JPS5994433A - 半導体素子の選別装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 この発明はＩＣ，ＬＳＩ等のような半導体素子の電気的
性能を測定し、その結果を判断して多分類に選別する装
置に係るものである。従来。

これらの装置は測定しようとする半導体素子（以下単に
素子とする）を収納する棒状のマガジンを装置の供給側
に取付け、これから素子を送シ出して測定２選別して、
収納側に別に配置された多数本のマガジンの中に分類に
従って収納するもので、マガジンの供給および選別後の
素子によって満杯となったマガジンの取出しは人手によ
って行なっていた。ところが測定選別の高速化に伴い１
人の作業者の扱う選別装置の台数には限シがあるため、
これを伺とか自動化して高能率の装置を開発する試みが
なされてきた。

従来装置の一例としてマガジンを多数本収容するカセッ
トを考え、これをもって取扱うことによって合理化しよ
うとするものがある。例えば特開昭５６−６６７６７号
であるが、これはマガジンを複数本並列にカセット中に
収容し、カセノドごと装置に供給し、素子放出の終った
カセットをそのまま分類収容部に移すもので、最終搬出
もカセットによって取扱うことができる。

ところが、いま３分類する場合を考えると３つのカセッ
トを配置して、この中のマガジンに選別された素子を送
シ込む必要がある。さらに分類数Ｎが多くなるとカセッ
トをＮ個配置して。

これに素子を送り込まねばならなくなり、平面的にカセ
ットを配置した場合には大きな面積をとり、従って装置
全体が大きくならざるを得ない。そこで装置を小さくす
るためにはカセット内に収容するマガジンの本数を減少
することが考えられるが、これではカセットの交換の頻
度が多くなり自動化の要請には充分応えることができな
い。また、上記に示された例ではカセットが装置の中を
移動するため必然的に装置が大きく、かつ強固に作らね
ばならず取扱い難い装置となる欠点があった。

本発明はこれらの点を改善し、全体を小さくかつ連続高
速運転を可能としたものであって。

そのため装置内を移動するのはマガジンだけとし、カセ
ットは最初の供給と最後の取出しに使用する。そしてマ
ガジンを縦積みの状態にカセット内に収容することによ
って立体的にコンパクトに構成することができる。

第１図は本発明において使用するカセットであって、素
子１を多数個収納する棒状のマガジン２はカセット３の
下から上に押し込まれ、かつ両側に設けられた爪４によ
って保持され、爪４を開くことによって下から取出すこ
とができるものを使用する。

つぎに第２図、第３図によって全体の構成を説明する。

これから測定選別される素子を満杯に収納したマガジン
２を縦積みに入れた上記のカセット３をＡのカセット供
給位置にセットする。そしてその下はマガジン取出位置
Ｂであって、カセット３からマガジン２を１本ずつ取出
して図の左方向に搬送する。送られたマガジンはＣのマ
ガジン傾斜位置において素子の送り出し口を下にして傾
斜されて、収納されている素子を１個ずつ滑落させる。

そして素子を送シ出し終ったマガジンは、この位置で素
子が残存しているか否かの検査を受ける。そして素子の
残存が検出された場合には振動を与えるとか空気噴射を
行なう等の処置によって素子送シ出しの援助を所定回数
行う。次にマガジンは水平位置に戻されて、もし先の素
子送り出しの援助にもかかわらずマガジンに素子が残存
していた場合には、Ｄ位置においてそのマガジンのみを
系外に排出する。そして完全に空であると確認されたマ
ガジンだけが降下位置Ｅにおいて下降し。

Ｆ位置のマガジン待機位置に入ってストックされる。

一万〇のマガジン傾斜位置よシ送シ出された素子は従来
装置と同様に、１個送９機構を通って測定位置Ｇに入り
、電気的性能の測定・判定が行なわれ、その素子の選別
分類αｔ　ｈＴ　’ｔ　’Ｍ・・が決定され記憶される
。素子はシーートを通シＨ位置において方向変換機構に
よシ図の右方向の傾斜シーートを通９２選別位置ｌに入
る。ここでは搬送ベルト上に素子の保持装置を設け。

これによって素子を受は取って、ベルトを指定されただ
け移動させて、素子を指定分類位置α。

ｂ、　ｃ、　ｄ、・・・に放出する。すなわちαに分類
されたとすれば、保持装置はαの収容位置において停止
して素子を放出する。なお選別位置■の次には素子の待
機位置Ｊ、素子分類収容位置Ｋを設けて、Ｎ本のマガジ
ンとそれの導入部の特機部とが傾斜した一平面上に等間
隔に配列される。

ここで素子の待機位置Ｊにおいては１通常は素子が通過
するだけであるが、収容位置にのマガジンの１本が満杯
となシ、そのマガジンの交換が行なわれる間、素子の待
機機構は通路の末端を一時閉じて、送られてくる素子を
一時ストソクして選別作業の続行に支障をきたさないよ
うにする。

第３図において、前述のマガジン待機位置Ｆに入った空
マガジンは、後述するマガジン交換機構によって素子分
類収容位置Ｋにあるマガジンのうち満杯となったものの
位置に運ばれて交換てれ、満杯マガジンは交換機構によ
って押し」二げられ、マガジン収容位置りにあるカセッ
ト３内に下から押し込まれる。すなわち、いまに位置に
おいてｄに分類された素子を収納するｄ分類マガジンが
満杯になったとすると、空マガジンは又楔機構によって
ｄマガジンの下に移されて、その位置にセットされ、満
杯マガジンはその上りに待機するｄマガジンを収容する
カセット３に］から押し込まれる０ 以上の構成において、最初にマガジンの待機位置Ｆに予
備マガジンを入れ、素子分類収容位置ＫにマガジンをＮ
本装着して、Ａ位置にカセット３を供給すると供給力セ
ント中のマガジンは次々と送り出され、空マガジンとな
ったものは満杯マガジンの後に補充されてバランスよく
連続無人運転が可能となり、カセットの供給。

搬出のみを行なえばよい。なお素子の待機機構が設けら
れているので、満杯マガジンの交換。

カセット内への収容に関係なく素子の横歪２選別の操作
が続行される。

以下に各位置に設けられた機構について説明する。第４
図にカセットの両側面に設けられる爪の構造の一例を示
す。ここでは爪４の下方に傾斜面６を設け、下からレバ
ー７が傾斜面６を押し付けることによって爪４はスプリ
ング８を圧縮して時計方向に旋回し最下段のマガジン２
を下方に落とすよう構成されている。第５図はカセット
供給位置Ａおよびマガジン取出位置Ｂにおけるマガジン
の取出機構の一例を示すもので、マガジン２を縦１列に
収容しているカセット３は案内９によって所定位置にセ
ントされる。

なお、このカセット３には両側面下部に爪４が取付けら
れる。ここで図の下のマガジン取出機構は左右対称であ
るので、左側について説明する。レバー７は旋回して爪
４の傾斜面６に入って、当って爪４を左の方に押し開き
カセットの下方を開放する。このときマガジン受け１２
は上昇してマガジン２を下から支えている。ついで第２
の爪１０が下から２番目のマガジンに入って、２番目以
上のマガジンを支えて、受け１２上には１本のマガジン
２が置かれる。受け１２の下にはチェーン１４が設けら
れ、チェーンには突出部１５が設けられている。チェー
ン１４はチェーンホイール１３にかけられて、指令によ
ってホイールは回転する。受け１２はマガジン２を受は
取ると下降し、マガジン２は突出部１５上に置かれ、チ
ェーン１４によって紙面に直角方向に搬送される。なお
マガジンの取出し搬送はＣ位置における傾斜マガジンが
空に橙って、傾斜台が水平に復帰した時点において行な
われる。

傾斜台に送シ込まれたマガジンは出口を閉鎖して傾斜は
れ、測定位置Ｇへのシーートとの連結が完了したところ
で出口を開き、従来の自動検査装置と同様の測定部Ｇへ
の１個送シ機構を経て素子が送り出される。そして送り
出しが完了したとき、マガジンに残留する素子があるか
否かを検査するが、これには光線をマガジンに通す方法
、フイーラーを挿入する方法等が用いられる。そしても
し残存素子があることが判明すれは素子の送り出しを助
けるためにマガジンの振動、加圧空気の噴射を行ない、
更にその後に再び残存検出を行なう。ここで残存ありと
判断されたマガジンは次の素子残存マガジン処理位置り
においてトラップを開いて、そのマガジンのみを系外に
排出する。これは本発明においては素子の供給に使用さ
れたマガジンがそのまま分類選別素子収納用として転用
されるためである。

次に素子の選別に際しては、Ｊ位置に素子の　　　　　
１待機機構を設けるが、これはその下流末端にストッパ
ーを設けたシュートであって、その下のマガジンが満杯
になると、そのマガジンが空マガジンと交換される間、
その系列の待機機構の　　　　　□ストッパーを作動さ
せて２選別されてくる素子゛を一時スドックし、マガジ
ンの交換が完了したときストッパーを開いて、待機機構
Ｊに一時ストソクされた素子をマガジンに送り込む。

次にマガジン交換機構について説明する。第３図におい
て２分類収容のマガジンｄが満杯になったとすると、マ
ガジン交換機構はマガジン待機位置Ｆがら空マガジン１
本を受は取って。

Ｋ位ｔｆ、のマガジンｄの直下にきて満杯のマガジンク
ランパして押し上げると共に、ここに新マガジンを装填
し、更にマガジンｄを押し上げてカセットｄの中に下か
らこれを押し込み、マガジン交換機構は復帰する。

第６図にマガジン交換機構の一例を示す。マガジン交換
機構２０はに位置の素子分類収容マガジン列と同じ傾斜
角度を有する二つのレール２３、２４上を移動台２５に
よって指令に従って紙面と直角方向に移動する。そして
移動台２５に設けられたエアシリンダ２６により２台２
５に平行に、かつ直角方向に移動する中間板２７を設け
、この中間板２７の上にマガジン受け２８゜２９を取付
ける。中間板２７０図の右側には支点３１を設け、これ
に旋回板３２を取付け、その中間に長孔を設けて、これ
に軸３３′ｆ！！：入れる。

軸３３ヲ先端に有するロンドはエアシリンダ３４によっ
て移動し、旋回板３２を支点３１ヲ中心として時計方向
に旋回させる。旋回板３２の左端にはマガジン受け３５
を上向きに設けると共に、中間板２７の右端にマガジン
受け３６を設けて、この二つのマガジン受け３５．３６
の上面で後述するように満杯となった収容マガジン２１
を旋回させて、カセット３内に押し込むよう構成されて
いる。なお、に位置にある収容マガジン２１には各個に
マガジンクランパ２２が設けられ、かつマガジンの移動
の案内をするガイド板３７および３８を設ける。

このような構造において素子分類収容位置Ｋにセットさ
れているマガジン２１が測定選別された素子によって満
杯となると、空マガジン３０をマガジン受け２８．２９
上に保持してマガジン待機位置Ｆで待機しているマガジ
ン交換機構２０がレール２３．２４上を′移動してきて
、第６図に示すようにマガジン受け３５．３６が満杯マ
ガジン２１に接した状態で停止する。次いでマガジンク
ランパ２２が満杯マガジン２１のクランプを解除すると
、同時にエアシリンダ３４が作動して旋回板３２が支点
３１を中心に時計方向に旋回し、マガジン受け３５は一
点鎖線で示す３５′の位置へ旋回移動して停止する。こ
の時満杯マガジン２１はマガジン受け３５．３６上に支
持されているためガイド板３７．３８に案内されながら
旋回移動して一点鎖線で示す２１′の位置で停止する。

次いでエアシリンダ２６が作動して中間板２７ヲ押し上
げると３５′で示す位置に停止していたマガジン受けは
３５′′の位置へ、支点３１は３１′の位置へ、マガジ
ン受け３６は３６′の位置へ押し上げられ、従って満杯
マガジン２１′はカセット３０両側面の２つの爪４を押
し広ケチ２１′”に示すようにカセット３の下部から収
容される。

一万、空マガジン３０は先のエアシリンダ２６の作動に
より、同時に素子分類収容位置Ｋまで押し上げられて停
止し、マガジンクランパ２２−　　　　　によってクラ
ンプされて新たな測定選別された素子を収納できる状態
にセットされる。このようにして満杯マガジン２１はカ
セット３内に収容され、空マガジン３０が素子分類収容
位置Ｋにセットされた後、マガジン交換機構２０は下降
してレール２３．２４上を移動してマガジン待機位置Ｆ
に戻って新たな空マガジンを保持して待機する。なお、
先の説明において旋回板３２の二つの受け３５．３６は
下方復帰の際、に位置においてセットされたマガジンに
接触しないための逃げ機構が設けられている。

なお、上記説明においては素子並びにマガジンの搬送、
移動機構、指令機構等公知のものは説明が複雑となるの
で省略したが２本発明の素子、マガジンの流れを確実に
行なう方法であれば、そのいずれをも採用することがで
きる。また上記説明においては供給力セントを水平に入
れ、これよりマガジンを１本取出して後傾斜させて、素
子を送り出すものについて述べたが。

供給するカセットを最初から傾斜させて装填し。

これを傾斜状態において素子の出口を閉鎖した状態でマ
ガジン１本を取シ出し、素子送シ出し位置において開口
して素子を送り出し１次の工程に移すことも可能である
。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明が取扱う半導体素子、マガジンおよびカ
セットの説明図、第２図・第３図は本発明の構成を示す
説明図、第４図はカセット下部の断面図、第５図はマガ
ジン取出し搬送機構の側面図、第６図はマガジン交換機
構の側面図。 に半導体素子　　　２：マガジン ３：カセット　　　４：爪　　１２：マガジン受け　　
　１４：搬送用チェーン ２０：マガジン交換機構　　　２３．２４　：レール２
５：移動台　　　２７：中間板 ２８、２９．３５．３６　：受け　　　３２：旋回板特
許出願人 株式会社　東京精密 第４図 第１［２１ 第５：／′１ １、ｊ　　　／４　　　／、） 第２図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 半導体素子を収納するマガジンを縦積みに収容するカセ
   ットを使用し、その下方よりマガジンを１本ずつ取出す
   機構と、取出されたマガジンから素子を放出する機構と
   、放出後のマガジンに素子が残存していることを検知し
   た場合そのマガジンを系外に排出する機構と、素子の供
   給に使用され空であることの確認されたマガジンを一時
   ストソクするマガジン待機機構と、測定された素子を傾
   斜して並列配置された分類数Ｎ本のマガジンに選別する
   選別機構と２選別された素子の待機保持を可能とした待
   機機構と。 分類された素子によって満杯となったマガジンをストッ
   ク中の空マガジンど交換し、かつ満杯マガジンをその直
   上に待機するカセットに収容するマガジン交換機構とを
   有する半導体素子の選別装置。