JPS58215052A - ウエハ−収納治具 - Google Patents
ウエハ−収納治具Info
- Publication number
- JPS58215052A JPS58215052A JP9807382A JP9807382A JPS58215052A JP S58215052 A JPS58215052 A JP S58215052A JP 9807382 A JP9807382 A JP 9807382A JP 9807382 A JP9807382 A JP 9807382A JP S58215052 A JPS58215052 A JP S58215052A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- groove
- jig
- ueno
- wafers
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
- H01L21/67326—Horizontal carrier comprising wall type elements whereby the substrates are vertically supported, e.g. comprising sidewalls
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- Packaging For Recording Disks (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はウェハー収納治具の改良に関するものである。
半導体装置の製造傾おいてウェハー収納治具は広く用い
られているが、近年製造装置の進歩により、大部分の製
造装置がウェハー収納治具を製造装置内に設置し自動的
にウェハーを取り出し処理をした後、治具に収納するい
わゆるカセットツーカセット方式となっている。
られているが、近年製造装置の進歩により、大部分の製
造装置がウェハー収納治具を製造装置内に設置し自動的
にウェハーを取り出し処理をした後、治具に収納するい
わゆるカセットツーカセット方式となっている。
これらの製造装置においてウェハーを取り出し、収納す
る機構上や処理の均一性を向上する目的であらかじめウ
ェハーの平らな切かき部（以下ＯＦ’と称する）を合わ
せた状態で収納治具に入れておく事が多いが、この時収
納治具内でウェハースが振動等によシ回転して合わせて
あったＯＦがすれて機構上のトラブルの原因となったり
均一性が損なわれる事が多い。
る機構上や処理の均一性を向上する目的であらかじめウ
ェハーの平らな切かき部（以下ＯＦ’と称する）を合わ
せた状態で収納治具に入れておく事が多いが、この時収
納治具内でウェハースが振動等によシ回転して合わせて
あったＯＦがすれて機構上のトラブルの原因となったり
均一性が損なわれる事が多い。
また、収納治具に入れたウエノ・−を運搬すると収納治
具とウェー・−スのエツジとの接触がたえまなくおこる
ためウェハー及び収納治具の溝部にキズがつき、これが
ゴミとなってウエノ１−面上に付着するため歩留り低下
につながりやすい。・更にウェハーが大口径になるにつ
れて収納治具内のウェハー同志の接触が大となり、傷を
防ぐ事や、ウェット処理でのウェハー間の液の浸透を充
分にする目的で構部の間隔を大きくしようとすると、決
められた大きさの収納治具では収納できるウェハ一枚数
が減少するという欠点がある。
具とウェー・−スのエツジとの接触がたえまなくおこる
ためウェハー及び収納治具の溝部にキズがつき、これが
ゴミとなってウエノ１−面上に付着するため歩留り低下
につながりやすい。・更にウェハーが大口径になるにつ
れて収納治具内のウェハー同志の接触が大となり、傷を
防ぐ事や、ウェット処理でのウェハー間の液の浸透を充
分にする目的で構部の間隔を大きくしようとすると、決
められた大きさの収納治具では収納できるウェハ一枚数
が減少するという欠点がある。
本発明はこれらの欠点を解消するために考えられたもの
でウエノ・−収納治具上部にウエノ・−押え部を有し、
ウェハーの動きを押えるため、上記の欠点が防げる他、
ウェハー押え部を溝状にすればウェハー同志を平行に保
つ事も可能となるため大口径ウェハースにおいてもウェ
ハー同志の接触による問題を解消する事ができる。
でウエノ・−収納治具上部にウエノ・−押え部を有し、
ウェハーの動きを押えるため、上記の欠点が防げる他、
ウェハー押え部を溝状にすればウェハー同志を平行に保
つ事も可能となるため大口径ウェハースにおいてもウェ
ハー同志の接触による問題を解消する事ができる。
以下、本発明を実施例により説明する。
第１図および第２図は本発明の一実施例を示すものであ
る。
る。
１は相互に平行して治具内に設置された板で内側面に溝
２を有する。３は上記画板を相互に連結する板、４はウ
ェハーを押える板、５は前記ウェハースを押える板を押
すバネ６はウェハーである。
２を有する。３は上記画板を相互に連結する板、４はウ
ェハーを押える板、５は前記ウェハースを押える板を押
すバネ６はウェハーである。
ウェハー収納時はウェハー６は、４の上部によって収納
治具下方に押えられるためウェハーは動いたシ回転した
シする事がない。ウニ・・−移動時は４の下部を押える
事により容易に移動可能であり製造装置に４を動かす機
構を取りつける事も可能である。また、４は片側だけで
なく両側にあってもよい。
治具下方に押えられるためウェハーは動いたシ回転した
シする事がない。ウニ・・−移動時は４の下部を押える
事により容易に移動可能であり製造装置に４を動かす機
構を取りつける事も可能である。また、４は片側だけで
なく両側にあってもよい。
第３図は本発明の他の実施例を示すものである。
７は相互に平行して治具内に設置された板で内側面に溝
８を有する。９は上記画板を相互に連絡する板、１０は
溝８に対応する溝１１を有するウェハーを押える板、１
２はウエノ・−スである。ウェハー収納時はウェハー１
２は１０の溝１１によって溝８に平行に保持されるため
ウエノ・−間は適正な平行間隔を保ち大口径ウェハーで
も均一なウェット処理が可能となる。このように本発明
によればウェハーがズレる墨なく、かつゴミの発生を最
少にできる、またウエノ・−間隔を一定平行に保つ事も
できるのでウェット処理等でも均一な処理が可能であシ
、大口径ウニ・・−ス化やカセットツーカセット化に充
分対応できるものである。
８を有する。９は上記画板を相互に連絡する板、１０は
溝８に対応する溝１１を有するウェハーを押える板、１
２はウエノ・−スである。ウェハー収納時はウェハー１
２は１０の溝１１によって溝８に平行に保持されるため
ウエノ・−間は適正な平行間隔を保ち大口径ウェハーで
も均一なウェット処理が可能となる。このように本発明
によればウェハーがズレる墨なく、かつゴミの発生を最
少にできる、またウエノ・−間隔を一定平行に保つ事も
できるのでウェット処理等でも均一な処理が可能であシ
、大口径ウニ・・−ス化やカセットツーカセット化に充
分対応できるものである。
第１図は本発明の一実施例を示す斜視図、第２図は断面
図である。第３図は本発明の他の一実施例を示す上面図
である。 図において、１，７・・・・・・収納治具本体、２，８
・・・・・・溝部、３，９・・・・・・連結板、４．１
０・・・・・・ウェハー押え板、５・・・・・・バネ、
１１・・・・・・押え板の溝部、６．１２・・・・・・
半導体ウエノ・−を示す。 ｋ＝〉′ 第１凶 づ 第７区 り ６つ
図である。第３図は本発明の他の一実施例を示す上面図
である。 図において、１，７・・・・・・収納治具本体、２，８
・・・・・・溝部、３，９・・・・・・連結板、４．１
０・・・・・・ウェハー押え板、５・・・・・・バネ、
１１・・・・・・押え板の溝部、６．１２・・・・・・
半導体ウエノ・−を示す。 ｋ＝〉′ 第１凶 づ 第７区 り ６つ
Claims (2)
- （１）部分的に平らな切かきを有する円板上のウェハー
の直径より広い間隔をおいて相対向する溝部間に上記ウ
エノ・−を収納するようにしてなるウェハー収納治具に
おいて、上記溝部の上部に可動するウエノ・−押え部を
有し、ウエノ・−収納時はウエノ・−を押え、ウニノ・
−移し替え時には溝部の外に可動する事を可能とした事
を特徴とするウエノ・−収納治具。 - （２） ウェハー押え部には前記溝部に対応する溝部
を有し、ウエノ１−収納時はウエノ・−を溝部に平行に
押えウエノ・−移し替え時には溝部の外に可動する事に
より移し替えにを可能とした＄を特徴とする特許請求の
範囲第α）項記載のウニ・・−収納治具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9807382A JPS58215052A (ja) | 1982-06-08 | 1982-06-08 | ウエハ−収納治具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9807382A JPS58215052A (ja) | 1982-06-08 | 1982-06-08 | ウエハ−収納治具 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58215052A true JPS58215052A (ja) | 1983-12-14 |
| JPS6253948B2 JPS6253948B2 (ja) | 1987-11-12 |
Family
ID=14210166
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9807382A Granted JPS58215052A (ja) | 1982-06-08 | 1982-06-08 | ウエハ−収納治具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58215052A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6389247U (ja) * | 1986-11-28 | 1988-06-10 | ||
| EP1480256A3 (en) * | 1995-06-26 | 2004-12-15 | Miraial Co., Ltd. | Thin-plate supporting container |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54140659U (ja) * | 1978-03-22 | 1979-09-29 | ||
| JPS5524432A (en) * | 1978-08-09 | 1980-02-21 | Mitsubishi Electric Corp | Sheet holding tool |
-
1982
- 1982-06-08 JP JP9807382A patent/JPS58215052A/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54140659U (ja) * | 1978-03-22 | 1979-09-29 | ||
| JPS5524432A (en) * | 1978-08-09 | 1980-02-21 | Mitsubishi Electric Corp | Sheet holding tool |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6389247U (ja) * | 1986-11-28 | 1988-06-10 | ||
| EP1480256A3 (en) * | 1995-06-26 | 2004-12-15 | Miraial Co., Ltd. | Thin-plate supporting container |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6253948B2 (ja) | 1987-11-12 |
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