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JPS5953816A - 全固体型エレクトロクロミツク素子 - Google Patents

全固体型エレクトロクロミツク素子

Info

Publication number
JPS5953816A
JPS5953816A JP16426882A JP16426882A JPS5953816A JP S5953816 A JPS5953816 A JP S5953816A JP 16426882 A JP16426882 A JP 16426882A JP 16426882 A JP16426882 A JP 16426882A JP S5953816 A JPS5953816 A JP S5953816A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
layer
electrode
electrochromic
life
solid
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP16426882A
Other languages
English (en)
Inventor
Kazuya Ishiwatari
和也 石渡
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Canon Inc filed Critical Canon Inc
Priority to JP16426882A priority Critical patent/JPS5953816A/ja
Publication of JPS5953816A publication Critical patent/JPS5953816A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/15Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on an electrochromic effect
    • G02F1/1514Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on an electrochromic effect characterised by the electrochromic material, e.g. by the electrodeposited material
    • G02F1/1523Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on an electrochromic effect characterised by the electrochromic material, e.g. by the electrodeposited material comprising inorganic material
    • G02F1/1525Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on an electrochromic effect characterised by the electrochromic material, e.g. by the electrodeposited material comprising inorganic material characterised by a particular ion transporting layer, e.g. electrolyte

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
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  • Electrochemistry (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Electrochromic Elements, Electrophoresis, Or Variable Reflection Or Absorption Elements (AREA)
  • Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は電気化学的発消色現象すなわちエレクトロクロ
ミック現象を利用したエレクトロクロミック素子に関す
るものである。
エレクトロクロミック現象とは、電圧を加えた時に酸化
漸、元反応により物質に色が伺く現象を指す。このよう
なエレクトロクロミック現繋を利用する屯気化学的発消
色素子すなわちエレクトロクロミック素子は、例えは数
字表示素子、x−yマトリクスディスプレイ、光学シャ
ッタ・や′絞り等に応用できるもので、その材料で分類
すると液体型と固体型・に分けられるが、本発明は特に
全固体型のエレクトロクロミック素子にI39するもの
である。
エレクトロクロミック現象を利用した全固体型エレクト
ロクロミック素子の2つの従来例を第1図および第2図
に示す。
第1図に示すエレクトロクロミック素子は透明な基板l
の上に、導電体膜よりなる第1電極2、陰極ll1l1
発色層であるエレクトロクロミック層3、誘電体膜から
なる絶縁層4、導電体II4より成る第2奄極5を順次
積層してなるものである。また、第2図に示すエレクト
ロクロばツク素子は第1図に示す構造における絶縁層4
と第2屯極5との間に、さらに陽極側発色層である第2
のエレクトロクロミック層6を積層したものである。
上記の構造において、基板1は一般的にガラス板によっ
て形成されるが、これはガラス板に限らず、グラスチッ
ク板またはアクリル板等の透明な板ならばよく、また、
その位置に関しても、第1電極2の下ではなく、第2電
極5の上にあってもよいし、目的に応じて(例えば、保
護力・々−とするなどの目的で)両側に設けてもよい。
ただし、これらの場合に応じて、第2電極5を透明導電
膜にしたシ、両側の電極とも透明導電膜にする必要があ
る。
さて上記の全固体型エレクトロクロミック素子に一般的
に用いられている膜の材料の代表例を列挙する。第1電
極2を構成する透明導電膜は、ITO膜(In2O3中
に5係のSnO2を含むもの)やネサ膜等である。陰極
側発色層であるエレクトロクロミック層3は、二酸化タ
ングステン(WO2)、三酸化タングステン(WO3)
、二酸化モリブデン(MOO2) %二酸化モリブデン
(Mo03)、五酸化バナジウム(v205)等を用い
て形成する。誘電体膜である絶縁層4は、二酸化ジルコ
ン(zro2) 、酸化ケイ素(sto) 、二酸化ケ
イ素(sto2)、五酸化タンタル(Ta205)等に
代表される酸化物、あるいはフッ化リチウム(LIF)
 、フッ化マグオ°シウム(MgF2) 等に代表され
るフッ化物より成る。第2′nプ極5は、Auの半透明
4電Bり等によって形成される。まだ、第2図に示すも
のにおいて、陽極側発色層である第2のエレクトロクロ
ミック層6は、酸化クロム(Cr205)、水酸化イリ
ジウム(Ir(OH)2)、水酸化ニッケル(Nl(O
H)2)等を用いて形成する。
この様な構造をもつ全固体型エレクトロクロミック素子
は、第1電+f7i、2と第2屯極5の間に電圧を印加
することによりWt、気化学的反応が起き発色、消色を
する。この発色機構は、例えば、第1のエレクトロクロ
ミック層3へのカチオンと電子のダブルインジェクショ
ンによるブロンズ形成にあると一般的に言われている。
例えば、エレクトロクロミック物質として、WO3を用
いる場合には、次の(1)式で表わされる酸化還元反応
が起き発色する。
WO5+ xH++xe−: RxWO3(1)(0式
に従って、タングステンブロンズHxWO5が   1
形成され発色するが、ここで印加電圧を逆転すれば消色
状態となる。
しかし、このような構造の全固体型エレクトロクロミッ
ク素子1′!寿命b\゛短いという欠点を有していて、
寿命の点で液りに比較して著るしく劣っている。
本発明の目的は上記のような従来の全固体型エレクトロ
クロミック素子の欠点を改善し、寿命の点で改良された
全固体型エレクトロクロミック素子を提供することにあ
る。
本発明による全固体型エレクトロクロミック素子の特徴
とするところは、第1図に示すように透明導電体膜よ構
成る第1電極と、陰極側発色層でした全固体型エレクト
ロクロミック素子、あるいは、第2図に示すように、上
記の絶縁層と第2電極の間にさらに陽極側発色層である
第2のエレクトロクロミック層を積層してなる全固体型
エレクトロクロミック素子において、絶縁層が、それぞ
れ異なる2層以上の誘電体膜によって構成されたことに
ある。
すなわち、従来の全固体型エレクトロクロミック素子に
おける絶縁層に使用されている絶縁物質、例えばTa2
05等は応答速度および着色効率の点で優れたものであ
るが、これは寿命の点で劣っていて、素子自体の安定性
(例えば応答速度のバラツキ等)も悪く、そのため、素
子の信頼性も悪いというような欠点をもっている。本発
明は、このような応答速度等の点で優れた性質をもつ物
質の長所を生かしながら、絶縁層の寿命、安定性を改良
し、ひいては素子の信頼性を向上するためにり−に記の
Ta 205等のように従来絶縁層に使用されている絶
縁物質に、これよυ応答速度、着色効率等の性能の点で
劣っているが寿命の長い絶縁物質例えばZ rO2等を
保穫膜の形態で積層することによって、素子の長寿命化
をはかったものである。この場合、寿命の長い絶縁物質
を混合してJiりを形成することもできる。
以下、本発明の実施態様について説明する。第3図は本
発明を上記の第1図に示す構造のエレクトロクロミック
素子に適用した本発明の第1の実施態様を示す。このエ
レクトロクロミック素子は、第1図に示すものと同様に
、透明な基板】の上に、透明導電体族よりなる第1電極
2、陰極側発色層に積層してなるものであるが、絶縁層
4はそれぞれ異なる誘電体膜の層4aおよび4bによっ
て構成されている。この中、層4aとして、応答速度、
着色効率等の性能の点で優れているが寿命の点で劣って
いる絶縁物質、例えばTa2o5が使用され、層埼すと
して、性能の点で劣るが安定性および寿命の点で優れて
いる絶縁物質、例えばZ rO2が使用される。
第4図は本発明を上記の第2図に示す構造のエレクトロ
クロミック素子に適用した本発明の第2の実施態様を示
す。このエレクトロクロミック素子は第3図に示すエレ
クトロクロミック素子における絶mJ脩4と第2′rH
,極5との間に、さらに、陽極側発色層である第2のエ
レクトロクロミック層6を積層したもので、第3図に示
すものと同様に、絶縁層4はそれぞれ異なる誘電体膜の
層4aおよび4bによって構成されている。
次に本発明による全固体型エレクトロクロミック素子の
実施例について説明する。
実施例1 第3図に示す構造の全固体型エレクトロクロミック素子
において、19さ0.7 ranの硼硅酸ガラスの基板
1上に、適当な引出し電極部およびリード部を備えたI
TO膜よシなる第1電極2を形成し、その上に真空蒸着
法によって、WO3よりなるエレクトロクロミック、1
−3、Ta205 h’Aの層4 a 、 ZrO2膜
の層4bを順次に形成し、その上にAuの半透明導電膜
の第2電極5を形成した。真空蒸着の条件は、真空度2
.0X10  Torr、蒸着速度はすべて] 0 ’
X / 秒テアツタ。各ffl ノ膜If ハ、WO3
−3000i。
Ta205−2200 X % ZrO2−8001で
あった。また第2電極のAuの半透明導電膜の膜厚は3
00λであった。
この様にして製造した全固体型エレクトロクロミック素
子を第1電極と第2電極の間に1.2 V 。
l Hzを印加して駆動したところ、8X]05回の寿
命を得ることができた。
実施例2 実施例1で用いた全固体型エレクトロクロミック素子に
おいて、Z rO2膜とAuの半透明導電膜の間に、さ
らに100OXのI r (OH) 2膜を加えて第4
図に示す構造のエレクトロクロミック素子を作成し、実
施例1と同様のテストを繰り返しだところ、同様の結果
が得られた。
以上説明したように、本発明によれば、応答速度、着色
効率等の性能において優れ且つ安定性および寿命の改良
された全固体型エレクトロクロミック素子が得られる。
【図面の簡単な説明】
第1図および第2図は従来の全固体型エレクトロクロミ
ック素子の2例を示す構造断面図、第3図および第4図
は、それぞれ、本発明による全固体型エレクトロクロミ
ック素子の実施態様を示す構造断面図である。 1・・・基板       2・・・第1電極3・・・
エレクトロクロミック胸 4・・・絶縁層      5・・・第2’ilt、@
i6・・・第2のエレクトロクロミック層第1図 A〜 第2図 −一 第3図 第4図

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 4電体膜より成る第1電極と、陰極側発色層であるエレ
    クトロクロミック層と、誘電体膜からなる絶縁層と、導
    電体膜よりなる第2′電極を順次積層し、或いは上記の
    絶縁層と、第2電極の間にさらに陽極側発色層である第
    2のエレクトロクロミック層を積層してなる全固体型エ
    レクトロクロミック素子において、上記の絶縁層が、そ
    れぞれ異なる2層以上の誘電体膜によって構成されたこ
    とを特徴とする全固体型エレクトロクロばツク素子。
JP16426882A 1982-09-21 1982-09-21 全固体型エレクトロクロミツク素子 Pending JPS5953816A (ja)

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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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