JPS59208763A - 樹脂封止型電子装置 - Google Patents
樹脂封止型電子装置Info
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- JPS59208763A JPS59208763A JP8173283A JP8173283A JPS59208763A JP S59208763 A JPS59208763 A JP S59208763A JP 8173283 A JP8173283 A JP 8173283A JP 8173283 A JP8173283 A JP 8173283A JP S59208763 A JPS59208763 A JP S59208763A
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- 229920005989 resin Polymers 0.000 title claims abstract description 12
- 239000011347 resin Substances 0.000 title claims abstract description 12
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 20
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 18
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 18
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 7
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims abstract description 7
- 239000010949 copper Substances 0.000 claims abstract description 7
- 230000005496 eutectics Effects 0.000 claims description 7
- BERDEBHAJNAUOM-UHFFFAOYSA-N copper(i) oxide Chemical compound [Cu]O[Cu] BERDEBHAJNAUOM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 239000011819 refractory material Substances 0.000 claims description 4
- 229910000881 Cu alloy Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 6
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 abstract description 6
- 239000008188 pellet Substances 0.000 abstract description 5
- QPLDLSVMHZLSFG-UHFFFAOYSA-N Copper oxide Chemical compound [Cu]=O QPLDLSVMHZLSFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 1
- 239000005751 Copper oxide Substances 0.000 abstract 1
- 229910000431 copper oxide Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 238000004299 exfoliation Methods 0.000 abstract 1
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 3
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 3
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 2
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- PEDCQBHIVMGVHV-UHFFFAOYSA-N Glycerine Chemical compound OCC(O)CO PEDCQBHIVMGVHV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 239000004840 adhesive resin Substances 0.000 description 1
- 229920006223 adhesive resin Polymers 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 238000005266 casting Methods 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 1
- 238000009661 fatigue test Methods 0.000 description 1
- 239000000945 filler Substances 0.000 description 1
- 238000011835 investigation Methods 0.000 description 1
- 238000005304 joining Methods 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- 229920002050 silicone resin Polymers 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/48—Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor
- H01L23/488—Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor consisting of soldered or bonded constructions
- H01L23/498—Leads, i.e. metallisations or lead-frames on insulating substrates, e.g. chip carriers
- H01L23/49861—Lead-frames fixed on or encapsulated in insulating substrates
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
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- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/0001—Technical content checked by a classifier
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[発明の技術分野]
この発明は、半導体デバイスのごとき電子装置に関し、
特に、リード接合部に亀裂等が生じぬように改良された
樹脂封止型電子装置に関覆るものである。
特に、リード接合部に亀裂等が生じぬように改良された
樹脂封止型電子装置に関覆るものである。
[発明の技術的背景]
公知の1〜ランジスタ等の樹脂封止型電子装置として、
例えば第1図乃至第3図に示すような構造を有している
ものがある。 同図において、1は非金属耐火材料から
成る絶縁性の基板であり、該基板1上には3枚の導電性
シート2〜4が互いに分離して配置されるとともに各導
電性シートの底面全面で該基板1に融着接合されている
。 また、該導電性シー1−2〜4の各々の上面には、
はんだ5を介して金属リード6が接合されている。 基
板1の中央部に位置覆る導電性シー1−3上には金属リ
ード6のほかに半導体ペレッ7かは/υだもしくは接着
剤等を介して接合されており、該半導体ベレッ1〜7の
電極と導電性シート2及び3とは金属細線8及び9を介
して接続されている。 第2図及び第3図に承りように
基板1の上面には基板の縁部に沿って延在する樹脂ケー
ス10が接着されており、該樹脂ケース10内の空間に
は下層充填物としてシリコーン樹脂ゲル剤11が、また
、上層充填物としてエポキシ樹脂等の熱硬化性樹脂12
が充填されるとともに且つ硬化されている。
例えば第1図乃至第3図に示すような構造を有している
ものがある。 同図において、1は非金属耐火材料から
成る絶縁性の基板であり、該基板1上には3枚の導電性
シート2〜4が互いに分離して配置されるとともに各導
電性シートの底面全面で該基板1に融着接合されている
。 また、該導電性シー1−2〜4の各々の上面には、
はんだ5を介して金属リード6が接合されている。 基
板1の中央部に位置覆る導電性シー1−3上には金属リ
ード6のほかに半導体ペレッ7かは/υだもしくは接着
剤等を介して接合されており、該半導体ベレッ1〜7の
電極と導電性シート2及び3とは金属細線8及び9を介
して接続されている。 第2図及び第3図に承りように
基板1の上面には基板の縁部に沿って延在する樹脂ケー
ス10が接着されており、該樹脂ケース10内の空間に
は下層充填物としてシリコーン樹脂ゲル剤11が、また
、上層充填物としてエポキシ樹脂等の熱硬化性樹脂12
が充填されるとともに且つ硬化されている。
し前日技術の問題点]
前記のごとき構造の従来の樹脂封止型電子装置にA5い
ては、金属リード6とはんだ5との接合部aに亀裂を生
じ、そのため、導電性の低下など電気的!lei性の劣
化を生じたり、或いは使用不可になる鋳の事故を生じや
り゛い欠点があった。 これま−Cの調査によると、こ
のような事故は次のような+31序ににつC生ずること
が判明している。
ては、金属リード6とはんだ5との接合部aに亀裂を生
じ、そのため、導電性の低下など電気的!lei性の劣
化を生じたり、或いは使用不可になる鋳の事故を生じや
り゛い欠点があった。 これま−Cの調査によると、こ
のような事故は次のような+31序ににつC生ずること
が判明している。
1なわら、前記のごとき構造の従来の樹脂封止型電子装
置を例えば100℃以上の湿度に放置しておくと、熱硬
化性樹脂12と金属リード6との相!jの熱膨張係数差
によって金属リード6の接合部a (第3図)には金属
リード6とはんだ5とを互いに引き離す方向の応力が生
じ、この応力は周囲温度が下がると消失するが、周囲温
度が−Lがれば再び生じる。 従ってこのような温度サ
イクルが繰り返されると、金属リード6の接合部aには
繰返し応力による疲労が生じることになる。 それ故、
従来の電子装置は湿度変動のある環境で使用していると
、繰返し応力による疲労のため、金属リード接合部aに
突然に亀裂を生じ、その結果、電気的特性の低下を生じ
たり、或いは使用不能になる等の事故を生じやすかった
。
置を例えば100℃以上の湿度に放置しておくと、熱硬
化性樹脂12と金属リード6との相!jの熱膨張係数差
によって金属リード6の接合部a (第3図)には金属
リード6とはんだ5とを互いに引き離す方向の応力が生
じ、この応力は周囲温度が下がると消失するが、周囲温
度が−Lがれば再び生じる。 従ってこのような温度サ
イクルが繰り返されると、金属リード6の接合部aには
繰返し応力による疲労が生じることになる。 それ故、
従来の電子装置は湿度変動のある環境で使用していると
、繰返し応力による疲労のため、金属リード接合部aに
突然に亀裂を生じ、その結果、電気的特性の低下を生じ
たり、或いは使用不能になる等の事故を生じやすかった
。
[発明の目的]
この発明の目的は、従来の樹脂封止構造の電子装置に内
在している前記のごとき欠点を有しない、改良された樹
脂封止型電子装置を提供リ−ることである。
在している前記のごとき欠点を有しない、改良された樹
脂封止型電子装置を提供リ−ることである。
[発明の概要]
本発明者は、従来の樹脂封止型電子装置の基本設削と製
造■稈とを大幅に変更I!す゛に使用素材の熱膨張差に
よる悪影響を除くことのできる方法を種々試みた結果、
本発明の電子装置を得ることができた。
造■稈とを大幅に変更I!す゛に使用素材の熱膨張差に
よる悪影響を除くことのできる方法を種々試みた結果、
本発明の電子装置を得ることができた。
本発明の樹脂封止型電子装置は、特5′[請求の範囲に
記載されているように、非金属耐火材料の基板と銅又は
銅合金の導電性シートを用い、該導電性シートが該基板
に対して相対移動することができる非接合部分を具備す
るとともに、該非接合部分以外の部分において該基板上
に銅−酸化銅共晶接合され−Cおり、該非接合部分に金
属リードを接合したことを特徴とづる。
記載されているように、非金属耐火材料の基板と銅又は
銅合金の導電性シートを用い、該導電性シートが該基板
に対して相対移動することができる非接合部分を具備す
るとともに、該非接合部分以外の部分において該基板上
に銅−酸化銅共晶接合され−Cおり、該非接合部分に金
属リードを接合したことを特徴とづる。
非金属耐火4A斜月と銅又は銅合金素材の銅−M9化銅
の共晶接合は、表面が酸化している銅系素材をしラミッ
クなど非金属耐火材料索拐に単ねた状態て゛、1065
℃以上1085°C以下の実質温度に保持し、そのまま
冷fJI L、て銅−酸化銅共晶体により接合りるプj
法ひある。 この場合、銅系素材の非金屈耐ソ(材料に
対りる接触面にNiなどの高融点金属をメツ:1ニジ−
Cd′3<方法や溶剤に分散したレラミック粒子を塗布
りる方法により、共晶体が非金属耐火4A斜面に接合し
ないようにすることがて・ぎる。
の共晶接合は、表面が酸化している銅系素材をしラミッ
クなど非金属耐火材料索拐に単ねた状態て゛、1065
℃以上1085°C以下の実質温度に保持し、そのまま
冷fJI L、て銅−酸化銅共晶体により接合りるプj
法ひある。 この場合、銅系素材の非金屈耐ソ(材料に
対りる接触面にNiなどの高融点金属をメツ:1ニジ−
Cd′3<方法や溶剤に分散したレラミック粒子を塗布
りる方法により、共晶体が非金属耐火4A斜面に接合し
ないようにすることがて・ぎる。
なU′なら、Niやセラミック粉末は銅−酸化銅共晶が
9−するrFA aぐは共晶接合をしないからである。
9−するrFA aぐは共晶接合をしないからである。
「発明の実施例]
第1図に本発明にJこり構成された電子装置の一実施例
が示されている。 なお、第4図において、第1図乃〒
第3図と同一符号で示されている部分は従来の電子装置
の構成部分の同一の部分を示す。
が示されている。 なお、第4図において、第1図乃〒
第3図と同一符号で示されている部分は従来の電子装置
の構成部分の同一の部分を示す。
第4図に示す本発明の電子装置では、各導電性シート2
1・〜711がぞれぞれの一端に基板1と接触しない非
接触部分21A〜41△を具備しており、該非接触部分
21A〜41Δのそれぞれの上に金属リード6が接合さ
れ、第2図におけると同様ケース10中に樹脂」、」止
12を行った。 従っC1このような構造を有する本発
明の電子装置は温度変動のある環境で使用された場合、
該非接触部分21A−/1.1△は金属リード6と一体
となって基板1に対して上下に相対移動Cきるため、↓
l止樹脂との熱膨張差に基く金属リード6を導電性シー
1へから剥離させる応ツノは牛「゛す゛、また、導電性
シート21〜41を基板1から剥離させるような応力も
生じない。
1・〜711がぞれぞれの一端に基板1と接触しない非
接触部分21A〜41△を具備しており、該非接触部分
21A〜41Δのそれぞれの上に金属リード6が接合さ
れ、第2図におけると同様ケース10中に樹脂」、」止
12を行った。 従っC1このような構造を有する本発
明の電子装置は温度変動のある環境で使用された場合、
該非接触部分21A−/1.1△は金属リード6と一体
となって基板1に対して上下に相対移動Cきるため、↓
l止樹脂との熱膨張差に基く金属リード6を導電性シー
1へから剥離させる応ツノは牛「゛す゛、また、導電性
シート21〜41を基板1から剥離させるような応力も
生じない。
[発明の効果1
第5図は、従来の樹脂封止型電子装置と本発明の樹脂封
止型電子装置とを同一条件の下で温度り一イクルをか1
)で疲労試験を行った場合の両者の不良発生率ε(%)
を示したものである。 同図において横軸はサイクル回
数N、点線の曲線Aは従来の電子装置の、実線の曲線B
は実施例の不良発1率である。
止型電子装置とを同一条件の下で温度り一イクルをか1
)で疲労試験を行った場合の両者の不良発生率ε(%)
を示したものである。 同図において横軸はサイクル回
数N、点線の曲線Aは従来の電子装置の、実線の曲線B
は実施例の不良発1率である。
この図から明らかなように、本発明により改良された樹
脂月11−型電了装置に1J−3いては、不良発生率が
従来装置の−でれよりも非常に小さく、従って、本発明
によれば、従来の電子装置の欠点を有しない信頼f1の
高い、高寿命の電子装置が提供される。
脂月11−型電了装置に1J−3いては、不良発生率が
従来装置の−でれよりも非常に小さく、従って、本発明
によれば、従来の電子装置の欠点を有しない信頼f1の
高い、高寿命の電子装置が提供される。
また、本発明の樹脂封止型電子装置は、従来の製造技杯
1を大幅に変更り−ることなく製造できる上、使用する
素Hにも大幅な変更がないため、極めて安価なコストで
製造できるという利点をも右し−Cいる。
1を大幅に変更り−ることなく製造できる上、使用する
素Hにも大幅な変更がないため、極めて安価なコストで
製造できるという利点をも右し−Cいる。
第1図乃至第3図は、従来の樹脂封止型電子装置の部分
的斜視図及び全体斜視図、第4図は本発明にJ:り改良
された樹脂封止型電子装置の部分的斜視図、第5図は従
来の樹脂封止型電子装置と本発明の樹脂封止型電子装置
のそれぞれの不良発生率を比較表示した図である。 1・・・基板、 2,3.4・・・導電性シー]・、5
・・・はんだ、 6・・・金属リード、 7・・・半導
体ペレツI・、 8,9・・・金属細線、 10・・・
樹脂ケース、11・・・シリコーン樹脂ゲル剤、 12
・・・熱硬化性樹脂、 21.3’l、41・・・導電
性シート、21A、31A、/1.1△・・・非接合部
分。 特許出願人 東京芝浦電気株式会社 第1図 つ 第2図 第3図 第4図 N(回)−〉
的斜視図及び全体斜視図、第4図は本発明にJ:り改良
された樹脂封止型電子装置の部分的斜視図、第5図は従
来の樹脂封止型電子装置と本発明の樹脂封止型電子装置
のそれぞれの不良発生率を比較表示した図である。 1・・・基板、 2,3.4・・・導電性シー]・、5
・・・はんだ、 6・・・金属リード、 7・・・半導
体ペレツI・、 8,9・・・金属細線、 10・・・
樹脂ケース、11・・・シリコーン樹脂ゲル剤、 12
・・・熱硬化性樹脂、 21.3’l、41・・・導電
性シート、21A、31A、/1.1△・・・非接合部
分。 特許出願人 東京芝浦電気株式会社 第1図 つ 第2図 第3図 第4図 N(回)−〉
Claims (1)
- 1 非金属耐火月利からなる絶縁性の基板と、該基板に
接触しない非接合部分を具備するとともに該非接合部分
以外の部分において該基板上に銅−酸化銅の共晶接合さ
れている少なくとも一枚以上の銅又は銅合金の導電性シ
ーi〜と、該導電性シートの該非接合部分に接合された
金属リードとを有し、少なくとも該導電性シートと該金
属リードとが樹脂封止されでいる樹脂月1L型電子装置
。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8173283A JPS59208763A (ja) | 1983-05-12 | 1983-05-12 | 樹脂封止型電子装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8173283A JPS59208763A (ja) | 1983-05-12 | 1983-05-12 | 樹脂封止型電子装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS59208763A true JPS59208763A (ja) | 1984-11-27 |
Family
ID=13754593
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP8173283A Pending JPS59208763A (ja) | 1983-05-12 | 1983-05-12 | 樹脂封止型電子装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS59208763A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61176142A (ja) * | 1985-01-31 | 1986-08-07 | Toshiba Corp | 基板構造体 |
JP2008010618A (ja) * | 2006-06-29 | 2008-01-17 | Mitsubishi Electric Corp | 電力用半導体装置 |
-
1983
- 1983-05-12 JP JP8173283A patent/JPS59208763A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61176142A (ja) * | 1985-01-31 | 1986-08-07 | Toshiba Corp | 基板構造体 |
JPH0455339B2 (ja) * | 1985-01-31 | 1992-09-03 | Tokyo Shibaura Electric Co | |
JP2008010618A (ja) * | 2006-06-29 | 2008-01-17 | Mitsubishi Electric Corp | 電力用半導体装置 |
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