JPS58127150A - グロ−放電装置 - Google Patents
グロ−放電装置Info
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- JPS58127150A JPS58127150A JP981682A JP981682A JPS58127150A JP S58127150 A JPS58127150 A JP S58127150A JP 981682 A JP981682 A JP 981682A JP 981682 A JP981682 A JP 981682A JP S58127150 A JPS58127150 A JP S58127150A
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- Japan
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- sample
- anode
- electrode
- cathode
- glow discharge
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Links
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/62—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light
- G01N21/66—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light electrically excited, e.g. electroluminescence
- G01N21/67—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light electrically excited, e.g. electroluminescence using electric arcs or discharges
Landscapes
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- Pathology (AREA)
- Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明はグロー放電装置に関し、特に、陽極部に装着
さ几た試料の成分分析會迅床に小さい誤差範囲内で決定
するための新規な改良に関するものである。
さ几た試料の成分分析會迅床に小さい誤差範囲内で決定
するための新規な改良に関するものである。
従来、用いらｎていたこの種の装置においてに特公昭４
９−２１６８０号公報において示さルるように、被測定
試料が装着さ几る陽極部と絶縁さ几た陽極部との間に電
圧全印加して放電発光を起させる構成であった。
９−２１６８０号公報において示さルるように、被測定
試料が装着さ几る陽極部と絶縁さ几た陽極部との間に電
圧全印加して放電発光を起させる構成であった。
したしながら、このような装置にかいては材料の成分又
はその成分分布全複雑な操作を必安とせずに迅速に小さ
い誤差範囲内で決定することができなけ扛ばならない。
はその成分分布全複雑な操作を必安とせずに迅速に小さ
い誤差範囲内で決定することができなけ扛ばならない。
ところが、このような分析に対してはグロー放電発生用
の動作ガスとして一般に希ガス、特にアルゴンガスが使
用さｎる。このため、動作がスイオンの衝撃に工っで連
続的に飛散さｎた分析試料は励起さｎて分光分析にエフ
検出さｎ、定型分析さｎるが、分析Ｎ度に光の強厩、従
って試料原子の励起度と共に高くなる。
の動作ガスとして一般に希ガス、特にアルゴンガスが使
用さｎる。このため、動作がスイオンの衝撃に工っで連
続的に飛散さｎた分析試料は励起さｎて分光分析にエフ
検出さｎ、定型分析さｎるが、分析Ｎ度に光の強厩、従
って試料原子の励起度と共に高くなる。
この工うに強く励起するため／ｉ ｑ ？放散管に大電
流の低電圧放ｔ？ｒ付加することは既に実施さ庇ている
ものである。
流の低電圧放ｔ？ｒ付加することは既に実施さ庇ている
ものである。
すなわち、この補助放電により放電室内の電子密度、従
って分析試料原子と電子との衝突数が増大する。し〃１
し、補助放電部分を設けると、グロー放電管に二個の補
助電極が必賛となり、構造および制御が複雑となる。
って分析試料原子と電子との衝突数が増大する。し〃１
し、補助放電部分を設けると、グロー放電管に二個の補
助電極が必賛となり、構造および制御が複雑となる。
又、放電室内の電子密度全増大する方法として放電室に
軸方向の研場？作る装置ケ設け、電子の螺旋運動によっ
て走る距離を長くし、分析試料原子と゛電子との衝突数
音増大させる方法が実施さルている。しがし、分析試料
が磁性体７）ｚ非磁性体かによってグロー放電を起させ
た後の表面形状が大きく変化すると云う欠点があった。
軸方向の研場？作る装置ケ設け、電子の螺旋運動によっ
て走る距離を長くし、分析試料原子と゛電子との衝突数
音増大させる方法が実施さルている。しがし、分析試料
が磁性体７）ｚ非磁性体かによってグロー放電を起させ
た後の表面形状が大きく変化すると云う欠点があった。
この発明は以上の欠点全すみやかに除去するための極め
て効果的な手段？提供すること全目的とするもので、特
に、被測定試料が装着さ九る陰極部と絶縁さ′ｉ″Ｌ、
た陽極部との間に独立した他の電極ｍｋ設けるようにし
た構成である。
て効果的な手段？提供すること全目的とするもので、特
に、被測定試料が装着さ九る陰極部と絶縁さ′ｉ″Ｌ、
た陽極部との間に独立した他の電極ｍｋ設けるようにし
た構成である。
以下１図面と共にこの発明によるグロー放電装置の好適
な実施例について詳細に説明する。
な実施例について詳細に説明する。
図面において符号１で示さｎるものは絶縁体であり、こ
の絶縁体１に形成さルた孔部２の上部には石英窓体３が
載置さｎていると共に、この孔部２の一端にはアルゴン
ガス導入管４が連設さｎている。
の絶縁体１に形成さルた孔部２の上部には石英窓体３が
載置さｎていると共に、この孔部２の一端にはアルゴン
ガス導入管４が連設さｎている。
前記絶縁体１の下記には陽極部５が設けら扛、この陽極
部５内には前記孔部２が延設さｎていると共に、この孔
部２に連設して陽極部５の一端には第１排気管６が設け
らｎている。さらに、前記陰極部５の下部には絶縁部７
お工び電極部８が積層さ几て設けらｎておυ、この電極
部８の中心部に円筒状に下方Ｋかつ前記孔部２と同軸に
延設さルた延長部８ａが形成さｎている。
部５内には前記孔部２が延設さｎていると共に、この孔
部２に連設して陽極部５の一端には第１排気管６が設け
らｎている。さらに、前記陰極部５の下部には絶縁部７
お工び電極部８が積層さ几て設けらｎておυ、この電極
部８の中心部に円筒状に下方Ｋかつ前記孔部２と同軸に
延設さルた延長部８ａが形成さｎている。
この電極部８の下部には絶縁部９お工び陰極部１０が装
着さｎ、この絶縁部９の一端には第２排気管１１が形成
さｎるＩｌ！：１共（共前記＠他部ｌν１免の下部位置
には試料１２が添設さｔている。この試料１２と電悌部
８の延長ｓ８ａとの間の間隔りは約０．１ミリ〜０．３
ミリであり、電極部８の内径すなわち試料１２の放電ス
パッタ面積は直径４．０ミリ〜８．０ミリである。
着さｎ、この絶縁部９の一端には第２排気管１１が形成
さｎるＩｌ！：１共（共前記＠他部ｌν１免の下部位置
には試料１２が添設さｔている。この試料１２と電悌部
８の延長ｓ８ａとの間の間隔りは約０．１ミリ〜０．３
ミリであり、電極部８の内径すなわち試料１２の放電ス
パッタ面積は直径４．０ミリ〜８．０ミリである。
以上のような構成において、この発明によるグロー放電
装置を作動させる場合について説明すると、アルゴンガ
ス導入管４からアルゴンガス葡放電室としての孔部２に
導入し、孔部２円の圧力全一定に保つための排気管６お
よび１１からアルゴンガスが外部に導出さｎている。
装置を作動させる場合について説明すると、アルゴンガ
ス導入管４からアルゴンガス葡放電室としての孔部２に
導入し、孔部２円の圧力全一定に保つための排気管６お
よび１１からアルゴンガスが外部に導出さｎている。
このよう、な状態で、陽極部５と試料１２の陰極部１０
との間に酊圧會印加してグロー放電ケ起させると、動作
゛ガスは４〜６ Ｔｏｒｒの間で安定になるようにし、
放電を圧は７００〜１５００Ｖの範囲で安定化さ几る。
との間に酊圧會印加してグロー放電ケ起させると、動作
゛ガスは４〜６ Ｔｏｒｒの間で安定になるようにし、
放電を圧は７００〜１５００Ｖの範囲で安定化さ几る。
その結果、試料から飛散した原子の励起が起り発光が現
わｎて、試料１２の上部に負グロー領域が発生する。こ
の光全石英慾５全介して分光器（図示せず）に導〃為ル
て計測さｎる。
わｎて、試料１２の上部に負グロー領域が発生する。こ
の光全石英慾５全介して分光器（図示せず）に導〃為ル
て計測さｎる。
この発明によるグロー放電装置は以上の工うな植成と作
用と７備えているため、下記のような効果ケ奏する。
用と７備えているため、下記のような効果ケ奏する。
前記＠極部は電極部と陽極部との間に電圧會印加し放市
孕起させた時、放電室内の空間電荷によ ５− り陽極部電位より低い電位となり、この電極部の作る電
気力嶽により函他試料表面付近に生ずる負グロー領域上
制限することが可能となって制御を自動的に行なうこと
ができる。
孕起させた時、放電室内の空間電荷によ ５− り陽極部電位より低い電位となり、この電極部の作る電
気力嶽により函他試料表面付近に生ずる負グロー領域上
制限することが可能となって制御を自動的に行なうこと
ができる。
前記陽極部と電極部・と・の聞及び電極部と陰極部との
間に盲、気力線を生じさせ、この電極部により陰極部と
の間の電子の行程を長くすることができ飛散した分析試
料原子と電子との衝突数が増大し試料原子の励起度が高
くなり光の強度が増大する。
間に盲、気力線を生じさせ、この電極部により陰極部と
の間の電子の行程を長くすることができ飛散した分析試
料原子と電子との衝突数が増大し試料原子の励起度が高
くなり光の強度が増大する。
前記電極部の電位に陽極部と陰極部との間に印加さｎる
電圧によって制御さ几るもので、外部から制御する必要
がなくなる。
電圧によって制御さ几るもので、外部から制御する必要
がなくなる。
一面はこの発明によるグロー放電装置會示すための断面
図である。 １・・・絶縁体 ２・・・孔部５・・・石英
窓体 ４・・・アルゴンガス導入管５・・・陽
極部 ６・・・第１排気管７・−・絶は部
８・・・ｗＬ愼部 ６− ９・・・絶縁部 １０・・・陰極部１１・・・
第２排気管 １２・・・試料以上 ７−
図である。 １・・・絶縁体 ２・・・孔部５・・・石英
窓体 ４・・・アルゴンガス導入管５・・・陽
極部 ６・・・第１排気管７・−・絶は部
８・・・ｗＬ愼部 ６− ９・・・絶縁部 １０・・・陰極部１１・・・
第２排気管 １２・・・試料以上 ７−
Claims (2)
- （１）被測定試料が装着さ几る陽極部と絶縁さ几た陽極
部との間に電圧全印加して放電発光を起こさせるグロー
放電装置において、上記陰極部と陽極部との間に電極部
ケ設けたこと全特徴とするグロー放電装置。 - （２）第１項において、前記電極部に前記陰極部および
陽極部に対して電気的に絶縁さ几ており。 前記陽極部卦工び陽極部との間に重圧？印加した時、空
間電荷の影響にエリ前記陽極部の電位より低い電位をも
つようにしたこと全特徴とするグロー放電装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP981682A JPS58127150A (ja) | 1982-01-25 | 1982-01-25 | グロ−放電装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP981682A JPS58127150A (ja) | 1982-01-25 | 1982-01-25 | グロ−放電装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58127150A true JPS58127150A (ja) | 1983-07-28 |
| JPS6326332B2 JPS6326332B2 (ja) | 1988-05-30 |
Family
ID=11730671
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP981682A Granted JPS58127150A (ja) | 1982-01-25 | 1982-01-25 | グロ−放電装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58127150A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63503009A (ja) * | 1986-02-24 | 1988-11-02 | ゲゼルシャフト ツァ フェルダ−ルング デァ スペクトロヒェミ− ウント アンゲヴァンテン スペクトロスコピ− エ−．ファウ． | グロー放電ランプ |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03182252A (ja) * | 1989-12-08 | 1991-08-08 | Nabetsukusu:Kk | マツサージ器 |
-
1982
- 1982-01-25 JP JP981682A patent/JPS58127150A/ja active Granted
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63503009A (ja) * | 1986-02-24 | 1988-11-02 | ゲゼルシャフト ツァ フェルダ−ルング デァ スペクトロヒェミ− ウント アンゲヴァンテン スペクトロスコピ− エ−．ファウ． | グロー放電ランプ |
| US4830492A (en) * | 1986-02-24 | 1989-05-16 | Gesellschaft zur Forderung der Spektrochemie und angewandten Spektrochemie e.V. | Glow-discharge lamp and its application |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6326332B2 (ja) | 1988-05-30 |
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