JPS587473A - 接着剤組成物 - Google Patents
接着剤組成物Info
- Publication number
- JPS587473A JPS587473A JP10662381A JP10662381A JPS587473A JP S587473 A JPS587473 A JP S587473A JP 10662381 A JP10662381 A JP 10662381A JP 10662381 A JP10662381 A JP 10662381A JP S587473 A JPS587473 A JP S587473A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- organic
- semiconductor element
- repeating units
- adhesive composition
- bonding
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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- Adhesives Or Adhesive Processes (AREA)
- Macromolecular Compounds Obtained By Forming Nitrogen-Containing Linkages In General (AREA)
- Conductive Materials (AREA)
- Polymers With Sulfur, Phosphorus Or Metals In The Main Chain (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は半導体装置の組立法における半導体素子と外部
支持電極(リードフレーム)との接合用接着剤組成物に
関し、その目的とするところは、有機接着剤を接合材と
−して用いた気密封止型半導体装置において、気密封止
温度に十分耐えるだけの耐熱性を有し、かつ半導体素子
と外部支持電極を強固に接着する能力をもつ接着剤組成
物を提供することにある。
支持電極(リードフレーム)との接合用接着剤組成物に
関し、その目的とするところは、有機接着剤を接合材と
−して用いた気密封止型半導体装置において、気密封止
温度に十分耐えるだけの耐熱性を有し、かつ半導体素子
と外部支持電極を強固に接着する能力をもつ接着剤組成
物を提供することにある。
従来、半導体素子と外部支持電極との接合には500℃
根度の温度で形成されるAuと8iの共晶を接合材とし
て用いるいわゆるAu−8i共晶法が一般的であった。
根度の温度で形成されるAuと8iの共晶を接合材とし
て用いるいわゆるAu−8i共晶法が一般的であった。
しかしながら近年、A u価格の高騰によシ、半導体装
置に占める接合材の価格比が増大し、接合材の脱Au化
が図られている。
置に占める接合材の価格比が増大し、接合材の脱Au化
が図られている。
プラスチックパッケージの場合はAu−8i共晶に代る
接着剤としては、主としてエポキシ系接着剤が実用化さ
れている。ところがエポキシ系接着剤を気密封止型半導
体装置に適用した場合8通常エポキシ糸綴着剤は3θ0
及至350℃で熱分解を開始するため、封着温度(Au
−8nの場合的350℃、低融点ガラスの場合450乃
至475℃)では熱分解し、接着剤としての機能を果た
すことができない。このため最近気密封止型半導体装置
用接着剤としてポリイミド系接着剤が用いられるように
なってきているが。
接着剤としては、主としてエポキシ系接着剤が実用化さ
れている。ところがエポキシ系接着剤を気密封止型半導
体装置に適用した場合8通常エポキシ糸綴着剤は3θ0
及至350℃で熱分解を開始するため、封着温度(Au
−8nの場合的350℃、低融点ガラスの場合450乃
至475℃)では熱分解し、接着剤としての機能を果た
すことができない。このため最近気密封止型半導体装置
用接着剤としてポリイミド系接着剤が用いられるように
なってきているが。
通常のポリイミド系樹脂を用いた場合以下の問題点があ
る。即ち通常のポリイミド系樹脂はシリコンウェハーと
の接着力が小さく、その接着力を高めるために接着性付
与剤を併用することが必要である。接着性付与剤として
はシラン系カップリング剤が主として用いられ、%にア
ミノシラン系カップリング剤がポリイミド系樹脂には有
用であることが知られているが、アミノシラン系カップ
リング剤をポリイミド系樹脂の前駆体であるポリイミド
酸に添加するとポリアミド酸の経日による粘度低下の程
度が大きくなり、このため使用直前に添加しなければな
らない等の問題がある。これを避けるた□め予めウェハ
ー裏面にカップリング剤層を形成し、その後接着剤を塗
布する方法があるが、工程数が増加する欠点がある。そ
こで本発明者らは従来のポリイミド系接着剤のこれら欠
点を改良する目的で種々検討の結果1本発明を完成した
。
る。即ち通常のポリイミド系樹脂はシリコンウェハーと
の接着力が小さく、その接着力を高めるために接着性付
与剤を併用することが必要である。接着性付与剤として
はシラン系カップリング剤が主として用いられ、%にア
ミノシラン系カップリング剤がポリイミド系樹脂には有
用であることが知られているが、アミノシラン系カップ
リング剤をポリイミド系樹脂の前駆体であるポリイミド
酸に添加するとポリアミド酸の経日による粘度低下の程
度が大きくなり、このため使用直前に添加しなければな
らない等の問題がある。これを避けるた□め予めウェハ
ー裏面にカップリング剤層を形成し、その後接着剤を塗
布する方法があるが、工程数が増加する欠点がある。そ
こで本発明者らは従来のポリイミド系接着剤のこれら欠
点を改良する目的で種々検討の結果1本発明を完成した
。
本発明はジアミノシロキサン、ケイ素を含まない有機ジ
アミンおよび有機四塩基酸二無水物を反応させて得られ
る0、1乃至50モルチの式(1)で表わされる反覆単
位と50乃至99.9モル−0式(2)で表わされる反
覆単位からなるポリイミド−シリコーン前駆体を含有す
る半導体素子と外部支持電極との接合用接着剤組成物に
関す(但し、Rは2価の炭化水素基、Rは1価の炭化水
素基、R“は4価の有機基、 R’はケイ素を含まない
有機ジアミンの残基である2価の有機基。
アミンおよび有機四塩基酸二無水物を反応させて得られ
る0、1乃至50モルチの式(1)で表わされる反覆単
位と50乃至99.9モル−0式(2)で表わされる反
覆単位からなるポリイミド−シリコーン前駆体を含有す
る半導体素子と外部支持電極との接合用接着剤組成物に
関す(但し、Rは2価の炭化水素基、Rは1価の炭化水
素基、R“は4価の有機基、 R’はケイ素を含まない
有機ジアミンの残基である2価の有機基。
nは1以上の整数である)。
上記の式(1)で表わされる反覆単位と式(2)で表わ
される反覆単位とからなるボリイiドーシリコーン前駆
体の製造法の一例は特公昭43−27439号公報に述
べられていb0即ち、ケイ素を含まない有機ジアミン、
ジアミノシロキサンおよび有機四塩基酸二無水物を溶媒
中で反応させ、ポリイミド−シリコーン前駆体であるポ
リアミド酸が生成される。
される反覆単位とからなるボリイiドーシリコーン前駆
体の製造法の一例は特公昭43−27439号公報に述
べられていb0即ち、ケイ素を含まない有機ジアミン、
ジアミノシロキサンおよび有機四塩基酸二無水物を溶媒
中で反応させ、ポリイミド−シリコーン前駆体であるポ
リアミド酸が生成される。
本発明においては、上記の式(1)で宍わされる反覆単
位は0.1乃至50モルチ9式(2)で表わされる反覆
単位は50乃至99.9モルチの範囲とされるが、これ
は、ジアミノシロキサンを0.1乃至50モルチ、ケイ
素を含まない有機ジアミンを50乃至99.9モル−の
範囲で反応させてこの範囲に調整される。
位は0.1乃至50モルチ9式(2)で表わされる反覆
単位は50乃至99.9モルチの範囲とされるが、これ
は、ジアミノシロキサンを0.1乃至50モルチ、ケイ
素を含まない有機ジアミンを50乃至99.9モル−の
範囲で反応させてこの範囲に調整される。
本発明において用いられるジアミノシロキサンとしては
一般式 (R,、R’およびnは前記に同じ) で示される化合物が用いられ9例えば などがあり、これらは1種又は2種以上が用いられる。
一般式 (R,、R’およびnは前記に同じ) で示される化合物が用いられ9例えば などがあり、これらは1種又は2種以上が用いられる。
ケイ素を含まない有機ジアミンとしては例えば、4.4
’−ジアミノジフェニルエーテル、4.4’−ジアミノ
ジフェニルメタン、4.4’−ジアミノジフェニルスル
ホンl 41 ” −ジアミノジフェニルサルファイド
、ベンジジン、メタフェニレンジアミン、パラフェニレ
ンジアミン、1.5−ナフタレンジアミン、2.6−ナ
フタレンジアミンなどが1種又は2種以上用いられる。
’−ジアミノジフェニルエーテル、4.4’−ジアミノ
ジフェニルメタン、4.4’−ジアミノジフェニルスル
ホンl 41 ” −ジアミノジフェニルサルファイド
、ベンジジン、メタフェニレンジアミン、パラフェニレ
ンジアミン、1.5−ナフタレンジアミン、2.6−ナ
フタレンジアミンなどが1種又は2種以上用いられる。
また有機四塩基酸二無水物としては例えば。
ピロメリット酸二無水物、&3.’4.4’−ジフェニ
ルテトラカルボン酸二無水物、 3,3.’4.4’−
ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、シクロペン
タンテトラカルボン酸二無水物、1.2,5.6−ナフ
タレンテトラカルボン酸二無水物、4λ6.7−ナフタ
レンテトラカルボン酸二無水物。
ルテトラカルボン酸二無水物、 3,3.’4.4’−
ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、シクロペン
タンテトラカルボン酸二無水物、1.2,5.6−ナフ
タレンテトラカルボン酸二無水物、4λ6.7−ナフタ
レンテトラカルボン酸二無水物。
2、3.5.6−ピリジンテトラカルボン酸二無水物。
1、4.5.8−ナフタレンナト2カルボン酸二無水4
6L3+4.9.io−ペリレンテトラカルボン酸二無
水物、 4.4’−スルホニルシフタル酸二無水物など
があシ、これらは1種又は2種以上が用いられる。
6L3+4.9.io−ペリレンテトラカルボン酸二無
水物、 4.4’−スルホニルシフタル酸二無水物など
があシ、これらは1種又は2種以上が用いられる。
前記単量体化合物より前駆体であるポリアミド酸を製造
するに際しては不活性の溶媒が使用されるが、特に好ま
しいものとしては生成するポリアミド酸を溶解するもの
である。例えば。
するに際しては不活性の溶媒が使用されるが、特に好ま
しいものとしては生成するポリアミド酸を溶解するもの
である。例えば。
N−7’チル−2−ピロリドン、N、N−ジメチルアセ
トアミド、N、N−ジメチルホルムアミド。
トアミド、N、N−ジメチルホルムアミド。
N、N−ジエチルホルムアミド、ジメチルスルホキサイ
ド、ヘキサメチルホスホルアミド、テトラメチレンスル
ホンなどの1種若しくは2種以上が用いられる。
ド、ヘキサメチルホスホルアミド、テトラメチレンスル
ホンなどの1種若しくは2種以上が用いられる。
ポリアミド酸の合成は、ケイ素を含まない有機ジアミン
、ジアミノシロキサンおよび有機四塩基酸二無水物を精
製された不活性溶媒にできるだけよく溶解し、この系を
約80℃以下特に室温付近ないしそれ以下の温度に保ち
ながら攪拌する。これによって反応は速やかに進行し。
、ジアミノシロキサンおよび有機四塩基酸二無水物を精
製された不活性溶媒にできるだけよく溶解し、この系を
約80℃以下特に室温付近ないしそれ以下の温度に保ち
ながら攪拌する。これによって反応は速やかに進行し。
かつ反応系の粘度は次第に上昇し、ポリイミド−シリコ
ーン前駆体が生成する。
ーン前駆体が生成する。
前記の単量体化合物よりポリイミド−シリコーン前駆体
を製造するに際して、最良の耐熱性を得るためには、ケ
イ素を含まない有機ジアミ/とジアミノシロキサンの総
量に対して等モルの有機四塩基酸二無水物を用いること
が好ましい。
を製造するに際して、最良の耐熱性を得るためには、ケ
イ素を含まない有機ジアミ/とジアミノシロキサンの総
量に対して等モルの有機四塩基酸二無水物を用いること
が好ましい。
本発明におけるポリイミド−シリコーン前駆体において
9式(1) (1) (R,R’、R“及びnは前記に同じ)で表わされる反
覆単位の全共重合体に占める割合は0.1乃至50モル
チである。これは上記反覆単位の割合が0.1モルチ未
満モあると半導体素子との接着性が悪く、接着性を確保
するためにはカップリング剤を使用することが必要とな
り本発明の目的を満足しないからである。また。
9式(1) (1) (R,R’、R“及びnは前記に同じ)で表わされる反
覆単位の全共重合体に占める割合は0.1乃至50モル
チである。これは上記反覆単位の割合が0.1モルチ未
満モあると半導体素子との接着性が悪く、接着性を確保
するためにはカップリング剤を使用することが必要とな
り本発明の目的を満足しないからである。また。
上記反覆単位の含有量の増大に伴い、共重合体の耐熱性
は低下し、50モルチを超えるとその重置減少開始温度
は350℃以下となシ、封止層封止時に加えられる熱処
理に耐えることができない。
は低下し、50モルチを超えるとその重置減少開始温度
は350℃以下となシ、封止層封止時に加えられる熱処
理に耐えることができない。
本発明になる接着剤組成物は、上記のポリイミド−シリ
コーン前駆体を製造する際に用いた溶媒を含むものであ
る。上記の製造の際に用いた溶媒にキシレン、トルエン
等の芳香族系溶媒。
コーン前駆体を製造する際に用いた溶媒を含むものであ
る。上記の製造の際に用いた溶媒にキシレン、トルエン
等の芳香族系溶媒。
アセトン等のケトン系溶媒、プチルセロンルフ等のエー
テルグリコール系溶媒などをポリイミド−シリコーン前
駆体が析出しない範囲9通常20重鷺チ以下の範囲で加
えることもできる。
テルグリコール系溶媒などをポリイミド−シリコーン前
駆体が析出しない範囲9通常20重鷺チ以下の範囲で加
えることもできる。
本考案においては、目的に応じて接着剤組成物に無機系
光てん剤を混合することができる。
光てん剤を混合することができる。
無機光てん剤としては接着力の向上、揺変性の付与を目
的として、ノリ力、金属酸化物2石英ガラス粉末などを
用いることができる。また素子の電極部が素子の外部支
持電極側にある場合。
的として、ノリ力、金属酸化物2石英ガラス粉末などを
用いることができる。また素子の電極部が素子の外部支
持電極側にある場合。
熱放散を必要とする場合には導電性光てん剤が用いられ
2通常Ag粉末が好ましいが、グラファイト、カーボン
ブラック等の炭素粉末とAg粉末との併用も行なわれる
。
2通常Ag粉末が好ましいが、グラファイト、カーボン
ブラック等の炭素粉末とAg粉末との併用も行なわれる
。
導電性光てん剤としてAg粉末を用いる場合その粒度は
最大粒径5μm未満であることが好ましい。これは半導
体素子と外部支持電極間の接着剤層の厚さは通常10乃
至30μmとされるが、5μm以上のAg粉末が凝集し
たような場合にはギャップが10乃至30μm以上とな
り半導体素子と外部支持電極とが均一に接合されず十分
な接着力が得られないためである。またAg粉末の含量
については特に制限はないが。
最大粒径5μm未満であることが好ましい。これは半導
体素子と外部支持電極間の接着剤層の厚さは通常10乃
至30μmとされるが、5μm以上のAg粉末が凝集し
たような場合にはギャップが10乃至30μm以上とな
り半導体素子と外部支持電極とが均一に接合されず十分
な接着力が得られないためである。またAg粉末の含量
については特に制限はないが。
ポリイミド−シリコーン前駆体に対して50乃至90重
量%の範囲で用いるのが、接着性、導電性の観点から望
ましい。
量%の範囲で用いるのが、接着性、導電性の観点から望
ましい。
本発明の接着剤組成物による半導体素子と外部支持電極
の接着は例えば以下の様にして行なわれる。予め良く洗
浄された外部支持電極のタブ上にディスペンサーあるい
は印刷法により前記接着剤を塗布し、半導体素子を乗せ
軽く圧力を加えて半導体素子と外部支持電極とをよく密
着させた後に、、200乃至500℃好ましくは300
乃至450℃で30秒以上熱処理する。
の接着は例えば以下の様にして行なわれる。予め良く洗
浄された外部支持電極のタブ上にディスペンサーあるい
は印刷法により前記接着剤を塗布し、半導体素子を乗せ
軽く圧力を加えて半導体素子と外部支持電極とをよく密
着させた後に、、200乃至500℃好ましくは300
乃至450℃で30秒以上熱処理する。
尚この際溶媒の揮散をゆっくり行ない、泡等の発生をな
くすために、予め80乃至120℃で5乃至60分子備
加熱することもできる。この際タブ上に塗布する接着剤
の量は半導体素子と外部支持電極とを密着させた時、半
導体素子の外周にわずかに接着剤がはみ出る程度が接着
性の点から有効である。
くすために、予め80乃至120℃で5乃至60分子備
加熱することもできる。この際タブ上に塗布する接着剤
の量は半導体素子と外部支持電極とを密着させた時、半
導体素子の外周にわずかに接着剤がはみ出る程度が接着
性の点から有効である。
以Fに実施列により本発明を具体的に説明する。
実施例1
溶媒として、n−ブタノールを用いて再結晶した4、4
′−ジアミノジフェニルエーテル9.0)、減圧蒸留に
よって精製した1、3−ビス(アミノプロピル)−テト
ラメチルジシロキサン1.2P、無水酢酸を用いて再結
晶した無水ピロメリット酸10.91を威圧蒸留によっ
て精製したN−メチル−2−ビ0 リド/l19.6)
中で反応させ、樹脂分14.5重址優、粘度125ポア
ズのポリイミド−シリコーン前駆体溶液を得た(式(1
)で表わされる反覆単位は10モルチ9式(2)で表わ
される反覆単位は90モルs)、この溶液を外部支持電
極のタグ上に滴下し、半導体素子を接着した後100℃
で30分、350℃で30分熱処理した。半導体素子と
外部支持電極との接着力をプツシプルゲージによシ測定
したところ350℃で184Z蒲1であり、ボンディン
グ圧に十分耐え得るだけの接着力を有していることがわ
かった。また熱天秤で測定した重量減少開始温度は45
0℃であり、セラミック封止温度にも十分耐え得ること
がわかった。
′−ジアミノジフェニルエーテル9.0)、減圧蒸留に
よって精製した1、3−ビス(アミノプロピル)−テト
ラメチルジシロキサン1.2P、無水酢酸を用いて再結
晶した無水ピロメリット酸10.91を威圧蒸留によっ
て精製したN−メチル−2−ビ0 リド/l19.6)
中で反応させ、樹脂分14.5重址優、粘度125ポア
ズのポリイミド−シリコーン前駆体溶液を得た(式(1
)で表わされる反覆単位は10モルチ9式(2)で表わ
される反覆単位は90モルs)、この溶液を外部支持電
極のタグ上に滴下し、半導体素子を接着した後100℃
で30分、350℃で30分熱処理した。半導体素子と
外部支持電極との接着力をプツシプルゲージによシ測定
したところ350℃で184Z蒲1であり、ボンディン
グ圧に十分耐え得るだけの接着力を有していることがわ
かった。また熱天秤で測定した重量減少開始温度は45
0℃であり、セラミック封止温度にも十分耐え得ること
がわかった。
比較例1
実施例1と同様な方法で精製した44′−ジアミノジフ
ェニルエーテル10. Ofと無水ピロメリット酸10
.9)とを蒸留精製したN−メチル−2−ピロリドン1
18.4P中で反応させ、樹脂分濃度14.7重量−1
粘度135ポアズのポリアミド酸溶液を得た。このポリ
アミド酸溶液を用いて、実施例1と同様な方法で半導体
素子と外部支持電極とを接着し、350℃での接着力を
測定したところ8 Kf/atr”でポンディング時の
圧力に対し十分な接着力を有していないことがわかつ九
。
ェニルエーテル10. Ofと無水ピロメリット酸10
.9)とを蒸留精製したN−メチル−2−ピロリドン1
18.4P中で反応させ、樹脂分濃度14.7重量−1
粘度135ポアズのポリアミド酸溶液を得た。このポリ
アミド酸溶液を用いて、実施例1と同様な方法で半導体
素子と外部支持電極とを接着し、350℃での接着力を
測定したところ8 Kf/atr”でポンディング時の
圧力に対し十分な接着力を有していないことがわかつ九
。
実施例2
実施例1で用いたポリイミド−シリコーン前駆体溶液1
00?に平均粒径1.2μffH7)Ag粉末10.5
Pを添加し、乳鉢で均一に混合した。これをガラス板上
に塗布し、100℃で30分、350℃で30分熱処理
後その体積抵抗率を測定したところ10−40・錦であ
った。また実施例1と同様な方法で半導体素子と外部支
持電極を接着し、その接着力を測定したところ20Ki
y/cm”であった。
00?に平均粒径1.2μffH7)Ag粉末10.5
Pを添加し、乳鉢で均一に混合した。これをガラス板上
に塗布し、100℃で30分、350℃で30分熱処理
後その体積抵抗率を測定したところ10−40・錦であ
った。また実施例1と同様な方法で半導体素子と外部支
持電極を接着し、その接着力を測定したところ20Ki
y/cm”であった。
本発明になる接着剤組成物はカップリング剤等の接着助
剤なしに半導体素子と外部支持電極とを強固に接着する
ことを可能とし、また上2ミック封止時の熱処理に対・
しても十分な耐熱性を有するものである。このため、従
来のAu−8i共晶からの置換が可能で、半導体装置の
コスト低減に大きな効果をもたらすものである。
剤なしに半導体素子と外部支持電極とを強固に接着する
ことを可能とし、また上2ミック封止時の熱処理に対・
しても十分な耐熱性を有するものである。このため、従
来のAu−8i共晶からの置換が可能で、半導体装置の
コスト低減に大きな効果をもたらすものである。
557−
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、 ジアミノシロキサン、ケイ素を含まない有機ジア
ミンおよび有機四塩基酸二無水物を反応させて得られる
0、1乃至50モルー〇式(1)で表わされる反覆単位
と50乃至99.9モル−の式(2)で表わされる反覆
単位からなるポリイミド−シリコーン前駆体を含有して
なる半導体素子と外部支持電極との接合用接着剤組成物
。 (但し、Rは2価の炭化水素基、R′は1価の炭化水素
基、R″は4価の有機基、R′aケイ素を含まない有機
ジアミンの残基である2価の有機基、nは1以上の整数
である)。 2 無機光てん剤を含有する特許請求の範囲第1項記載
の半導体素子と外部支持電極との接合用接着剤組成物。 & 導電性光てん剤を含有する特許請求の範囲第1項記
載の半導体素子と外部支持電極との接合用接着剤組成物
。 4、最大粒径5μm未満のAg粉末を含有する特許請求
の範囲第1項記載の半導体素子と外部支持電極との接合
用接着剤組成物。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10662381A JPS5844712B2 (ja) | 1981-07-07 | 1981-07-07 | 接着剤組成物 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10662381A JPS5844712B2 (ja) | 1981-07-07 | 1981-07-07 | 接着剤組成物 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS587473A true JPS587473A (ja) | 1983-01-17 |
JPS5844712B2 JPS5844712B2 (ja) | 1983-10-05 |
Family
ID=14438231
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP10662381A Expired JPS5844712B2 (ja) | 1981-07-07 | 1981-07-07 | 接着剤組成物 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS5844712B2 (ja) |
Cited By (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60177660A (ja) * | 1984-02-24 | 1985-09-11 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | 半導体装置の製造方法 |
EP0164920A2 (en) * | 1984-05-15 | 1985-12-18 | Chisso Corporation | A soluble imide oligomer and a method for producing the same |
JPS61118425A (ja) * | 1984-10-19 | 1986-06-05 | マイクロサイ,インコーポレイテッド | ジグライム可溶性シロキサン−イミド共重合体の製造方法 |
JPS61118424A (ja) * | 1984-10-19 | 1986-06-05 | マイクロサイ,インコーポレイテッド | 可溶性シリコ−ン−イミドコポリマ− |
JPS61201432A (ja) * | 1985-01-17 | 1986-09-06 | マイクロサイ,インコーポレイテッド | シリコンベ−ス上にホツトメルト接着剤を有する集積回路シリコンダイ複合体の製造方法 |
US4672099A (en) * | 1985-03-11 | 1987-06-09 | Chisso Corporation | Soluble polyimide-siloxane precursor, process for producing same and cross-linked polyimide-siloxane |
JPS63205322A (ja) * | 1987-02-20 | 1988-08-24 | Hitachi Chem Co Ltd | ポリアミドイミドシリコン重合体の製造法 |
JPH01121325A (ja) * | 1987-11-04 | 1989-05-15 | Ube Ind Ltd | ポリイミドシロキサン組成物 |
US4853452A (en) * | 1988-02-09 | 1989-08-01 | Occidental Chemical Corporation | Novel soluble polyimidesiloxanes and methods for their preparation using a flourine containing anhydride |
JPH0243221A (ja) * | 1988-06-10 | 1990-02-13 | Occidental Chem Corp | 新規可溶性ポリイミドシロキサン及びその製法及び用途 |
US4956437A (en) * | 1987-03-31 | 1990-09-11 | Occidental Chemical Corporation | Soluble polyimidesiloxanes and methods for their preparation and use |
US4996278A (en) * | 1988-02-09 | 1991-02-26 | Occidental Chemical Corporation | Novel polyimidesiloxanes and methods for their preparation and use based on diamines with pendant fluorine groups |
JPH03195730A (ja) * | 1989-12-25 | 1991-08-27 | Hitachi Chem Co Ltd | シロキサン変性ポリイミド及びその前駆体 |
USRE33797E (en) * | 1988-11-14 | 1992-01-14 | Occidental Chemical Corporation | Novel polyimidesiloxanes and methods for their preparation and use |
JPH04356534A (ja) * | 1991-04-23 | 1992-12-10 | Chisso Corp | シリコン変性ポリイミドフィルムおよびその製造法 |
JPH0578483A (ja) * | 1992-03-09 | 1993-03-30 | Toray Ind Inc | ポリイミド共重合体 |
US5473040A (en) * | 1993-07-16 | 1995-12-05 | Chisso Corporation | Polyimidesiloxane film of low heat-conductivity |
US6083426A (en) * | 1998-06-12 | 2000-07-04 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Conductive paste |
KR100418545B1 (ko) * | 2001-02-07 | 2004-02-11 | (주)새한마이크로닉스 | 폴리이미드 고내열 접착제 및 이를 이용한 접착테이프 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5739263A (en) * | 1992-06-04 | 1998-04-14 | Sumitomo Bakelite Company Limited | Film adhesive and process for production thereof |
-
1981
- 1981-07-07 JP JP10662381A patent/JPS5844712B2/ja not_active Expired
Cited By (21)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0156529B2 (ja) * | 1984-02-24 | 1989-11-30 | Sumitomo Bakelite Co | |
JPS60177660A (ja) * | 1984-02-24 | 1985-09-11 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | 半導体装置の製造方法 |
EP0164920A2 (en) * | 1984-05-15 | 1985-12-18 | Chisso Corporation | A soluble imide oligomer and a method for producing the same |
JPS61118425A (ja) * | 1984-10-19 | 1986-06-05 | マイクロサイ,インコーポレイテッド | ジグライム可溶性シロキサン−イミド共重合体の製造方法 |
JPS61118424A (ja) * | 1984-10-19 | 1986-06-05 | マイクロサイ,インコーポレイテッド | 可溶性シリコ−ン−イミドコポリマ− |
JPS61201432A (ja) * | 1985-01-17 | 1986-09-06 | マイクロサイ,インコーポレイテッド | シリコンベ−ス上にホツトメルト接着剤を有する集積回路シリコンダイ複合体の製造方法 |
US4672099A (en) * | 1985-03-11 | 1987-06-09 | Chisso Corporation | Soluble polyimide-siloxane precursor, process for producing same and cross-linked polyimide-siloxane |
JPS63205322A (ja) * | 1987-02-20 | 1988-08-24 | Hitachi Chem Co Ltd | ポリアミドイミドシリコン重合体の製造法 |
US4956437A (en) * | 1987-03-31 | 1990-09-11 | Occidental Chemical Corporation | Soluble polyimidesiloxanes and methods for their preparation and use |
JPH01121325A (ja) * | 1987-11-04 | 1989-05-15 | Ube Ind Ltd | ポリイミドシロキサン組成物 |
US4996278A (en) * | 1988-02-09 | 1991-02-26 | Occidental Chemical Corporation | Novel polyimidesiloxanes and methods for their preparation and use based on diamines with pendant fluorine groups |
US4853452A (en) * | 1988-02-09 | 1989-08-01 | Occidental Chemical Corporation | Novel soluble polyimidesiloxanes and methods for their preparation using a flourine containing anhydride |
JPH0243221A (ja) * | 1988-06-10 | 1990-02-13 | Occidental Chem Corp | 新規可溶性ポリイミドシロキサン及びその製法及び用途 |
USRE33797E (en) * | 1988-11-14 | 1992-01-14 | Occidental Chemical Corporation | Novel polyimidesiloxanes and methods for their preparation and use |
JPH03195730A (ja) * | 1989-12-25 | 1991-08-27 | Hitachi Chem Co Ltd | シロキサン変性ポリイミド及びその前駆体 |
JPH04356534A (ja) * | 1991-04-23 | 1992-12-10 | Chisso Corp | シリコン変性ポリイミドフィルムおよびその製造法 |
JPH072852B2 (ja) * | 1991-04-23 | 1995-01-18 | チッソ株式会社 | シリコン変性ポリイミドフィルムおよびその製造法 |
JPH0578483A (ja) * | 1992-03-09 | 1993-03-30 | Toray Ind Inc | ポリイミド共重合体 |
US5473040A (en) * | 1993-07-16 | 1995-12-05 | Chisso Corporation | Polyimidesiloxane film of low heat-conductivity |
US6083426A (en) * | 1998-06-12 | 2000-07-04 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Conductive paste |
KR100418545B1 (ko) * | 2001-02-07 | 2004-02-11 | (주)새한마이크로닉스 | 폴리이미드 고내열 접착제 및 이를 이용한 접착테이프 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
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JPS5844712B2 (ja) | 1983-10-05 |
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