が補強板２０
．２１の作用により抑制されるため、超音波振動子１は
略完全に平面状態全維持して、しかも強固に前記背板４
に固着でれる。
第９図は、前述した超音波振動子１の固着後にタイシン
グ加工によって当該超音波振動子１を細分化した状態を
示す。この場合、各振動子ＩＡ。
グ加工によって当該超音波振動子１を細分化した状態を
示す。この場合、各振動子ＩＡ。
ＩＡ、・・・の寸法ｌおよび相互間の距離Ｓは従来のも
のと同一に設定きれている。才た、これら各振動子ＩＡ
、ＬＡ、・−・の谷々の電極面３１９．３２および折返
えし電極面３１Ａ、３２Ａは第１１図に示す如く予め形
成されており、又当該折返えし電極面３１ Ａ 、 ３
２ Ａが形成きれている圧電素子１０は、その端部１０
Ａ、ＩＯＢが丸味加工され、これによって当該折返えし
電極面３１Ａ、３２Ａの付着強度が著しく強化されてい
る。さらにこの振動子ＩＡは、その有効振動領域Ｕが振
動子ＩＡの圧電素子ｉ ｏ ｉＨＢ分全体Ｔの内側中央
部に設定されていることから、指向性ビームが常に探触
子の中心線上にくるように設定されている。
のと同一に設定きれている。才た、これら各振動子ＩＡ
、ＬＡ、・−・の谷々の電極面３１９．３２および折返
えし電極面３１Ａ、３２Ａは第１１図に示す如く予め形
成されており、又当該折返えし電極面３１ Ａ 、 ３
２ Ａが形成きれている圧電素子１０は、その端部１０
Ａ、ＩＯＢが丸味加工され、これによって当該折返えし
電極面３１Ａ、３２Ａの付着強度が著しく強化されてい
る。さらにこの振動子ＩＡは、その有効振動領域Ｕが振
動子ＩＡの圧電素子ｉ ｏ ｉＨＢ分全体Ｔの内側中央
部に設定されていることから、指向性ビームが常に探触
子の中心線上にくるように設定されている。
第１０図は、前記各振動子ＩＡの折返えし電極面３１Ａ
、３２Ａと補強板２０．２１上の各信号引出し用電極２
０Ａ、２ＯＡ、・−・と金ワイヤボンディング法により
結線し導通した状態を示す。この場合、本実施例では振
動子ＩＡが複数個のグループごとにブロック化されて所
定の周波数の電圧パルスが印加されるように形成されて
いる。補強板２１側の各信号引出し用電極２１Ａ、２１
Ａ。
、３２Ａと補強板２０．２１上の各信号引出し用電極２
０Ａ、２ＯＡ、・−・と金ワイヤボンディング法により
結線し導通した状態を示す。この場合、本実施例では振
動子ＩＡが複数個のグループごとにブロック化されて所
定の周波数の電圧パルスが印加されるように形成されて
いる。補強板２１側の各信号引出し用電極２１Ａ、２１
Ａ。
・・・についても全く同様になっている。そして、この
ワイヤボンディングが終了すると、当該リード線４０
、４０ 、・・・および４１．４１ 、・・・部分は、
その全体にモールド部材が固着され、これによって該各
リード線４０．４１が保護されている。
ワイヤボンディングが終了すると、当該リード線４０
、４０ 、・・・および４１．４１ 、・・・部分は、
その全体にモールド部材が固着され、これによって該各
リード線４０．４１が保護されている。
このように、本実施例ではワイヤボンディング法により
各振動子ＩＡにリード線４０．４１を結線する構成とし
たので、当該各振動子ＩＡには従来の如きハンダその他
の異物が付着せず、同時にそれぞれ全く同一条件のもと
にリード線４０゜４１が固着されるため、各振動子ＩＡ
全全体振動条件が同じとなり、従って、かかる点におい
て全体的に略均−な強度の超音波を出力することができ
るという利点があり、同時に作業時間が大幅に短縮され
、さらに品質が向上し、従って生産性向上を充分に図り
得るという利点がある。その他の具体的構成は前述した
従来例と同一にしである。
各振動子ＩＡにリード線４０．４１を結線する構成とし
たので、当該各振動子ＩＡには従来の如きハンダその他
の異物が付着せず、同時にそれぞれ全く同一条件のもと
にリード線４０゜４１が固着されるため、各振動子ＩＡ
全全体振動条件が同じとなり、従って、かかる点におい
て全体的に略均−な強度の超音波を出力することができ
るという利点があり、同時に作業時間が大幅に短縮され
、さらに品質が向上し、従って生産性向上を充分に図り
得るという利点がある。その他の具体的構成は前述した
従来例と同一にしである。
第１２図に第２実施例を示す。この実施例は、リード線
４０．４１全同一の信号引出し゛電極２０Ａ又は２１Ａ
［導通する複数の振動子ｌＡについては、そのグループ
内の複数の振動子ＩＡ全全体図に示す如く導電性接着剤
４２１／ごてコンタクトさせたものである。この場合、
リード線４０のワイヤボンディングは、例えば図の如く
２本に省略してもよい。その他の構成は前述した第１実
施例と同一となっている。
４０．４１全同一の信号引出し゛電極２０Ａ又は２１Ａ
［導通する複数の振動子ｌＡについては、そのグループ
内の複数の振動子ＩＡ全全体図に示す如く導電性接着剤
４２１／ごてコンタクトさせたものである。この場合、
リード線４０のワイヤボンディングは、例えば図の如く
２本に省略してもよい。その他の構成は前述した第１実
施例と同一となっている。
このようにしても１）」述した第１実施例と同一の作用
効果を有するほか、ワイヤボンディングの作業時間が更
に頗縮されるという利点かある。
効果を有するほか、ワイヤボンディングの作業時間が更
に頗縮されるという利点かある。
以上のように、本発明によると、直方体状に形成きれた
背板の長手方向の両側面に熱膨張係数が小ざい弾性部材
から成る補強板台・固着し、しかるのち前記背板の長手
方向の一面に超音波振動子を加熱接着し、その後に当該
超音波振動子をタイシング加工により細分化するという
構成を採用したので、超音波振動子がわん曲することな
く背板に固着てれることとなり、従って細分化された各
振動子が全く同一条件のもとに背板に固着されることと
なり、これがため、かかる点において各振動子の振動条
件の同一性が維持され外部ＶＣ対して各振動子とも略同
−強度の超音波全出力することができるという効果を生
じる。
背板の長手方向の両側面に熱膨張係数が小ざい弾性部材
から成る補強板台・固着し、しかるのち前記背板の長手
方向の一面に超音波振動子を加熱接着し、その後に当該
超音波振動子をタイシング加工により細分化するという
構成を採用したので、超音波振動子がわん曲することな
く背板に固着てれることとなり、従って細分化された各
振動子が全く同一条件のもとに背板に固着されることと
なり、これがため、かかる点において各振動子の振動条
件の同一性が維持され外部ＶＣ対して各振動子とも略同
−強度の超音波全出力することができるという効果を生
じる。
また、前述した振動子のダイシング加工後に、更に、細
分化された当該各振動子に予め形成でれた折返えし電杉
面と前記各補強板に予め形成された信号引出し電極とを
ワイヤボンディング法−より導通せし、めるという手法
を採用したので、振動子の各リード紳部分の形成条件が
略同−となり、かかる点において各振動子ともその振動
状態の同一性が維持され同一強度の超音波が出力される
ほか、リード線の装着作業が大幅にスピードアップされ
、かつ装着ミスが大幅に減少し、これがため全体的に超
音波探触子の生産性おまひ品質とも著しく向上せしめる
ことができるという従来にない優れた超音波振動子の装
填方法を提供することができる。
分化された当該各振動子に予め形成でれた折返えし電杉
面と前記各補強板に予め形成された信号引出し電極とを
ワイヤボンディング法−より導通せし、めるという手法
を採用したので、振動子の各リード紳部分の形成条件が
略同−となり、かかる点において各振動子ともその振動
状態の同一性が維持され同一強度の超音波が出力される
ほか、リード線の装着作業が大幅にスピードアップされ
、かつ装着ミスが大幅に減少し、これがため全体的に超
音波探触子の生産性おまひ品質とも著しく向上せしめる
ことができるという従来にない優れた超音波振動子の装
填方法を提供することができる。
第１図は従来技術による超音波探触子の主要部を示す外
観図、第２図は第１図の■−■線に沿った断面図、第３
図ないし第７図は各々従来例を示す説明図、第８図は本
発明の第１実施例を示゛す分解斜視図、第９図は超音波
振動子のタイシング加工後の状況を示す斜視図、第１０
図はワイヤボンディングによるリード線の装着状況を示
す斜視図、第１１図は細分化された振動子全示す斜視図
、第１２図は第２実施例を示す斜視図である。 １・・・超音波振動子、ＩＡ・・・細分化された超音波
振動子、４・・・背板、２（１，２１・・・補強板。 特許出願人 株式会社 東 京 計 器第１図 第２！″７１ 第３図 第４図 ４ ｔｔ 第６図 第７図 第８ ツー 第９図 第１０図 第１２図 ２
観図、第２図は第１図の■−■線に沿った断面図、第３
図ないし第７図は各々従来例を示す説明図、第８図は本
発明の第１実施例を示゛す分解斜視図、第９図は超音波
振動子のタイシング加工後の状況を示す斜視図、第１０
図はワイヤボンディングによるリード線の装着状況を示
す斜視図、第１１図は細分化された振動子全示す斜視図
、第１２図は第２実施例を示す斜視図である。 １・・・超音波振動子、ＩＡ・・・細分化された超音波
振動子、４・・・背板、２（１，２１・・・補強板。 特許出願人 株式会社 東 京 計 器第１図 第２！″７１ 第３図 第４図 ４ ｔｔ 第６図 第７図 第８ ツー 第９図 第１０図 第１２図 ２
Claims (2)
- （１）、 Ｍ方体状に形成された背板の長手方向の両側
面に熱膨張係数が小さい弾性部材から成る補強板を固着
し、しかるのち前記背板の長手方向の一面に超音波振動
子を接着し、その後に当該超音波振動子をタイシング加
工によＶ細分化したことを特徴とする超音波振動子の装
填方法。 - （２）、 Ｕ方体状に形成された背板の長手方向の両側
面に熱膨張係数が小さい弾性部材から成る補強板を固着
し、しかるのち前記背板の長手方向の一面に超音波振動
子を接着し、その後に当該超音波振動子をタインング加
工によｒ）＋１１１分化し、このタイシング加工後に、
細分化された当該各振動子に予め形成された折返光し電
極面・と前記各補強板に予め形成された信号引出し用電
極とをワイヤボンディング法により導通したことを特徴
とする超音波振動子の装填方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58209463A JPS60102097A (ja) | 1983-11-08 | 1983-11-08 | 超音波振動子の装填方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58209463A JPS60102097A (ja) | 1983-11-08 | 1983-11-08 | 超音波振動子の装填方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60102097A true JPS60102097A (ja) | 1985-06-06 |
Family
ID=16573283
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58209463A Pending JPS60102097A (ja) | 1983-11-08 | 1983-11-08 | 超音波振動子の装填方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60102097A (ja) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS52131675A (en) * | 1976-04-27 | 1977-11-04 | Tokyo Shibaura Electric Co | Probe for ultrasonic diagnostic device |
| JPS5666992A (en) * | 1979-11-02 | 1981-06-05 | Yokogawa Hokushin Electric Corp | Manufacture of ultrasonic probe and ultrasonic probe concerned |
| JPS5720099A (en) * | 1980-05-21 | 1982-02-02 | Siemens Ag | Ultrasonic wave converter and method of producing same |
-
1983
- 1983-11-08 JP JP58209463A patent/JPS60102097A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS52131675A (en) * | 1976-04-27 | 1977-11-04 | Tokyo Shibaura Electric Co | Probe for ultrasonic diagnostic device |
| JPS5666992A (en) * | 1979-11-02 | 1981-06-05 | Yokogawa Hokushin Electric Corp | Manufacture of ultrasonic probe and ultrasonic probe concerned |
| JPS5720099A (en) * | 1980-05-21 | 1982-02-02 | Siemens Ag | Ultrasonic wave converter and method of producing same |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4616152A (en) | Piezoelectric ultrasonic probe using an epoxy resin and iron carbonyl acoustic matching layer | |
| KR100299277B1 (ko) | 초음파변환기어레이및그제조방법 | |
| US2558563A (en) | Piezoelectric strain gauge | |
| JPS6133516B2 (ja) | ||
| JPH04336799A (ja) | 超音波変換器の製造方法 | |
| US3666979A (en) | Focused piezoelectric transducer and method of making | |
| US7388317B2 (en) | Ultrasonic transmitting/receiving device and method for fabricating the same | |
| JP2000131298A (ja) | 超音波探触子 | |
| JPH07136164A (ja) | 超音波探触子 | |
| US20050012429A1 (en) | Piezoelectric body manufacturing method, piezoelectric body, ultrasonic probe, ultrasonic diagnosing device, and nondestructive inspection device | |
| JPS5929816B2 (ja) | 超音波探触子 | |
| JPS60102097A (ja) | 超音波振動子の装填方法 | |
| JP3327497B2 (ja) | 超音波探触子 | |
| RU2121241C1 (ru) | Пьезоэлектрический преобразователь и способ его изготовления | |
| JPH07194517A (ja) | 超音波探触子 | |
| Li et al. | High sensitivity surface acoustic wave strain sensor based on PMN-PT thick film | |
| JPS60102098A (ja) | 超音波探触子 | |
| JPH03162839A (ja) | 超音波探触子 | |
| JPS5832557B2 (ja) | 超音波送受波プロ−ブとその製造方法 | |
| JPS60102096A (ja) | 超音波探触子 | |
| JPS6093899A (ja) | 超音波探触子 | |
| JP2001102651A (ja) | 圧電素子・圧電素子の製造方法および超音波発振器 | |
| JPH07265308A (ja) | 超音波探触子 | |
| JPS5990498A (ja) | 超音波探触子 | |
| JPH0453160B2 (ja) |