JPS59122923A - 圧力伝送器 - Google Patents
圧力伝送器Info
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- JPS59122923A JPS59122923A JP23350382A JP23350382A JPS59122923A JP S59122923 A JPS59122923 A JP S59122923A JP 23350382 A JP23350382 A JP 23350382A JP 23350382 A JP23350382 A JP 23350382A JP S59122923 A JPS59122923 A JP S59122923A
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- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 abstract description 2
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 10
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 6
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- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 1
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
- G01L9/02—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means by making use of variations in ohmic resistance, e.g. of potentiometers, electric circuits therefor, e.g. bridges, amplifiers or signal conditioning
- G01L9/06—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means by making use of variations in ohmic resistance, e.g. of potentiometers, electric circuits therefor, e.g. bridges, amplifiers or signal conditioning of piezo-resistive devices
- G01L9/065—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means by making use of variations in ohmic resistance, e.g. of potentiometers, electric circuits therefor, e.g. bridges, amplifiers or signal conditioning of piezo-resistive devices with temperature compensating means
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L1/00—Measuring force or stress, in general
- G01L1/20—Measuring force or stress, in general by measuring variations in ohmic resistance of solid materials or of electrically-conductive fluids; by making use of electrokinetic cells, i.e. liquid-containing cells wherein an electrical potential is produced or varied upon the application of stress
- G01L1/22—Measuring force or stress, in general by measuring variations in ohmic resistance of solid materials or of electrically-conductive fluids; by making use of electrokinetic cells, i.e. liquid-containing cells wherein an electrical potential is produced or varied upon the application of stress using resistance strain gauges
- G01L1/2268—Arrangements for correcting or for compensating unwanted effects
- G01L1/2281—Arrangements for correcting or for compensating unwanted effects for temperature variations
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- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は、圧力センサの温度補償手段を改良した圧力伝
送器に関する。
送器に関する。
従来の圧力伝送器は、第１図に示すように半導体歪グー
ソ１，１を二辺に持つ圧力センサ２を用いてブリッジ回
路３を構成し、圧力センサ２で検出した圧力に比例しだ
プリツノ回路３の出力電圧を差動増幅器４で増幅した後
、重み付き加算回路５にて差動増幅器４の出力に零調整
回路６の零調整出力を重み付けをして加え、さらに出力
回路７で電圧信号を電流信号に変換して出力する、いわ
ゆる本来の圧力−電気信号変換系の他に、圧カセンザ２
の感度の温度特性を補償するために圧力センサ２の感度
補償系１０が設けられている。
ソ１，１を二辺に持つ圧力センサ２を用いてブリッジ回
路３を構成し、圧力センサ２で検出した圧力に比例しだ
プリツノ回路３の出力電圧を差動増幅器４で増幅した後
、重み付き加算回路５にて差動増幅器４の出力に零調整
回路６の零調整出力を重み付けをして加え、さらに出力
回路７で電圧信号を電流信号に変換して出力する、いわ
ゆる本来の圧力−電気信号変換系の他に、圧カセンザ２
の感度の温度特性を補償するために圧力センサ２の感度
補償系１０が設けられている。
この圧力センサ２の感度補償系ｌＯは、減算回路１１に
おいて分圧抵抗Ｒ３、Ｒ４によりて得た基準電圧から温
度センサ１２の温度検出によって得られる温匿センサー
の出力電圧（ａ点電圧）を減算し、こめ減算結果の電圧
をブリッジ電圧供給回路１３に供給する。そして、同回
路１３により、温度に比例してブリッジ回路３の駆動電
圧を増減することにより、温度に反比例して減少する圧
力センサ２の感度を一定となるように制御するものであ
る。図中、Ｒ１。
おいて分圧抵抗Ｒ３、Ｒ４によりて得た基準電圧から温
度センサ１２の温度検出によって得られる温匿センサー
の出力電圧（ａ点電圧）を減算し、こめ減算結果の電圧
をブリッジ電圧供給回路１３に供給する。そして、同回
路１３により、温度に比例してブリッジ回路３の駆動電
圧を増減することにより、温度に反比例して減少する圧
力センサ２の感度を一定となるように制御するものであ
る。図中、Ｒ１。
Ｒ２はブリッジ回路３の二辺を構成する固定抵抗、８は
基準電圧回路、９は定電流源である。
基準電圧回路、９は定電流源である。
ところで、圧力センサ２は、上述した感度の温度特性の
他に、零点温度特性いわゆるドリフト特性があり、これ
によっても誤差が発生してしまう。そこで、従来、圧力
センサ２の半導体歪ゲージ１に温度補償用抵抗Ｒ８又は
ＲＰを直列又は並列に接続して零点温度特性の補償を行
なっている。
他に、零点温度特性いわゆるドリフト特性があり、これ
によっても誤差が発生してしまう。そこで、従来、圧力
センサ２の半導体歪ゲージ１に温度補償用抵抗Ｒ８又は
ＲＰを直列又は並列に接続して零点温度特性の補償を行
なっている。
しかし、このような零点°温度特性の補償手段は、各圧
力センサ２の零点温度特性に応じて温度補償用抵抗Ｒ８
，ＲＰの抵抗値を変更する必要があり、しかも抵抗値を
変更したときにはブリッジ回路３の不平衡を引き起すの
で再度抵抗Ｒ８，ＲＰの抵抗値を変更する必要があシ、
非常に調整が煩雑となる欠点がある。そうかといって圧
カセンザ２の構造上から可変抵抗器等を用いることｉＸ
ＩＡｍしく、結局、抵抗Ｒ８，Ｒｐを用いてそれ相当
の時間をかけて調整をせざるをえなかった。
力センサ２の零点温度特性に応じて温度補償用抵抗Ｒ８
，ＲＰの抵抗値を変更する必要があり、しかも抵抗値を
変更したときにはブリッジ回路３の不平衡を引き起すの
で再度抵抗Ｒ８，ＲＰの抵抗値を変更する必要があシ、
非常に調整が煩雑となる欠点がある。そうかといって圧
カセンザ２の構造上から可変抵抗器等を用いることｉＸ
ＩＡｍしく、結局、抵抗Ｒ８，Ｒｐを用いてそれ相当
の時間をかけて調整をせざるをえなかった。
本発明は比較的簡単な調整により零点温度特性を補償で
きる圧力伝送器を提供することにある。
きる圧力伝送器を提供することにある。
本発明は、従来の圧力伝送器を構成する減算回路の出力
端に、その出力の正負に応じて分圧比が切換わる分圧比
の可変可能な分圧回路と、この分圧回路の出力と前記減
算回路の出力とを用いて減算処理を行なう減算回路とを
設け、この減算回路の出力を本来の圧力−電気信号変換
系に加えることにより、圧力センサの零点温度特性を補
償する圧力伝送器でおる。
端に、その出力の正負に応じて分圧比が切換わる分圧比
の可変可能な分圧回路と、この分圧回路の出力と前記減
算回路の出力とを用いて減算処理を行なう減算回路とを
設け、この減算回路の出力を本来の圧力−電気信号変換
系に加えることにより、圧力センサの零点温度特性を補
償する圧力伝送器でおる。
以下、本発明の−゛実施例について第２図を参照して説
明する。なお、同図にお、いて第１図と同一部分には同
一符号を伺して説明する。この圧力伝送器は、大きく分
けて本来の圧力−電気信号変換系Ａと、圧力センサ２の
感度補償系Ｂと、圧力センサ２の零点温度特性補償系Ｃ
とからなる。圧力−電気信号変換系Ａは、圧力センサ２
を用いて構成されたブリッジ回路３、差動増幅器４、基
準電圧回路８、零調整面路６および電圧信号を所望の電
流信号に袈換して出力する出力回路７よりなる。ブリッ
ジ回路３は、例えば二辺に半導体歪ゲージ１，１より成
る圧力センサ２を有し、他の二辺に固定抵抗Ｒ１。
明する。なお、同図にお、いて第１図と同一部分には同
一符号を伺して説明する。この圧力伝送器は、大きく分
けて本来の圧力−電気信号変換系Ａと、圧力センサ２の
感度補償系Ｂと、圧力センサ２の零点温度特性補償系Ｃ
とからなる。圧力−電気信号変換系Ａは、圧力センサ２
を用いて構成されたブリッジ回路３、差動増幅器４、基
準電圧回路８、零調整面路６および電圧信号を所望の電
流信号に袈換して出力する出力回路７よりなる。ブリッ
ジ回路３は、例えば二辺に半導体歪ゲージ１，１より成
る圧力センサ２を有し、他の二辺に固定抵抗Ｒ１。
Ｒ２を有する構成であって、この圧力センサ２は半導体
基板上に形成され、かつ圧力センサ２の半導体歪ゲージ
１，１は受圧ダイヤフラム（図示せず）で受けた圧力に
よって歪んで抵抗が変化するようになっている。差動増
幅器４はプリツノ回路３から出力される圧力に比例する
電圧信号に増幅した後、重み付き加算回路５に供給する
。この重み付き加算゛回路５は入出力特性のリニアなオ
ペアンプを持っておｐ１差差動幅器４の出力に零調整回
路６の出力および後述−する第２の減算回路の出力がそ
れぞれ抵抗Ｒ１２＋Ｒ１３によって重み伺けの後加えら
れるようになっている。従って、零調整回路６は差動増
幅器４の最大出力をパ１”とすれば、例えば１／１００
の調整が可能となっており、一方、第２の減算回路は例
えば１／１０の調整が可能となっている。
基板上に形成され、かつ圧力センサ２の半導体歪ゲージ
１，１は受圧ダイヤフラム（図示せず）で受けた圧力に
よって歪んで抵抗が変化するようになっている。差動増
幅器４はプリツノ回路３から出力される圧力に比例する
電圧信号に増幅した後、重み付き加算回路５に供給する
。この重み付き加算゛回路５は入出力特性のリニアなオ
ペアンプを持っておｐ１差差動幅器４の出力に零調整回
路６の出力および後述−する第２の減算回路の出力がそ
れぞれ抵抗Ｒ１２＋Ｒ１３によって重み伺けの後加えら
れるようになっている。従って、零調整回路６は差動増
幅器４の最大出力をパ１”とすれば、例えば１／１００
の調整が可能となっており、一方、第２の減算回路は例
えば１／１０の調整が可能となっている。
次に、圧力センサ２の感度補償系Ｂは、温度を検出して
その温度に反比例する電圧をａ点に出力する温度センサ
１２と、リニアな特性を持ったオペアンプｌｌａを有し
、分圧抵抗Ｒ３＋Ｒ４で得た基準電圧からａ点の電圧を
減算する第１の減算回路１１と、この第１の減算回路１
１の減算出力に応じて例えば基準温度より温度が高くな
ったときにブリツノ回路３の駆動電圧を高くし、基準温
度より温度が低くなったときにブリッジ回路３の駆動電
圧を下げて、温度に反比例して減少す乞圧カセンサ２の
感度を一定に制御するブリッジ電圧供給回路１３とから
なっている。なお、第１の減算回路１１の出力は基準温
度において零となるように定められている。
その温度に反比例する電圧をａ点に出力する温度センサ
１２と、リニアな特性を持ったオペアンプｌｌａを有し
、分圧抵抗Ｒ３＋Ｒ４で得た基準電圧からａ点の電圧を
減算する第１の減算回路１１と、この第１の減算回路１
１の減算出力に応じて例えば基準温度より温度が高くな
ったときにブリツノ回路３の駆動電圧を高くし、基準温
度より温度が低くなったときにブリッジ回路３の駆動電
圧を下げて、温度に反比例して減少す乞圧カセンサ２の
感度を一定に制御するブリッジ電圧供給回路１３とから
なっている。なお、第１の減算回路１１の出力は基準温
度において零となるように定められている。
次に、圧力センサ２の零点温度特性補償系Ｃは、分圧回
路２１と第２の減算回路２２とからなる。分圧回路２１
は、第１０減嘗回路１１の出力端と共通ラインＬとの間
に、互に逆極性としたダイオードＤＩ ＋ Ｄ ２に
可変抵抗ｖＲ１＋■Ｒ２を接続した並列回路と固定抵抗
Ｒ５との直列回路が接続され、基準温度より温度が高く
なったときに第１の減算回路１１がら出方される正電圧
によってダイオードＤＩ側が動作して分電圧を出力し、
逆に基準温度より低くなったときに第１の減算回路１ノ
から出力される負電圧によってダイオードＤ２側が動作
して分電圧を出力する機能を持っている。第２の減算回
路２２は分圧回路２１の出方から第１の減算回路１１の
出力を抵抗Ｒ，Ｒで分圧した出方を減算する機能をもっ
ている。
路２１と第２の減算回路２２とからなる。分圧回路２１
は、第１０減嘗回路１１の出力端と共通ラインＬとの間
に、互に逆極性としたダイオードＤＩ ＋ Ｄ ２に
可変抵抗ｖＲ１＋■Ｒ２を接続した並列回路と固定抵抗
Ｒ５との直列回路が接続され、基準温度より温度が高く
なったときに第１の減算回路１１がら出方される正電圧
によってダイオードＤＩ側が動作して分電圧を出力し、
逆に基準温度より低くなったときに第１の減算回路１ノ
から出力される負電圧によってダイオードＤ２側が動作
して分電圧を出力する機能を持っている。第２の減算回
路２２は分圧回路２１の出方から第１の減算回路１１の
出力を抵抗Ｒ，Ｒで分圧した出方を減算する機能をもっ
ている。
次に、以上のように構成されだ圧力伝送器の動作につい
て特に零点温度特性の補償を中心に説明する。先ず、第
１の減算回路１１は、分圧抵抗Ｒ３，Ｒ４その他減算回
路入力抵抗等の選択により、基準温度例えば２５℃のと
きにその出力が零となる様に設定する。この状態におい
て温度センサ１２の検出温夏が基準温度よシも高くなる
と、温度センサ１２によりａ点の電圧が下がり、これに
伴なって第１の減算回路１ノの出力が正極性側に高くな
る。この結果、ダイオードＤ、がオンとなって可変抵抗
ＶＲ１と抵抗Ｒ５との分圧比に基づく分電圧が第２の減
算回路２２に供給される。逆に、温度センサ１２の検出
温度が基準温度より下がると、第１の減算回路１１の出
力が負極性側に大きくなり、ダイオードＤ２がオンとな
って可変抵抗ｖＲ２と抵抗Ｒ５との分圧比に基づく分電
圧が第２の減算回路２２に供給される。なお、互いにダ
イオードＤＩ、Ｄ２を逆極性としかつ２つの可変抵抗Ｖ
Ｒ１ｒ Ｖ Ｒ２を設けたのは、圧力センサ２の零温
度特性が基準温度よシ温度が高いときと低いときとでは
異なるためである。而して、以上のようにして得た第１
の減針回路１ノの出力と分圧回路２１の出力とが第２の
減算回路２２に入力されるが、同減算回路２２は次のよ
うな信号処理を行なう。今、分圧回路２１の出力電圧／
入力電圧をα、第１の減算回路１１の出方をｅＸとする
と、第２の減算回路２２の出力ｅｙは、 ｅｙ＝２（α−０５）・ｅＸ となる。但し、αは、ｏくαくｌとなるが、販〉０、ｅ
Ｘ〈０に対して変化することになる。また、０．５は抵
抗Ｒ，Ｒで二分していることを示す。
て特に零点温度特性の補償を中心に説明する。先ず、第
１の減算回路１１は、分圧抵抗Ｒ３，Ｒ４その他減算回
路入力抵抗等の選択により、基準温度例えば２５℃のと
きにその出力が零となる様に設定する。この状態におい
て温度センサ１２の検出温夏が基準温度よシも高くなる
と、温度センサ１２によりａ点の電圧が下がり、これに
伴なって第１の減算回路１ノの出力が正極性側に高くな
る。この結果、ダイオードＤ、がオンとなって可変抵抗
ＶＲ１と抵抗Ｒ５との分圧比に基づく分電圧が第２の減
算回路２２に供給される。逆に、温度センサ１２の検出
温度が基準温度より下がると、第１の減算回路１１の出
力が負極性側に大きくなり、ダイオードＤ２がオンとな
って可変抵抗ｖＲ２と抵抗Ｒ５との分圧比に基づく分電
圧が第２の減算回路２２に供給される。なお、互いにダ
イオードＤＩ、Ｄ２を逆極性としかつ２つの可変抵抗Ｖ
Ｒ１ｒ Ｖ Ｒ２を設けたのは、圧力センサ２の零温
度特性が基準温度よシ温度が高いときと低いときとでは
異なるためである。而して、以上のようにして得た第１
の減針回路１ノの出力と分圧回路２１の出力とが第２の
減算回路２２に入力されるが、同減算回路２２は次のよ
うな信号処理を行なう。今、分圧回路２１の出力電圧／
入力電圧をα、第１の減算回路１１の出方をｅＸとする
と、第２の減算回路２２の出力ｅｙは、 ｅｙ＝２（α−０５）・ｅＸ となる。但し、αは、ｏくαくｌとなるが、販〉０、ｅ
Ｘ〈０に対して変化することになる。また、０．５は抵
抗Ｒ，Ｒで二分していることを示す。
従って、上式からｅ Ｘ＝０のときはｅｙ−ｏである。
そして、以上のようにして第２の減算回路２２の出力を
重み付けの抵抗Ｒ１２を介して加算回路５に加えれば、
温度に対する圧力センサ２の零温度特性を補償すること
ができる。つまり、との零温度特性の補償系Ｃは、零点
出力の温度誤差のうち基準温度（２５℃）よりも高い温
度（例えば８０℃）及び低い温度（例えば−３０℃）の
ときに、その温度誤差が零となるように可変抵抗ＶＲ，
，ＶＲ２の値を調整すれば、圧力センサ２の零点の温度
特性を補償できる。しかも、この補償のための調整は、
基準温度、高温、低温の零点特性間に干渉力く調整でき
るので、基準温度で零調整を行なった後、高温及び低温
での試験での試験を行ない、可変抵抗ＶＲ，。
重み付けの抵抗Ｒ１２を介して加算回路５に加えれば、
温度に対する圧力センサ２の零温度特性を補償すること
ができる。つまり、との零温度特性の補償系Ｃは、零点
出力の温度誤差のうち基準温度（２５℃）よりも高い温
度（例えば８０℃）及び低い温度（例えば−３０℃）の
ときに、その温度誤差が零となるように可変抵抗ＶＲ，
，ＶＲ２の値を調整すれば、圧力センサ２の零点の温度
特性を補償できる。しかも、この補償のための調整は、
基準温度、高温、低温の零点特性間に干渉力く調整でき
るので、基準温度で零調整を行なった後、高温及び低温
での試験での試験を行ない、可変抵抗ＶＲ，。
ＶＢ２にて出力を基準温度のときの出力に等しくなるよ
うに合せることで零点温度補償を完了させることができ
る。
うに合せることで零点温度補償を完了させることができ
る。
なお、上記実施例では、ダイオードＤ１ 。
Ｄ２に直列に可変抵抗ＶＲ，，ＶＲ２を接続したが、例
えば第３図のように分圧点すより共通ラインＬ側に逆極
性のダイオードＤ １＋ Ｄ ２と固定抵抗Ｒ５１１Ｒ
５２との並列回路を接続してもよい。また、第４図のよ
うに第１の減算回路１１の出力と分圧点すとの間に逆極
性のダイオードＤ Ｉ ＋ ０２と固定抵抗Ｒ５１１
Ｒ５２との並列回路を、分圧点すど共通ラインＬとの間
に直列接続されたタイオードＤ３と抵抗Ｒ５３に抵抗Ｒ
５４を並列に接続した構成でもよい。まだ、第１の減算
回路１１の出力側に正、負判別回路を設け、かつダイオ
ードＤｌ 、、Ｄ２の代りにトランジスタその他のアナ
ログスイッチを設け、正、負判別回路の出力でスイッチ
をオン・オフ制御してもよい。また、圧力センサ２の感
度補償系Ｂがない場合、分圧抵抗Ｒ３、Ｒ４で得られた
基準電圧とａ点電圧とをコンノやレータで比較し、その
比較結果に基づいてダイオードＤ、、Ｄ２の代りに設け
るアナログスイッチをオン・オフ制御してもよいもので
ある。まだ、ブリッジ回路３の二辺に圧力センサ２を設
けたが、−辺だけでもよい。
えば第３図のように分圧点すより共通ラインＬ側に逆極
性のダイオードＤ １＋ Ｄ ２と固定抵抗Ｒ５１１Ｒ
５２との並列回路を接続してもよい。また、第４図のよ
うに第１の減算回路１１の出力と分圧点すとの間に逆極
性のダイオードＤ Ｉ ＋ ０２と固定抵抗Ｒ５１１
Ｒ５２との並列回路を、分圧点すど共通ラインＬとの間
に直列接続されたタイオードＤ３と抵抗Ｒ５３に抵抗Ｒ
５４を並列に接続した構成でもよい。まだ、第１の減算
回路１１の出力側に正、負判別回路を設け、かつダイオ
ードＤｌ 、、Ｄ２の代りにトランジスタその他のアナ
ログスイッチを設け、正、負判別回路の出力でスイッチ
をオン・オフ制御してもよい。また、圧力センサ２の感
度補償系Ｂがない場合、分圧抵抗Ｒ３、Ｒ４で得られた
基準電圧とａ点電圧とをコンノやレータで比較し、その
比較結果に基づいてダイオードＤ、、Ｄ２の代りに設け
るアナログスイッチをオン・オフ制御してもよいもので
ある。まだ、ブリッジ回路３の二辺に圧力センサ２を設
けたが、−辺だけでもよい。
以上詳記したように本発明によれは、基準温度のときに
零を出力しかつ基準温度よりも温度が高いか低いときに
零以外の電圧を出力する第１の回路と、この回路の出力
により分圧比を可変抵抗によシ可変して出力する分圧回
路と、分圧比Ｏ〜１に対して増幅度が−１〜＋１に変化
する減算回路とを備け、この減算回路の出力を圧力−電
気信号変換系に加えるように構成した・ので、基準温度
、高温、低温に対し、独立に分圧回路の可変抵抗を用い
て連続的に零点温度特性出力を調整でき、従来のように
半導体歪ケ゛−ノに設けた可変抵抗を不連続かつ相互に
関係をもたせつつ変更し調整するのに比べ、零点温度特
性の補償調整を極めて容易に行なえる圧力伝送器を提供
できる。
零を出力しかつ基準温度よりも温度が高いか低いときに
零以外の電圧を出力する第１の回路と、この回路の出力
により分圧比を可変抵抗によシ可変して出力する分圧回
路と、分圧比Ｏ〜１に対して増幅度が−１〜＋１に変化
する減算回路とを備け、この減算回路の出力を圧力−電
気信号変換系に加えるように構成した・ので、基準温度
、高温、低温に対し、独立に分圧回路の可変抵抗を用い
て連続的に零点温度特性出力を調整でき、従来のように
半導体歪ケ゛−ノに設けた可変抵抗を不連続かつ相互に
関係をもたせつつ変更し調整するのに比べ、零点温度特
性の補償調整を極めて容易に行なえる圧力伝送器を提供
できる。
第１図は従来の圧力伝送器の構成図、第２図は本発明に
係る圧力伝送器の一実施例を示す構成図、第３図および
第４図は分圧回路の他の例を示す構成図である。 Ａ・・・圧力−電圧信号変換系、Ｂ・・・圧力センサの
感度補償系、Ｃ・・圧力センサの零点温度特性補償系、
１・・・半導体歪ケ゛−ジ、２・・・圧力センサ、３・
・・ブリッジ回路、４・・・差動増幅器、５・・・重み
付き加算回路、６・・・°零調整回路、７・・・出力回
路、１１・・・第１の減算回路、１２・・・圧力センサ
、２１・・・分圧回路、２２・・・第２の減算回路。
係る圧力伝送器の一実施例を示す構成図、第３図および
第４図は分圧回路の他の例を示す構成図である。 Ａ・・・圧力−電圧信号変換系、Ｂ・・・圧力センサの
感度補償系、Ｃ・・圧力センサの零点温度特性補償系、
１・・・半導体歪ケ゛−ジ、２・・・圧力センサ、３・
・・ブリッジ回路、４・・・差動増幅器、５・・・重み
付き加算回路、６・・・°零調整回路、７・・・出力回
路、１１・・・第１の減算回路、１２・・・圧力センサ
、２１・・・分圧回路、２２・・・第２の減算回路。
Claims (1)
- 半導体歪ケ゛−ノを持った圧力センサを用いて構成され
たブリッジ回路と、温度を検出し電気信号に変換し出力
する温度センサと、この温度センサによって検出した温
度が基準温度のときに零信号を出力する様に設定された
第１の減算回路と、この回路の出力の正、負に応じて分
圧比が切換えられて前記回路の出力電圧を分圧する分圧
比の可変可能な分圧回路と、この分圧回路の出力と前記
回路の出力との減算処理を行なう第２の減算回路とを備
え、前記ブリツノ回路の出力に前記第２の減算回路の出
力を加えることにより前記圧力センサの零点温度補償を
行なうことを特徴とする圧力伝送器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23350382A JPS59122923A (ja) | 1982-12-28 | 1982-12-28 | 圧力伝送器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23350382A JPS59122923A (ja) | 1982-12-28 | 1982-12-28 | 圧力伝送器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59122923A true JPS59122923A (ja) | 1984-07-16 |
Family
ID=16956042
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23350382A Pending JPS59122923A (ja) | 1982-12-28 | 1982-12-28 | 圧力伝送器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59122923A (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0190986A1 (de) * | 1985-01-30 | 1986-08-13 | Siemens Aktiengesellschaft | Schaltungsanordnung zur Kompensation der Temperaturabhängigkeit von Empfindlichkeit und Nullpunkt eines piezoresistiven Drucksensors |
| JPS61215935A (ja) * | 1985-03-22 | 1986-09-25 | Yokogawa Electric Corp | 半導体圧力変換器 |
| JPS61215936A (ja) * | 1985-03-22 | 1986-09-25 | Yokogawa Electric Corp | 半導体圧力変換器 |
| JPS6220305U (ja) * | 1985-07-20 | 1987-02-06 | ||
| US4667765A (en) * | 1984-02-20 | 1987-05-26 | Honda Giken Kogyo Kabushiki Kaisha | Frame for a four-wheel vehicle |
| JPS6372538U (ja) * | 1986-10-29 | 1988-05-14 | ||
| US4770262A (en) * | 1984-08-31 | 1988-09-13 | Honda Giken Kogyo Kabushiki Kaisha | Four-wheel motor vehicle with riding saddle seat |
| JPH01110342U (ja) * | 1988-01-18 | 1989-07-25 | ||
| US5050423A (en) * | 1989-12-04 | 1991-09-24 | Motorola, Inc. | Multi-variable sensor calibration |
-
1982
- 1982-12-28 JP JP23350382A patent/JPS59122923A/ja active Pending
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4667765A (en) * | 1984-02-20 | 1987-05-26 | Honda Giken Kogyo Kabushiki Kaisha | Frame for a four-wheel vehicle |
| US4770262A (en) * | 1984-08-31 | 1988-09-13 | Honda Giken Kogyo Kabushiki Kaisha | Four-wheel motor vehicle with riding saddle seat |
| EP0190986A1 (de) * | 1985-01-30 | 1986-08-13 | Siemens Aktiengesellschaft | Schaltungsanordnung zur Kompensation der Temperaturabhängigkeit von Empfindlichkeit und Nullpunkt eines piezoresistiven Drucksensors |
| US4667516A (en) * | 1985-01-30 | 1987-05-26 | Siemens Aktiengesellschaft | Circuit arrangement for compensating for the temperature dependence of the sensitivity and the null point of a piezoresistive pressure sensor |
| JPS61215935A (ja) * | 1985-03-22 | 1986-09-25 | Yokogawa Electric Corp | 半導体圧力変換器 |
| JPS61215936A (ja) * | 1985-03-22 | 1986-09-25 | Yokogawa Electric Corp | 半導体圧力変換器 |
| JPS6220305U (ja) * | 1985-07-20 | 1987-02-06 | ||
| JPS6372538U (ja) * | 1986-10-29 | 1988-05-14 | ||
| JPH01110342U (ja) * | 1988-01-18 | 1989-07-25 | ||
| US5050423A (en) * | 1989-12-04 | 1991-09-24 | Motorola, Inc. | Multi-variable sensor calibration |
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