JPS58209007A - フツ化ビニリデン共重合体成形物の配向分極体 - Google Patents
フツ化ビニリデン共重合体成形物の配向分極体Info
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、高周波領域の周波数においても高い圧電性能
を有する高分子圧電物質に係り、特に高性能の超音波ト
ランスジューサー用の高分子素子材料に係る。
を有する高分子圧電物質に係り、特に高性能の超音波ト
ランスジューサー用の高分子素子材料に係る。
高い圧電性能を有する高分子圧電物質としては、例えば
特公昭45−83771号においてポリフッ化ビニリデ
ン、また特公昭50−29159号においてフッ化ビニ
リデン共重合体が報告されている。しかもこれら樹脂は
高周波領域の周波数においても高い圧電性能を有するこ
とが特公昭51−23439号において報告されている
〇このうちポリフッ化ビニリデンは、フィルム面に垂直
方向の電気機械結合係数kL′が0.20であシ、成形
性も良好であり、最も有用な超音波トランスジューサー
用の高分子素子材料と考えられてきたが、超音波送・受
波能のよシ一層の改善が望まれている。
特公昭45−83771号においてポリフッ化ビニリデ
ン、また特公昭50−29159号においてフッ化ビニ
リデン共重合体が報告されている。しかもこれら樹脂は
高周波領域の周波数においても高い圧電性能を有するこ
とが特公昭51−23439号において報告されている
〇このうちポリフッ化ビニリデンは、フィルム面に垂直
方向の電気機械結合係数kL′が0.20であシ、成形
性も良好であり、最も有用な超音波トランスジューサー
用の高分子素子材料と考えられてきたが、超音波送・受
波能のよシ一層の改善が望まれている。
他方、前記特許公報記載の弗化ビニIJテン共重合体、
特にフッ化ビニリデンと三フッ化エチレンとの共重合体
はフッ化ビニリデン75モル%、三フッ化エチレン25
モル%の組成においてポリ弗化ビニリデンを上廻るに右
゛が得られる。しかしながら超音波トランスジューサー
の送受波感度を高めるべく凹面成形する際に亀裂が発生
しやすぐ、素子の製造収率が非常に悪い。さらに素子が
亀裂の発生をみることなく出来た場合でも、大きな功を
有する程には超音波送・受波能の向上は見られなかった
。
特にフッ化ビニリデンと三フッ化エチレンとの共重合体
はフッ化ビニリデン75モル%、三フッ化エチレン25
モル%の組成においてポリ弗化ビニリデンを上廻るに右
゛が得られる。しかしながら超音波トランスジューサー
の送受波感度を高めるべく凹面成形する際に亀裂が発生
しやすぐ、素子の製造収率が非常に悪い。さらに素子が
亀裂の発生をみることなく出来た場合でも、大きな功を
有する程には超音波送・受波能の向上は見られなかった
。
かかる技術水準に鑑み、本発明は素子製造の収率が高く
且つ超音波送・受波能の高い高分子圧電体を提供するこ
とを目的とする。
且つ超音波送・受波能の高い高分子圧電体を提供するこ
とを目的とする。
本発明者等は種々の三元共重合体に就いて検討を重ねた
処、フッ化ビニリデン、三フッ化エチレン、フッ化ビニ
ルの三元共重合体において目的とするものが得られるこ
とを見出したのである。
処、フッ化ビニリデン、三フッ化エチレン、フッ化ビニ
ルの三元共重合体において目的とするものが得られるこ
とを見出したのである。
以下、本発明の詳細な説明する。
本発明の配向分極体を構成する共重合体の構成単量体は
、フッ化ビニリデン、三フッ化エチレン及びフッ化ビニ
ルの三種であり、この共重合体中フッ化ビニリデンは4
0〜&7モルπ、好ましくは65〜80モル%であシ、
三フッ化エチレンは10〜40モル%、好ましくは15
〜30モル%であυ、フッ化ビニルは3〜20モル%、
好ましくは5〜15モル%である。
、フッ化ビニリデン、三フッ化エチレン及びフッ化ビニ
ルの三種であり、この共重合体中フッ化ビニリデンは4
0〜&7モルπ、好ましくは65〜80モル%であシ、
三フッ化エチレンは10〜40モル%、好ましくは15
〜30モル%であυ、フッ化ビニルは3〜20モル%、
好ましくは5〜15モル%である。
この共重合体は上記三元共重合体が望ましいが、この他
に少葉の四フッ化エチレン、六フッ化プロピレン、三フ
ッ化塩化エチレン等のフッ素含有単量体の1種または2
種以上を構成単位として加えてもよい。上記いずれにお
いてもフッ化ビニリデン、三フッ化エチレン及びフッ化
ビニルが上記範囲外になると、kルが小さくなり、超音
波送・受波能が小さくなったり、柔軟性を失なう為に、
上記構成単量体は上記組成範囲内とするものである。
に少葉の四フッ化エチレン、六フッ化プロピレン、三フ
ッ化塩化エチレン等のフッ素含有単量体の1種または2
種以上を構成単位として加えてもよい。上記いずれにお
いてもフッ化ビニリデン、三フッ化エチレン及びフッ化
ビニルが上記範囲外になると、kルが小さくなり、超音
波送・受波能が小さくなったり、柔軟性を失なう為に、
上記構成単量体は上記組成範囲内とするものである。
本発明に係る共重合体は、ポリフッ化ビニリデンにおい
て知られている重合方法、成形方法、配向分極処理方法
により、配向分極体を形成することができる。
て知られている重合方法、成形方法、配向分極処理方法
により、配向分極体を形成することができる。
本発明の配向分極体は、機械結合係数に人を高めるべく
、熱処理することが望ましく、それによシki;が0.
21以上、より好ましくは0.22以上、更に好ましく
0.23以上のものが得られる。
、熱処理することが望ましく、それによシki;が0.
21以上、より好ましくは0.22以上、更に好ましく
0.23以上のものが得られる。
本発明の配向分極体のにルはフッ化ビニリチンと三フッ
化エチレンとの二元共重合体からなる配向分極体のkX
/に比して大きいものが得られる。
化エチレンとの二元共重合体からなる配向分極体のkX
/に比して大きいものが得られる。
しかもその超音波送・受波能はに人の向上以上に顕著に
大きいものが得られるのである。この相違は二元共重合
体の力が熱処理あるいは高温での成極により、よシ大き
な密度となる点にある。その結果、音響インピーダンス
か大きくなり、水の音響インピーダンスとの差が大きく
なって、音波の送受波の効率が低くなるためであろうと
考えられる。更に、本発明に係る共重合体の方が柔軟で
あり、送受波性能を高めるために裏打ちされる基板との
密着性が優れていることにも起因していると考えられる
。
大きいものが得られるのである。この相違は二元共重合
体の力が熱処理あるいは高温での成極により、よシ大き
な密度となる点にある。その結果、音響インピーダンス
か大きくなり、水の音響インピーダンスとの差が大きく
なって、音波の送受波の効率が低くなるためであろうと
考えられる。更に、本発明に係る共重合体の方が柔軟で
あり、送受波性能を高めるために裏打ちされる基板との
密着性が優れていることにも起因していると考えられる
。
本発明の配向分極体は、かかる長所を有する故、特に超
音波トランスジューサーとして有用である。
音波トランスジューサーとして有用である。
また、との配向分極体は伸び、圧電性、焦電性等ポリフ
ッ化ビニリデンの配向分極体において知られる緒特性を
有し、ポリフッ化ビニリチンの配向分極体と同様な用途
に用いられる。
ッ化ビニリデンの配向分極体において知られる緒特性を
有し、ポリフッ化ビニリチンの配向分極体と同様な用途
に用いられる。
以下、本発明を実施例により更に詳細に説明するが、こ
れらは単なる説明資料であって本発明の範囲をそれのみ
に限定する趣旨のものではない。
れらは単なる説明資料であって本発明の範囲をそれのみ
に限定する趣旨のものではない。
実施例1
攪拌器付ステンレスオートクレーブ内ニメチルセルロー
スを懸濁剤とする水溶液を入れ、5℃に冷却後に、重合
開始剤としてn−プロピルパーオキシジカーボネートそ
の他の重合助剤を添加し、為置換後よく攪拌した。この
後、オートクレーブをメタノール−ドライアイス系で外
部よシ冷却し、オートクレーブ内にフッ化ビニリチン、
三フッ化エチレン、フッ化ビニルをそれぞれモル比で7
0%、20%、10%になる様にボンベよシ圧入した。
スを懸濁剤とする水溶液を入れ、5℃に冷却後に、重合
開始剤としてn−プロピルパーオキシジカーボネートそ
の他の重合助剤を添加し、為置換後よく攪拌した。この
後、オートクレーブをメタノール−ドライアイス系で外
部よシ冷却し、オートクレーブ内にフッ化ビニリチン、
三フッ化エチレン、フッ化ビニルをそれぞれモル比で7
0%、20%、10%になる様にボンベよシ圧入した。
次いで、オートクレーブ内温度を上昇させ、重合を開始
させた後、オートクレーブ外温を約25℃に保って重合
を継続させた。重合初期圧は36 Kg / trIで
経時的に圧力低下が認められ、最終的に約8Kf/cd
の段階で残圧をパージし、重合を終了させ、重合物を分
離後、よく水洗し、乾燥して白色の三元共重合体パウダ
ーを得た。収率は90%以上であり、はぼ仕込組成の三
元共重合体が得られた。この三元共重合体のインヒヤレ
ントビスコシテイηinb は濃度を0.4g/di
、温度を25℃、溶媒をジメチルホルムアミドとする条
件下で0.92 dl/ gであった。このパウダーを
ジメチルホルムアミドを溶媒としてキャスティングし厚
さ30μ程度のキャストフィルムを得た。
させた後、オートクレーブ外温を約25℃に保って重合
を継続させた。重合初期圧は36 Kg / trIで
経時的に圧力低下が認められ、最終的に約8Kf/cd
の段階で残圧をパージし、重合を終了させ、重合物を分
離後、よく水洗し、乾燥して白色の三元共重合体パウダ
ーを得た。収率は90%以上であり、はぼ仕込組成の三
元共重合体が得られた。この三元共重合体のインヒヤレ
ントビスコシテイηinb は濃度を0.4g/di
、温度を25℃、溶媒をジメチルホルムアミドとする条
件下で0.92 dl/ gであった。このパウダーを
ジメチルホルムアミドを溶媒としてキャスティングし厚
さ30μ程度のキャストフィルムを得た。
この未延伸フィルムを132℃で空気中で1時間乾燥し
た後にアルミニウム蒸着によって電極を形成し、85℃
で電界強度650に臂iの直流電圧を30分間印加し、
電圧印加のまま室温迄冷却し、分極処理を施した。乙の
フィルムの圧電定数d31を東洋精機製レオログラフを
用い10 Hz テ測定した結果、d、、 =11.2
pC/INであった。なお、ここで用いている試料は
未延伸の高分子を分極処理しているのでN dnt
” d、、である。なお圧電定数dll r dn
は次のように定義する。即ち圧電性を示す高分子の場合
は一般に延伸方向にX軸、それに直角にy軸、フィルム
面に垂直にX軸をとり1、Z’、y、X軸を決定し、X
軸方向に応力を印加したときの2軸方向の分極を示す圧
電定数をdalsy軸方向及びX軸方向に応力を加した
ときの2軸方向の分極を示す圧電定数を夫々、dat
+ d、3とする。
た後にアルミニウム蒸着によって電極を形成し、85℃
で電界強度650に臂iの直流電圧を30分間印加し、
電圧印加のまま室温迄冷却し、分極処理を施した。乙の
フィルムの圧電定数d31を東洋精機製レオログラフを
用い10 Hz テ測定した結果、d、、 =11.2
pC/INであった。なお、ここで用いている試料は
未延伸の高分子を分極処理しているのでN dnt
” d、、である。なお圧電定数dll r dn
は次のように定義する。即ち圧電性を示す高分子の場合
は一般に延伸方向にX軸、それに直角にy軸、フィルム
面に垂直にX軸をとり1、Z’、y、X軸を決定し、X
軸方向に応力を印加したときの2軸方向の分極を示す圧
電定数をdalsy軸方向及びX軸方向に応力を加した
ときの2軸方向の分極を示す圧電定数を夫々、dat
+ d、3とする。
電気機械結合係数kf、(z −z軸方向)は圧電体フ
ィルムの自由共振点付近の電気アドミッタンスと位相角
の周波数依存性を解析することによって求めた結果に、
j= 0.235であった。この圧電体フィルムの18
0度折り曲げ試験の結果、往復10回以上の折り曲げを
しても切断が生ぜず、又、室温でのテンシロンによる伸
度測定を行ったところ240%の伸びを示した。この圧
電体フィルムの超音波送受波能を調べるために縦断面図
が第1図の如キ超音波トランスジューサー4を用いた。
ィルムの自由共振点付近の電気アドミッタンスと位相角
の周波数依存性を解析することによって求めた結果に、
j= 0.235であった。この圧電体フィルムの18
0度折り曲げ試験の結果、往復10回以上の折り曲げを
しても切断が生ぜず、又、室温でのテンシロンによる伸
度測定を行ったところ240%の伸びを示した。この圧
電体フィルムの超音波送受波能を調べるために縦断面図
が第1図の如キ超音波トランスジューサー4を用いた。
即ち一端が曲率半径75隔の凹面形状を有するベークラ
イト棒3の凹面部に音響反射板となる%波長厚みの輪板
2を介して該圧電体フィルム1を圧着して超音波トラン
スデユーサ±を構成した。なお、超音波トランスデユー
サの両面には% 10 traaの電極を有する。!、
た、ベークライト棒3と銅板2との間および銅板2とフ
ィルム1との間の接着剤にエポキシ系接着剤を用いた。
イト棒3の凹面部に音響反射板となる%波長厚みの輪板
2を介して該圧電体フィルム1を圧着して超音波トラン
スデユーサ±を構成した。なお、超音波トランスデユー
サの両面には% 10 traaの電極を有する。!、
た、ベークライト棒3と銅板2との間および銅板2とフ
ィルム1との間の接着剤にエポキシ系接着剤を用いた。
次に第2図の如く該超音波トランスデユーサ±をパルサ
ーレシーバ−8(KB −A EROTECH社製UT
A−3)に接続し、パルスエコー法によシ超音波送受波
能を測定した。6け水、5は水中におかれたアクリル板
、7はマツチング回路、9はオシロスコープである。レ
シーバ−のゲインを40 dBにセットしパルスエコー
の電圧を読んだところビーク・トウ優ビークで38vの
値が得られた。
ーレシーバ−8(KB −A EROTECH社製UT
A−3)に接続し、パルスエコー法によシ超音波送受波
能を測定した。6け水、5は水中におかれたアクリル板
、7はマツチング回路、9はオシロスコープである。レ
シーバ−のゲインを40 dBにセットしパルスエコー
の電圧を読んだところビーク・トウ優ビークで38vの
値が得られた。
比較例1
実施例1に準じたあ法で得たフッ化ビニリデン75モル
%、三フッ化エチレン25モル%からなる二元共重合体
の溶液から得た30μm程度の厚さのキャストフィルム
を、実施例1と全く同一条件で熱処理、分極処理を施し
たもののd81定数は10、2 p c/Nであり、k
ん・は0.217であった。
%、三フッ化エチレン25モル%からなる二元共重合体
の溶液から得た30μm程度の厚さのキャストフィルム
を、実施例1と全く同一条件で熱処理、分極処理を施し
たもののd81定数は10、2 p c/Nであり、k
ん・は0.217であった。
この圧電体フィルムの180度折シ曲げ試験の結果、往
復1回の折シ曲げてゞ切断し、又、テンシロンによる室
温に於ける伸度はゼロであり、非常に脆弱な圧電体フィ
ルムであった。この圧電体フィルムを実施例1と同様に
超音波トランスデユーサを製作し、出力電圧を測定した
ところ28 vp、p。
復1回の折シ曲げてゞ切断し、又、テンシロンによる室
温に於ける伸度はゼロであり、非常に脆弱な圧電体フィ
ルムであった。この圧電体フィルムを実施例1と同様に
超音波トランスデユーサを製作し、出力電圧を測定した
ところ28 vp、p。
であった。なお超音波トランスデユーサ製作にあたって
圧電体と銅板の接着は実施例1と同じ条件で製作し念が
、圧電体が脆弱のために製作過程でしばしば亀裂が発生
し多大の損失が生じた。尚、ここでm−た共重合体のη
inh は実施例1と同一条件下で1.29 di/
gであった。
圧電体と銅板の接着は実施例1と同じ条件で製作し念が
、圧電体が脆弱のために製作過程でしばしば亀裂が発生
し多大の損失が生じた。尚、ここでm−た共重合体のη
inh は実施例1と同一条件下で1.29 di/
gであった。
実施例2
実施例1に準じた方法で得たフッ化ビニlJデン75モ
ル%、三フッ化エチレン20モル%及びフッ化ビニル5
モル%からなる三元共重合体(ηinhは実施例1と同
一条件下でo、55dJ/gであった)の溶液からの3
0μm程度の厚さのキャストフィルムを実施例1と全く
同一条件で熱処理1分極処理を施したもののd1定数は
10. s p C/N であり、k刀は0.228
であった。この圧電体フィルムを実施例1と同様に超音
波トランスデユーサを製作し、出力電圧を測定したとこ
ろ35 Vp、p、であった。この圧電体フィルムの1
80度折り曲げ試験の結果、往復5回の折り曲げで切断
したが、超音波トランスデユーサの製作過程での破損は
全く生じなかった。
ル%、三フッ化エチレン20モル%及びフッ化ビニル5
モル%からなる三元共重合体(ηinhは実施例1と同
一条件下でo、55dJ/gであった)の溶液からの3
0μm程度の厚さのキャストフィルムを実施例1と全く
同一条件で熱処理1分極処理を施したもののd1定数は
10. s p C/N であり、k刀は0.228
であった。この圧電体フィルムを実施例1と同様に超音
波トランスデユーサを製作し、出力電圧を測定したとこ
ろ35 Vp、p、であった。この圧電体フィルムの1
80度折り曲げ試験の結果、往復5回の折り曲げで切断
したが、超音波トランスデユーサの製作過程での破損は
全く生じなかった。
比較例2
実施例2に準じた方法で得たフッ化ビニリデン70モル
%、三フッ化エチレン20モル%、三フッ化−塩化エチ
レン10モル%からなる三元共重合体(実施例1と同条
件下での+71nhは0.98 di/g)の溶液から
得た30μm程度の厚さのキャストフィルムを実施例1
と全く同一条件で熱処理。
%、三フッ化エチレン20モル%、三フッ化−塩化エチ
レン10モル%からなる三元共重合体(実施例1と同条
件下での+71nhは0.98 di/g)の溶液から
得た30μm程度の厚さのキャストフィルムを実施例1
と全く同一条件で熱処理。
分極処理を施したもののd□定数は9.8pC/Nであ
シ、1c−5は0.11でおった。この圧電体フィルム
を実施例1と同様に超音波トランスデユーサを製作し、
出力電圧を測定したところ8.2 Vp、 p、でおっ
た。
シ、1c−5は0.11でおった。この圧電体フィルム
を実施例1と同様に超音波トランスデユーサを製作し、
出力電圧を測定したところ8.2 Vp、 p、でおっ
た。
第1図は超音波送受波能を調べるための超音波トランス
デユーサの縦断面図、第2図はパルスエコー法による超
音波送受波能の測定のブロック線図である。 1・・・圧電体フィルム、2・・・銅板、3・・・ベー
クライト棒、4・・・超音波トランスデユーサ、5・・
・アクリル板、6・・・水、7・・・マツチング回路、
8・・・パルサーレシーバ−19・・・オシロスコープ
。 代理人 宮 1) 広 豊 代理人 川 口 義 雄 第1図 手続補正書 昭和57年8 月メ日 1、事件の表示 昭和57年 特 願第 90600号
2、発明の名称 フッ化ビニリデン共重合体成形物の
配向分極体 3、補正をする者 事件との関係 特許出願人 名 称 (no)呉羽化学工業株式会社4、 代 理
人 東京都新宿区新宿1丁目1番14号 山田
ビル8、補正の内容 (1)明細書中、第4頁の最下行から2行目の「望まし
く、」と「それによ」の間に [この熱処理は公知の方法によシなされ、例えば特開昭
56−111281号に開示されている様に結晶転移温
度−5(℃)と融点の間でなされ、また配向分極処理と
ともになされても良いし、配向分極処理に先立ってなさ
れても良い。」を挿入する。 2−
デユーサの縦断面図、第2図はパルスエコー法による超
音波送受波能の測定のブロック線図である。 1・・・圧電体フィルム、2・・・銅板、3・・・ベー
クライト棒、4・・・超音波トランスデユーサ、5・・
・アクリル板、6・・・水、7・・・マツチング回路、
8・・・パルサーレシーバ−19・・・オシロスコープ
。 代理人 宮 1) 広 豊 代理人 川 口 義 雄 第1図 手続補正書 昭和57年8 月メ日 1、事件の表示 昭和57年 特 願第 90600号
2、発明の名称 フッ化ビニリデン共重合体成形物の
配向分極体 3、補正をする者 事件との関係 特許出願人 名 称 (no)呉羽化学工業株式会社4、 代 理
人 東京都新宿区新宿1丁目1番14号 山田
ビル8、補正の内容 (1)明細書中、第4頁の最下行から2行目の「望まし
く、」と「それによ」の間に [この熱処理は公知の方法によシなされ、例えば特開昭
56−111281号に開示されている様に結晶転移温
度−5(℃)と融点の間でなされ、また配向分極処理と
ともになされても良いし、配向分極処理に先立ってなさ
れても良い。」を挿入する。 2−
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 (1,7ツイ、1=リゾ、劃i〜i4.ゆ%、ヨ。 ツ化エチレン10〜40モル%及びフッ化ビニル3〜2
0モル%からなる共重合体成形物の配向分極体。 (2) 電気機械結合係数に、が0.21以上である
ことを特徴とする特許請求の範囲第1項に記載の配向分
極体。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP57090600A JPS58209007A (ja) | 1982-05-28 | 1982-05-28 | フツ化ビニリデン共重合体成形物の配向分極体 |
US06/496,472 US4543293A (en) | 1982-05-28 | 1983-05-20 | Polarized, shaped material of copolymer of vinylidene fluoride |
DE3318871A DE3318871C2 (de) | 1982-05-28 | 1983-05-25 | Polarisierter geformter Gegenstand aus einem piezoelektrischen Polymermaterial |
FR8308848A FR2527622B1 (fr) | 1982-05-28 | 1983-05-27 | Piece faconnee, polarisee, en copolymere de fluorure de vinylidene |
GB08314783A GB2121810B (en) | 1982-05-28 | 1983-05-27 | Polarised films of vinylidene fluoride copolymers |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP57090600A JPS58209007A (ja) | 1982-05-28 | 1982-05-28 | フツ化ビニリデン共重合体成形物の配向分極体 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS58209007A true JPS58209007A (ja) | 1983-12-05 |
JPS6347207B2 JPS6347207B2 (ja) | 1988-09-21 |
Family
ID=14002960
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP57090600A Granted JPS58209007A (ja) | 1982-05-28 | 1982-05-28 | フツ化ビニリデン共重合体成形物の配向分極体 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4543293A (ja) |
JP (1) | JPS58209007A (ja) |
DE (1) | DE3318871C2 (ja) |
FR (1) | FR2527622B1 (ja) |
GB (1) | GB2121810B (ja) |
Families Citing this family (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3429884C2 (de) * | 1983-08-16 | 1987-04-16 | Kureha Kagaku Kogyo K.K., Tokio/Tokyo | Ein im polarisierten Zustand vorliegender piezoelektrischer Polymerfilm aus einem Vinylidenfluorid-Copolymerisat und Verwendung desselben als elektro-mechanisches Kopplungselement für Ultraschall-Meßumwandler |
US4692285A (en) * | 1985-07-01 | 1987-09-08 | Pennwalt Corporation | Process of preparing nonfibrous, piezoelectric polymer sheet of improved activity |
US4830795A (en) * | 1986-07-03 | 1989-05-16 | Rutgers, The State University Of New Jersey | Process for making polarized material |
US5743855A (en) * | 1995-03-03 | 1998-04-28 | Acuson Corporation | Broadband phased array transducer design with frequency controlled two dimension capability and methods for manufacture thereof |
US5438998A (en) * | 1993-09-07 | 1995-08-08 | Acuson Corporation | Broadband phased array transducer design with frequency controlled two dimension capability and methods for manufacture thereof |
US5415175A (en) * | 1993-09-07 | 1995-05-16 | Acuson Corporation | Broadband phased array transducer design with frequency controlled two dimension capability and methods for manufacture thereof |
US5493372A (en) * | 1994-10-07 | 1996-02-20 | Xerox Corporation | Method for fabricating a resonator |
US6571444B2 (en) * | 2001-03-20 | 2003-06-03 | Vermon | Method of manufacturing an ultrasonic transducer |
DE10130639A1 (de) * | 2001-06-26 | 2003-01-30 | Hmt Ag | Verfahren und Vorrichtung zum Erzeugen von Stoßwellen für medizinische Anwendungen |
US7078101B1 (en) * | 2002-11-21 | 2006-07-18 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy | High strain electrostrictive polymer |
ATE518231T1 (de) | 2003-03-26 | 2011-08-15 | Daikin Ind Ltd | Verfahren zur bildung eines ferroelektrischen dünnfilms |
JP3867709B2 (ja) | 2003-03-26 | 2007-01-10 | ダイキン工業株式会社 | 薄膜の形成方法 |
FR2999187B1 (fr) | 2012-12-11 | 2016-10-07 | Arkema France | Terpolymeres et films prepares a partir de ceux-ci |
CN112538182A (zh) * | 2020-12-03 | 2021-03-23 | 江西欧迈斯微电子有限公司 | 压电膜、其制备方法、指纹识别模组及电子设备 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5029159B1 (ja) * | 1970-12-02 | 1975-09-20 | ||
US4204135A (en) * | 1970-12-02 | 1980-05-20 | Kureha Kagaku Kogyo Kabushiki Kaisha | Piezoelectric elements of organic high molecular weight materials |
JPS5123439B2 (ja) * | 1971-11-05 | 1976-07-16 | ||
JPS5269000A (en) * | 1975-12-04 | 1977-06-08 | Daikin Ind Ltd | Highhmolecular dielectric material |
JPS606220B2 (ja) * | 1979-04-11 | 1985-02-16 | 三菱油化株式会社 | ポリ弗化ビニリデンもしくは弗化ビニリデン共重合体の延伸薄膜製造法 |
EP0037877B1 (en) * | 1980-02-07 | 1984-09-19 | Toray Industries, Inc. | Piezoelectric polymer material, process for producing the same and an ultrasonic transducer utilizing the same |
-
1982
- 1982-05-28 JP JP57090600A patent/JPS58209007A/ja active Granted
-
1983
- 1983-05-20 US US06/496,472 patent/US4543293A/en not_active Expired - Fee Related
- 1983-05-25 DE DE3318871A patent/DE3318871C2/de not_active Expired
- 1983-05-27 GB GB08314783A patent/GB2121810B/en not_active Expired
- 1983-05-27 FR FR8308848A patent/FR2527622B1/fr not_active Expired
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
FR2527622B1 (fr) | 1988-01-22 |
US4543293A (en) | 1985-09-24 |
JPS6347207B2 (ja) | 1988-09-21 |
DE3318871A1 (de) | 1983-12-08 |
DE3318871C2 (de) | 1985-09-12 |
GB2121810B (en) | 1985-09-18 |
GB2121810A (en) | 1984-01-04 |
GB8314783D0 (en) | 1983-07-06 |
FR2527622A1 (fr) | 1983-12-02 |
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