JPS59148137A - 磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、真空蒸着によるａ性薄ａｔ備えた磁気記録媒
体の製法に関するもので、特に磁性薄膜の密着性、スチ
ル耐久性にすぐれた磁気記録媒体の製法に関するもので
ある。

従来より磁気記録媒体としては非磁性支持基材上にｒ−
Ｆｅ２０３、ｃｏｙドープしたｒ　Ｆｅ５ｒ３、Ｆｅ　
３０４、ＣｏｋドープしたＦｅ３Ｏ４、ｒ−Ｆｅ２０３
とＦ　ｅ　３０４のベルトライド化合物、ＣｒＯ２等の
酸化物磁性粉末あるいはｃｏ１Ｎ１％Ｆｅ等の遷移金属
を主成分とする強磁性合金粉末といった粉末型の磁性材
料を塩化ビニル−酢酸ビニル共重合体、スチレン−ブタ
ジェン共重合体、エポキシ樹脂、ポリウレタン樹脂等の
有機バインダー中に分散させてなる磁性塗料を塗布、配
向、乾燥して磁性層を形成させる塗布型のものが広く使
用されてきている。近年高密度磁気記録への急激な要求
の高まシと共に真空蒸着、スパッタリング、イオンプレ
ーテング等のペーパーデポジション法、あるいは電気メ
ッキ、無電解メッキ等のメッキ法により形成される強磁
性金属薄膜を磁気記録層とする有機バインダーを使用し
ない云わゆる金属薄膜型磁気記録媒体が注目を浴びてお
り実用化への努力が種々行なわれている。

従来の塗布型の磁気記録媒体では主として飽和磁化の小
さい金属酸化物を磁性材料として使用していると共に、
ｓ柱層中のａ性材料の体積含有率が３０〜！’０％にす
ぎないため高出力高密度記録媒体としては限界になって
きている。さらにその製造工程も複雑で溶剤回収あるい
は公害防止のための大きな付帯設備を必要とするという
欠点を有している。金属薄膜型磁気記録媒体では酸化物
磁性材料より大きな飽和磁化を有する強磁性金属を有機
バインダーの如き非磁性物質を介在させぬ状態で極めて
薄い薄膜として形成できるという利点を有する。高密度
磁気記録化につれて記録再生磁気ヘッドのギャップ長も
ｉ、ｏμｍ’ｒ切る時代になっているが、それに伴って
ａ気記録層への記録深さも浅くなる傾向があり、磁性膜
の浮み全部が磁気信号の記録に利用され得る金属薄膜型
磁気記録媒体は高出力高密度記録媒体として極めてすぐ
れている。金属薄膜型磁気記録媒体のうちでも膜の形成
を真空蒸着により行なう方法は膜の形成速度の速いこと
、製造工程が簡単であることあるいは排液処理の必要と
しないドライプロセスであること等の利、＋１有する。

しかしながら蒸着型磁気記録媒体についての大きな問題
の一つに磁性薄膜の耐久性の問題がある。

すなわち磁気信号の記録、再生の際に磁性薄膜は磁気ヘ
ッドとの相対接触運動のもとにおかれ摩耗や破壊の起る
可能性が大きい。このため磁気記録媒体の磁性膜は磁気
ヘッドとの接触に耐え得るため、強度の有すること全要
求されるが、従来の方法による蒸着型磁気記録媒体の磁
性膜の膜強度は不充分なものであった。

本発明の目的は、すぐれた膜密着性を有すると共に耐久
性を有する蒸着型磁気記録媒体の製造方法を提供するこ
とにある。

すなわち本発明は真空雰囲気内で連続して移動する基材
に強磁性材料を蒸着して磁気記録媒体を製造する方法に
おいて、蒸発源にチャージされた強磁性材料に０　、／
　Ａ／　ｃｍ　　以上のビーム電流密度を有する電子ビ
ームを照射せしめて蒸着を行うことｆ％徴とする磁気記
録媒体の製造方法である。

第１図は本発明を実施するために使用する装置の一実施
例を図式的に示している。真空槽ｌの内部は排気口コを
介して真空に排気できるようになっている。真空槽ｌ内
には円筒状キャン３が配設されていて、送り出しロール
グからのプラスチックベース等の可撓性基体！がキャン
３の周側面に沿って移動する。キャン３から離れた基体
ｊは巻き取りロールｔに巻き散られるキャン３に沿って
移動する基体ｊの上に強磁性材′ＰＦ７ｔ−加熱蒸発さ
せて得た蒸気流を差し向は適当なマスクｔにより設けら
れた開口部分で目的の強ａ性薄膜を形成する。ルツボを
内の強磁性材料７は電子銃りから照射される電子ビーム
ｌθにより加熱蒸発される。

電子ビーム１０は偏向コイル、集束コイル等によって適
当に偏向、集束されて強磁性材料７に照射されるが、本
発明においては電子ビーム１０の強磁性材料７への照射
点／／におけるビーム電流密度ｆ　Ｏ−／　Ａ／　Ｃｍ
　　以上とすることを要点としている。具体的には本発
明におけるビーム電流密度は照射点／Ｉにおける電子ビ
ーム１０の照射ビームスポットより求められる面積でビ
ーム電流を割った値で定義される。

本発明者等は蒸着型磁気記録媒体に関し種々研究の結果
磁性薄膜を電子ビーム蒸発法により作製する場合ビーム
電流密度ｆｆｉ　Ｏ−／　Ａ／　Ｃｍ２　　以上として
作製した磁性薄膜を有する磁気記録媒体は−よ− すぐれた膜密着性を有すると共に耐久性にもすぐれたも
のであることを見出し本発明に紋ったものである。

本発明に用いられる強磁性材料としては鉄、コバルト、
ニッケルその他の強磁性金属あるいはＦｅ−Ｃ０％　Ｆ
ｅ−Ｎ　１％　Ｃｏ−Ｎ　ｉ％Ｆｅ−８ｉｓＦｅ−Ｒｈ
、　Ｃｏ−Ｐｓ　Ｃｏ−Ｂｓ　Ｃｏ−８１ｓＣｏ　　Ｖ
ｘ　Ｃｏ　　Ｙ％　Ｃｏ　　Ｙａｘ　ｃ、　　Ｌａ５ｃ
ｏ　ｃｅ、ｃｏ　Ｐｒ％ＣＯＳｍｓ　ｃ、ＰｔｘＣｏ　
　Ｍｎｓ　Ｆｅ　　Ｃｏ　　Ｎｉｓ　Ｃｏ　　ＮＩ　　
Ｐ％Ｃｏ　　Ｎ　ｉ　　Ｂｓ　Ｃｏ　　Ｎ　ｉ　　Ａ　
ｇｓ　Ｃｏ　Ｎｔ　　Ｎｄ５Ｃｏ−Ｎ　１−Ｃｅ％Ｃｏ
−Ｎ　１−ＺｎｓＣｏ−Ｎ　ｉ　−Ｃｕ、　Ｃｏ−Ｎ　
ｉ　　Ｗ％　Ｃｏ　Ｎｉ　　ＲｅｘＧｏ−Ｎ　ｌ−８ｍ
５　Ｃｏ−８ｍ−Ｃｕ等がある。

さらに本発明を実施する際の真窒度はｉ、ｏｘｉＯ””
３Ｔｏｒｒ−／、０ＸＩＯＴｏｒｒが好ましく、真空雰
囲気中に０２等の酸化性ガスあるいはＡｒ％Ｈｅ等の不
活性ガスまたはこれらの混合ガスを導入してもいい。本
発明に使用される電子ビーム銃としてはピアス式電子銃
、偏向型電子６− 銃、ホローカソード型電子銃等いずれでもいい。

次に本発明を下記の実施例によりさらに詳細に説明する
。

実施例　１ 第１図に示された装置において、強磁性材料としてはＣ
ｏ−Ｎ　ｌ　（Ｎ　ｉ、２（７ｗｔ％）、可撓性基体と
してはｌｊ／ｊｍ厚ポリエチレンテレフタレートフィル
ム全使用して磁気テープ全作製した。真空度は／、ｓ×
１０　　’Ｔｏｒｒとし、ＳＶｔのビーム電流密度での
蒸着磁性膜を有する磁気テープについてその膜密着性と
耐久性を各々接着テープ剥離テストおよびＶＴＲスチル
時間にて調べた。

○：良好、×：不可 このように電子ビーム電流密度が／　、　ＯＡ／ｃｍ２
以上だと膜密着性および耐久性にすぐれた磁気テープ得
られる。

実施例　２ 第１図に示された装置において強磁性材料としてはＣｏ
１可撓性基体としてはｌθμｍ厚ポリエチレンテレフタ
レートフィルムを使用して磁気テープを作製した。酸素
ガスを導入することにより真空度は１．θＸ１０−’Ｔ
ｏｒ　ｒとし、稿々のビーム電流密度で作製した蒸着磁
性膜を有する磁気テープについてその膜密着性と耐久性
全実施例１と同様にして調べた。

このように電子ビーム電流密度が／　−ＯＡ／ｃｍ２以
上であると膜密着性および耐久性にすぐれる事が明らか
である。

【図面の簡単な説明】

一ター 第１図は本発明を実施するために使用する装置Ｏ要部略
図である。 ｌは真空槽、３はキャン、ｌはルツボ、りは電子銃、１
０は電子ビームである。 特許出願人　富士写真フィルム株式会社−ｌ　θ− 第　１　図 ４ 手続補正書 １、事件の表示　　　　昭和Ｈ年特願第２．２Ｊ７Ｊ号
、。 ２、発明の名称　　　磁気記録媒体の製造方法３、補正
をする者 事件との関係　　　　　　　特許出願人任　所　　神奈
川県南足柄市中沼２１０番地名　称（５２０）富士写真
フィルム株式会社表　補正の対象　　ゆ細幇の「発明の
詳細な説明」の欄及び図面 ５、補正の内容 一１１本願明細８＠！頁第−行目の ［巻き取られるキャン３ＶｃＪを 「巻き取られる。キャン３Ｋ」 と訂正する。 一２回書第！頁第６行目の 「ルツｙｔＴｒ内の」？ 「ルツボ／ｊ内の」 と１市する。 −３，同書第！頁第ｉｓ行目の 「面積で」を 「面！Ｒａで」 と訂正する。 一屯同響第を貴簡１行乃至第１Ｉ行目の表を、添付した
別紙−７の表と差軽える。 −５，同書第ｒ貴簡７３行目の 「７．０Ａ乙１２」を 「０　、　／　Ａ／ｍ”Ｊ −／　　− と訂正する。 一、４同書第り貴簡！行乃至第１Ａ行目の表を、添付し
た別紙−コの表と差替える。 −７同８第２頁第７７行目の 「八〇Ａ／ＣＩｒＬ２」を ［ｏ　、　／　Ａ／ｍ”Ｊ と訂正する。 一１同豊に添付した第１図を別紙−３の第１図と差替え
る。 ２− 別紙−１ ○；良好、×：不可 別紙−１２

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 真空雰囲気内で連続して移動する基材に強磁性材料を蒸
   着して磁気記録媒体を製造する方法において、蒸発源に
   チャージされた強磁性材料に０゜／Ａ／ｃｍ　　以上の
   ビーム電流密度を有する電子ビームを照射せしめて蒸着
   を行うことを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。