JPS58158847A - 試験片表面観察装置 - Google Patents
試験片表面観察装置Info
- Publication number
- JPS58158847A JPS58158847A JP57041862A JP4186282A JPS58158847A JP S58158847 A JPS58158847 A JP S58158847A JP 57041862 A JP57041862 A JP 57041862A JP 4186282 A JP4186282 A JP 4186282A JP S58158847 A JPS58158847 A JP S58158847A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- test piece
- electron beam
- test
- storage container
- sealing means
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000012360 testing method Methods 0.000 title claims description 37
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims description 19
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 13
- 238000009864 tensile test Methods 0.000 description 8
- 238000009661 fatigue test Methods 0.000 description 6
- 201000009310 astigmatism Diseases 0.000 description 2
- 241000269821 Scombridae Species 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/20—Means for supporting or positioning the object or the material; Means for adjusting diaphragms or lenses associated with the support
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
- Investigating Strength Of Materials By Application Of Mechanical Stress (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
験片の表面を試験中に観察できるように改善した表面観
察装置に関するものである。
察装置に関するものである。
畝
微小部分の表面を鮮明に観察できる走査電子顕微鏡は電
子線を用いるため可視光線を用いる光学顕微鏡よりも、
像の分解能及び焦点深度が大きく、物体の表面を詳細に
観察することができる。このため、引張シ試験又は疲労
試験中の試験片表面を観察する手段として利用されてい
る。
子線を用いるため可視光線を用いる光学顕微鏡よりも、
像の分解能及び焦点深度が大きく、物体の表面を詳細に
観察することができる。このため、引張シ試験又は疲労
試験中の試験片表面を観察する手段として利用されてい
る。
第１図について従来の表面観察装置の構造をみると、（
０１）は走査電子顕微鏡内を真空にするための鏡体枠，
（０２）は１００Ｘ以下の径に絞られた電子！ （
０３）を得るためのフィラメントを有する電子銃、（０
４）は集束レンズ、（０５）は対物レンズ、（０６）は
電子線走査コイル、（０７）は非点収差補正用コイル、
（０８）は被検体試験片を引張るための負荷装置、（０
９）は引張シ又は疲労試験片、（ ０１ ０）は試料表
面から反射された２次電子線又は特性Ｘ線の信号、（０
１１）は信号（０１０）を検出する２次電子線検出器又
は特性Ｘ線検出器、（０１２）は真空引き口である。
０１）は走査電子顕微鏡内を真空にするための鏡体枠，
（０２）は１００Ｘ以下の径に絞られた電子！ （
０３）を得るためのフィラメントを有する電子銃、（０
４）は集束レンズ、（０５）は対物レンズ、（０６）は
電子線走査コイル、（０７）は非点収差補正用コイル、
（０８）は被検体試験片を引張るための負荷装置、（０
９）は引張シ又は疲労試験片、（ ０１ ０）は試料表
面から反射された２次電子線又は特性Ｘ線の信号、（０
１１）は信号（０１０）を検出する２次電子線検出器又
は特性Ｘ線検出器、（０１２）は真空引き口である。
しかして引張シ試験片又は疲労試験片を試験中に観察す
る場合は、引張り用負荷装置（０８）を片側より試料室
（０１３）中に挿入して引張りながら観察するが、この
場合、観察可能な試料の大きさは引張シ負荷装置（０８
）に設置できる程度の大きさの引張り試験装置に制限さ
れる非常に小さな試験片である。このためこれよシ大き
な引張シ試験片又は疲労試験片を直接に観察することが
不可能である。
る場合は、引張り用負荷装置（０８）を片側より試料室
（０１３）中に挿入して引張りながら観察するが、この
場合、観察可能な試料の大きさは引張シ負荷装置（０８
）に設置できる程度の大きさの引張り試験装置に制限さ
れる非常に小さな試験片である。このためこれよシ大き
な引張シ試験片又は疲労試験片を直接に観察することが
不可能である。
本発明は、斜上の事情に鑑み、大型試験片の表面を観察
することができる実試験片用の表面観察装置を提供する
ことを目的とし、鏡体枠の一側に形成された電子線の通
過する開放端と、同開放端に配設された真空シール手段
と、同真空シール手段を介して上記鏡体枠を載置すると
ともに中央部に電子線を通過する開口部をそなえた試験
片収納容器と、同試験片収納容器内の試験片の端部に配
設された応力負荷用治具と、同応力負荷用治具と上記試
験片収納容器との真空シール手段をそなえたことを特徴
とする試験片表面観察装置を提案する。
することができる実試験片用の表面観察装置を提供する
ことを目的とし、鏡体枠の一側に形成された電子線の通
過する開放端と、同開放端に配設された真空シール手段
と、同真空シール手段を介して上記鏡体枠を載置すると
ともに中央部に電子線を通過する開口部をそなえた試験
片収納容器と、同試験片収納容器内の試験片の端部に配
設された応力負荷用治具と、同応力負荷用治具と上記試
験片収納容器との真空シール手段をそなえたことを特徴
とする試験片表面観察装置を提案する。
本発明の一実施例を第２図について説明する。
第２図は本発明の試験片表面観察装置の一実施例を示す
縦断側面図であり、同図における符号（１）ないしくη
、（６）、ａｌ）は第１図における符号（０１）ないし
く０７） 、 （０１０）及び（０１１）と同一の部材
に相当するので説明を省略する。
縦断側面図であり、同図における符号（１）ないしくη
、（６）、ａｌ）は第１図における符号（０１）ないし
く０７） 、 （０１０）及び（０１１）と同一の部材
に相当するので説明を省略する。
（２）は走査電子顕微鏡の鏡体枠（１）の−側に形成さ
れた電子線の通過する開放端である。＋１３は同開放端
鰺に配設された真空シール手段でリングパツキン等が使
用できる。圓は上記真空シール手段（至）を介して上記
鏡体枠（１）を載置するとともに中央部に電子線（８）
を通過する開口部０りをそなえた試験片収納容器で、こ
の試験片収納容器内への試験片の取付け、取換え等を容
易にするだめ、この実施例では中央部（１４ａ） 、端
部（１４ｂ） 。
れた電子線の通過する開放端である。＋１３は同開放端
鰺に配設された真空シール手段でリングパツキン等が使
用できる。圓は上記真空シール手段（至）を介して上記
鏡体枠（１）を載置するとともに中央部に電子線（８）
を通過する開口部０りをそなえた試験片収納容器で、こ
の試験片収納容器内への試験片の取付け、取換え等を容
易にするだめ、この実施例では中央部（１４ａ） 、端
部（１４ｂ） 。
（１４ｃ）に分割できるようにしている。叫は上記試験
片収納容器αΦ内に取付けられた引張り試験片又は疲労
試験片等の試験片、［＋７１は同試験片ｆｌＧの端部に
ビン（ＩＩを介して配設された応力負荷用治具で図示を
省略した引張り試験機又は疲労試験機の応力負荷装置に
連設されている。α９は試験片収納容器Ｉを構成する中
央部（１４ａ）と端部（ｉ４ｂ）及び（１４ｃ）との接
合面に配設された真空シール手段でリングパツキン等が
使用できる。
片収納容器αΦ内に取付けられた引張り試験片又は疲労
試験片等の試験片、［＋７１は同試験片ｆｌＧの端部に
ビン（ＩＩを介して配設された応力負荷用治具で図示を
省略した引張り試験機又は疲労試験機の応力負荷装置に
連設されている。α９は試験片収納容器Ｉを構成する中
央部（１４ａ）と端部（ｉ４ｂ）及び（１４ｃ）との接
合面に配設された真空シール手段でリングパツキン等が
使用できる。
■は上記接合面を締着するボルトナツト、（社）は上記
試験片収納容器（１４１の端部（１４ｂ）及び（１４ｃ
）と前記応力負荷用治具面との接合面に配設された真空
シール手段でリングパツキン等が使用できる。■は前記
試験片収納容器α−の端部（１４ｂ）に配設された真空
引き口である。
試験片収納容器（１４１の端部（１４ｂ）及び（１４ｃ
）と前記応力負荷用治具面との接合面に配設された真空
シール手段でリングパツキン等が使用できる。■は前記
試験片収納容器α−の端部（１４ｂ）に配設された真空
引き口である。
このような構成において、上記真空引き口■を図示を省
略した真空発生手段例えば真空ボ／プに接続し同ポンプ
を作動する。鏡体内及び試験片収納容器内が電子線（８
）を放射できる程度の所定の真空度に達した後、電子銃
（２）から電子線（８）を試験片αｅの表面に発射し、
同表面から反射された２次電子線又は特性Ｘ線の信号υ
を２次電子線検出器、又は特性Ｘ線検出器αυで検出す
ることによシ、試験片αＧの表面観察を行うことができ
る。また試験片収納容器（１４１は、第１図に示したよ
うな小型の試験片ではなく大型の引張り試験機又は疲労
試験機の応力負荷用治具０？）及び、試験片（至）の大
きさに合わせて自由に製作できるので実用的な大きさの
試験片における破壊挙動を追跡観察することができる特
長をもっている。
略した真空発生手段例えば真空ボ／プに接続し同ポンプ
を作動する。鏡体内及び試験片収納容器内が電子線（８
）を放射できる程度の所定の真空度に達した後、電子銃
（２）から電子線（８）を試験片αｅの表面に発射し、
同表面から反射された２次電子線又は特性Ｘ線の信号υ
を２次電子線検出器、又は特性Ｘ線検出器αυで検出す
ることによシ、試験片αＧの表面観察を行うことができ
る。また試験片収納容器（１４１は、第１図に示したよ
うな小型の試験片ではなく大型の引張り試験機又は疲労
試験機の応力負荷用治具０？）及び、試験片（至）の大
きさに合わせて自由に製作できるので実用的な大きさの
試験片における破壊挙動を追跡観察することができる特
長をもっている。
かくして本発明の試験片表面観察装置によれば、試験片
の大きさに制限されることなく、大型試験機の試験片に
ついて破壊挙動を詳細に観察することができる。
の大きさに制限されることなく、大型試験機の試験片に
ついて破壊挙動を詳細に観察することができる。
第１図は従来の小型引張り試験片観察装置の縦断面図、
第２図は本発明の試験片表面観察装置の一実施例の縦断
面図である。 （１）：鏡体枠、■）：電子銃、 （８） ：電子線、
（４）：集束レンズ、 （５） ：対物レンズ、 （
６） ：電子線走査コイル、 （７） ：非点収差補正
用コイル、α０：２次電子線又は特性Ｘ線の信号、 ａ
ｕ ： ２次電子線検出器又は特性Ｘ線検出器、Ｑ２：
鏡体枠開放端。 （Ｉ３：真空シール手段、ａ４：試験片収納容器。 ａ９：試験片収納容器開口部、αｅ：試験片、ａη：応
力負荷用治具、０１１：ピン、α９：真空シール手段、
ｃ！Ｉｊ：ボルトナット、（社）：真空シール手段。 ＠ ：真空引き口。 第１已 θデ
第２図は本発明の試験片表面観察装置の一実施例の縦断
面図である。 （１）：鏡体枠、■）：電子銃、 （８） ：電子線、
（４）：集束レンズ、 （５） ：対物レンズ、 （
６） ：電子線走査コイル、 （７） ：非点収差補正
用コイル、α０：２次電子線又は特性Ｘ線の信号、 ａ
ｕ ： ２次電子線検出器又は特性Ｘ線検出器、Ｑ２：
鏡体枠開放端。 （Ｉ３：真空シール手段、ａ４：試験片収納容器。 ａ９：試験片収納容器開口部、αｅ：試験片、ａη：応
力負荷用治具、０１１：ピン、α９：真空シール手段、
ｃ！Ｉｊ：ボルトナット、（社）：真空シール手段。 ＠ ：真空引き口。 第１已 θデ
Claims (1)
- 鏡体枠の一側に形成された電子線の通過する開放端と、
同開放端に配設された真空シール手段と、同真空シール
手段を介して上記鏡体枠を載置するとともに中央部に電
子線を通過する開口部をそなえた試験片収納容器と、同
試験片収納容器内の試験片の端部に配設された応力負荷
用治具と、同応力負荷用治具と上記試験片収納容器との
真空シール手段とをそなえたことを特徴とする試験片表
面観察装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57041862A JPS58158847A (ja) | 1982-03-17 | 1982-03-17 | 試験片表面観察装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57041862A JPS58158847A (ja) | 1982-03-17 | 1982-03-17 | 試験片表面観察装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58158847A true JPS58158847A (ja) | 1983-09-21 |
Family
ID=12620053
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57041862A Pending JPS58158847A (ja) | 1982-03-17 | 1982-03-17 | 試験片表面観察装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58158847A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6385422A (ja) * | 1986-09-30 | 1988-04-15 | Shimadzu Corp | 同期観察装置 |
| WO2003076888A1 (fr) * | 2002-03-14 | 2003-09-18 | Horiba,Ltd. | Procede et appareil de mesure de contrainte |
| JP2007315874A (ja) * | 2006-05-24 | 2007-12-06 | Chiba Univ | 動態撮影システム |
-
1982
- 1982-03-17 JP JP57041862A patent/JPS58158847A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6385422A (ja) * | 1986-09-30 | 1988-04-15 | Shimadzu Corp | 同期観察装置 |
| WO2003076888A1 (fr) * | 2002-03-14 | 2003-09-18 | Horiba,Ltd. | Procede et appareil de mesure de contrainte |
| JPWO2003076888A1 (ja) * | 2002-03-14 | 2005-07-07 | 株式会社堀場製作所 | 応力測定方法および応力測定装置 |
| US8211707B2 (en) | 2002-03-14 | 2012-07-03 | Giuseppe Pezzotti | Stress measuring device |
| JP2007315874A (ja) * | 2006-05-24 | 2007-12-06 | Chiba Univ | 動態撮影システム |
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