JPS5820907B2 - 均等加熱プレスによる無孔質多結晶成形体の製造方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 本発明の対象は粉状材料から予備成形した、表面に開い
た孔を有する多結晶材料をガラス−またはセラミック様
の材料から成る真空気密なケーシング内に入れ、高圧オ
ートクレーブ中で圧力伝導媒体として不活性ガスを用い
て、均等に加熱プレスすることから成る、実際に無孔質
の多結晶成形体の製造方法である。

粉状材料の予備成形体を均等加熱プレスによって高度に
圧縮または再圧縮すると、理論密度の１００％に達する
ような密度を有する、実際に無孔質の多結晶成形体が得
られることは公知である。

開口した孔を有する、すなわち表面に開口した孔を有す
る予備成形体に均等加熱プレスを行なう場合には、圧力
伝導媒体として用いたガスが成形体の開口した孔に侵入
して、圧縮を妨げるのを阻止するために、この均等加熱
プレス過程に気密ケーシングを用意することが必要であ
る。

適当なケーシング材料の選択に際しては、プレス温度に
おける延性が高いことと、予備成形体材料と良好に調和
することが絶対に重要である。

例えば、この用途のためにずっと以前から公知である金
属ケーシングは、この必要条件を満たしている。

しかしながら、金属ケーシングは幾何学的に簡単な形状
でのみ経済的に製造されることができるにすぎず、また
更に、プレス作業間に成形体にケーシングが不可避に溶
接され、最終生成物に費用のかかる再処理を行なうこと
が必要になるので、言わゆるガラス−カプセル法が開発
された。

この方法では、予備成形体のサイズにぴったりと適合し
ないガラスカプセルを予め製造しく英国特許第１．４４
１，３３０号明細書に相当する西ドイツ公告第２３４６
４９９号明細書、および英国特許第１５５２７０５号明
細書に相当する西ドイツ公開第２５４８７４０号公報参
照）、ガラスカプセルと予備成形体との間の空間に、′
カフ物し自体の軟化温度よりも高い軟化温度を有するガ
ラス粉末を充填して用いることができる（英国特許第１
５２９９６６号明細書に相当する西ドイツ公告第２６０
１２９４号明細書参照）。

カプセルを均等加熱プレスに入れる前に、カプセルとそ
の内容物を排気処理してから、気密にシールする。

高圧オートクレーブ内での加熱過程間に、ガラスカプセ
ルと必要に応じて存在するガラス粉末とは軟化し、予備
成形体のサイズに適合するようになるが、特に複雑な形
状の成形体の場合には不均一な厚さの被覆を生じ、成形
体を不均一に圧縮する結果になる。

更に、ガラス材料が成形体の表面の孔に圧入されるので
、このために成形体表面の性質が侵害されることも生ず
る。

予備成形体を予め製造したガラスカプセルに入れる代り
に、予備成形体にガラスまたはガラス様材料を、例えば
フレームまたはプラズマ吹き付は塗りまたは浸漬によっ
て被覆して、多孔質表面層を形成し、次に減圧下で加熱
することによって、この多孔質表面層は溶融して気密な
被覆になる（英国特許第１３７４０３３号明細書に相当
する西ドイツ公告第２２０８２５０号明細書参照）。

この場合、表面層が粘度の高い状態になったときに、圧
力を加えることができるので、均一な厚さの、かなり薄
い被覆を得ることができるが、高い圧縮温度を必要とす
る予備成形体の場合は、被覆が早期に流れ去るまたは成
形体中に侵入するのを防ぐために、被覆は高融点のガラ
ス様材料から成るものでなければならない。

したがって、この方法は表面層がかなり高温度において
初めて、気密になると言う欠点を有している。

それ故、高い圧縮温度を必要とする例えば窒化ケイ素か
ら成る予備成形体に対しては、予備成形体上に２種類の
多孔質層を被覆する方法が公知である。

この方法では、内側の、直接成形体上に被覆する層は高
融点のガラス製造材料または金属から成り、外側の層は
低融点のガラス製造材料から成っている。

減圧下で加熱することによって、先ず最初に外側層が溶
融されて気密になり、次に温度を上昇させると共に加圧
すると、成形体は必要な圧縮温度に達する前およびこの
温度を保持している間、常に気密なケーシングによって
包まれていることになる（米国特許第４１１２１４３号
明細書に相当する西ドイツ公開第２７０２０７３号公報
参照）。

しかしながら、ケーシング材料を直接予備成形体上に塗
付する全ての場合に、この材料が可塑的にまだ変形不能
であるかまたは温度が上昇すると収縮するような懸濁液
として塗付されているならば、予備成形体とケーシング
材料との熱膨張係数が異なるために、ケーシング材料が
裂けることがある。

この種のき裂は被覆層の気密溶融または焼結間にもはや
修復できないことがしばしばであり、この結果、高い割
合で欠陥ケーシングが生じ、廃棄物の割合が高くなる。

それ故、本発明の目的はガラス様材料からなり、溶融さ
れると気密になるケーシング内に開孔を有する予備成形
体を入れ、高圧オートクレーブ内で圧力伝導媒体として
不活性ガスを用いて、均等加熱プレスすることによる実
際に無孔質の多結晶成形体の製造方法において、予備成
形体が被覆層よりも高い熱膨張係数を有していても、ま
た被覆層が温度の上昇につれて収縮しても、加熱間に被
覆層のき裂が生じないような製造方法を提供することで
ある。

この目的は、本発明によって、予備成形体上に常圧下で
約４００°Ｃまでの温度において分解また。

は溶融され得る有機材料、または少なくとも月量まで圧
縮され得る耐熱性材料から成る第一層を塗付し、次にガ
ラス様またはセラミック様材料から成る第二層を塗付し
、その後に第二層が溶融または焼結されて気密なケーシ
ングを形成するまで、。

被覆予備成形体を熱処理してから、このようにして前処
理した成形体を均等に加熱プレスして、実際に無孔質の
多結晶成形体を形成することによって達成される。

従がって、本発明による方法では、実際のケー。

シング材料すなわちガラス様またはセラミック様材料か
ら成る第二層すなわち外側層は、予備成形体上に直接塗
付されることはなく、この両者の間には、第二層が熱処
理によって溶融または焼結されて気密になるときに、溶
融または分解して空隙１を形成するような有機材料、ま
たは圧縮可能な材料のいずれかから成る第一層すなわち
内側層が存在するので、予備成形体は第一層によって形
成された空隙のために、あるいはこの層の圧縮性のため
に、第二層または外側層がまだ可塑的に変形不能である
としても、これらの層を破壊することなく、膨張するこ
とができる。

本発明による方法では、まだ表面に開いた孔を有する予
備成形体を用いることができる。

この予備成形体は、金属、金属性および非金属性の硬い
材料、例えばホウ化物、炭化物、窒化物および／または
ケイ素化物のような、任意の形状および組成の粉状材料
から公知のバインダー金属および／または焼結助剤を任
意に用いて、成形することによって製造することができ
る。

この成形は従来の方法によって、例えば、室温における
ダイプレス、均等プレス、射出成形、押出成形または滑
り注型、あるいは昇温下における加圧しないプレスまた
は単純な加熱プレスによって行なうことができる。

成形後に、成形体は理論密度の少なくとも５０％、望ま
しくは少なくとも６０係の密度を有するので、この後の
処理に対して十分に安定である。

本発明による方法を実施するためには、定義によると、
常圧下で約４００℃までの温度で分解または溶融し得る
有機材料から成る第一層を予備成形体上に塗付するが、
この際、用いる有機材料がこの前記温度範囲内で完全に
分解または溶融することは、必らずしも必要ではない。

第二層が気密に溶融または焼結される時に、空隙が形成
されることのみが唯一の必要条件であるが、この場合に
第一層から約２０重量係までの炭素含有残渣が生ずるこ
とは許容される。

この際に、このような炭素含有残渣が均等加熱プレス間
に、予備成形体の材料と反応しないことが前提であるの
は自明のことである。

第一層の材料としては、例えば有機ワックスまたはワッ
クス様物質、ならびに天然または合成物の有機樹脂また
は樹脂様物質を用いることができる。

このための例は、例えはカンデリラろうおよびカルナウ
バろうのような植物性ワックス；例えば密ろうおよびセ
ラックろう、鯨ろうおよびラノリンのような動物性ワッ
クス；例えばセレシン、オシケライトおよびパラフィン
ワックスのような鉱物ワックス；例えば、パラフィン類
およびパラフィン類から得られる硬化ワックスのような
、化学的に改質したワックスおよび合成ワックス；例え
ばミリスチン酸、ペンタデカン酸、パルチミン酸、ヘプ
タデシル酸、ステアリン酸、ノナデカン酸、アラキン酸
およびベヘン酸のような、炭素原子１２〜３０個、望ま
しくは炭素原子１４〜２２個を有する飽和脂肪族カルボ
ン酸、これらのカルボン酸のエステルおよびアミドのよ
うな、通常ワツクスから製造されるかまたは合成的に得
られ、室温においてワックスと同じコンシスチンシーを
有する化学化合物またはこれら化合物の混合物、ワック
スアルコールおよび脂肪族アミン；例えばコニフェレン
およびエレミ樹脂のような植物性樹脂；ｆＵばアビエチ
ン酸およびボピマル酸のジテルペン誘導体のような樹脂
酸または樹脂酸混合物；例えばセルロースエステルのよ
うな改質天然物質または、例えばポリカーボネートおよ
びポリフェレンオキシド等のポリ縮合物のような純合成
物質の。

ような、化学反応によって改質した天然物質と、天然物
質（脂肪、油または天然樹脂）によって任意に改質した
熱可塑性物質；例えばポリオレフィン、ポリアセテート
、ポリアクリレートおよび特に、ポリテトラフルオロエ
チレンおよびトリフルオロクロロエチレンのようなフッ
化炭化水素ポリマーのような、ポリマー類；更に、例え
ば直鎖ポリウレタンのようなポリアダクツである。

しかしながら、有機材料の代りに、定義によると、少な
くとも％量まで圧縮され得る耐熱性材料を第一層として
塗付することもできる。

この耐熱性材料とは、無機の耐熱性繊維、繊維フリース
またはフェルトの意味である。

この耐熱性材料の例は、アスベスト繊維またはアスベス
トウール；酸化ジルコニウム、酸化ベリリウム、酸化マ
グネシウムおよび特に、酸化アルミニウムから成る多結
晶酸化物繊維；ホウ素、炭化ホウ素、ホウ化チタンまた
は炭化ケイ素から成る多結晶繊維および特に、例えばホ
ウ化チタン、窒化ケイ素または炭化ケイ素から成る予備
成形体が高い圧縮温度を必要とする場合に、２５００°
Ｃまでの安定性を有するために特に望ましい。

炭素、黒鉛または窒化ホウ素から成る多結晶繊維である
。

多結晶繊維の代りに、単結晶繊維、言わゆるびげ（ｗｈ
ｉｓｋｅｒ）も当然用いることができるが、これ１は経
済的理由からあまり考慮されない。

第一層の塗付は従来の方法によって行なうことができる
。

例えば、有機材料を用いる場合には、溶融状態として、
有機溶媒に溶かした溶液としてまたはエアロゾル形状と
して、浸漬、吹き掛け、刷毛塗り、流し掛けまたは塗り
掛けによって、有機材料を塗付して、乾燥させる。

耐熱性の繊維状またはフェルト状材料の場合には、予備
成形体にこれを巻きつけるか、またはこの中に予備成形
体を埋め込むことが望ましく、この後に、例えば樹脂様
物質から成る、約１〜１０μｍ厚さの薄い耐水性フィル
ムを被覆することが望ましい。

第一層のための材料の選択は予備成形体の構成物質には
関係しない。

しかしながら、耐熱性繊維状またはフェルト状材料を用
いる場合には、各場合に用いる圧縮温度において必要な
圧縮性が、均等加熱プレス間に保証されなければならな
いことは明らかである。

層の厚さは予備成形体のサイズおよび、予備成形体と第
二のまたは実際のケーシング材料との熱膨張の相違と、
温度上昇の結果としてのケーシング材料の収縮とによっ
て生ずる、予備成形体の量とケーシング材料の量との相
違に依存する。

予備成形体が大きくなり、量の変化差が大きくなればな
るほど、第一層のために選択する層の厚さも厚くしなけ
ればならない。

一般に、有機材料に関しては約０．１〜３ ｍｍ、望ま
しくは約０．３〜１１ｒＬｒＩＬの範囲の層の厚さによ
って満足な結果が得られ、繊維状またはフェルト状材料
に関しては０．５〜１０ｍｍ。

望ましくは約２〜６ｍｍの範囲の層の厚さによって満足
な結果が得られる。

第一層を塗付して、乾燥した後に、ガラス様またはセラ
ミック様材料から成る第二層すなわち外側層として、実
際のケーシング材料の塗付を行なう。

ガラス様またはセラミック様材料とはガラス、ガラスセ
ラミック、焼結したガラスセラミックおよび酸化物セラ
ミックを意味し、これらの材料は材料自体および／また
はそれらの原料の混合物の懸濁液として用いることがで
きる。

第二層のために選択する材料の必要条件はケーシング材
料またはその成分が予備成形体と直接に接触した場合に
、予備成形体の材料と反応しないことと、このケーシン
グが均等加熱プレス過程間に用いる圧縮温度において、
可塑的に変形可能でなければならないことである。

ガラス材料の例は低融点ホウケイ酸ガラスおよびアルミ
ノケイ酸ガラス、高融点の言わゆるバイコールガラス（
約９６％５１０２と３％Ｂ２０３）および純粋のシリカ
ガラスであり、これらは全て、例えばポリビニルアルコ
ールまたはステアリン酸のような有機結合剤を加えた、
ガラス粉末水性懸濁液として、例えば浸漬、吹き掛け、
流し掛け、刷毛塗り、または塗り掛けのような従来方法
によつて有利に塗付することができる。

しかしながら、酸化物セラミック材料はＭ２Ｏ３゜５１
０２２Ｍｇ０９ＺｒＯ２および／またはＣａＯのような
酸化物から成るセラミック材料として、特に、場合によ
っては材料を流動状にするために炭酸ナトリウムおよび
／またはケイ酸ナトリウムを加え、必要に応じて有機結
合剤も共に加えて、粘度を調節した混合懸濁液（スリッ
プ）の形状で、同じ方法で有利に塗付することができる
。

しかしながら、セラミック材料は均等加熱プレス間の圧
縮温度において、少なくとも４重量係、望ましくは１０
重量係の割合の溶融相を有さなければならない。

このことは例えば、ＳｉＯ２と化合した長石のような、
ガラス形成原料を添加することによって達せられること
ができる。

このような材料をち密に焼結する場合には、約２０係を
超えないような、量の損失を顧慮すべきである。

これらの条件下において、均等加熱プレス時に、例えば
炭化ケイ素から成る予備成形体の圧縮に必要なように、
２０００°Ｃまでの圧縮温度に達することもあり得る。

ガラス様またはセラミック様材料から成る第二層を塗付
した後に、例えば約１２０℃まで徐々に加熱することに
よって、予備成形体を再び乾燥する。

乾燥の後に、第二層の厚さは一般に約０．１〜３ ｍｍ
、望ましくは約０．５〜０．８ ｍｒｎである。

被覆した成形体に次に熱処理を行なうが、第一層として
有機材料を用いた場合は、この熱処理を２段階で行なう
ことが望ましい。

すなわち、成形体を先ず、常圧下で約４００°Ｃの温度
に加熱すると、第一層は成形体と第二層との間で溶融ま
たは。

分解して空隙を形成する。

次に減圧下（約１０−１ミリバール）で、第二層が気密
に溶融または焼結するまで、再び加熱する。

第一層として耐熱性材料を用いた場合は、熱処理を１段
階で行なうことができる、すなわち、被覆した成形体を
予備加熱することなく、直接減圧下で第二層が気密に溶
融または焼結するまで加熱する。

最後に、このように前処理した成形体を高圧オートクレ
ーブに入れ、成形体が必要な圧縮温度に達するまで、圧
力を約１５００〜３０００バールまで徐々に上げながら
、加熱する、この場合に圧力伝導のための不活性ガスと
して特にアルゴンまたは窒素を用いる。

熱処理および均等加熱圧縮を高圧オートクレーブ自体の
中で行なうことも、原則として可能であるが、熱処理を
例えばバッチ炉または連結操作のトンネルがまのような
、別の炉内で行なうことも可能である。

この場合には、成形体を高圧オートクレーブに移動させ
る間に、被覆した成形体を徐徐に冷却することによって
、ケーシングにき裂が生じないようにすることが必要で
ある。

それ故、熱処理の場合によっては必要な第１段階のみを
別の炉で行ない、第一層からの分解残渣によってオート
クレーブが汚染されないようにすることが、有利である
。

この熱処理に必要な温度において前記圧力下で、被覆成
形体の圧縮は一般に約１〜２時間後に達せられる。

次に、圧力および温度を徐徐に下げ、冷却した成形体を
オートクレーブから取り出し、簡単にケーシングを打く
または砂−吹きによって、成形体からケーシングを取り
去る。

この他の、費用のかかる後処理は複雑な形状の成形体の
場合にも、一般に必要ではない。

このようにして、本発明によるプロセスによって、例え
ば窒化ケイ素、ホウ化チタンおよび特に炭化ケイ素から
成る材料のように、高い圧縮温度を必要とする粉状材料
から成り、開いた孔を有する、複雑な形状の予備成形体
を、ガラス様またはセラミック様材料から成り、この温
度範囲における可塑的変形性の必要条件を満たしている
が、予備成形されていない、必要なケーシング材料が熱
処理間に可塑的に変形可能Ｇとなる前に体積変化の相違
によって修復不能なき裂を生じて、早期に破かいするこ
とがないように、均等加熱プレスすることが初めて可能
になった。

このようにして、均等加熱プレス作業間に、圧力伝導ガ
スがまだ開いている孔に不必要に浸透することから、成
形体を効果的に保護することができる。

しかしながら、本発明による方法は例えば炭化タングス
テンとバインダー金属としてのコバルトとから成る材料
のように、完全圧縮するのにあまり高い温度を必要とし
ないような粉状材料の予備成形体の圧縮に等しく適して
おり、またこの方法においては、その温度範囲において
可塑的に変形可能であるガラスまたはガラス様材料をケ
ーシング材料として選択する。

このようにして、本発明による方法は予備成形体を構成
する材料を分解することなく、広範囲に用いることがで
きる。

次の実施例において、本発明による方法を更に詳細に説
明する。

以下において、ａは線熱膨張係数を意味し、ＴＤは理論
密度を意味する。

実施例 １ （ａ）２０ｍｍ長さの辺を有するキューブ状成形体（密
度： １０．５ ｇ／ｃｙｉｔ＝ ７２．５１％ＴＤ：
ａ：：５．５ｘ１ｏ／Ｋ）を、粉状炭化タングステンか
ら、バインダー金属としてのコバルト６重量係を加えて
、超硬金属鋳型におけるダイプレスによって製造した。

’（ｂ） （ａ）によって製造したキューブに第一層
として、ポリテトラフルオロエチレンをエアロゾル形状
で、吹き付けによって塗付して、乾燥した。

乾燥した後に、この層は０．３ ｍｍ厚さであった。

第二層として、Ｓ ＋ ０２６５重量係、Ａ１２０３２
０重量係、Ｂ２Ｏ３３重量係、Ｃａ０６重量係およびＭ
ｇ０４重量係から成るガラス粉末（ａ＋；３Ｘ１０２Ｋ
）の水性懸濁液に、有機バインダーとしてポリビニルア
ルコールを３ｆＯ加えて、浸し掛けによって塗付して、
乾燥した。

乾燥後に第二層は０．７ ｍｒｎの厚さであった。

この被覆したキューブを次に、管状炉内で常圧下４００
℃に加熱し、この間に第一層は分解した。

次に、被覆したキューブを高圧オートクレーブに入れ、
減圧下（１０’ ミＩＪバール）で９５０℃に、１５分
間加熱して、ガラス粉末層を溶融して、接合した。

次に、圧力を徐々に上げ、キューブを１３６０°Ｃ２１
０００バールアルゴン圧における均等加熱プレスによっ
て、１時間圧縮した。

被覆を取り去ったキューブの最終密度は１４．４５ｇ／
ｃｒｉｔであり、これは約１００％ＴＤであった。

（Ｃ） （ａ）によって製造したキューブ上に、第一
層として２ｍｍ厚さの黒鉛フェルトを装着し、その上に
エアロゾル状のポリテトラフルオロエチレンを吹き付け
ることによって、約５μｍ厚さの薄い、水に不溶なフィ
ルムを塗付した。

次に、（ｂ）に述べたように、ガラス粉末から成る第二
層を塗付して、乾燥した（層の厚さ０．７ｍｒｒｒ’）
。

次に、この被覆予備成形体を高圧オートクレーブに入れ
、（ｂ）に述べたように、被覆を気密に溶融し、キュー
ブを均等加熱プレスによって圧縮した。

被覆を取り去ったキューブの最終密度は１４．４８９／
ｃｙｉであり、これは１００％ＴＤに相当する。

実施例 ２ （ａ）直径７０龍、厚さ２０ｍｍのディスク（密度：４
．１６ ｇ／ｃｍｔ＝９２．４３％ＴＤ ； ａ；７．
Ｑ ｘｌ ０−１／Ｋ ）を、粉状２ホウ化チタンから
簡単な加熱プレスによって製造した。

（ｂ） （ａ）によって製造したディスクに、溶融パ
ラフィンワックス中に浸漬することによって、１．Ｏｍ
ｖｔ厚さの第一層を塗付した。

第二層として、ケイ酸ガラス粉末の水性スラ’Ｊ （ａ
”；ｌＸｌ０ ”／Ｋ）を有機バインダーとしてのステ
アリン酸３重量係とともに、浸漬によって塗付して、乾
燥した。

乾燥後に、この第二層の厚さは０．５韮であった。

次に、この被覆したディスクを管状炉に入れ、常圧下で
２００°Ｃに加熱し、この間に第一層は溶融した。

次に、被覆ディスクを高圧オートクレーブに入れ、減圧
（１０−’ −１，ＩＪバール）下で１６００°Ｃに、
１５分間加熱して、ケイ酸ガラス被覆を気密に溶融した
。

次に、圧力を徐々に上げ、１７５０℃、２０００バール
アルゴン圧において、ディスクを１時間均等加熱プレス
によって圧縮した。

被覆を取り去ったディスクの最終密度は、４．４６ｇ／
ｆｆ１（−１００係ＴＤ）になった。

（ｃ） （ａ）によって製造したディスク上に、第一
層として４朋厚さの酸化アルミニウムフェルトを接着し
、その上にエアロゾル状のポリテトラフルオロエチレン
を吹き付けることによって、約５ｍｍ厚さの薄い水に不
溶なフィルムを塗付した。

次に、（ｂ）に述べたように、ケイ酸ガラス粉末から成
る第二層を塗付して、乾燥した（層の厚さ０．５ ｍｍ
）。

次に、この被覆ディスクを予備加熱することなく、高圧
オートクレーブに入れ、（ｂ）で述べたように、被覆を
気密に溶融し、ディスクを均等加熱プレスによって圧縮
した。

被覆を取り去ったディスクの最終密度は４．４８ｇ／１
（−１００係ＴＤ）であった。

実施例 ３ （ａ） 直径３０ｍｍ、高さ５０酊のシリンダー（密
度：１．９８ ｇ／Ｃｌ１Ｌ＝ ６１．６８％ＴＤ ；
ａ；５Ｘ１０−６／Ｋ）を、粉状ａ−炭化ケイ素と、
焼結助剤としてのアルミニウム粉末０．４重量係とから
、室温における均等プレスによって製造した。

（ｂ） （ａ）によって製造したシリンダー上に、ア
セトンに溶解したステアリン酸から成る層を浸漬によっ
て塗付して、乾燥した。

乾燥後に層の厚さはＬＯｍｍになった。

第二層としてＡｌ１２０ｓ ９５．０重量係、ＳｉＯ□
４．０重量係、Ｍ、９００．３重量係、およびアルカリ
金属＋アルカリ士金属０．７重量係からなるセラミック
スリップを塗り掛けによって塗付して（ａ ”：：５
Ｘ １０５／Ｋ ：焼結の際に約２係の顧慮すべき収縮
）、乾燥した。

乾燥後にこの第二層は０．８ ｍｒｒｔ厚さであった。

次に被覆シリンダーを管状炉において、常圧下、３００
℃において加熱したが、この際に第一層は溶解した。

次にこの被覆シリンダーを高圧オートクレーブに入れ、
減圧下（１０’ミリバール）下で１６５０℃に、１５分
間加熱して、セラミック層を気密に焼結した。

次に、圧力を徐々に上げ、シリンダーを１９００°Ｇ、
２０００バールアルゴン圧において、均等加熱プレスに
よって圧縮した。

被覆を取り去ったシリンダーの最終密度は３．１９ｇ
／ｃｒｉｔ （−９９，４係ＴＤ）であった。

（ｃ）（ａ）によって製造したシリンダー上に第一層と
して６ｒｒａｒｔ厚さの黒鉛フェルトを接着し、この上
にエアロゾル形状のポリテトラフルオロエチレンを吹き
付けることによって、約５μｍ厚さの水に不溶なフィル
ムを塗付した。

次に、（ｂ）に述べたように、第二層としてセラミック
スリップを塗付して、乾燥した（層の厚さ０．８ ｍｍ
）。

次に、被覆シリンダーを予備加熱することなく、高温オ
ートクレーブ中に入れ、（ｂ）で述べたように、被覆を
真空気密に焼結し、シリンダーを均等加熱プレスによっ
て圧縮した。

被覆を取り去ったシリンダーの最終密度は３．２１ｇ／
ｉ（−１００チＴＤ）であった。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ ガラス様材料から成る真空気密ケーシングに入れた
   、表面に開孔を有する予備成形体を高圧オートクレーブ
   内で、圧力伝導媒体として不活性ガスを用いて均等加熱
   プレスすることによる、実際に無孔質の多結晶成形体の
   製造方法において、常圧下で４００℃までの温度におい
   て分解または溶融し得る有機材料、または少なくとも体
   積の匙まで圧縮され得る耐熱性材料から成る第一層を、
   該予備成形体に塗付し、その上にガラス様またはセラミ
   ック様材料から成る第二層を塗付し、次に被覆予備成形
   体を、第二層が溶融または焼結して真空気密なケーシン
   グを形成するまで熱処理し、次にこのように前処理した
   成形体を、実際に無孔質の多結晶成形体が形成されるま
   で均等加熱プレスすることを特徴とする方法。 ２ 第一層として、天然にまたは合成によって得られる
   有機ワックスまたはワックス様物質を用いることを特徴
   とする特許請求の範囲第１項記載の方法。 ） ３ 第一層として、天然にまたは合成によって得られる
   有機樹脂または樹脂様物質を用いることを特徴とする特
   許請求の範囲第１項記載の方法。 ４ 第一層として、無機の耐熱性繊維、繊維フリースま
   たはフェルトを用いることを特徴とする特許請求の範囲
   第１項記載の方法。 ５ 第一層として、アスベスト繊維またはアスベストウ
   ールを用いることを特徴とする特許請求の範囲第１項〜
   第４項のいずれか１項に記載の方法。 ６ 第一層として、酸化アルミニウム、炭素黒鉛または
   窒化ホウ素から成る多結晶繊維を用いることを特徴とす
   る特許請求の範囲第１項〜第４項のいずれか１項に記載
   の方法。 ７ 第二層として、ガラス粉末またはガラス製造原料か
   ら成る混合懸濁液を用いることを特徴とする特許請求の
   範囲第１項記載の方法。 ８ 第二層として、酸化物と少なくとも４重量係のガラ
   ス製造原料から成る粘度を調節した混合懸濁液を用いる
   ことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の方法。 ９ 被覆成形体に、常圧下４００℃までの温度における
   第１次熱処理を行ない、次に減圧下で、ガラス様または
   セラミック様材料から成る層の溶融または焼結温度にお
   いて第２次熱処理を行なうことを特徴とする特許請求の
   範囲第１項記載の方法。