JPS58179343A - 図形検査方法 - Google Patents
図形検査方法Info
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- JPS58179343A JPS58179343A JP57061913A JP6191382A JPS58179343A JP S58179343 A JPS58179343 A JP S58179343A JP 57061913 A JP57061913 A JP 57061913A JP 6191382 A JP6191382 A JP 6191382A JP S58179343 A JPS58179343 A JP S58179343A
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Classifications
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
- G01N21/956—Inspecting patterns on the surface of objects
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- Image Analysis (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、図形特に電子回路を形成するためのマスク図
形あるい娘各種基板上く形成された電子回路図形等の検
査方法−関するものであるＯ近年、電子回路の高集積化
、高密度化の急速な進展に伴ない、前記図形は益々黴顔
化する傾向にあるが、そうした状況において、それらの
図形が欠陥を有しているか否かを検査することが、電子
回路部品の製造上の重要な問題となってきている。
形あるい娘各種基板上く形成された電子回路図形等の検
査方法−関するものであるＯ近年、電子回路の高集積化
、高密度化の急速な進展に伴ない、前記図形は益々黴顔
化する傾向にあるが、そうした状況において、それらの
図形が欠陥を有しているか否かを検査することが、電子
回路部品の製造上の重要な問題となってきている。
マスク図形あるい社電子回路図形の欠陥Ｋ１４種々のも
のがあるが、その中で特に重大なものは、図形要素中に
含まれる所定外の連続あるいは不連続である。何故なら
ば、これらの欠陥は電子回路の断線あるいは短絡といっ
た致命的な結果を生ず形あるいは各種基板上に形成され
走電子回路図形等（以下単に図形と略す）の中の欠陥、
特に、図形要素中に含まｎる所定外の連続および不連続
を効率よく検査する方法を提供するものである。本発明
によれば、あらかじめ分割された領域もしく社、線分上
に含まれる図形要素の数を求めて比較検査を行なうため
、前記所定外の連続あるいは不連続が存在する場合には
、図形要素の個数が異なるので、検出が可能である。
のがあるが、その中で特に重大なものは、図形要素中に
含まれる所定外の連続あるいは不連続である。何故なら
ば、これらの欠陥は電子回路の断線あるいは短絡といっ
た致命的な結果を生ず形あるいは各種基板上に形成され
走電子回路図形等（以下単に図形と略す）の中の欠陥、
特に、図形要素中に含まｎる所定外の連続および不連続
を効率よく検査する方法を提供するものである。本発明
によれば、あらかじめ分割された領域もしく社、線分上
に含まれる図形要素の数を求めて比較検査を行なうため
、前記所定外の連続あるいは不連続が存在する場合には
、図形要素の個数が異なるので、検出が可能である。
さらに、被検査対象図形に対して、あらかじめ細めある
いは太め操作ｔｊｌｌＬ、九後に前記図形要素の個数を
求めて比較検査を行なうむとＫよ）、図形要素中に含ま
れる幅が狭い不完全連続部所、あるい社図形要素間の間
隔が狭い不完全分離箇所の検出が可能である。
いは太め操作ｔｊｌｌＬ、九後に前記図形要素の個数を
求めて比較検査を行なうむとＫよ）、図形要素中に含ま
れる幅が狭い不完全連続部所、あるい社図形要素間の間
隔が狭い不完全分離箇所の検出が可能である。
従来、この種の検査方法として蝶、被検査対象図形と標
準図形を一般に公知の方法であらかじめ位置合わせを行
ない、両者を別々のスキャナ等で走査して、その結果得
られる図形データを遂次比較する検査方法が用いられて
いた。この場合、被検査対象図形と標準図形との位置合
わせ精度が曳くないと欠陥と＠ｉ［ｌｌする可能性が６
シ、また高精度な位置合わせは技術的に困難であり、か
つ図形データを入力するスキャナ等の歪補正をする必要
があるなどといった問題点があった。
準図形を一般に公知の方法であらかじめ位置合わせを行
ない、両者を別々のスキャナ等で走査して、その結果得
られる図形データを遂次比較する検査方法が用いられて
いた。この場合、被検査対象図形と標準図形との位置合
わせ精度が曳くないと欠陥と＠ｉ［ｌｌする可能性が６
シ、また高精度な位置合わせは技術的に困難であり、か
つ図形データを入力するスキャナ等の歪補正をする必要
があるなどといった問題点があった。
ここで提供する方法は、前記のよう表スキャナ等の歪補
正あるいは高精度な位置決めを必要とせず、粗く位置決
めされた被検査対象図形と標準図形との比較検査方法に
ついて述べる。
正あるいは高精度な位置決めを必要とせず、粗く位置決
めされた被検査対象図形と標準図形との比較検査方法に
ついて述べる。
以下図面を参照して本発明を詳１Ｉｌｌｌｋ説明する。
第ｔａａａ、電子回路を形成するためのマスク図として
取り出す様子を示す図であり、同図においてｌは被検査
対象図形を示し、２Ｆｉ、被検査対象図形に含まれる図
形要素を示す。本発明で対象とする図形要素としては、
パターン形成が行なわれているパターン部と、前記形成
が行なわれていな込余白部の２種類存在する。
取り出す様子を示す図であり、同図においてｌは被検査
対象図形を示し、２Ｆｉ、被検査対象図形に含まれる図
形要素を示す。本発明で対象とする図形要素としては、
パターン形成が行なわれているパターン部と、前記形成
が行なわれていな込余白部の２種類存在する。
一般に被検査対象−形がＩ Ｃ（Ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ
Ｃ１ｒｃｕｉｔ ）あるいはトランジスタ等の製品の
場合、色要素について４図形検査を行なう必要がある。
Ｃ１ｒｃｕｉｔ ）あるいはトランジスタ等の製品の
場合、色要素について４図形検査を行なう必要がある。
このような場合に嬬、特許請求の範囲第３項、３１４項
、第７項、あるいは第８項に記載するように、フィルタ
もしく酸カラーカメラ等を使用して、被検査対象図形ｔ
Ｔｏらかじめ各色要素に分解して入力することＫより、
第１図で示されるような図形データが各色要素毎に得ら
れる。
、第７項、あるいは第８項に記載するように、フィルタ
もしく酸カラーカメラ等を使用して、被検査対象図形ｔ
Ｔｏらかじめ各色要素に分解して入力することＫより、
第１図で示されるような図形データが各色要素毎に得ら
れる。
露２図は、前記方法によって得られ九図形データを、複
数個の領域に分割する様子を示す友めの図であ）、同図
において、任意に分割さｎ走領域３に含まれる図形要素
４０個数がパターン部および余白部について各々一般に
公知の方法を用いて求められ、対応する標準図形に含ま
れる前記分割され九領域と同一領域内の図形要素の個数
との比較検査が行なわれ、個数が同一であれば良品と判
定される。
数個の領域に分割する様子を示す友めの図であ）、同図
において、任意に分割さｎ走領域３に含まれる図形要素
４０個数がパターン部および余白部について各々一般に
公知の方法を用いて求められ、対応する標準図形に含ま
れる前記分割され九領域と同一領域内の図形要素の個数
との比較検査が行なわれ、個数が同一であれば良品と判
定される。
このように１従来の方法上は異なｐ本発明で提供する方
法は、各分割された領域内での図形要素の個数について
のみの比較検査であるため、領域分割を適当に行なうこ
とＫより、被検査対象図形と標準図形との位置合わせを
厳密に行表う必要がなくなる。
法は、各分割された領域内での図形要素の個数について
のみの比較検査であるため、領域分割を適当に行なうこ
とＫより、被検査対象図形と標準図形との位置合わせを
厳密に行表う必要がなくなる。
＃！３図は、前記分割され要領域内の図形：ｇ！素中に
所定外の連続あるいは不連続が存在するか否かを判定す
る方法を説明するための図である。同図ＫｓＰいてそれ
ぞれ、（ａ）は前記図形要ズが良品の場合の様子を示し
、（ｂ）は前記図形要素中に所定外の不連続箇所５が存
在して、図形要素中パターン部の図形要素の個数が増加
し余白部の図形要素の個数が減少する様子を示し、（Ｃ
）ａ前記図形要素中に所定外の連続箇所６が存在して図
形要素中パターン部の個数が減少し、余白部の個数が増
加する様子を示す。このように１本発明で提供するよう
Ｋ。
所定外の連続あるいは不連続が存在するか否かを判定す
る方法を説明するための図である。同図ＫｓＰいてそれ
ぞれ、（ａ）は前記図形要ズが良品の場合の様子を示し
、（ｂ）は前記図形要素中に所定外の不連続箇所５が存
在して、図形要素中パターン部の図形要素の個数が増加
し余白部の図形要素の個数が減少する様子を示し、（Ｃ
）ａ前記図形要素中に所定外の連続箇所６が存在して図
形要素中パターン部の個数が減少し、余白部の個数が増
加する様子を示す。このように１本発明で提供するよう
Ｋ。
前記分割された領域内に含まれる図形要素の個数を一般
に公知の方法でそｎぞれ求め、対応する標準図形に含ま
れる同一領域内の図形要素の個数とＯ比Ｉ２を行なって
、得られる結果が等しくない場合には所定外の不連続も
しくは連続箇所が存在すると判定できる。
に公知の方法でそｎぞれ求め、対応する標準図形に含ま
れる同一領域内の図形要素の個数とＯ比Ｉ２を行なって
、得られる結果が等しくない場合には所定外の不連続も
しくは連続箇所が存在すると判定できる。
第４図線、特許請求の範囲第２項、第４項、第６項、第
８項に記載するように、被検査対象図形に対してあらか
じめ細め操作を施して、図形要素中に不完全連続箇所が
あるかどうかを検査する方法Ｋ”）いて説明するための
図である。
８項に記載するように、被検査対象図形に対してあらか
じめ細め操作を施して、図形要素中に不完全連続箇所が
あるかどうかを検査する方法Ｋ”）いて説明するための
図である。
同図においてそれぞれ、−）は前記図形要素が良品の場
合の様子を示し、（ｂａａ前記図形要素中に不完全連続
箇所７が存在する場合の様子を示し、 Ｇｃ）祉同図の
−）Ｋ対してあらかじめ定められ走置だけ細め操作を施
して得られる図形要素９の様子を示し、＆ｊ）は同図の
伽）に対して同様の操作を施し良結果、不完全連続箇所
７がｆ不連続箇所ｌｏとなって、図形要素中パターン部
の個数が増加し、余白部の個数が減少する様子を示す。
合の様子を示し、（ｂａａ前記図形要素中に不完全連続
箇所７が存在する場合の様子を示し、 Ｇｃ）祉同図の
−）Ｋ対してあらかじめ定められ走置だけ細め操作を施
して得られる図形要素９の様子を示し、＆ｊ）は同図の
伽）に対して同様の操作を施し良結果、不完全連続箇所
７がｆ不連続箇所ｌｏとなって、図形要素中パターン部
の個数が増加し、余白部の個数が減少する様子を示す。
このように１前記図形要素が完全に連続しているかどう
かを判定する九めに１あらかじめ定められ走置だけ細め
操作を施せに、不完全連続箇所が。
かを判定する九めに１あらかじめ定められ走置だけ細め
操作を施せに、不完全連続箇所が。
前記操作七施した後の図形に於いて不連続箇所となりて
図形要素の筒数が変化するので、欠陥として検出できる
。
図形要素の筒数が変化するので、欠陥として検出できる
。
ＪＩＩｓ図はＳ特許請求のＩＩｉ囲第２項、第４項、第
６項、第８項に記載するように、被検査対象図形に対し
てあらかじめ太め操作を施して１図形要素相互間が完全
に分離しているかどうかを検査する方法について説明す
るための図である。
６項、第８項に記載するように、被検査対象図形に対し
てあらかじめ太め操作を施して１図形要素相互間が完全
に分離しているかどうかを検査する方法について説明す
るための図である。
同図においてそれぞれ、（ａ）は前記図形要素が良品の
場合の様子を示し％（ｂ）は前記図形要素相互間に不完
全分離箇所１１が存在する場合の様子を示し、（Ｃ）ａ
同図の（ａ）Ｋ対してあらかじめ定められた量だけ太め
操作を施して得られる図形の様子を示し、（ｄ）Ｆｉ同
図（ｂ）に対して同様の操作を施した結果、不完全分離
箇所が連続箇所ｌ午となって、図形要素中パターン部の
個数が減少し、余白部の個数が増加する様子を示す。
場合の様子を示し％（ｂ）は前記図形要素相互間に不完
全分離箇所１１が存在する場合の様子を示し、（Ｃ）ａ
同図の（ａ）Ｋ対してあらかじめ定められた量だけ太め
操作を施して得られる図形の様子を示し、（ｄ）Ｆｉ同
図（ｂ）に対して同様の操作を施した結果、不完全分離
箇所が連続箇所ｌ午となって、図形要素中パターン部の
個数が減少し、余白部の個数が増加する様子を示す。
このように１前記図形要素相互間が完全に分離している
かどうかを判定するために％あらかじめ定められた量だ
け太め操作を施せば、不完全分離箇所が、前記操作を施
し九後の図形に於いて連続陥として検出できる◇ ＠６図は、特許請求の範囲第５項に記載するように、被
検査対象図形を任意方向を向く複数個の線分によって走
査して、各線分上に存在する図形要素の数を、標準図形
より求まるあらかじめ定められた値と比較検査を行なう
方法ｔａ明するための図である。
かどうかを判定するために％あらかじめ定められた量だ
け太め操作を施せば、不完全分離箇所が、前記操作を施
し九後の図形に於いて連続陥として検出できる◇ ＠６図は、特許請求の範囲第５項に記載するように、被
検査対象図形を任意方向を向く複数個の線分によって走
査して、各線分上に存在する図形要素の数を、標準図形
より求まるあらかじめ定められた値と比較検査を行なう
方法ｔａ明するための図である。
同図において％１５は走査する線分を示し、それぞれ、
（１）は線分上の図形要素が良品の場合の様子を示し、
（ｂ）は前記線分上の図形要素中に所定外の連続箇所１
６が存在して、図形要素中パターン部の個数が減少し、
余白部部の個数も減少する様子を示し、（Ｃ）は前記線
分上の図形要素中に所定外の不連続箇所１７が存在して
、図形要素中パターン部の個数が増加して、余白部の個
数も増加する様子を示す。
（１）は線分上の図形要素が良品の場合の様子を示し、
（ｂ）は前記線分上の図形要素中に所定外の連続箇所１
６が存在して、図形要素中パターン部の個数が減少し、
余白部部の個数も減少する様子を示し、（Ｃ）は前記線
分上の図形要素中に所定外の不連続箇所１７が存在して
、図形要素中パターン部の個数が増加して、余白部の個
数も増加する様子を示す。
このように、前述の複数個の領域に分割して。
各領域内に存在する図形ｌ［ＬＩＡの個数を求める代わ
ｐＫ被検査対象図形を複数個の線分によ）産査して、各
線分上に存在する図形要素の個数を求めるととｋより、
所定外の連続箇所あるいは不連続箇所を求めることが可
能である。
ｐＫ被検査対象図形を複数個の線分によ）産査して、各
線分上に存在する図形要素の個数を求めるととｋより、
所定外の連続箇所あるいは不連続箇所を求めることが可
能である。
さらに、特許請求の範囲第６項、ｊ１８項に記載するよ
うに１あらかじめ被検査対象図形に対して太めあるいは
細め操作をほどこして、しかる後に前述したように複数
の線分により走査することにより、図形要素の不完全連
続箇所もしくは、図形要素相互間の不完全分離箇所の検
査が可能である。
うに１あらかじめ被検査対象図形に対して太めあるいは
細め操作をほどこして、しかる後に前述したように複数
の線分により走査することにより、図形要素の不完全連
続箇所もしくは、図形要素相互間の不完全分離箇所の検
査が可能である。
を使用して図形データとして取や出す様子を示し、１１
２図は前記取り出された図形データを複数個の領域に分
割する様子を示し、第３図は前記分割され九領域内の図
形要素中に所定外の連続あるいは不連続が存在するか否
かを判定する方法を説明するための図であシ、同図にお
いてそれぞれ、（ａｈＦｉ前記図形要素が良品の場合を
示し、（ｂ）は前記図形要素中に所定外の不連続箇所が
存在する場合を示し、（ｃ）は前記図形要素中に所定外
の連続箇所が存在する場合を示し、第４図は、被検査対
象図形に対してあらかじめ細め操作を施して、不完全連
続箇所があるかどうかを検査する方法についてＩ！明す
るための図であり、同図においてそれぞれ（ａ）ｔ’；
ｊ、前記図形要素が良品の場合全示し、（ｂ）は前記図
形要素中に不完全連続箇所が存在する場合を示し、（Ｃ
） Ｕ同図（ａ） Ｋ対して細め操作を施した結果得ら
れる図形を示し、（ｄ）は、同図（ｂ） Ｋ対して細め
操作を施した結果、不完全連続箇所が不連続箇所となる
様子を示し、第５図は、被検査対象図形に対してあらか
じめ太め操作上節して、不完全分離箇所があるかどうか
を検査する方法忙ついて説明する丸めの図であシ、同図
忙おいてそれぞれ、（ａ）は前記図形要素が良品の場合
を示し、伽）は前記図形要素中に不完全分離箇所が存在
する場合を示し、（Ｃ）は同図（ａ） １１Ｃ対して太
め操作を施した結果得られる図形を示し、（ｄ）は同図
（ｂ）九対して太め操作を施し九結果、不完全分離箇所
が連続箇所となる様子を示し、第６図は、被検査対象図
形を複数個の線分によって走査して各線分上Ｋｔすれる
図形要素の個数の比較検査を行なう方法を説明するため
の図である。
２図は前記取り出された図形データを複数個の領域に分
割する様子を示し、第３図は前記分割され九領域内の図
形要素中に所定外の連続あるいは不連続が存在するか否
かを判定する方法を説明するための図であシ、同図にお
いてそれぞれ、（ａｈＦｉ前記図形要素が良品の場合を
示し、（ｂ）は前記図形要素中に所定外の不連続箇所が
存在する場合を示し、（ｃ）は前記図形要素中に所定外
の連続箇所が存在する場合を示し、第４図は、被検査対
象図形に対してあらかじめ細め操作を施して、不完全連
続箇所があるかどうかを検査する方法についてＩ！明す
るための図であり、同図においてそれぞれ（ａ）ｔ’；
ｊ、前記図形要素が良品の場合全示し、（ｂ）は前記図
形要素中に不完全連続箇所が存在する場合を示し、（Ｃ
） Ｕ同図（ａ） Ｋ対して細め操作を施した結果得ら
れる図形を示し、（ｄ）は、同図（ｂ） Ｋ対して細め
操作を施した結果、不完全連続箇所が不連続箇所となる
様子を示し、第５図は、被検査対象図形に対してあらか
じめ太め操作上節して、不完全分離箇所があるかどうか
を検査する方法忙ついて説明する丸めの図であシ、同図
忙おいてそれぞれ、（ａ）は前記図形要素が良品の場合
を示し、伽）は前記図形要素中に不完全分離箇所が存在
する場合を示し、（Ｃ）は同図（ａ） １１Ｃ対して太
め操作を施した結果得られる図形を示し、（ｄ）は同図
（ｂ）九対して太め操作を施し九結果、不完全分離箇所
が連続箇所となる様子を示し、第６図は、被検査対象図
形を複数個の線分によって走査して各線分上Ｋｔすれる
図形要素の個数の比較検査を行なう方法を説明するため
の図である。
図においてｌは、被検査対象図形、２は被検査対象図形
に含まれる図形要素％３蝶、分割され九領域、４は分割
された領域に含まれる図形要素、５は所定外の不連続箇
所、６は所定外の連続箇所、７は不完全な連続箇所、８
は細め操作を行なう分割された領域、９線細め操°作を
行なりた図形要素、１０は、細め操作を行なりた結果生
ずる不連続箇所、１１は不完全分離箇所、１２は、太め
操作を行なう分割された領域、１３Ｆｉ太め操作を行な
った図形要素、１４線太め操作を行なった結果生ずる連
続箇所、１５は被検査対象図形を走査する線分、１６は
所定外の連続箇所、１７は所定外の不第１図 第２図 第３図 Ｃ（Ｘ） （Ｃ） 第４図 （α） （ｂ） 第４図 （Ｃ） （ｄ） 第５図 （α） （ｔ）） 第５図 （Ｃ） Ｃｄ）
に含まれる図形要素％３蝶、分割され九領域、４は分割
された領域に含まれる図形要素、５は所定外の不連続箇
所、６は所定外の連続箇所、７は不完全な連続箇所、８
は細め操作を行なう分割された領域、９線細め操°作を
行なりた図形要素、１０は、細め操作を行なりた結果生
ずる不連続箇所、１１は不完全分離箇所、１２は、太め
操作を行なう分割された領域、１３Ｆｉ太め操作を行な
った図形要素、１４線太め操作を行なった結果生ずる連
続箇所、１５は被検査対象図形を走査する線分、１６は
所定外の連続箇所、１７は所定外の不第１図 第２図 第３図 Ｃ（Ｘ） （Ｃ） 第４図 （α） （ｂ） 第４図 （Ｃ） （ｄ） 第５図 （α） （ｔ）） 第５図 （Ｃ） Ｃｄ）
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 （１） 被検査対象図形と標準図形との比較検査を行
なう図形検査方法に於いて、被検査対象図形を複数個の
任意領域に分刻し、各分割さｎた領域内に独立して存在
する図、形要素の数を、標準図形より求まるあらかじめ
定められた値と比較して、その大小関係よ）前記領域内
の図形要素に１所定外の連続あるいは不連続が存在する
か否かを判定することを特徴とする図形検査方法。 （２） 前記被検査対象図形と標準図形との比較検査
全行なう際に、あらかじめ被検査対象図形に対して、細
めあるいは太め操作を施した後に比較検査を行なうこと
により、図形要素忙不完全連続ろるい蝶不完全分離が存
在するか否かｔ判定することを特徴とする特許請求の範
囲第１項記載の図形検査方法。 （３） 前記被検査対象図形と標準図形との比較検査
を行なう際に、あらかじめ被検査対象図形をフィルタあ
るいはカラーカメラ等を使用して、色要素に分解した後
に比較検査を行なうことを特徴とする特許請求の範囲第
１項記載の図形検査方法。 （４）前記被検査対象図形と標準図形との比較検査を行
なう９に、あらかじめ被検査対象図形ｔフィルタあるい
は力２−カメラ等を使用して色要素に分解し、さらに細
めあるいは太め操作を施した後に比較検査を行なうこと
Ｋよシ、図形要素に不完全連続あるいは不完全分離が存
在するか否かを判定することｔ４Ｉ黴とする特許請求の
範囲第１項記載の図形検査方法。 （５）前記被検査対象図形と標準図形との比較検査を行
な−う際に、被検査対象図形全任意方向を同〈複数個の
線分圧より走査し、各走査線上に独立して存在する図形
要素の数を求め、標準図形より求まるあらかじめ定めら
れた値と比較検査を行なうととｆｔ％黴とする特許請求
の範囲第１項記載の図形検査方法。 （６）前記被検査対象図形と標準図形との比較検査を行
なう際に、あらかじめ被検査対象図形に対して、細めあ
るいは太め操作を施した後に任意方向を向く複数個の線
分上に存在する図形要素の個数を比較検査することＫよ
夕図形ｉＩ素に不完全連続あるいは不完全分離が存在す
るか否かを判定することを特徴とする特許請求の範囲第
１項記載の図形検査方法。 （η 前記被検査対象図形と標準図形との比較検査を行
なう際に、あらかじめ被検査対象図形をフィルタあるい
はカッ−カメラ等を使用して色要素に分解した後に任意
方向を向く複数個の線分上に存在する図形要素の個数を
比較検査することを特徴とする特許請求の範囲＃Ｉ１項
記載の図形検査方法。 （８）前記被検査対象図形と標準図形との比較検査を行
なう際に、あらかじめ被検査対象図形をフィルタあるい
はカラーカメラ等を使用して色要素に分解し、さらに細
めあるいは太め操作を施し九後に任意方向を向く複数個
の線分上に存在する図形要素の個数を比較検査すること
によシ、図形要素に不完全連続あるい社不完全分離が存
在するか否かを判定することｔ４１１１とする特許請求
の範囲第１項記載の図形検査方法Ｏ
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57061913A JPS58179343A (ja) | 1982-04-14 | 1982-04-14 | 図形検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57061913A JPS58179343A (ja) | 1982-04-14 | 1982-04-14 | 図形検査方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58179343A true JPS58179343A (ja) | 1983-10-20 |
Family
ID=13184872
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57061913A Pending JPS58179343A (ja) | 1982-04-14 | 1982-04-14 | 図形検査方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58179343A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6115343A (ja) * | 1984-06-29 | 1986-01-23 | インタ−ナショナル ビジネス マシ−ンズ コ−ポレ−ション | 集積回路の光学的検査解析方法 |
| JPS6123951A (ja) * | 1984-07-11 | 1986-02-01 | Ibiden Co Ltd | 回路の自動外観検査の検出方法 |
| JPS62201339A (ja) * | 1985-11-12 | 1987-09-05 | マニア・エレクトロニツク・アウトマテイザチオン・エントビツクルンク・ウント・ゲレ−テバウ・ゲ−エムベ−ハ− | 回路基板の光学的試験方法 |
| JPH0235576A (ja) * | 1989-05-23 | 1990-02-06 | Hitachi Ltd | 配線パターン欠陥検出方法及び装置 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS50127574A (ja) * | 1974-03-27 | 1975-10-07 | ||
| JPS5293248A (en) * | 1976-01-31 | 1977-08-05 | Fuji Electric Co Ltd | Trouble discriminator |
| JPS5324780A (en) * | 1976-08-20 | 1978-03-07 | Hitachi Ltd | Lead frame |
| JPS571160A (en) * | 1980-05-27 | 1982-01-06 | Tsurumaki Sogyo Kk | Thread-winding device |
-
1982
- 1982-04-14 JP JP57061913A patent/JPS58179343A/ja active Pending
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| JPS6123951A (ja) * | 1984-07-11 | 1986-02-01 | Ibiden Co Ltd | 回路の自動外観検査の検出方法 |
| JPS62201339A (ja) * | 1985-11-12 | 1987-09-05 | マニア・エレクトロニツク・アウトマテイザチオン・エントビツクルンク・ウント・ゲレ−テバウ・ゲ−エムベ−ハ− | 回路基板の光学的試験方法 |
| JPH0235576A (ja) * | 1989-05-23 | 1990-02-06 | Hitachi Ltd | 配線パターン欠陥検出方法及び装置 |
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