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JPS59163858A - GaAs論理集積回路 - Google Patents

GaAs論理集積回路

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Publication number
JPS59163858A
JPS59163858A JP58037501A JP3750183A JPS59163858A JP S59163858 A JPS59163858 A JP S59163858A JP 58037501 A JP58037501 A JP 58037501A JP 3750183 A JP3750183 A JP 3750183A JP S59163858 A JPS59163858 A JP S59163858A
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JP
Japan
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gaasfet
dfet
source
turned
efet
Prior art date
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Granted
Application number
JP58037501A
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English (en)
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JPH0347778B2 (ja
Inventor
Yasuo Igawa
井川 康夫
Akimichi Hojo
北條 顕道
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology AIST
Original Assignee
Agency of Industrial Science and Technology
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Publication date
Application filed by Agency of Industrial Science and Technology filed Critical Agency of Industrial Science and Technology
Priority to JP58037501A priority Critical patent/JPS59163858A/ja
Publication of JPS59163858A publication Critical patent/JPS59163858A/ja
Publication of JPH0347778B2 publication Critical patent/JPH0347778B2/ja
Granted legal-status Critical Current

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    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03KPULSE TECHNIQUE
    • H03K19/00Logic circuits, i.e. having at least two inputs acting on one output; Inverting circuits
    • H03K19/0008Arrangements for reducing power consumption
    • H03K19/0013Arrangements for reducing power consumption in field effect transistor circuits
    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03KPULSE TECHNIQUE
    • H03K19/00Logic circuits, i.e. having at least two inputs acting on one output; Inverting circuits
    • H03K19/02Logic circuits, i.e. having at least two inputs acting on one output; Inverting circuits using specified components
    • H03K19/08Logic circuits, i.e. having at least two inputs acting on one output; Inverting circuits using specified components using semiconductor devices
    • H03K19/094Logic circuits, i.e. having at least two inputs acting on one output; Inverting circuits using specified components using semiconductor devices using field-effect transistors
    • H03K19/0952Logic circuits, i.e. having at least two inputs acting on one output; Inverting circuits using specified components using semiconductor devices using field-effect transistors using Schottky type FET MESFET

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Computing Systems (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mathematical Physics (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Logic Circuits (AREA)
  • Junction Field-Effect Transistors (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 本発明はGaAs論理集積回路に関するものである。
〔発明の技術的背景とその問題点〕
従来GaAs論理集積回路(以下GaAsICと略称)
の回路構成法としては、BFL (Bufferea 
FETLogic ) 、 5DFL (5chott
ky Diode FET Loglc)又tri D
CFL (Direct Coupled FET L
ogic )と呼ばれるものが知られ各所で精力的な研
究開発が行なわれている。回路の構成要素には、FET
 、ダイオード、抵抗等がある。このうちGaAsIC
実現上鏝も重要なFETとしてはショットキーケ゛−ト
型FET (MESF”ET )を用いるがこれには大
別して2種類ある。すなわちノーマリオン型FETと後
者は、ケ″−1−電圧零〇時非導通状態にありエンハン
スメント型とも呼称されている。以下、ノーマリオンa
’↓F’ETをDFET 、ノーマリオフ型、、FET
全EFE’I’と呼ぶ。DFETを基本Ti’ETとし
だ回’ 降カDCFLf9ル。第1図にBET、 、第
2図に5r)F’L 。
、−、□・ 第′3図にDCFLの回路構成を示す。
第1図のBFLにおいては、ドライバとなるDFETエ
ユ(I11〜114 )と負荷となるDFET12を直
列に配し、入力信号VINを反転させる。
この反転し7た信置1ノベルに、次段の入力デートがD
F’ETで構成されているためその!、捷では使えず、
レベルシフト’(r行なう必要がある。そのため出力段
に、ソースフォロワDFET 13 、ショットキーダ
イオードz4(141〜I43 )および電流源として
のDFET 15からなるI/ベルシフト回路を設けて
いる。乙のレベルシフト回路には電流源としてのDFE
T 15によって常に電流が流ね、ており従って消費電
力は大きい。
第2図に示す5DFLにおいては、DF’ET 21を
ドライバ、DFET22を負荷としてインバータを4− 構成するが、その入力部で入力信号のレベルシフトを行
なう。即ち、論理ダート用ショットキーダイオード2s
 (、? sI 、z s2 )、レベルシフト用ショ
ットキーダイオード24および電流源用DFET 25
により入力部レベルシフト回路を構成して、インバータ
のドライバEFET 21をいることのためにBFLに
比べ消費電力は小さくなるが、しかしやはりレベルシフ
トのために電力を消費せざるを得ない。
第3図に示すDCFLにおいては、ドライバにEFET
 31を用い、負荷にDFgT、9.、?を用いる。
このため出力信号VOUTの7ベルは次段のデートを動
作させることができ、入力信号vINとレペルコンノ平
ティプルにすることができる。従って、BF’Lや5D
FI、の場合のようなレベルシフト回路が不要でそれだ
け低消費電力で動作させることが5− できる。その反面、EFETをドライバとしているため
、低レベルを出力するためには負荷のDFETとしてI
SSライ上り電流容量の小さいものを用いなければなら
ず、従ってドライブ能力にかけ、動作速度がやや遅くな
るという難点がある。
第4図に、現在まで報告されている各種論理、集積回路
のr−)当り遅延時間と消費電力の関係を示す。GaA
s−ではDCF’Lが最も低消費電力であることが明ら
かであるが、DI’ETを用いるBFI。
1や5DFLに比べて動作速度はやや遅いという傾向J
”ある。消費電力については、Ga’A sはStのよ
ところでGaAsICの高集積化を考えた場合、ICの
放熱条件を考えると1チップ当り1w程度と考えるのが
、実用上の上限である。これは5tICの例をそのまま
適用したもので、GaAsの場合Siに比べて熱伝導率
が小さいということもあって、その上限はStに比べて
低い可能性もある。
6− そこで、数1000ダ一ト規模以上のGaAsLSIを
実現しようとすれば、ケ”−11りの消費電力は数10
0μwB下にする必要がある。BF’LやSDF’Lで
これを実現するのは無理であるし、DCFLを用いても
、困難を伴なうことが予想される。
またDCFLの場合、集積度が大きくなった時増大する
負荷のために動作速度の遅くなり方が激しいという問題
がある。これはDCFLのドライブ能力の小ささに起因
している。従ってデート当りの伝播遅延時間τ、dの負
荷依存性はDCFT、の場合=:力るため、接地面との
間の容量は大きな負荷と]i i:′なるし、又、多層配線のクロスオーバ一部の容X
:′。
・11も負荷となる。その上、1つの論理r−)の・; ″”出力は一般にいくつかの論理ダートの人力に接続さ
れることが巨1路構成上必要で、この次段の入力容量も
大きな負荷となる。これらの容量負7− 荷は、幅4. l1mの配線で100〜200 fF/
rtan 。
4μm×4μmのクロスオーバーでは5〜10fF/4
固、ファンアウト1つ当り100〜200 fF程度と
見積られ、IC中の平均配線長を31Il+11.平均
ファンアウトを3.平均クロスオーバーを20個とする
と、1論理ダートが負う負荷容量は07〜]、、 4 
pFとなる。これはダート長1μm、ダート幅10〜2
0μm程度のFETで構成されるDCFL論理ダートの
場合、電流駆動能力数mAとすれば数100声のτ、d
に相当する。更に、ICの外部回路とのインタフェース
を考えると、出力回路は内部回路の容量負荷より1桁U
上大きな負荷を駆動する必要が生じる。この出力回路に
おいてICの速度全損なわないようにすると、出力11
・”、1 8− 府実現しようとすると、現在知られている回路構成では
極めて困難を伴なうことがわかる。
〔発明の目的〕
本発明は、これら従来のGaAsIC回路構成の欠点に
鑑みなされたもので、ケ゛−ト当りの消費電力が小さく
、なおかつ負荷増大にも耐えうるドライブ能力の大きな
基本ダート回路構成を提供することを目的とする。
〔発明の概要〕
本発明は、ドライバとしてEFET、負荷としてDFE
T ’e用いたインバータ回路を基本とし、その負荷用
DFgTを人力信号によって制御してオン、オフさせ、
疑似相補型の動作を行なわせる。具体的にはドライバと
してのEFET (第1のGaAsFET )と負荷と
してのDFET (第2のGaAsFET )の間にレ
ベルシフト用のショットキーGaAaダイオードを1個
以上介在させたインバータを構成し、入力信号により制
御されて所定の制御電源を第2のGaAsFETのデー
トに゛選択的に供給するDFET (第3のGaAsF
ET )を設けると共に、第29− 「のGaAsFETのドレイン・デート間にダート・ソ
ース間を共通接続したDFET(第4のGaAsFET
 )を介在させる。壕だゲート・ソース間を共通接続し
たDFET (第5のGaAsFET )を用意してそ
のソースを第1のGaAsFETのダートに、ドレイン
を信号入力端子に接続し、更にダート・ソース間を共通
接続したDFET (第6のGaAsFET ) f用
意してそのソースを第3のGaAsFETのダートに、
ドレイン全信号入力瑞子に接続する。そして、各素子特
性および各部の電位関係を設定することにエリ、■入力
信号が茜レベルで第1のGaAaFETがオンとなると
き、第3のGaAsFETをオンにして第2のGaAs
FETにそのダート・ソース間電圧がピンチオフ電圧以
下となるような制御電圧を与えて、第2のGaAsFE
T f、Hオフにする。例えば第3のGaAsFETの
飽和ドレイン電流(ダート・ソース間電圧が零のときの
ドレイン電流)を第4のGaAsFETのそれより大キ
くシておけば、前記制御電源をほぼその−1ま第2のQ
aAsFETのケ゛−トに与えてこれをオフにすること
ができる。
10− ■また入力信号が低レベルで第1のGaAsFETがオ
フになるとき、第3のGaAsFET ’、1オフにし
てオンのときも貫通電流が流れることはない。またDC
FLと異なり、負荷Ii’ETの電流容筐を大きくでき
るから、ドライ・−? FETがオフのときに次段に十
分な負荷電流を供給できるドライブ能力金持たせ得る。
また負荷FET Q制御するための第3.第40GaA
sFETの回路部分は負荷FETのみを負荷とするので
駆動能力の小さい低消費電力構造としても高速性が損な
われない。
更に第1.第3のGaAsFETのダートと信号入力端
子との間にそれぞれ第5.第6のGaAsF”ETを介
在させたことにより、入力信号レベルが第1、第3のG
aAsFETのフランジ電圧より高い場合にもこれらの
ケゝ−トからの電流の流れ込みを効果的に抑制すること
ができ、また主電源電圧レベルを高くした場合に低レベ
ル出力の浮き上りを防止して安定なイン・ぐ−夕動作を
行なうこる。
ライパとなるEFET (第1のGaAsFET ) 
51と負荷となるDFET (第2のGaAsFET 
) 52を主電源VDDと接地間に直列接続してインバ
ータを構成するのが基本である。EFET 51のドレ
インとDFET 52のソース間にはレベルシフト用の
ショットキーGaAsダイオード54(541、5rt
2)を設けている。負荷としてのDFET 52のデー
トはDFET (第3のGaAsFET ) 53を介
して制御電源VSSに接続すると共に、ダート・ソース
間を共通接続したDFET(第4のGaAsFET )
 55 k介してドレイン、即ち主電源VDDに接続し
ている。
ここでDFET 53はその飽和ドレイン電流がDFE
T55のそれより大きくなるように設定されている。ま
た制御電源VSSは主電源VDDに対して0 < Vs
s < ’VDDなる所定の値に設定されている。
入力信号vINはダート・ソース間を共通接続さダート
にも供給されるようになっている。出力= 褥号VOUTはEFET 51のドレインから取出され
まず入力信号v1Nが高レベル(vH)であると、ドラ
イバのEFET 51とDFET 53はオン(導通状
態)となる。その条件は、DFET 53のビンチオ1
3− フ電圧全V、2 、 EFET 51のスレッショルド
電圧をVthとすると、 VH−VrErb > Vss +Vp2      
 ■VHVyEra > Vt1t         
  ■と表わされる。但しVFETaはDFET 56
 aのトンイン・ソース間電圧+ VFETbばDIi
’ET 56 bのドレイン・ソース間電圧である。こ
れら2つのDFET56a、 56 bはEFgT 5
1 、 DFET 53のダートに印加される入力信号
がダート・ソース間のクランf電圧以上になってダート
からソースに向けて電流が流れ出すと、自分自身のトン
イン・ソース間電位差を増大させ、EFET 51 。
DFET 53のr−)にある一定以上の電流が流れな
いようなリミッタとしての動作を行なう。そ6閾値電流
はDFET 56 a 、 56 b ノ飽和トレイン
電流に等しい。従ってこの飽和電流値がEF’ET51
 、 DFET 53(D)ランプ電aEVCE + 
VCDにお14− ンプ電圧に保持され、ダートに流れ込む電流はこれ以上
増大しない。フラソノ電王は当然Vth 。
VF6.1:り大きい値でありEFET 51 、 D
FET 53のオン、オフ動作に影響は与えない。従っ
て■。
■式はケ゛−ト電圧がクランプ電圧以下の場合で考えて
もよく VH> VSS + VF6            
 ■IVH> Vth              ■
′と書き換えることができる。
このトキ、DF’ET 53がオンであって、その飽和
ドレイン電位がDFET 55のそれより大きいことか
ら、DFET 53のドレイン電位はほぼVSSとなり
、これが負荷のDFET 52のケ9−トに印加される
。一方、EFET 5 Zがオンであるから、もしDF
ET 52がオンテあれば主電源vDDからDFET5
2→ダイオード54..542→EFET 51を通っ
て接地へと電流が流れる。乙のとき出力端電位をvOU
TI +ダイオード54.,542でのWE降下を2×
VDとすると、DFET 52のソース電位は 5 ]? ユ”  Vss < VOUTl+2 X VD 十V
pt     ■が成立するとDFET 52はオフ(
非導通状態)となる。そのための十分条件は、votr
T≧Oであるから、 Vs s < 2 X Vo + Vp l     
      ■′となる。
こうして、■〜■′の条件を満たすことによって、DF
ET 52の過去の状態の如何にかかわらず、入力信号
vINが高VペルVHのとき、EFET 51はオン、
 DFET 52はオフとなる。
次に入力信号vINが低レベルvT、であると、DFE
T 53とEFET 51はオフとなる。その条件は VL < VSS + Vl)2          
   ■VL<Vth              ■
と表わされる。このとき、DFET 53がオフとなる
のでそのドレイン電位はほぼ主電源VDD電位る。以上
の動作をする条件をまとめると、VH> VSS + 
Vl)2             C)’VH> V
th              ■′VBB (2X
 VD + Vp X(3)’VL < VSS + 
VF6             ■Vt、<Vth 
             ■Vg = Vot+tz
 = VDD −2X VD       ■VLミv
ou’rtと0         0となる。以上の式
において回路中にはダイオード順方向の立上り電圧相当
の電位が発生してい17− ることか前提となるが、これを満たすKは微小電流がダ
イオードに流れているだけで十分である。
この実施例では、EFET 5 ZとDF”ET 52
は一方がオンのとき他方がオフであって、主電源VDD
→DFET 52→ダイオード541.542→制御電
源VSSの回路部は基本的には反転動作とレベルシフト
動作を行なうものであるが、その負荷はDFET 52
のデートだけなので、駆動能力の小さい低消費電力構造
としても高速性が損なわれることがない。
次に検討すべきは前段からの電流の流れ込み18− (次段への電流の流れ出しと等価)による電力消費につ
いてである。これは、入力信号V■Nが高レベルvHの
ときのみ問題となる9一般にMESFETを用いる回路
において入力信号はFETのダートに印加されるがデー
トがショットキー接合型であるため、ダート・ソース間
電圧がショットキー接合の順方向立上り電(f以上にな
ると急政に電流が流れ出す。従って人力信号がある値1
以上になると、これによる′重力が消費されることにな
る。ところが本実施例(ロ)路では、DFET56a。
における相補型動作による低消費電力性が更に補強され
ている点が本実施例の特徴の一つであ19− る。
DF’ET 56 a 、 DFET 56 bの存在
は動作条件を緩和するというもう一つの効果を持ってい
る。
第7図には、第5図に示す本実施例回路の入出力伝達時
)牛(○印)と、DFET 、56 a 、 56 b
を除いた回路の人出力伝達!時性(×印)を示す。
本実施例回路によれば、人力が]、V、Lソ上高くなっ
ても出力it !にの浮き上りがない。DFET 56
 a 。
56bのない回路では浮き上りがあり、そのためVDD
として設定でBる電子はIV8度という制限がある。と
ころが本実施例回路によtq、ば、DFET 56 a
 、 56 bの働きで、VDD k I V 、I−
、Ij二K W& 定してもインパークとしての動作を
安定に行なうことができるという大きな長所を持たせV
p、 = −0,5V Vp、=−0,5V vth ””   0.2 V VD  ”=   0.8V VcL=   0.7V vDD −3V VSS −IV に設定すると、α)〜■の全ての式全満足するととがで
き、本実施例回路のイン・ζ−メタ動作正常に行なわね
、る。
次に上記動作条件を考慮して、インバータ回路とこれを
用いたリングオシレータ回路全試作し、負荷容t y、
負わせた場合につき、そのケ゛−ト当りの伝播遅延時間
および消費電力を測定し、まだ比較のため第3図の、/
/I)型r)CFLを用いたりングオシレータ回路を試
作してその特性を測定した。そのデータを以下に説明す
る。FETおよびショットキーダイオード用の活性層の
形成はルを行なった。次に、AII G eオーミック
電板全形成しこのあとFETのショットキーケ8−ト電
極、ショットキーダイオードのショットキー電極と(−
でpt7(ガε着し400℃のタンタ処理を用いてFE
Tのビンヂオフ電田、スレッシ、ホールド電圧の制御を
行ない、EFETのスレッシュホールド電圧を0.2 
V 、  DTi”ETのピンチオフ電FEを一〇、5
Vに設定した。
リングオシレータ回路は15段であり、各段に容計負荷
として1辺50 Jimの正方形のショットキーダイオ
ードを出力ラインと接地端間に挿入した。その回路図を
第6図に示す。
リングオシレータ発振波形を測定し、1段当りの伝播遅
延時間τpa 、消費電力Pd、論理振幅22− ΔVを求めた結果を第4表に示す。
第1表 第4表 リングオシレータ各段の′f′l荷容Ft li it
 pF〜!、SI中の特性を示シ1.たものと考えてよ
い。本実姉例の回路に、τpa ’Pd漬という指標で
みれば、5小型DCFLに比べて /71ツ下でイ)す
、高速性。
f:徒消費電力性に優れた回路であるとどが明らかとな
った。しかも語j理振輻ば2.5Vと犬きく、DCFL
に比べて45倍になっている。
本実施例の回路において、EFET51とDFET52
の疑似相補型動作のためにわf DFET 55は本質
的では疫いが、このDFET 55はDFET 52を
オフからオンにするときの動作を高速にする上で大きな
意味をもつ。
また第5図から明らかなように、本実施例の回路では製
造上プロセス制御が難しいEFETは1個しか用いてい
す、他は全て8t!!造の容易なりFETである。その
結果、本実施例回路のタリ造歩留りけ0/D型DCFL
ど基本的に同一レベルと考えてよく、ICの性能/価格
比は高いものとなる。このように製造歩留りの低いEF
ETが1個だけで疑似相補型動作を実現できるのけ、ダ
イオード54の存在と制御電源VSSの供給知よるため
で、/′1 −からである。
本発明の回路は、電源電田Vnl) 、 Vss、ショ
ットキーダイオード54の個数や逆方向飽和電流(こJ
]、はダイオード接合面積による) 、DFET25− のピンチオフ電圧、 EFETのスシッショルド電圧な
どを変えることで、論理振幅を大きくすることができる
。しかも本発明回路は、DFET56 a 。
DFET 56 bの働きによりFETのケゝ−ト部に
おけるクランプ現象が起こらないようになっているので
、論理振幅を大きくするだめの各部の変更に際I−1自
由度が大きい。
従って本発明の回路は、TTLコンノ9チブルのレベル
で動作させることも容易に実現でき、GaAsICと他
の回路とのインターフェース方式の問題も解決できる。
才たGaAsICだけでシステムを作り上げる場合にも
ICチップ同志の間の信号伝送には耐ノイズ対策は重要
でそのためにはを増したい場合には、EFET 51 
、 DFET 52のケゝ−ト幅を太きぐずればよく、
それにもかかわらず相補型動作のため消費電力は犬きく
ならな26− −−以上詳述したように本発明によれば、従来のBFL
や5DFL並みのデバイス数とDCF’L並みのプロセ
ス技術でこれらの回路より格段に優れた高速性、大駆動
能力および低消費電力性を実現することが可能となり、
GaAsICのLSI化に果たす役割は極めて大きい。
なお、以上の説明では専らGaAsIC(i−用いた例
を示したが、MESFETを構成F’ETとしている点
から他の半導体材料、例えばInP 、 81等を用い
た場合にも本発明を適用することが可能である。
また第5図においてDFET 55はDF’ET 53
の負荷としての役割をもつものであるから、これを抵抗
に置換しても同様の効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
第1図はBFLと呼ばれるGaAsMESFETを用い
た論理ダート回路の回路図、第2図は5DFLと呼ば各
種論理回路の速度−消費電力の領域を示した図、第5図
は本発明の一実施例のGaAsIC用の基富14本論理
回路の回路図、第6図は第5図の回路にに試作して測定
した入力−出力特性を示す図である。 s ? ・EFET (第1のGaAsFET )、5
2 =−DFET(第2のGaAsFET )、53−
 DFET (第3のGaAsFET )、541  
+ 542 =−ショットキーGaAsダイオード、5
5・・DFET(第4のGaAsFET )、56 a
 −・−DFET (第5のGaAsFET )、56
 b 、・・DFET (第6のGaAsFET )、
VDD ”’主電源、VSS・・・制御電源。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 (1)  イン・々−タ回路のドライバとなるノーマリ
    オフ型の第1のGaAsFETおよび負荷となるノーマ
    リオン型の第2のGaAsFETと、これら第1゜第2
    のGaAsFETO間に介在させたレベルシフト用のG
    aAsダイオードと、前記第1のGaAsFETのダー
    トに供給される入力信号により制御されて所定の制御電
    源全選択的に前記第2のGaAsFETのデートに供給
    するノーマリオン型の第3のGaAsFETと、ダート
    ・ソース間を共通接続してソース、ドレインをそれぞれ
    前記第1のGaAsFETのゲート、ドレインに接続し
    たノーマリオ□ ン型の第4のGaAsFgTと、ダート・ソース間を′
    :l−通接続してソース側を前記第1のGaAsFET
    のダートに接続しドレイン側を信号入力端子に接続した
    ノーマリオン型の第50GaAsFETと、ダート・ソ
    ース間を共通接続してソース側を前記第3のGaAsF
    ETのダートに接続しドレイン側を信号入力端子に接続
    したノーマリオン型の第6のGaAsFETとを集積し
    て構成され、入力信号が高レベルのとき前記第1および
    第3のGaAsFETがオン、第2のGaAsFETが
    オフとなり、入力信GaAs論理集積回路。 (3)  前記第5のGaAsFETは、その飽和ドV
    イン電流が前記第1のGaAsFETのダート・ソース
    間ダイオード特性における順方向立上り電圧に対応する
    電流より小さくなるように設定され、前記第6のGaA
    sFETは、その飽和ドレイン電流鏡前記第3のGaA
    sFET0ケ9−ト・ソース間ダイオード特性における
    順方向立上り電圧に対応する電流より小さくなるように
    設定されている特許請求の範囲第1項記載のG a A
    s論理集積回路。
JP58037501A 1983-03-09 1983-03-09 GaAs論理集積回路 Granted JPS59163858A (ja)

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JP58037501A JPS59163858A (ja) 1983-03-09 1983-03-09 GaAs論理集積回路

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JP58037501A JPS59163858A (ja) 1983-03-09 1983-03-09 GaAs論理集積回路

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0222369A2 (en) * 1985-11-13 1987-05-20 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Gate circuit

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JPS546760A (en) * 1977-06-17 1979-01-19 Fujitsu Ltd Logic circuit
JPS55111179A (en) * 1979-02-13 1980-08-27 Thomson Csf Field effect transistor structure* saturated resistor including same structure* field effect transistor and logic circuit

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