JPH1199450A - 工作機械の工具長測定方法及び装置 - Google Patents
工作機械の工具長測定方法及び装置Info
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- JPH1199450A JPH1199450A JP9279384A JP27938497A JPH1199450A JP H1199450 A JPH1199450 A JP H1199450A JP 9279384 A JP9279384 A JP 9279384A JP 27938497 A JP27938497 A JP 27938497A JP H1199450 A JPH1199450 A JP H1199450A
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Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- Machine Tool Sensing Apparatuses (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 従来、接触式センサでは測定不能または困難
とされていた微小径工具の工具長測定を、刃先の欠損、
折損を生ぜず、自動的に、かつ、効率的に、高精度で測
定可能とする、信頼性の高い工具長測定システムを提供
する。 【解決手段】 光学式の非接触形センサ51と触圧の小さ
な接触式センサ63とを併設し、工具1を第一速度で素速
く軸送りして、その先端位置をいち早く光学式の非接触
形センサ51により検出し、触圧の小さな接触式センサ63
の測定子65の僅か上部位置まで誘導した後、軸送り速度
を第二速度に変速させると共に、工具1を測定子65に静
かにゆっくり当接、検出させ、機上で工具長の自動測定
をする。
とされていた微小径工具の工具長測定を、刃先の欠損、
折損を生ぜず、自動的に、かつ、効率的に、高精度で測
定可能とする、信頼性の高い工具長測定システムを提供
する。 【解決手段】 光学式の非接触形センサ51と触圧の小さ
な接触式センサ63とを併設し、工具1を第一速度で素速
く軸送りして、その先端位置をいち早く光学式の非接触
形センサ51により検出し、触圧の小さな接触式センサ63
の測定子65の僅か上部位置まで誘導した後、軸送り速度
を第二速度に変速させると共に、工具1を測定子65に静
かにゆっくり当接、検出させ、機上で工具長の自動測定
をする。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、NCフライス盤や
マシニングセンタ等の工作機械の主軸に装着された工
具、特に微小径の工具の工具長を測定する工作機械の工
具長測定方法及び装置に関する。
マシニングセンタ等の工作機械の主軸に装着された工
具、特に微小径の工具の工具長を測定する工作機械の工
具長測定方法及び装置に関する。
【0002】
【従来の技術】近年、様々な形状・材質よりなる微小径
の工具、たとえば、ダイヤモンドなど材質的に非常に脆
い工具、工具径が0.1mmφ程度の極小径ドリル(材
質、超硬)、刃先が非常に鋭利な彫刻用の半月形状の工
具等を用いて、高速、かつ、高精度に微細な加工を行う
工作機械が出現している。こうした工作機械において
は、たとえば、加工に必要な工具をあらかじめ用意して
おき、NCフライス盤やマシニングセンタ等の工作機械
に付属した自動工具交換装置を利用して工作機械の主軸
に前記工具を順次、装着して所望形状の加工を自動的に
行うようにしている。
の工具、たとえば、ダイヤモンドなど材質的に非常に脆
い工具、工具径が0.1mmφ程度の極小径ドリル(材
質、超硬)、刃先が非常に鋭利な彫刻用の半月形状の工
具等を用いて、高速、かつ、高精度に微細な加工を行う
工作機械が出現している。こうした工作機械において
は、たとえば、加工に必要な工具をあらかじめ用意して
おき、NCフライス盤やマシニングセンタ等の工作機械
に付属した自動工具交換装置を利用して工作機械の主軸
に前記工具を順次、装着して所望形状の加工を自動的に
行うようにしている。
【0003】ここに、工作機械の自動工具交換装置の一
例として、本出願人の出願による特開平8−174364号公
報に示されたNC工作機械の工具交換装置(以下、「第
1の従来技術」という)がある。これは、工具を収納す
る工具ポットを複数個設けた工具マガジンと工作機械の
主軸との間に工具転送アームを介在させず、工具マガジ
ンと工作機械の主軸との間のX,Y,Z軸方向への相対
移動により直接的に工具交換を行うアームレス方式と、
工具を一旦、工具ホルダに固定して工具ホルダごと工具
交換を行うのではなく、工具ホルダを介在させずに工具
を工具マガジンと工作機械の主軸との間で、直接的に交
換するホルダレス方式との、両方式を採用した工具交換
装置である。
例として、本出願人の出願による特開平8−174364号公
報に示されたNC工作機械の工具交換装置(以下、「第
1の従来技術」という)がある。これは、工具を収納す
る工具ポットを複数個設けた工具マガジンと工作機械の
主軸との間に工具転送アームを介在させず、工具マガジ
ンと工作機械の主軸との間のX,Y,Z軸方向への相対
移動により直接的に工具交換を行うアームレス方式と、
工具を一旦、工具ホルダに固定して工具ホルダごと工具
交換を行うのではなく、工具ホルダを介在させずに工具
を工具マガジンと工作機械の主軸との間で、直接的に交
換するホルダレス方式との、両方式を採用した工具交換
装置である。
【0004】ところで、上記「第1の従来技術」に示す
工具交換装置を利用して所望の工具を工作機械の主軸に
直接的に装着する場合には、前記工具交換装置の機構
上、工具交換の都度、工具長にばらつきが生ずる。ま
た、所望の工具を工作機械の主軸に工具ホルダを介在さ
せて装着する場合にも、主軸への工具ホルダの装着状態
によっては、工具交換の都度、工具長にばらつきが生じ
ることがある。そこで、工具交換後に工作機械の機上で
主軸に装着された工具の工具長を測定し、必要に応じて
工具長の変位量を演算し、その変位量を算入、補正した
上で加工を行うことにより、高精度の加工を実現してい
る。
工具交換装置を利用して所望の工具を工作機械の主軸に
直接的に装着する場合には、前記工具交換装置の機構
上、工具交換の都度、工具長にばらつきが生ずる。ま
た、所望の工具を工作機械の主軸に工具ホルダを介在さ
せて装着する場合にも、主軸への工具ホルダの装着状態
によっては、工具交換の都度、工具長にばらつきが生じ
ることがある。そこで、工具交換後に工作機械の機上で
主軸に装着された工具の工具長を測定し、必要に応じて
工具長の変位量を演算し、その変位量を算入、補正した
上で加工を行うことにより、高精度の加工を実現してい
る。
【0005】工作機械の機上で工具長の測定を行う装置
としては、上記した「第1の従来技術」に示すように、
工作機械の機上で加工の妨げとならない所定位置にタッ
チセンサなどの接触式検出器を設け、工具交換後に主軸
に装着された工具を接触式検出器の測定子に接触させ、
基準位置から接触位置までの主軸の移動量に基づいて工
具長を演算して求める、いわゆる、接触式工具長測定装
置が知られている。
としては、上記した「第1の従来技術」に示すように、
工作機械の機上で加工の妨げとならない所定位置にタッ
チセンサなどの接触式検出器を設け、工具交換後に主軸
に装着された工具を接触式検出器の測定子に接触させ、
基準位置から接触位置までの主軸の移動量に基づいて工
具長を演算して求める、いわゆる、接触式工具長測定装
置が知られている。
【0006】また、本出願人の出願による特願平8−14
0648号(以下、「第2の従来技術」という)に示すよう
に、工作機械の機上で加工の妨げとならない所定位置に
投光部と受光部とを備えた光学式非接触形検出器を設
け、工具交換後に主軸に装着された工具を非接触形検出
器の測定領域に移動させ、基準位置から遮光検出位置ま
での主軸の移動量に基づいて工具長を演算して求める、
いわゆる、非接触式の工具長測定装置も存在する。
0648号(以下、「第2の従来技術」という)に示すよう
に、工作機械の機上で加工の妨げとならない所定位置に
投光部と受光部とを備えた光学式非接触形検出器を設
け、工具交換後に主軸に装着された工具を非接触形検出
器の測定領域に移動させ、基準位置から遮光検出位置ま
での主軸の移動量に基づいて工具長を演算して求める、
いわゆる、非接触式の工具長測定装置も存在する。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】工具交換後に主軸に装
着された微小径の工具、たとえば、上述したダイヤモン
ドなどの材質的に非常に脆い材料からなる工具、工具径
が0.1mmφ程度の極小径ドリル、刃先が非常に鋭利な
形状の彫刻用工具等(以下、「微小径の工具」という)
の工具長測定は、従来、工具を加工時における回転数で
回転させながらオペレータが手動で工具を徐々に移動さ
せ、工具刃先の欠損や折損を招かないように細心の注意
を払いながら工具を工作機械の機上に設けた基準面に接
触させると共に、基準位置から接触位置までの主軸の移
動量に基づいて工具長の演算を行うようにしている。し
かし、これでは、工具長の測定時に人が介在しなければ
ならず、工具長の測定から加工までを自動的に行うこと
ができない。さらに、工具刃先を欠損、折損させないよ
う測定中には細心の注意が必要であり、測定には熟練と
相当時間を必要とする。
着された微小径の工具、たとえば、上述したダイヤモン
ドなどの材質的に非常に脆い材料からなる工具、工具径
が0.1mmφ程度の極小径ドリル、刃先が非常に鋭利な
形状の彫刻用工具等(以下、「微小径の工具」という)
の工具長測定は、従来、工具を加工時における回転数で
回転させながらオペレータが手動で工具を徐々に移動さ
せ、工具刃先の欠損や折損を招かないように細心の注意
を払いながら工具を工作機械の機上に設けた基準面に接
触させると共に、基準位置から接触位置までの主軸の移
動量に基づいて工具長の演算を行うようにしている。し
かし、これでは、工具長の測定時に人が介在しなければ
ならず、工具長の測定から加工までを自動的に行うこと
ができない。さらに、工具刃先を欠損、折損させないよ
う測定中には細心の注意が必要であり、測定には熟練と
相当時間を必要とする。
【0008】また、上記した「第2の従来技術」に示す
ような光学式の非接触形検出器を利用して工具交換後に
主軸に装着した微小径の工具の工具長測定を行う場合に
は、工具の刃先形状や工具の刃先に付着した切削液の油
膜の影響で、光学式の非接触形検出器の投光部から照射
される光線が回折現象(光が障害物の端を通過して伝播
する時に、その後方の影の部分に侵入する現象)を引き
起こして受光部に向けて直進し難くなり、工具長測定時
に工具の遮光検出位置に僅かな誤差を生じ、厳密で高精
度な工具長測定を行うことが困難となってしまう。
ような光学式の非接触形検出器を利用して工具交換後に
主軸に装着した微小径の工具の工具長測定を行う場合に
は、工具の刃先形状や工具の刃先に付着した切削液の油
膜の影響で、光学式の非接触形検出器の投光部から照射
される光線が回折現象(光が障害物の端を通過して伝播
する時に、その後方の影の部分に侵入する現象)を引き
起こして受光部に向けて直進し難くなり、工具長測定時
に工具の遮光検出位置に僅かな誤差を生じ、厳密で高精
度な工具長測定を行うことが困難となってしまう。
【0009】前記の問題点を避けるためには、工具交換
後に主軸に装着された微小径の工具の工具長測定は、た
とえば上記した「第1の従来技術」に示す接触式検出器
を利用して行うのが最も望ましい。ところで、近年、加
工の高速化に伴い工作機械の送り軸の移動時における振
動発生要素が増加しており、こうした振動に影響されな
いような接触式検出器、つまり、触圧が高い(100〜
150g程度)測定子を有した検出器が、工具長測定の
ために利用されている。さらに、工具長測定時に、工具
を接触式検出器の測定子へアプローチする速度を高めて
工具長測定時間を可及的に短縮し、ひいては、加工時間
の短縮化を図ることが行われている。
後に主軸に装着された微小径の工具の工具長測定は、た
とえば上記した「第1の従来技術」に示す接触式検出器
を利用して行うのが最も望ましい。ところで、近年、加
工の高速化に伴い工作機械の送り軸の移動時における振
動発生要素が増加しており、こうした振動に影響されな
いような接触式検出器、つまり、触圧が高い(100〜
150g程度)測定子を有した検出器が、工具長測定の
ために利用されている。さらに、工具長測定時に、工具
を接触式検出器の測定子へアプローチする速度を高めて
工具長測定時間を可及的に短縮し、ひいては、加工時間
の短縮化を図ることが行われている。
【0010】しかし、接触式検出器を利用して工具交換
後に主軸に装着された微小径の工具の工具長測定を行う
場合に、前記検出器の触圧や測定子への工具のアプロー
チ速度等の測定条件の如何によっては、測定子への接触
時に工具刃先の欠損や折損を引き起こすおそれがある。
そこで、接触式検出器を利用して主軸に装着された微小
径の工具の工具長測定を自動的に行うためには、あらか
じめ当該接触式検出器の測定子の触圧を低く(20〜2
5g程度)設定し、かつ、測定子への工具のアプローチ
速度を極めて低速にする必要がある。そうすると、工具
長測定時間を徒に長くすることとなり、ひいては、加工
時間を引き伸ばす結果を招く。
後に主軸に装着された微小径の工具の工具長測定を行う
場合に、前記検出器の触圧や測定子への工具のアプロー
チ速度等の測定条件の如何によっては、測定子への接触
時に工具刃先の欠損や折損を引き起こすおそれがある。
そこで、接触式検出器を利用して主軸に装着された微小
径の工具の工具長測定を自動的に行うためには、あらか
じめ当該接触式検出器の測定子の触圧を低く(20〜2
5g程度)設定し、かつ、測定子への工具のアプローチ
速度を極めて低速にする必要がある。そうすると、工具
長測定時間を徒に長くすることとなり、ひいては、加工
時間を引き伸ばす結果を招く。
【0011】本発明の目的は、従来の工具長測定方法及
び装置に内在する上記の諸問題を解消し、微小径の工具
の工具長測定を工作機械上で、短時間、かつ、高精度に
行うことができる工作機械の工具長測定方法及び装置を
提供することにある。
び装置に内在する上記の諸問題を解消し、微小径の工具
の工具長測定を工作機械上で、短時間、かつ、高精度に
行うことができる工作機械の工具長測定方法及び装置を
提供することにある。
【0012】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、工作機械上に光学式の工具先端位置検出手段と接触
式の工具先端位置検出手段とを併設して、光学式の工具
先端位置検出手段へ向けて比較的速い送り速度で工具を
移動させてその先端位置を検出し、その後、あらかじめ
設定した所定位置から、かなり遅い送り速度で工具を、
接触式の工具先端位置検出手段へ向けて移動させてその
先端位置を検出し、接触式の工具先端位置検出手段で検
出した工具の先端位置と主軸の基準位置とから当該工具
の工具長を演算するようにしたものである。詳細には、
次に述べるとおりの各構成要件を具備している。 (1) 主軸に装着された工具とワークとを相対移動さ
せて前記ワークを加工する工作機械において、前記工具
と相対移動可能な所定位置に光学式の工具先端位置検出
手段及び接触式の工具先端位置検出手段を設け、前記工
具を第一の送り速度で前記光学式の工具先端位置検出手
段の測定領域へ向けて移動させ前記工具先端位置を検出
するとともに、前記接触式の工具先端位置検出手段の測
定子より所定距離だけ離れた位置へ誘導し、前記工具を
前記第一の送り速度より小さな第二の送り速度で、前記
所定位置から前記接触式の工具先端位置検出手段の測定
子へ向けて移動させ、前記工具の先端位置を検出し、前
記接触式の工具先端位置検出手段で検出した前記工具の
先端位置とあらかじめ設定した前記主軸の基準位置とか
ら前記工具の工具長を演算する、工作機械の工具長測定
方法。
に、工作機械上に光学式の工具先端位置検出手段と接触
式の工具先端位置検出手段とを併設して、光学式の工具
先端位置検出手段へ向けて比較的速い送り速度で工具を
移動させてその先端位置を検出し、その後、あらかじめ
設定した所定位置から、かなり遅い送り速度で工具を、
接触式の工具先端位置検出手段へ向けて移動させてその
先端位置を検出し、接触式の工具先端位置検出手段で検
出した工具の先端位置と主軸の基準位置とから当該工具
の工具長を演算するようにしたものである。詳細には、
次に述べるとおりの各構成要件を具備している。 (1) 主軸に装着された工具とワークとを相対移動さ
せて前記ワークを加工する工作機械において、前記工具
と相対移動可能な所定位置に光学式の工具先端位置検出
手段及び接触式の工具先端位置検出手段を設け、前記工
具を第一の送り速度で前記光学式の工具先端位置検出手
段の測定領域へ向けて移動させ前記工具先端位置を検出
するとともに、前記接触式の工具先端位置検出手段の測
定子より所定距離だけ離れた位置へ誘導し、前記工具を
前記第一の送り速度より小さな第二の送り速度で、前記
所定位置から前記接触式の工具先端位置検出手段の測定
子へ向けて移動させ、前記工具の先端位置を検出し、前
記接触式の工具先端位置検出手段で検出した前記工具の
先端位置とあらかじめ設定した前記主軸の基準位置とか
ら前記工具の工具長を演算する、工作機械の工具長測定
方法。
【0013】(2) 数値制御部からの送り軸の移動指
令により主軸に装着された工具とワークとを相対移動さ
せて前記ワークを加工する工作機械において、前記工具
と相対移動可能な所定位置に設けられた光学式の工具先
端位置検出手段と、前記工具と相対移動可能な所定位置
に設けられ測定子を有した接触式の工具先端位置検出手
段と、前記工具を第一の送り速度で前記光学式の工具先
端位置検出手段の測定領域へ向けて移動させ前記工具の
先端位置を検出するとともに、前記接触式の工具先端位
置検出手段の測定子より所定距離だけ離れた位置へ誘導
し、前記工具を前記第一の送り速度より小さい第二の送
り速度で前記所定位置から前記接触式の工具先端位置検
出手段の測定子へ向けて移動させ、前記工具の先端位置
を検出するよう測定動作を制御する測定制御手段と、前
記接触式の工具先端位置検出手段で検出した前記工具の
先端位置とあらかじめ設定した前記主軸の基準位置とか
ら前記工具の工具長を演算する工具長演算手段と、を具
備する工作機械の工具長測定装置。
令により主軸に装着された工具とワークとを相対移動さ
せて前記ワークを加工する工作機械において、前記工具
と相対移動可能な所定位置に設けられた光学式の工具先
端位置検出手段と、前記工具と相対移動可能な所定位置
に設けられ測定子を有した接触式の工具先端位置検出手
段と、前記工具を第一の送り速度で前記光学式の工具先
端位置検出手段の測定領域へ向けて移動させ前記工具の
先端位置を検出するとともに、前記接触式の工具先端位
置検出手段の測定子より所定距離だけ離れた位置へ誘導
し、前記工具を前記第一の送り速度より小さい第二の送
り速度で前記所定位置から前記接触式の工具先端位置検
出手段の測定子へ向けて移動させ、前記工具の先端位置
を検出するよう測定動作を制御する測定制御手段と、前
記接触式の工具先端位置検出手段で検出した前記工具の
先端位置とあらかじめ設定した前記主軸の基準位置とか
ら前記工具の工具長を演算する工具長演算手段と、を具
備する工作機械の工具長測定装置。
【0014】(3) 前記光学式の工具先端位置検出手
段の測定領域の略下方位置に前記接触式の工具先端位置
検出手段の測定子を配置した上記第(2)項に記載の工
作機械の工具長測定装置。
段の測定領域の略下方位置に前記接触式の工具先端位置
検出手段の測定子を配置した上記第(2)項に記載の工
作機械の工具長測定装置。
【0015】
【作用】本件発明の作用を概略、説明すれば、次のとお
りである。 工具交換後の工具を第一の送り速度で軸送りするこ
とにより光学式の非接触形位置検出手段の測定領域に進
入させ工具の先端位置を素速く検出すると共に、前記工
具を触圧の小さな接触式位置検出手段の測定子前の同測
定子に近接した個所まで、第一の送り速度のまま誘導す
る。 工具を接触式位置検出手段の測定子前の同測定子に
近接した個所に到達させると同時に、前記工具の送り速
度を第一の速度に較べ極めて遅い第二の送り速度に減速
する。
りである。 工具交換後の工具を第一の送り速度で軸送りするこ
とにより光学式の非接触形位置検出手段の測定領域に進
入させ工具の先端位置を素速く検出すると共に、前記工
具を触圧の小さな接触式位置検出手段の測定子前の同測
定子に近接した個所まで、第一の送り速度のまま誘導す
る。 工具を接触式位置検出手段の測定子前の同測定子に
近接した個所に到達させると同時に、前記工具の送り速
度を第一の速度に較べ極めて遅い第二の送り速度に減速
する。
【0016】 工具の移動に基づき発生する振動の影
響を避けるために、工具先端が接触式位置検出手段の測
定子に近接した前記個所を通過する時点で、初めて接触
式位置検出手段の検出信号を有効(起動)にする。 工具先端を接触式位置検出手段に近接した前記個所
から、測定子に徐々に第二の送り速度で進入させるこ
と、また、触圧の極めて小さな接触式位置検出手段を採
用することにより、微小径工具の刃先先端が測定子に接
触したときに、欠損、折損が生じないように図る。
響を避けるために、工具先端が接触式位置検出手段の測
定子に近接した前記個所を通過する時点で、初めて接触
式位置検出手段の検出信号を有効(起動)にする。 工具先端を接触式位置検出手段に近接した前記個所
から、測定子に徐々に第二の送り速度で進入させるこ
と、また、触圧の極めて小さな接触式位置検出手段を採
用することにより、微小径工具の刃先先端が測定子に接
触したときに、欠損、折損が生じないように図る。
【0017】 工具先端が接触式位置検出手段の測定
子に接触した信号が送り軸位置検出手段に入力される
と、工具の軸送りを停止すると共に、送り軸位置検出手
段からの前記信号と、あらかじめ記憶させてある工具取
付基準位置とに基づき、工具長演算手段で工具長を機上
において算出する。 以上、述べた方法、装置に基づき、従来、接触式位
置検出手段による自動測定には馴染まない、または不可
能とされた微小径工具の工具長の測定を工具刃先の欠
損、折損を生じることなく、通常の工具長の測定とほ
ぼ、同程度の時間で高精度に測定することが可能とな
り、当該微小径工具による工具交換を含む、連続加工、
加工面に段差が生じることのない高精度加工を可能にし
た。
子に接触した信号が送り軸位置検出手段に入力される
と、工具の軸送りを停止すると共に、送り軸位置検出手
段からの前記信号と、あらかじめ記憶させてある工具取
付基準位置とに基づき、工具長演算手段で工具長を機上
において算出する。 以上、述べた方法、装置に基づき、従来、接触式位
置検出手段による自動測定には馴染まない、または不可
能とされた微小径工具の工具長の測定を工具刃先の欠
損、折損を生じることなく、通常の工具長の測定とほ
ぼ、同程度の時間で高精度に測定することが可能とな
り、当該微小径工具による工具交換を含む、連続加工、
加工面に段差が生じることのない高精度加工を可能にし
た。
【0018】
【発明の実施の形態】以下に、本発明の実施形態につい
て説明するが、本発明の構成要件のうちには、本発明の
出願当時の当業界の技術水準の範囲内で、適宜に変更可
能な部材を含むから、本実施形態のみに基づいて、発明
の要旨を減縮して解することは許されない。図1は、本
発明の工具長測定方法を実施する工作機械の工具長測定
装置の一実施形態の要部側面図及び構成ブロック図、図
2は、図1の矢視Aによる工具交換装置及び工具長測定
装置の要部正面図である。図3は、前記装置の構成要素
の一つである光学式の非接触形位置検出装置の平面図を
示す。
て説明するが、本発明の構成要件のうちには、本発明の
出願当時の当業界の技術水準の範囲内で、適宜に変更可
能な部材を含むから、本実施形態のみに基づいて、発明
の要旨を減縮して解することは許されない。図1は、本
発明の工具長測定方法を実施する工作機械の工具長測定
装置の一実施形態の要部側面図及び構成ブロック図、図
2は、図1の矢視Aによる工具交換装置及び工具長測定
装置の要部正面図である。図3は、前記装置の構成要素
の一つである光学式の非接触形位置検出装置の平面図を
示す。
【0020】まず、図1,図2を参照して、工具長測定
装置を備えたNC工作機械の要部を説明する。図中、N
C工作機械の本体(図示せず)には、工具1を装着した
主軸3が主軸頭5に回転自在に軸支され、NC装置68の
数値制御部69からの指令に基づき、X軸送りモータ7、
Y軸送りモータ9、Z軸送りモータ11及び主軸回転用モ
ータ(図示せず)を駆動することにより、主軸頭5とワー
ク(図示せず)を載置するテーブル13との間で、X,
Y,Z軸の直交3軸方向への相対移動を行わせ、また、
主軸3を主軸頭5内で回転させる。主軸3内に設けたド
ローバー(図示せず)下部には工具1を把持するコレッ
トチャック15が螺着され、主軸3内でドローバーがコレ
ットチャック15と共に上下方向に移動可能なように組付
けてある。
装置を備えたNC工作機械の要部を説明する。図中、N
C工作機械の本体(図示せず)には、工具1を装着した
主軸3が主軸頭5に回転自在に軸支され、NC装置68の
数値制御部69からの指令に基づき、X軸送りモータ7、
Y軸送りモータ9、Z軸送りモータ11及び主軸回転用モ
ータ(図示せず)を駆動することにより、主軸頭5とワー
ク(図示せず)を載置するテーブル13との間で、X,
Y,Z軸の直交3軸方向への相対移動を行わせ、また、
主軸3を主軸頭5内で回転させる。主軸3内に設けたド
ローバー(図示せず)下部には工具1を把持するコレッ
トチャック15が螺着され、主軸3内でドローバーがコレ
ットチャック15と共に上下方向に移動可能なように組付
けてある。
【0021】図2において、テーブル13の側面に取り付
けたブラケット19上にガイド21を設け、前記ガイド21に
よりX軸と平行な方向へ往復移動可能に案内されるキャ
リア23上にマガジンベース25を立設し、工具1を収納す
る工具マガジン17がマガジンベース25上に固定されてい
る。工具マガジン17は、樹脂などの弾性材料からなる板
材で、板厚の中間部に溝部17b が形成された上下二層よ
りなり、工具1を収納する8個の工具ポット17a が形成
されている。各工具1には弾性リング27が嵌着されてお
り、前記弾性リング27が、工具1を工具マガジン17の工
具ポット17a への収納時に前記溝部17b に嵌合して、そ
の上下が挟まれて軸線方向のおよその基準となり、工具
ポット17a に把持される。
けたブラケット19上にガイド21を設け、前記ガイド21に
よりX軸と平行な方向へ往復移動可能に案内されるキャ
リア23上にマガジンベース25を立設し、工具1を収納す
る工具マガジン17がマガジンベース25上に固定されてい
る。工具マガジン17は、樹脂などの弾性材料からなる板
材で、板厚の中間部に溝部17b が形成された上下二層よ
りなり、工具1を収納する8個の工具ポット17a が形成
されている。各工具1には弾性リング27が嵌着されてお
り、前記弾性リング27が、工具1を工具マガジン17の工
具ポット17a への収納時に前記溝部17b に嵌合して、そ
の上下が挟まれて軸線方向のおよその基準となり、工具
ポット17a に把持される。
【0022】キャリア23の左側面(図2参照)に取り付
けたプレート29には、ブラケット19に設けたシリンダ31
のピストンロッド33の一端が固定され、シリンダ31に加
圧空気を供給してロッド33を進退させることにより、キ
ャリア23をガイド21に沿ってX軸と平行な方向へ移動さ
せ、その結果、キャリア23上に立設したマガジンベース
25上に固定された工具マガジン17を、工具交換が可能で
ある前進位置(図2参照)とワークの加工領域外の退避
位置との間で往復移動させることができる。前記プレー
ト29の右側面にプーリ35を回転自在に支持するプーリブ
ラケット37を取り付け、プーリ35と同軸上に固定された
ピニオン39が、ガイド21に取り付けたラック41と噛み合
っている。プレート29には、加工中に切屑や切削液が工
具マガジン17周辺部に付着することを防止するカバー43
が取り付けてあり、前記カバー43には、プーリ45と共動
するマガジンカバー47が同軸上に枢着され、プーリ35,
45との間にベルト49が張設されている。
けたプレート29には、ブラケット19に設けたシリンダ31
のピストンロッド33の一端が固定され、シリンダ31に加
圧空気を供給してロッド33を進退させることにより、キ
ャリア23をガイド21に沿ってX軸と平行な方向へ移動さ
せ、その結果、キャリア23上に立設したマガジンベース
25上に固定された工具マガジン17を、工具交換が可能で
ある前進位置(図2参照)とワークの加工領域外の退避
位置との間で往復移動させることができる。前記プレー
ト29の右側面にプーリ35を回転自在に支持するプーリブ
ラケット37を取り付け、プーリ35と同軸上に固定された
ピニオン39が、ガイド21に取り付けたラック41と噛み合
っている。プレート29には、加工中に切屑や切削液が工
具マガジン17周辺部に付着することを防止するカバー43
が取り付けてあり、前記カバー43には、プーリ45と共動
するマガジンカバー47が同軸上に枢着され、プーリ35,
45との間にベルト49が張設されている。
【0023】通常、工具マガジン17は、ワークの加工領
域外である退避位置にあるが、NC装置68の数値制御部
69から工具交換の指令が送出されたときは、機械制御装
置71に工具マガジン移動指令が送られシリンダ31を作動
させてピストンロッド33を引き込み、プレート29を右行
させて工具マガジン17を工具交換位置に前進させる。同
時に、ガイド21に取り付けたラック41と噛み合っている
ピニオン39及びピニオン39に固定したプーリ35が反時計
方向に回り、ベルト49を介してプーリ45を反時計回りに
回転させ、マカジンカバー47を開く。この状態におい
て、工具マガジン17とNC工作機械の主軸3との間で
X,Y,Z軸方向への相対移動による自動工具交換また
は、工具マガジン17に収納されている工具1の手動によ
る差換えが可能になる。
域外である退避位置にあるが、NC装置68の数値制御部
69から工具交換の指令が送出されたときは、機械制御装
置71に工具マガジン移動指令が送られシリンダ31を作動
させてピストンロッド33を引き込み、プレート29を右行
させて工具マガジン17を工具交換位置に前進させる。同
時に、ガイド21に取り付けたラック41と噛み合っている
ピニオン39及びピニオン39に固定したプーリ35が反時計
方向に回り、ベルト49を介してプーリ45を反時計回りに
回転させ、マカジンカバー47を開く。この状態におい
て、工具マガジン17とNC工作機械の主軸3との間で
X,Y,Z軸方向への相対移動による自動工具交換また
は、工具マガジン17に収納されている工具1の手動によ
る差換えが可能になる。
【0024】すなわち、工具交換時、主軸3に装着され
た工具1を工具マガジン17の工具ポット17a に収納する
ときは、ドローバーを下方に押し出すことによりコレッ
トチャック15を主軸3先端部から突出させ、コレットチ
ャック15を主軸先端部のテーパ穴から開放するように
し、工具1をアンクランプする。工具マガジン17の工具
ポット17a に収納した工具1を主軸3に装着するとき
は、ドローバーを引き上げてコレットチャック15のテー
パ部と主軸3先端部のテーパ穴とを嵌合させることによ
りコレットチャック15に把持力を与え、工具1をクラン
プする。
た工具1を工具マガジン17の工具ポット17a に収納する
ときは、ドローバーを下方に押し出すことによりコレッ
トチャック15を主軸3先端部から突出させ、コレットチ
ャック15を主軸先端部のテーパ穴から開放するように
し、工具1をアンクランプする。工具マガジン17の工具
ポット17a に収納した工具1を主軸3に装着するとき
は、ドローバーを引き上げてコレットチャック15のテー
パ部と主軸3先端部のテーパ穴とを嵌合させることによ
りコレットチャック15に把持力を与え、工具1をクラン
プする。
【0025】加工の妨げとならないテーブル13上の所定
位置には、工具1の先端位置を検出するラインセンサ
(光学式の非接触形検出器)51を設けている。ここで、
ラインセンサ51はテーブル13上に限られず、主軸3、つ
まり工具1と相対移動可能な位置ならば何処に設けられ
ていてもよい。図3(a)に示すように、前記ラインセン
サ51は、テーブル13上に取り付けられたセンサベース51
a 内に、発光ダイオードなどの光源からの光を平行光線
53へ変換するレンズを内蔵する投光部51b と、投光部51
b から投光された光線53を受光する複数個の電荷結合型
素子(CCD)等の受光素子55が所定間隔(たとえば数
μm 間隔)で配列された受光部51c とが設けられ、投光
部51b と受光部51c とは互いに対向するように配置され
ている。工具長測定時に、工具1がラインセンサ51の投
光部51b と受光部51c との間の測定領域に達し、投光部
51b から照射される光線53を遮光したことを受光部51c
の受光素子55で検出し、電気信号に変換している。
位置には、工具1の先端位置を検出するラインセンサ
(光学式の非接触形検出器)51を設けている。ここで、
ラインセンサ51はテーブル13上に限られず、主軸3、つ
まり工具1と相対移動可能な位置ならば何処に設けられ
ていてもよい。図3(a)に示すように、前記ラインセン
サ51は、テーブル13上に取り付けられたセンサベース51
a 内に、発光ダイオードなどの光源からの光を平行光線
53へ変換するレンズを内蔵する投光部51b と、投光部51
b から投光された光線53を受光する複数個の電荷結合型
素子(CCD)等の受光素子55が所定間隔(たとえば数
μm 間隔)で配列された受光部51c とが設けられ、投光
部51b と受光部51c とは互いに対向するように配置され
ている。工具長測定時に、工具1がラインセンサ51の投
光部51b と受光部51c との間の測定領域に達し、投光部
51b から照射される光線53を遮光したことを受光部51c
の受光素子55で検出し、電気信号に変換している。
【0026】なお、図示していないが、センサベース51
a の測定領域入口部と底部に、ラインセンサ51に故障が
発生したり誤作動が生じたときに備えて、工具1との接
触を検出する接触板を設けてもよい。前記底部の接触板
には、工具長測定時に、工具1からラインセンサ51の測
定領域に飛散する切屑や切削液が投光部51b 及び受光部
51c を汚さないようにすると共に、投光部51b 及び受光
部51c の曇り止めの効果も奏するように、測定領域に向
け加圧空気を上向きに噴出する複数個のノズルが配設さ
れていてもよい。前記加圧空気は、工具1に向けても噴
射すれば、工具長測定時に工具1の刃先等に付着した切
屑、切削液などを測定領域外に吹き飛ばすことも可能で
ある。
a の測定領域入口部と底部に、ラインセンサ51に故障が
発生したり誤作動が生じたときに備えて、工具1との接
触を検出する接触板を設けてもよい。前記底部の接触板
には、工具長測定時に、工具1からラインセンサ51の測
定領域に飛散する切屑や切削液が投光部51b 及び受光部
51c を汚さないようにすると共に、投光部51b 及び受光
部51c の曇り止めの効果も奏するように、測定領域に向
け加圧空気を上向きに噴出する複数個のノズルが配設さ
れていてもよい。前記加圧空気は、工具1に向けても噴
射すれば、工具長測定時に工具1の刃先等に付着した切
屑、切削液などを測定領域外に吹き飛ばすことも可能で
ある。
【0027】前記ラインセンサ51を取り囲むように設け
たセンサカバー57は、加工中に飛散する切屑や切削液が
ラインセンサ51周辺部に付着するのを防止するものであ
り、工具長測定時には、シリンダ(図示せず)に加圧空
気が供給されて開き、ラインセンサ51の測定領域を工具
1に対して開放する。再び、図1を参照して、前記ライ
ンセンサ51の測定領域に対し主軸3の軸送り方向(Z軸
方向)に沿って、より下方位置に測定領域を有し、か
つ、加工の妨げとならないテーブル13上の所定位置に工
具先端位置検出のための接触式センサ63を設けている。
接触式センサ63もラインセンサ51と同様、テーブル13上
に限らず、工具1と相対移動可能な位置ならば何処に設
けられていてもよい。
たセンサカバー57は、加工中に飛散する切屑や切削液が
ラインセンサ51周辺部に付着するのを防止するものであ
り、工具長測定時には、シリンダ(図示せず)に加圧空
気が供給されて開き、ラインセンサ51の測定領域を工具
1に対して開放する。再び、図1を参照して、前記ライ
ンセンサ51の測定領域に対し主軸3の軸送り方向(Z軸
方向)に沿って、より下方位置に測定領域を有し、か
つ、加工の妨げとならないテーブル13上の所定位置に工
具先端位置検出のための接触式センサ63を設けている。
接触式センサ63もラインセンサ51と同様、テーブル13上
に限らず、工具1と相対移動可能な位置ならば何処に設
けられていてもよい。
【0028】さきに述べたとおり、従来、機械加工の高
速化、測定時間の短縮化を目的として、工具長測定用の
接触式センサに対する測定進入速度を高速化し、それに
応じ測定子の触圧を100〜150g程度に高くして、
軸送りに基づき発生する振動が測定精度に影響しないよ
うにするのが一般的であるが、本実施形態の接触式セン
サ63では、この測定子65の触圧を20〜25g程度に小
さくして、工具先端の接触時に、刃先の欠損、折損が生
じないよう設計している。さらに、測定領域に進入する
工具1の送り速度を遅くして、工具長測定時には工具先
端が緩やかに測定子65に当るように配慮されてる。な
お、接触式センサ63にも、同センサ63を取り囲むように
センサカバー67が設けてあり、加工中に飛散する切屑や
切削液が接触式センサ63周辺部に付着するのを防止して
いる。このセンサカバー67も工具長測定時にはシリンダ
(図示せず)にエアが供給されて開き、接触式センサ63
の測定領域を開放する。
速化、測定時間の短縮化を目的として、工具長測定用の
接触式センサに対する測定進入速度を高速化し、それに
応じ測定子の触圧を100〜150g程度に高くして、
軸送りに基づき発生する振動が測定精度に影響しないよ
うにするのが一般的であるが、本実施形態の接触式セン
サ63では、この測定子65の触圧を20〜25g程度に小
さくして、工具先端の接触時に、刃先の欠損、折損が生
じないよう設計している。さらに、測定領域に進入する
工具1の送り速度を遅くして、工具長測定時には工具先
端が緩やかに測定子65に当るように配慮されてる。な
お、接触式センサ63にも、同センサ63を取り囲むように
センサカバー67が設けてあり、加工中に飛散する切屑や
切削液が接触式センサ63周辺部に付着するのを防止して
いる。このセンサカバー67も工具長測定時にはシリンダ
(図示せず)にエアが供給されて開き、接触式センサ63
の測定領域を開放する。
【0029】工作機械の制御手段は、NC装置68と機械
制御装置71とにより構成される。NC装置68内の数値制
御部69は、加工プログラム及び工具長測定プログラムで
なるNCプログラムを読み取り、解読して直線補間や円
弧補間の演算を行い、移動指令をサーボ部を通してX軸
送りモータ7、Y軸送りモータ9、Z軸送りモータ11に
送出して各軸送りモータの駆動制御を行うと共に、主軸
回転用モータに主軸3の回転指令を送出する。また、N
Cプログラムの加工プログラムには工具交換指令などが
含まれ、加工工程において工具交換指令が送出されたと
きには、加工の一時中止、工具マガジン17の移動、主軸
3のX,Y,Z軸方向への移動による工具1の交換等の
指令を、順次、プログラムに従って機械制御装置71へ送
出する。
制御装置71とにより構成される。NC装置68内の数値制
御部69は、加工プログラム及び工具長測定プログラムで
なるNCプログラムを読み取り、解読して直線補間や円
弧補間の演算を行い、移動指令をサーボ部を通してX軸
送りモータ7、Y軸送りモータ9、Z軸送りモータ11に
送出して各軸送りモータの駆動制御を行うと共に、主軸
回転用モータに主軸3の回転指令を送出する。また、N
Cプログラムの加工プログラムには工具交換指令などが
含まれ、加工工程において工具交換指令が送出されたと
きには、加工の一時中止、工具マガジン17の移動、主軸
3のX,Y,Z軸方向への移動による工具1の交換等の
指令を、順次、プログラムに従って機械制御装置71へ送
出する。
【0030】機械制御装置71は、測定制御部73、工具長
演算部75、データ記憶部77及び送り軸位置検出部79より
構成されている。測定制御部73には、NCプログラムの
工具長測定プログラムが記憶され、ラインセンサ51また
は接触式センサ63の測定領域への工具移動指令、ライン
センサ51への工具アプローチ速度(第一送り速度)指
令、接触式センサ63の測定子65への工具アプローチ速度
(第二送り速度)指令、接触式センサ63の測定子65から
所定距離離れた位置(工具アプローチ速度を第一送り速
度から第二送り速度へ減速する送り軸の位置)への工具
移動指令などが含まれる。
演算部75、データ記憶部77及び送り軸位置検出部79より
構成されている。測定制御部73には、NCプログラムの
工具長測定プログラムが記憶され、ラインセンサ51また
は接触式センサ63の測定領域への工具移動指令、ライン
センサ51への工具アプローチ速度(第一送り速度)指
令、接触式センサ63の測定子65への工具アプローチ速度
(第二送り速度)指令、接触式センサ63の測定子65から
所定距離離れた位置(工具アプローチ速度を第一送り速
度から第二送り速度へ減速する送り軸の位置)への工具
移動指令などが含まれる。
【0031】データ記憶部には、工具長を演算する基準
となる送り軸の位置(キャリブレーションデータ)が、
加工を行う前にあらかじめ求められ、記憶されている。
キャリブレーションデータは、主軸1の先端部がライン
センサ51における遮光を検出したときの送り軸の位置及
び主軸1の先端部が接触式センサ63の測定子65における
接触を検出したときの送り軸の位置である。キャリブレ
ーションデータを求める際に、主軸1の先端部を各セン
サ51,63にアプローチするときに、主軸1の外径によっ
ては主軸1と各センサ本体51,63との干渉が発生するこ
とが想定される。そこで、工具長が既知の工具を主軸1
に装着して、当該工具が各センサ51,63における遮光ま
たは接触を検出したときの送り軸の位置を検出して、こ
れらの検出位置と既知の工具長とから主軸1の先端部が
各センサ51,63における遮光または接触を検出したとき
の送り軸の位置を逆算するようにしている。
となる送り軸の位置(キャリブレーションデータ)が、
加工を行う前にあらかじめ求められ、記憶されている。
キャリブレーションデータは、主軸1の先端部がライン
センサ51における遮光を検出したときの送り軸の位置及
び主軸1の先端部が接触式センサ63の測定子65における
接触を検出したときの送り軸の位置である。キャリブレ
ーションデータを求める際に、主軸1の先端部を各セン
サ51,63にアプローチするときに、主軸1の外径によっ
ては主軸1と各センサ本体51,63との干渉が発生するこ
とが想定される。そこで、工具長が既知の工具を主軸1
に装着して、当該工具が各センサ51,63における遮光ま
たは接触を検出したときの送り軸の位置を検出して、こ
れらの検出位置と既知の工具長とから主軸1の先端部が
各センサ51,63における遮光または接触を検出したとき
の送り軸の位置を逆算するようにしている。
【0032】送り軸位置検出部79では、NC装置68の数
値制御部69から各軸送りモータ7,9,11に送出される
移動指令により、ロータリエンコーダ8,10,12やリニ
アスケールなどを介してX,Y,Z軸の各送り軸の位置
を刻々読み込んでおり、工具長測定時に、工具1先端部
の各センサ51,63における遮光または接触信号を受け
て、そのときのX,Y,Z軸の各送り軸の位置を検出す
ることができる。工具長演算部75では、工具長測定時
に、工具1先端部の各センサ51,63による遮光または接
触を検出したときの送り軸位置検出部79におけるX,
Y,Z軸の各送り軸の位置データと、データ記憶部77に
記憶された主軸1の先端部の基準位置データとから工具
長を演算する。また、必要に応じて、工具長の変位量で
ある工具オフセット量を演算して、測定制御部73を介し
てNC装置68の数値制御部69へ送出している。
値制御部69から各軸送りモータ7,9,11に送出される
移動指令により、ロータリエンコーダ8,10,12やリニ
アスケールなどを介してX,Y,Z軸の各送り軸の位置
を刻々読み込んでおり、工具長測定時に、工具1先端部
の各センサ51,63における遮光または接触信号を受け
て、そのときのX,Y,Z軸の各送り軸の位置を検出す
ることができる。工具長演算部75では、工具長測定時
に、工具1先端部の各センサ51,63による遮光または接
触を検出したときの送り軸位置検出部79におけるX,
Y,Z軸の各送り軸の位置データと、データ記憶部77に
記憶された主軸1の先端部の基準位置データとから工具
長を演算する。また、必要に応じて、工具長の変位量で
ある工具オフセット量を演算して、測定制御部73を介し
てNC装置68の数値制御部69へ送出している。
【0033】(実施形態1)以上、述べた工作機械の工
具長測定装置に基づいて、本実施形態の工具長測定方法
を説明する。 (1)所望形状の加工に使用する複数の微小径工具を含
む工具1に対し弾性リング27を嵌着して、工具マガジン
17の工具ポット17a に収納する。主軸3に別の工具1が
装着されている場合には、前記工具1を返却、交換する
ための空の工具ポット17a を、工具マガジン17に設けて
おく必要がある(図1参照)。 (2)NC装置68の数値制御部69から工具交換指令が送
出されると、機械制御装置71に工具マガジン移動指令が
送られ、シリンダ31(図2参照)に加圧空気が供給さ
れ、工具マガジン17が工具交換可能な位置まで前進する
と共に、マガジンカバー47を開放する。その後、工具マ
ガジン17と主軸3との間で、X,Y,Z軸方向への相対
移動により自動工具交換が行われる。その都度、上述し
たとおり、主軸3のコレットチャック15を開閉して工具
1の開放、装着が行われる。
具長測定装置に基づいて、本実施形態の工具長測定方法
を説明する。 (1)所望形状の加工に使用する複数の微小径工具を含
む工具1に対し弾性リング27を嵌着して、工具マガジン
17の工具ポット17a に収納する。主軸3に別の工具1が
装着されている場合には、前記工具1を返却、交換する
ための空の工具ポット17a を、工具マガジン17に設けて
おく必要がある(図1参照)。 (2)NC装置68の数値制御部69から工具交換指令が送
出されると、機械制御装置71に工具マガジン移動指令が
送られ、シリンダ31(図2参照)に加圧空気が供給さ
れ、工具マガジン17が工具交換可能な位置まで前進する
と共に、マガジンカバー47を開放する。その後、工具マ
ガジン17と主軸3との間で、X,Y,Z軸方向への相対
移動により自動工具交換が行われる。その都度、上述し
たとおり、主軸3のコレットチャック15を開閉して工具
1の開放、装着が行われる。
【0034】(3)工具交換が完了すると、再び、シリ
ンダ31に加圧空気が供給され、工具マガジン17を旧位置
まで後退させると共に、マガジンカバー47を回動させ、
工具マガジン17をカバーする。 (4)工具交換後に、機械制御装置71の測定制御部73に
記憶された工具長測定プログラムからの指令に基づき、
工具1が、ラインセンサ51の測定領域上に位置決めされ
る。 (5)次いで、ラインセンサ51及び接触式センサ63のセ
ンサカバー57,67を開放状態とすると共に、ラインセン
サ51の投光部51b から受光部51c に向けて、光線53を照
射する。このときは、まだ、接触式センサ63は、起動し
ていない。
ンダ31に加圧空気が供給され、工具マガジン17を旧位置
まで後退させると共に、マガジンカバー47を回動させ、
工具マガジン17をカバーする。 (4)工具交換後に、機械制御装置71の測定制御部73に
記憶された工具長測定プログラムからの指令に基づき、
工具1が、ラインセンサ51の測定領域上に位置決めされ
る。 (5)次いで、ラインセンサ51及び接触式センサ63のセ
ンサカバー57,67を開放状態とすると共に、ラインセン
サ51の投光部51b から受光部51c に向けて、光線53を照
射する。このときは、まだ、接触式センサ63は、起動し
ていない。
【0035】(6)工具1をラインセンサ51の測定領域
に向け、たとえば2000mm/min 程度の送り速度(第一送
り速度)でZ軸方向へ移動させる。 (7)工具1の先端部によりラインセンサ51の受光部51
c に向けた光線53を遮光した出力が、NC装置68の数値
制御部69に送出されて工具1のZ軸方向への移動を一時
停止または減速させる。同時に、機械制御装置71の送り
軸位置検出部79では、工具1の先端部によるラインセン
サ51の遮光出力を受けて、その瞬間の送り軸(Z軸)の
位置を検出する。こうして、主軸3に装着された当該工
具1の先端位置を求めることができる。 (8)その後、工具1を接触式センサ63の測定子65上に
移動させ、さきの工具1の先端部が接触式センサ63の測
定子65の上方位置、たとえば、50μm 程度上方位置に達
するまで、再度工具1を第一送り速度でZ軸方向へ移動
させると共に、同位置に達すると同時に、工具1の送り
速度を、たとえば、0.3 mm/min 程度のかなり遅い送り
速度(第二送り速度)に減速させて、接触式センサ63の
測定子65に向けて移動させる。ここで、工具1の送り速
度が第二送り速度に減速されると同時に、測定子65の触
圧が20〜25g程度の接触式センサ63を起動させる
(接触式センサ63からの検出出力を有効にする)ように
して、軸送りにより生じる振動が接触式センサ63の検出
精度に影響しないよう図られている。
に向け、たとえば2000mm/min 程度の送り速度(第一送
り速度)でZ軸方向へ移動させる。 (7)工具1の先端部によりラインセンサ51の受光部51
c に向けた光線53を遮光した出力が、NC装置68の数値
制御部69に送出されて工具1のZ軸方向への移動を一時
停止または減速させる。同時に、機械制御装置71の送り
軸位置検出部79では、工具1の先端部によるラインセン
サ51の遮光出力を受けて、その瞬間の送り軸(Z軸)の
位置を検出する。こうして、主軸3に装着された当該工
具1の先端位置を求めることができる。 (8)その後、工具1を接触式センサ63の測定子65上に
移動させ、さきの工具1の先端部が接触式センサ63の測
定子65の上方位置、たとえば、50μm 程度上方位置に達
するまで、再度工具1を第一送り速度でZ軸方向へ移動
させると共に、同位置に達すると同時に、工具1の送り
速度を、たとえば、0.3 mm/min 程度のかなり遅い送り
速度(第二送り速度)に減速させて、接触式センサ63の
測定子65に向けて移動させる。ここで、工具1の送り速
度が第二送り速度に減速されると同時に、測定子65の触
圧が20〜25g程度の接触式センサ63を起動させる
(接触式センサ63からの検出出力を有効にする)ように
して、軸送りにより生じる振動が接触式センサ63の検出
精度に影響しないよう図られている。
【0036】(9)工具1の先端部により接触式センサ
63の測定子65に接触した出力が、NC装置68の数値制御
部69に送出されて工具1のZ軸方向への移動を停止させ
る。同時に、機械制御装置71の送り軸位置検出部79で
は、工具1の先端部による接触式センサ63の接触圧力を
うけて、その瞬間の送り軸(Z軸)の位置を検出して、
工具長演算部75に送出する。よって、接触式センサ63
の触圧が極めて小さい測定子65に、工具1をかなり遅い
送り速度で軸送りして接触させるようにしたので、微小
径工具であっても工具刃先が欠損または折損するおそれ
がない。 (10)機械制御装置71の送り軸位置検出部79で検出、送
出された、工具1の先端部が接触式センサ63の測定子65
に接触した瞬間の送り軸(Z軸)の位置と、データ記憶
部77で記憶された送り軸の基準位置データ、つまり主軸
1の先端部の基準位置データとを受けて、工具長演算部
75では当該工具1の工具長を演算する。
63の測定子65に接触した出力が、NC装置68の数値制御
部69に送出されて工具1のZ軸方向への移動を停止させ
る。同時に、機械制御装置71の送り軸位置検出部79で
は、工具1の先端部による接触式センサ63の接触圧力を
うけて、その瞬間の送り軸(Z軸)の位置を検出して、
工具長演算部75に送出する。よって、接触式センサ63
の触圧が極めて小さい測定子65に、工具1をかなり遅い
送り速度で軸送りして接触させるようにしたので、微小
径工具であっても工具刃先が欠損または折損するおそれ
がない。 (10)機械制御装置71の送り軸位置検出部79で検出、送
出された、工具1の先端部が接触式センサ63の測定子65
に接触した瞬間の送り軸(Z軸)の位置と、データ記憶
部77で記憶された送り軸の基準位置データ、つまり主軸
1の先端部の基準位置データとを受けて、工具長演算部
75では当該工具1の工具長を演算する。
【0037】(実施形態2)図3(b)に示すとおりのレ
ーザセンサ59を、前記〈実施形態1〉に説明した工具長
測定方法、装置の構成要素のうちのラインセンサ51に代
えてテーブル13上に配置し、構成する。レーザセンサ59
も、ラインセンサ51と同様、工具1と相対移動可能な位
置にあればよい。ラインセンサ51の光線53には幅を持た
せてあるために、工具1を回転させなくても工具1の先
端部の最も突出した位置を検出することができる。前記
レーザセンサ59の投光部59b は、一本のビーム状(レー
ザ)光線61を対向する受光部59c に向けて照射するだけ
であるので、工具長測定時には、工具1を回転(通常、
加工状態における回転数とする)させながらレーザセン
サ59の投光部59b と受光部59c との間の測定領域に進入
させるようにしなければ、工具1の先端部の最も突出し
た位置を検出することができず、精度の高い工具長測定
ができないとされている。
ーザセンサ59を、前記〈実施形態1〉に説明した工具長
測定方法、装置の構成要素のうちのラインセンサ51に代
えてテーブル13上に配置し、構成する。レーザセンサ59
も、ラインセンサ51と同様、工具1と相対移動可能な位
置にあればよい。ラインセンサ51の光線53には幅を持た
せてあるために、工具1を回転させなくても工具1の先
端部の最も突出した位置を検出することができる。前記
レーザセンサ59の投光部59b は、一本のビーム状(レー
ザ)光線61を対向する受光部59c に向けて照射するだけ
であるので、工具長測定時には、工具1を回転(通常、
加工状態における回転数とする)させながらレーザセン
サ59の投光部59b と受光部59c との間の測定領域に進入
させるようにしなければ、工具1の先端部の最も突出し
た位置を検出することができず、精度の高い工具長測定
ができないとされている。
【0038】なお、51a は、レーザセンサ59のセンサベ
ースである。その他の構成、たとえば、センサカバー、
接触板等のセンサ付属機器については、前記ラインセン
サ51のそれと同一と理解してもよい。本実施形態におい
ては、工具1の先端位置の検出が接触式センサ63により
行われる段階では、主軸3の回転を停止させる。その他
の工具先端位置の測定手段、構成、作用は、(実施形態
1)に説明したとおりである。
ースである。その他の構成、たとえば、センサカバー、
接触板等のセンサ付属機器については、前記ラインセン
サ51のそれと同一と理解してもよい。本実施形態におい
ては、工具1の先端位置の検出が接触式センサ63により
行われる段階では、主軸3の回転を停止させる。その他
の工具先端位置の測定手段、構成、作用は、(実施形態
1)に説明したとおりである。
【0039】(実施形態3)上述した2つの実施形態に
おける工具長測定方法、装置においては少なくとも、光
学式の非接触形センサと接触式センサ63とを併用して、
従来、接触式センサ63のみでは困難とされていた微小径
工具の工具長測定を、工具刃先の欠損または折損を起こ
すことなく、短時間、高精度で測定することを可能とし
た。この場合、さきの工具長測定方法、装置の構成から
みて、光学式の非接触形センサと接触式センサ63とを工
具1の軸送り(Z軸)方向に沿って併設すれば、工具1
を前記非接触形センサの測定領域から接触式センサ63の
測定子65まで一気に移動させることができ、X,Y軸方
向に水平移動させる動作、時間を節減することができ、
ひいては測定時間を短縮できることは明らかである。
おける工具長測定方法、装置においては少なくとも、光
学式の非接触形センサと接触式センサ63とを併用して、
従来、接触式センサ63のみでは困難とされていた微小径
工具の工具長測定を、工具刃先の欠損または折損を起こ
すことなく、短時間、高精度で測定することを可能とし
た。この場合、さきの工具長測定方法、装置の構成から
みて、光学式の非接触形センサと接触式センサ63とを工
具1の軸送り(Z軸)方向に沿って併設すれば、工具1
を前記非接触形センサの測定領域から接触式センサ63の
測定子65まで一気に移動させることができ、X,Y軸方
向に水平移動させる動作、時間を節減することができ、
ひいては測定時間を短縮できることは明らかである。
【0040】図4は、(実施形態1)の光学式の非接触
形センサ51と接触式センサ63の要素について、上記の趣
旨に沿って上下方向に相互位置を配置し直した別の実施
形態の要部側面図である。図中、図1,2及び3記載の
センサ構成部材に付した符号と、同一の符号を付した部
材は、図1,2及び3に説明のものと同一である。本実
施形態では、光学式の非接触形センサ51の測定領域と、
接触式センサ63の測定子65とは垂直方向に重なってお
り、工具1のZ軸方向への移動のみで工具1の先端位置
検出が可能であり、したがって、光学式の非接触形セン
サ51の測定領域と接触式センサ63の測定子65との間で、
工具1の水平面のX,Y軸方向への移動は必要でない。
形センサ51と接触式センサ63の要素について、上記の趣
旨に沿って上下方向に相互位置を配置し直した別の実施
形態の要部側面図である。図中、図1,2及び3記載の
センサ構成部材に付した符号と、同一の符号を付した部
材は、図1,2及び3に説明のものと同一である。本実
施形態では、光学式の非接触形センサ51の測定領域と、
接触式センサ63の測定子65とは垂直方向に重なってお
り、工具1のZ軸方向への移動のみで工具1の先端位置
検出が可能であり、したがって、光学式の非接触形セン
サ51の測定領域と接触式センサ63の測定子65との間で、
工具1の水平面のX,Y軸方向への移動は必要でない。
【0041】当該光学式の非接触形センサは、ラインセ
ンサ51でも、レーザセンサ59であっても良い。主軸3の
回転は、前記センサの型式に対応し、さきの説明のとお
り、プログラムされいてる。その他の構成、作用につい
ては、(実施形態1)記載の説明を参照すること。本発
明の実施形態を、主軸が垂直軸線回りに回転する立形マ
シニングセンタの形態に基づいて説明したが、主軸が水
平軸線回りに回転する横形マシニングセンタにも応用で
きることはいうまでもない。
ンサ51でも、レーザセンサ59であっても良い。主軸3の
回転は、前記センサの型式に対応し、さきの説明のとお
り、プログラムされいてる。その他の構成、作用につい
ては、(実施形態1)記載の説明を参照すること。本発
明の実施形態を、主軸が垂直軸線回りに回転する立形マ
シニングセンタの形態に基づいて説明したが、主軸が水
平軸線回りに回転する横形マシニングセンタにも応用で
きることはいうまでもない。
【0042】
【発明の効果】本発明によれば、 光学式非接触形センサと触圧の小さな接触式センサ
とを併設することにより、従来、不可能または困難とさ
れていた微小径工具の工具長の自動測定が可能となり、
微小径工具を順次交換しても、交換後にその工具長を精
密に測定することができ、ワーク加工面に段差が生じる
ことのない、高精度な加工を連続的に行うことができ
る。 光学式非接触形センサにより工具の先端位置を検出
し、これを素速く触圧の小さな接触式センサの測定子近
接個所まで誘導し、以後、極めて緩やかな工具の軸送り
をさせることにより、工具刃先の欠損、折損事故がな
く、短時間で精度良く効率的に工具長の測定ができる。
等々、従来方法、装置には、期待することができない、
作用、効果を奏することができる。
とを併設することにより、従来、不可能または困難とさ
れていた微小径工具の工具長の自動測定が可能となり、
微小径工具を順次交換しても、交換後にその工具長を精
密に測定することができ、ワーク加工面に段差が生じる
ことのない、高精度な加工を連続的に行うことができ
る。 光学式非接触形センサにより工具の先端位置を検出
し、これを素速く触圧の小さな接触式センサの測定子近
接個所まで誘導し、以後、極めて緩やかな工具の軸送り
をさせることにより、工具刃先の欠損、折損事故がな
く、短時間で精度良く効率的に工具長の測定ができる。
等々、従来方法、装置には、期待することができない、
作用、効果を奏することができる。
【図1】本発明工具長測定方法を実施する工作機械の工
具長測定装置の一実施形態を示す要部側面図及び構成ブ
ロック図である。
具長測定装置の一実施形態を示す要部側面図及び構成ブ
ロック図である。
【図2】図1の矢視Aによる工具交換装置及び工具長測
定装置の要部正面図である。
定装置の要部正面図である。
【図3】光学式の非接触形位置検出装置の平面図であ
る。
る。
【図4】本発明工具長測定方法を実施する工作機械の工
具長測定装置の別の実施形態の要部側面図である。
具長測定装置の別の実施形態の要部側面図である。
1 工具 3 主軸 13 テーブル 51 ラインセンサ 53,61 光線 59 レーザセンサ 63 接触式センサ 65 測定子 68 NC装置 69 数値制御部 71 機械制御装置 73 測定制御部 75 工具長演算部 77 データ記憶部 79 送り軸位置検出部
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成9年10月3日
【手続補正1】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の詳細な説明
【補正方法】変更
【補正内容】
【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、NCフライス盤や
マシニングセンタ等の工作機械の主軸に装着された工
具、特に微小径の工具の工具長を測定する工作機械の工
具長測定方法及び装置に関する。
マシニングセンタ等の工作機械の主軸に装着された工
具、特に微小径の工具の工具長を測定する工作機械の工
具長測定方法及び装置に関する。
【0002】
【従来の技術】近年、様々な形状・材質よりなる微小径
の工具、たとえば、ダイヤモンドなど材質的に非常に脆
い工具、工具径が0.1mmφ程度の極小径ドリル(材
質、超硬)、刃先が非常に鋭利な彫刻用の半月形状の工
具等を用いて、高速、かつ、高精度に微細な加工を行う
工作機械が出現している。こうした工作機械において
は、たとえば、加工に必要な工具をあらかじめ用意して
おき、NCフライス盤やマシニングセンタ等の工作機械
に付属した自動工具交換装置を利用して工作機械の主軸
に前記工具を順次、装着して所望形状の加工を自動的に
行うようにしている。
の工具、たとえば、ダイヤモンドなど材質的に非常に脆
い工具、工具径が0.1mmφ程度の極小径ドリル(材
質、超硬)、刃先が非常に鋭利な彫刻用の半月形状の工
具等を用いて、高速、かつ、高精度に微細な加工を行う
工作機械が出現している。こうした工作機械において
は、たとえば、加工に必要な工具をあらかじめ用意して
おき、NCフライス盤やマシニングセンタ等の工作機械
に付属した自動工具交換装置を利用して工作機械の主軸
に前記工具を順次、装着して所望形状の加工を自動的に
行うようにしている。
【0003】ここに、工作機械の自動工具交換装置の一
例として、本出願人の出願による特開平8−17436
4号公報に示されたNC工作機械の工具交換装置(以
下、「第1の従来技術」という)がある。これは、工具
を収納する工具ポットを複数個設けた工具マガジンと工
作機械の主軸との間に工具転送アームを介在させず、工
具マガジンと工作機械の主軸との間のX,Y,Z軸方向
への相対移動により直接的に工具交換を行うアームレス
方式と、工具を一旦、工具ホルダに固定して工具ホルダ
ごと工具交換を行うのではなく、工具ホルダを介在させ
ずに工具を工具マガジンと工作機械の主軸との間で、直
接的に交換するホルダレス方式との、両方式を採用した
工具交換装置である。
例として、本出願人の出願による特開平8−17436
4号公報に示されたNC工作機械の工具交換装置(以
下、「第1の従来技術」という)がある。これは、工具
を収納する工具ポットを複数個設けた工具マガジンと工
作機械の主軸との間に工具転送アームを介在させず、工
具マガジンと工作機械の主軸との間のX,Y,Z軸方向
への相対移動により直接的に工具交換を行うアームレス
方式と、工具を一旦、工具ホルダに固定して工具ホルダ
ごと工具交換を行うのではなく、工具ホルダを介在させ
ずに工具を工具マガジンと工作機械の主軸との間で、直
接的に交換するホルダレス方式との、両方式を採用した
工具交換装置である。
【0004】ところで、上記「第1の従来技術」に示す
工具交換装置を利用して所望の工具を工作機械の主軸に
直接的に装着する場合には、前記工具交換装置の機構
上、工具交換の都度、工具長にばらつきが生ずる。ま
た、所望の工具を工作機械の主軸に工具ホルダを介在さ
せて装着する場合にも、主軸への工具ホルダの装着状態
によっては、工具交換の都度、工具長にばらつきが生じ
ることがある。そこで、工具交換後に工作機械の機上で
主軸に装着された工具の工具長を測定し、必要に応じて
工具長の変位量を演算し、その変位量を算入、補正した
上で加工を行うことにより、高精度の加工を実現してい
る。
工具交換装置を利用して所望の工具を工作機械の主軸に
直接的に装着する場合には、前記工具交換装置の機構
上、工具交換の都度、工具長にばらつきが生ずる。ま
た、所望の工具を工作機械の主軸に工具ホルダを介在さ
せて装着する場合にも、主軸への工具ホルダの装着状態
によっては、工具交換の都度、工具長にばらつきが生じ
ることがある。そこで、工具交換後に工作機械の機上で
主軸に装着された工具の工具長を測定し、必要に応じて
工具長の変位量を演算し、その変位量を算入、補正した
上で加工を行うことにより、高精度の加工を実現してい
る。
【0005】工作機械の機上で工具長の測定を行う装置
としては、上記した「第1の従来技術」に示すように、
工作機械の機上で加工の妨げとならない所定位置にタッ
チセンサなどの接触式検出器を設け、工具交換後に主軸
に装着された工具を接触式検出器の測定子に接触させ、
基準位置から接触位置までの主軸の移動量に基づいて工
具長を演算して求める、いわゆる、接触式工具長測定装
置が知られている。
としては、上記した「第1の従来技術」に示すように、
工作機械の機上で加工の妨げとならない所定位置にタッ
チセンサなどの接触式検出器を設け、工具交換後に主軸
に装着された工具を接触式検出器の測定子に接触させ、
基準位置から接触位置までの主軸の移動量に基づいて工
具長を演算して求める、いわゆる、接触式工具長測定装
置が知られている。
【0006】また、本出願人の出願による特願平8−1
40648号(以下、「第2の従来技術」という)に示
すように、工作機械の機上で加工の妨げとならない所定
位置に投光部と受光部とを備えた光学式非接触形検出器
を設け、工具交換後に主軸に装着された工具を非接触形
検出器の測定領域に移動させ、基準位置から遮光検出位
置までの主軸の移動量に基づいて工具長を演算して求め
る、いわゆる、非接触式の工具長測定装置も存在する。
40648号(以下、「第2の従来技術」という)に示
すように、工作機械の機上で加工の妨げとならない所定
位置に投光部と受光部とを備えた光学式非接触形検出器
を設け、工具交換後に主軸に装着された工具を非接触形
検出器の測定領域に移動させ、基準位置から遮光検出位
置までの主軸の移動量に基づいて工具長を演算して求め
る、いわゆる、非接触式の工具長測定装置も存在する。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】工具交換後に主軸に装
着された微小径の工具、たとえば、上述したダイヤモン
ドなどの材質的に非常に脆い材料からなる工具、工具径
が0.1mmφ程度の極小径ドリル、刃先が非常に鋭利
な形状の彫刻用工具等(以下、「微小径の工具」とい
う)の工具長測定は、従来、工具を加工時における回転
数で回転させながらオペレータが手動で工具を徐々に移
動させ、工具刃先の欠損や折損を招かないように細心の
注意を払いながら工具を工作機械の機上に設けた基準面
に接触させると共に、基準位置から接触位置までの主軸
の移動量に基づいて工具長の演算を行うようにしてい
る。しかし、これでは、工具長の測定時に人が介在しな
ければならず、工具長の測定から加工までを自動的に行
うことができない。さらに、工具刃先を欠損、折損させ
ないよう測定中には細心の注意が必要であり、測定には
熟練と相当時間を必要とする。
着された微小径の工具、たとえば、上述したダイヤモン
ドなどの材質的に非常に脆い材料からなる工具、工具径
が0.1mmφ程度の極小径ドリル、刃先が非常に鋭利
な形状の彫刻用工具等(以下、「微小径の工具」とい
う)の工具長測定は、従来、工具を加工時における回転
数で回転させながらオペレータが手動で工具を徐々に移
動させ、工具刃先の欠損や折損を招かないように細心の
注意を払いながら工具を工作機械の機上に設けた基準面
に接触させると共に、基準位置から接触位置までの主軸
の移動量に基づいて工具長の演算を行うようにしてい
る。しかし、これでは、工具長の測定時に人が介在しな
ければならず、工具長の測定から加工までを自動的に行
うことができない。さらに、工具刃先を欠損、折損させ
ないよう測定中には細心の注意が必要であり、測定には
熟練と相当時間を必要とする。
【0008】また、上記した「第2の従来技術」に示す
ような光学式の非接触形検出器を利用して工具交換後に
主軸に装着した微小径の工具の工具長測定を行う場合に
は、工具の刃先形状や工具の刃先に付着した切削液の油
膜の影響で、光学式の非接触形検出器の投光部から照射
される光線が回折現象(光が障害物の端を通過して伝播
する時に、その後方の影の部分に侵入する現象)を引き
起こして受光部に向けて直進し難くなり、工具長測定時
に工具の遮光検出位置に僅かな誤差を生じ、厳密で高精
度な工具長測定を行うことが困難となってしまう。
ような光学式の非接触形検出器を利用して工具交換後に
主軸に装着した微小径の工具の工具長測定を行う場合に
は、工具の刃先形状や工具の刃先に付着した切削液の油
膜の影響で、光学式の非接触形検出器の投光部から照射
される光線が回折現象(光が障害物の端を通過して伝播
する時に、その後方の影の部分に侵入する現象)を引き
起こして受光部に向けて直進し難くなり、工具長測定時
に工具の遮光検出位置に僅かな誤差を生じ、厳密で高精
度な工具長測定を行うことが困難となってしまう。
【0009】前記の問題点を避けるためには、工具交換
後に主軸に装着された微小径の工具の工具長測定は、た
とえば上記した「第1の従来技術」に示す接触式検出器
を利用して行うのが最も望ましい。ところで、近年、加
工の高速化に伴い工作機械の送り軸の移動時における振
動発生要素が増加しており、こうした振動に影響されな
いような接触式検出器、つまり、触圧が高い(100〜
150g程度)測定子を有した検出器が、工具長測定の
ために利用されている。さらに、工具長測定時に、工具
を接触式検出器の測定子へアプローチする速度を高めて
工具長測定時間を可及的に短縮し、ひいては、加工時間
の短縮化を図ることが行われている。
後に主軸に装着された微小径の工具の工具長測定は、た
とえば上記した「第1の従来技術」に示す接触式検出器
を利用して行うのが最も望ましい。ところで、近年、加
工の高速化に伴い工作機械の送り軸の移動時における振
動発生要素が増加しており、こうした振動に影響されな
いような接触式検出器、つまり、触圧が高い(100〜
150g程度)測定子を有した検出器が、工具長測定の
ために利用されている。さらに、工具長測定時に、工具
を接触式検出器の測定子へアプローチする速度を高めて
工具長測定時間を可及的に短縮し、ひいては、加工時間
の短縮化を図ることが行われている。
【0010】しかし、接触式検出器を利用して工具交換
後に主軸に装着された微小径の工具の工具長測定を行う
場合に、前記検出器の触圧や測定子への工具のアプロー
チ速度等の測定条件の如何によっては、測定子への接触
時に工具刃先の欠損や折損を引き起こすおそれがある。
そこで、接触式検出器を利用して主軸に装着された微小
径の工具の工具長測定を自動的に行うためには、あらか
じめ当該接触式検出器の測定子の触圧を低く(20〜2
5g程度)設定し、かつ、測定子への工具のアプローチ
速度を極めて低速にする必要がある。そうすると、工具
長測定時間を徒に長くすることとなり、ひいては、加工
時間を引き伸ばす結果を招く。
後に主軸に装着された微小径の工具の工具長測定を行う
場合に、前記検出器の触圧や測定子への工具のアプロー
チ速度等の測定条件の如何によっては、測定子への接触
時に工具刃先の欠損や折損を引き起こすおそれがある。
そこで、接触式検出器を利用して主軸に装着された微小
径の工具の工具長測定を自動的に行うためには、あらか
じめ当該接触式検出器の測定子の触圧を低く(20〜2
5g程度)設定し、かつ、測定子への工具のアプローチ
速度を極めて低速にする必要がある。そうすると、工具
長測定時間を徒に長くすることとなり、ひいては、加工
時間を引き伸ばす結果を招く。
【0011】本発明の目的は、従来の工具長測定方法及
び装置に内在する上記の諸問題を解消し、微小径の工具
の工具長測定を工作機械上で、短時間、かつ、高精度に
行うことができる工作機械の工具長測定方法及び装置を
提供することにある。
び装置に内在する上記の諸問題を解消し、微小径の工具
の工具長測定を工作機械上で、短時間、かつ、高精度に
行うことができる工作機械の工具長測定方法及び装置を
提供することにある。
【0012】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、工作機械上に光学式の工具先端位置検出手段と接触
式の工具先端位置検出手段とを併設して、光学式の工具
先端位置検出手段へ向けて比較的速い送り速度で工具を
移動させてその先端位置を検出し、その後、あらかじめ
設定した所定位置から、かなり遅い送り速度で工具を、
接触式の工具先端位置検出手段へ向けて移動させてその
先端位置を検出し、接触式の工具先端位置検出手段で検
出した工具の先端位置と主軸の基準位置とから当該工具
の工具長を演算するようにしたものである。詳細には、
次に述べるとおりの各構成要件を具備している。 (1) 主軸に装着された工具とワークとを相対移動さ
せて前記ワークを加工する工作機械において、前記工具
と相対移動可能な所定位置に光学式の工具先端位置検出
手段及び接触式の工具先端位置検出手段を設け、前記工
具を第一の送り速度で前記光学式の工具先端位置検出手
段の測定領域へ向けて移動させ前記工具先端位置を検出
するとともに、前記接触式の工具先端位置検出手段の測
定子より所定距離だけ離れた位置へ誘導し、前記工具を
前記第一の送り速度より小さな第二の送り速度で、前記
所定位置から前記接触式の工具先端位置検出手段の測定
子へ向けて移動させ、前記工具の先端位置を検出し、前
記接触式の工具先端位置検出手段で検出した前記工具の
先端位置とあらかじめ設定した前記主軸の基準位置とか
ら前記工具の工具長を演算する、工作機械の工具長測定
方法。
に、工作機械上に光学式の工具先端位置検出手段と接触
式の工具先端位置検出手段とを併設して、光学式の工具
先端位置検出手段へ向けて比較的速い送り速度で工具を
移動させてその先端位置を検出し、その後、あらかじめ
設定した所定位置から、かなり遅い送り速度で工具を、
接触式の工具先端位置検出手段へ向けて移動させてその
先端位置を検出し、接触式の工具先端位置検出手段で検
出した工具の先端位置と主軸の基準位置とから当該工具
の工具長を演算するようにしたものである。詳細には、
次に述べるとおりの各構成要件を具備している。 (1) 主軸に装着された工具とワークとを相対移動さ
せて前記ワークを加工する工作機械において、前記工具
と相対移動可能な所定位置に光学式の工具先端位置検出
手段及び接触式の工具先端位置検出手段を設け、前記工
具を第一の送り速度で前記光学式の工具先端位置検出手
段の測定領域へ向けて移動させ前記工具先端位置を検出
するとともに、前記接触式の工具先端位置検出手段の測
定子より所定距離だけ離れた位置へ誘導し、前記工具を
前記第一の送り速度より小さな第二の送り速度で、前記
所定位置から前記接触式の工具先端位置検出手段の測定
子へ向けて移動させ、前記工具の先端位置を検出し、前
記接触式の工具先端位置検出手段で検出した前記工具の
先端位置とあらかじめ設定した前記主軸の基準位置とか
ら前記工具の工具長を演算する、工作機械の工具長測定
方法。
【0013】(2) 数値制御部からの送り軸の移動指
令により主軸に装着された工具とワークとを相対移動さ
せて前記ワークを加工する工作機械において、前記工具
と相対移動可能な所定位置に設けられた光学式の工具先
端位置検出手段と、前記工具と相対移動可能な所定位置
に設けられ測定子を有した接触式の工具先端位置検出手
段と、前記工具を第一の送り速度で前記光学式の工具先
端位置検出手段の測定領域へ向けて移動させ前記工具の
先端位置を検出するとともに、前記接触式の工具先端位
置検出手段の測定子より所定距離だけ離れた位置へ誘導
し、前記工具を前記第一の送り速度より小さい第二の送
り速度で前記所定位置から前記接触式の工具先端位置検
出手段の測定子へ向けて移動させ、前記工具の先端位置
を検出するよう測定動作を制御する測定制御手段と、前
記接触式の工具先端位置検出手段で検出した前記工具の
先端位置とあらかじめ設定した前記主軸の基準位置とか
ら前記工具の工具長を演算する工具長演算手段と、を具
備する工作機械の工具長測定装置。
令により主軸に装着された工具とワークとを相対移動さ
せて前記ワークを加工する工作機械において、前記工具
と相対移動可能な所定位置に設けられた光学式の工具先
端位置検出手段と、前記工具と相対移動可能な所定位置
に設けられ測定子を有した接触式の工具先端位置検出手
段と、前記工具を第一の送り速度で前記光学式の工具先
端位置検出手段の測定領域へ向けて移動させ前記工具の
先端位置を検出するとともに、前記接触式の工具先端位
置検出手段の測定子より所定距離だけ離れた位置へ誘導
し、前記工具を前記第一の送り速度より小さい第二の送
り速度で前記所定位置から前記接触式の工具先端位置検
出手段の測定子へ向けて移動させ、前記工具の先端位置
を検出するよう測定動作を制御する測定制御手段と、前
記接触式の工具先端位置検出手段で検出した前記工具の
先端位置とあらかじめ設定した前記主軸の基準位置とか
ら前記工具の工具長を演算する工具長演算手段と、を具
備する工作機械の工具長測定装置。
【0014】(3) 前記光学式の工具先端位置検出手
段の測定領域の略下方位置に前記接触式の工具先端位置
検出手段の測定子を配置した上記第(2)項に記載の工
作機械の工具長測定装置。
段の測定領域の略下方位置に前記接触式の工具先端位置
検出手段の測定子を配置した上記第(2)項に記載の工
作機械の工具長測定装置。
【0015】
【作用】本件発明の作用を概略、説明すれば、次のとお
りである。 工具交換後の工具を第一の送り速度で軸送りするこ
とにより光学式の非接触形位置検出手段の測定領域に進
入させ工具の先端位置を素速く検出すると共に、前記工
具を触圧の小さな接触式位置検出手段の測定子前の同測
定子に近接した個所まで、第一の送り速度のまま誘導す
る。 工具を接触式位置検出手段の測定子前の同測定子に
近接した個所に到達させると同時に、前記工具の送り速
度を第一の速度に較べ極めて遅い第二の送り速度に減速
する。
りである。 工具交換後の工具を第一の送り速度で軸送りするこ
とにより光学式の非接触形位置検出手段の測定領域に進
入させ工具の先端位置を素速く検出すると共に、前記工
具を触圧の小さな接触式位置検出手段の測定子前の同測
定子に近接した個所まで、第一の送り速度のまま誘導す
る。 工具を接触式位置検出手段の測定子前の同測定子に
近接した個所に到達させると同時に、前記工具の送り速
度を第一の速度に較べ極めて遅い第二の送り速度に減速
する。
【0016】 工具の移動に基づき発生する振動の影
響を避けるために、工具先端が接触式位置検出手段の測
定子に近接した前記個所を通過する時点で、初めて接触
式位置検出手段の検出信号を有効(起動)にする。 工具先端を接触式位置検出手段に近接した前記個所
から、測定子に徐々に第二の送り速度で進入させるこ
と、また、触圧の極めて小さな接触式位置検出手段を採
用することにより、微小径工具の刃先先端が測定子に接
触したときに、欠損、折損が生じないように図る。
響を避けるために、工具先端が接触式位置検出手段の測
定子に近接した前記個所を通過する時点で、初めて接触
式位置検出手段の検出信号を有効(起動)にする。 工具先端を接触式位置検出手段に近接した前記個所
から、測定子に徐々に第二の送り速度で進入させるこ
と、また、触圧の極めて小さな接触式位置検出手段を採
用することにより、微小径工具の刃先先端が測定子に接
触したときに、欠損、折損が生じないように図る。
【0017】 工具先端が接触式位置検出手段の測定
子に接触した信号が送り軸位置検出手段に入力される
と、工具の軸送りを停止すると共に、送り軸位置検出手
段からの前記信号と、あらかじめ記憶させてある工具取
付基準位置とに基づき、工具長演算手段で工具長を機上
において算出する。 以上、述べた方法、装置に基づき、従来、接触式位
置検出手段による自動測定には馴染まない、または不可
能とされた微小径工具の工具長の測定を工具刃先の欠
損、折損を生じることなく、通常の工具長の測定とほ
ぼ、同程度の時間で高精度に測定することが可能とな
り、当該微小径工具による工具交換を含む、連続加工、
加工面に段差が生じることのない高精度加工を可能にし
た。
子に接触した信号が送り軸位置検出手段に入力される
と、工具の軸送りを停止すると共に、送り軸位置検出手
段からの前記信号と、あらかじめ記憶させてある工具取
付基準位置とに基づき、工具長演算手段で工具長を機上
において算出する。 以上、述べた方法、装置に基づき、従来、接触式位
置検出手段による自動測定には馴染まない、または不可
能とされた微小径工具の工具長の測定を工具刃先の欠
損、折損を生じることなく、通常の工具長の測定とほ
ぼ、同程度の時間で高精度に測定することが可能とな
り、当該微小径工具による工具交換を含む、連続加工、
加工面に段差が生じることのない高精度加工を可能にし
た。
【0018】
【発明の実施の形態】以下に、本発明の実施形態につい
て説明するが、本発明の構成要件のうちには、本発明の
出願当時の当業界の技術水準の範囲内で、適宜に変更可
能な部材を含むから、本実施形態のみに基づいて、発明
の要旨を減縮して解することは許されない。図1は、本
発明の工具長測定方法を実施する工作機械の工具長測定
装置の一実施形態の要部側面図及び構成ブロック図、図
2は、図1の矢視Aによる工具交換装置及び工具長測定
装置の要部正面図である。図3は、前記装置の構成要素
の一つである光学式の非接触形位置検出装置の平面図を
示す。
て説明するが、本発明の構成要件のうちには、本発明の
出願当時の当業界の技術水準の範囲内で、適宜に変更可
能な部材を含むから、本実施形態のみに基づいて、発明
の要旨を減縮して解することは許されない。図1は、本
発明の工具長測定方法を実施する工作機械の工具長測定
装置の一実施形態の要部側面図及び構成ブロック図、図
2は、図1の矢視Aによる工具交換装置及び工具長測定
装置の要部正面図である。図3は、前記装置の構成要素
の一つである光学式の非接触形位置検出装置の平面図を
示す。
【0019】 まず、図1,図2を参照して、工具長測定
装置を備えたNC工作機械の要部を説明する。図中、N
C工作機械の本体(図示せず)には、工具1を装着した
主軸3が主軸頭5に回転自在に軸支され、NC装置68
の数値制御部69からの指令に基づき、X軸送リモータ
7、Y軸送リモータ9、Z軸送リモータ11及び主軸回
転用モータ(図示せず)を駆動することにより、主軸頭
5とワーク(図示せず)を載置するテーブル13との間
で、X,Y,Z軸の直交3軸方向への相対移動を行わ
せ、また、主軸3を主軸頭5内で回転させる。主軸3内
に設けたドローバー(図示せず)下部には工具1を把持
するコレットチャック15が螺着され、主軸3内でドロ
ーバーがコレットチャック15と共に上下方向に移動可
能なように組付けてある。
装置を備えたNC工作機械の要部を説明する。図中、N
C工作機械の本体(図示せず)には、工具1を装着した
主軸3が主軸頭5に回転自在に軸支され、NC装置68
の数値制御部69からの指令に基づき、X軸送リモータ
7、Y軸送リモータ9、Z軸送リモータ11及び主軸回
転用モータ(図示せず)を駆動することにより、主軸頭
5とワーク(図示せず)を載置するテーブル13との間
で、X,Y,Z軸の直交3軸方向への相対移動を行わ
せ、また、主軸3を主軸頭5内で回転させる。主軸3内
に設けたドローバー(図示せず)下部には工具1を把持
するコレットチャック15が螺着され、主軸3内でドロ
ーバーがコレットチャック15と共に上下方向に移動可
能なように組付けてある。
【0020】 図2において、テーブル13の側面に取り
付けたブラケット19上にガイド21を設け、前記ガイ
ド21によりX軸と平行な方向へ往復移動可能に案内さ
れるキャリア23上にマガジンベース25を立設し、工
具1を収納する工具マガジン17がマガジンベース25
上に固定されている。工具マガジン17は、樹脂などの
弾性材料からなる板材で、板厚の中間部に溝部17bが
形成された上下二層よりなり、工具1を収納する8個の
工具ポット17aが形成されている。各工具1には弾性
リング27が嵌着されており、前記弾性リング27が、
工具1を工具マガジン17の工具ポット17aへの収納
時に前記溝部17bに嵌合して、その上下が挟まれて軸
線方向のおよその基準となり、工具ポット17aに把持
される。
付けたブラケット19上にガイド21を設け、前記ガイ
ド21によりX軸と平行な方向へ往復移動可能に案内さ
れるキャリア23上にマガジンベース25を立設し、工
具1を収納する工具マガジン17がマガジンベース25
上に固定されている。工具マガジン17は、樹脂などの
弾性材料からなる板材で、板厚の中間部に溝部17bが
形成された上下二層よりなり、工具1を収納する8個の
工具ポット17aが形成されている。各工具1には弾性
リング27が嵌着されており、前記弾性リング27が、
工具1を工具マガジン17の工具ポット17aへの収納
時に前記溝部17bに嵌合して、その上下が挟まれて軸
線方向のおよその基準となり、工具ポット17aに把持
される。
【0021】 キャリア23の左側面(図2参照)に取り
付けたプレート29には、ブラケット19に設けたシリ
ンダ31のピストンロッド33の一端が固定され、シリ
ンダ31に加圧空気を供給してロッド33を進退させる
ことにより、キャリア23をガイド21に沿ってX軸と
平行な方向へ移動させ、その結果、キャリア23上に立
設したマガジンベース25上に固定された工具マガジン
17を、工具交換が可能である前進位置(図2参照)と
ワークの加工領域外の退避位置との間で往復移動させる
ことができる。前記プレート29の右側面にプーリ35
を回転自在に支持するプーリブラケット37を取り付
け、プーリ35と同軸上に固定されたピニオン39が、
ガイド21に取り付けたラック41と噛み合っている。
プレート29には、加工中に切屑や切削液が工具マガジ
ン17周辺部に付着することを防止するカバー43が取
り付けてあり、前記カバー43には、プーリ45と共動
するマガジンカバー47が同軸上に枢着され、プーリ3
5,45との間にベルト49が張設されている。
付けたプレート29には、ブラケット19に設けたシリ
ンダ31のピストンロッド33の一端が固定され、シリ
ンダ31に加圧空気を供給してロッド33を進退させる
ことにより、キャリア23をガイド21に沿ってX軸と
平行な方向へ移動させ、その結果、キャリア23上に立
設したマガジンベース25上に固定された工具マガジン
17を、工具交換が可能である前進位置(図2参照)と
ワークの加工領域外の退避位置との間で往復移動させる
ことができる。前記プレート29の右側面にプーリ35
を回転自在に支持するプーリブラケット37を取り付
け、プーリ35と同軸上に固定されたピニオン39が、
ガイド21に取り付けたラック41と噛み合っている。
プレート29には、加工中に切屑や切削液が工具マガジ
ン17周辺部に付着することを防止するカバー43が取
り付けてあり、前記カバー43には、プーリ45と共動
するマガジンカバー47が同軸上に枢着され、プーリ3
5,45との間にベルト49が張設されている。
【0022】 通常、工具マガジン17は、ワークの加工
領域外である退避位置にあるが、NC装置68の数値制
御部69から工具交換の指令が送出されたときは、機械
制御装置71に工具マガジン移動指令が送られシリンダ
31を作動させてピストンロッド33を引き込み、プレ
ート29を右行させて工具マガジン17を工具交換位置
に前進させる。同時に、ガイド21に取り付けたラック
41と噛み合っているピニオン39及びピニオン39に
固定したプーリ35が反時計方向に回り、ベルト49を
介してプーリ45を反時計回りに回転させ、マカジンカ
バー47を開く。この状態において、工具マガジン17
とNC工作機械の主軸3との間でX,Y,Z軸方向への
相対移動による自動工具交換または、工具マガジン17
に収納されている工具1の手動による差換えが可能にな
る。
領域外である退避位置にあるが、NC装置68の数値制
御部69から工具交換の指令が送出されたときは、機械
制御装置71に工具マガジン移動指令が送られシリンダ
31を作動させてピストンロッド33を引き込み、プレ
ート29を右行させて工具マガジン17を工具交換位置
に前進させる。同時に、ガイド21に取り付けたラック
41と噛み合っているピニオン39及びピニオン39に
固定したプーリ35が反時計方向に回り、ベルト49を
介してプーリ45を反時計回りに回転させ、マカジンカ
バー47を開く。この状態において、工具マガジン17
とNC工作機械の主軸3との間でX,Y,Z軸方向への
相対移動による自動工具交換または、工具マガジン17
に収納されている工具1の手動による差換えが可能にな
る。
【0023】 すなわち、工具交換時、主軸3に装着ざれ
た工具1を工具マガジン17の工具ポット17aに収納
するときは、ドローバーを下方に押し出すことによりコ
レットチャック15を主軸3先端部から突出させ、コレ
ットチャック15を主軸先端部のテーパ穴から開放する
ようにし、工具1をアンクランプする。工具マガジン1
7の工具ポット17aに収納した工具1を主軸3に装着
するときは、ドローバーを引き上げてコレットチャック
15のテーパ部と主軸3先端部のテーパ穴とを嵌合させ
ることによりコレットチャック15に把持力を与え、工
具1をクランプする。
た工具1を工具マガジン17の工具ポット17aに収納
するときは、ドローバーを下方に押し出すことによりコ
レットチャック15を主軸3先端部から突出させ、コレ
ットチャック15を主軸先端部のテーパ穴から開放する
ようにし、工具1をアンクランプする。工具マガジン1
7の工具ポット17aに収納した工具1を主軸3に装着
するときは、ドローバーを引き上げてコレットチャック
15のテーパ部と主軸3先端部のテーパ穴とを嵌合させ
ることによりコレットチャック15に把持力を与え、工
具1をクランプする。
【0024】 加工の妨げとならないテーブル13上の所
定位置には、工具1の先端位置を検出するラインセンサ
(光学式の非接触形検出器)51を設けている。ここ
で、ラインセンサ51はテーブル13上に限られず、主
軸3、つまり工具1と相対移動可能な位置ならば何処に
設けられていてもよい。図3(a)に示すように、前記
ラインセンサ51は、テーブル13上に取り付けられた
センサベース51a内に、発光ダイオードなどの光源か
らの光を平行光線53へ変換するレンズを内蔵する投光
部51bと、投光部51bから投光された光線53を受
光する複数個の電荷結合型素子(CCD)等の受光素子
55が所定間隔(たとえば数μm間隔)で配列された受
光部51cとが設けられ、投光部51bと受光部51c
とは互いに対向するように配置されている。工具長測定
時に、工具1がラインセンサ51の投光部51bと受光
部51cとの間の測定領域に達し、投光部51bから照
射される光線53を遮光したことを受光部51cの受光
素子55で検出し、電気信号に変換している。
定位置には、工具1の先端位置を検出するラインセンサ
(光学式の非接触形検出器)51を設けている。ここ
で、ラインセンサ51はテーブル13上に限られず、主
軸3、つまり工具1と相対移動可能な位置ならば何処に
設けられていてもよい。図3(a)に示すように、前記
ラインセンサ51は、テーブル13上に取り付けられた
センサベース51a内に、発光ダイオードなどの光源か
らの光を平行光線53へ変換するレンズを内蔵する投光
部51bと、投光部51bから投光された光線53を受
光する複数個の電荷結合型素子(CCD)等の受光素子
55が所定間隔(たとえば数μm間隔)で配列された受
光部51cとが設けられ、投光部51bと受光部51c
とは互いに対向するように配置されている。工具長測定
時に、工具1がラインセンサ51の投光部51bと受光
部51cとの間の測定領域に達し、投光部51bから照
射される光線53を遮光したことを受光部51cの受光
素子55で検出し、電気信号に変換している。
【0025】 なお、図示していないが、センサベース5
1aの測定領域入口部と底部に、ラインセンサ51に故
障が発生したり誤作動が生じたときに備えて、工具1と
の接触を検出する接触板を設けてもよい。前記底部の接
触板には、工具長測定時に、工具1からラインセンサ5
1の測定領域に飛散する切屑や切削液が投光部51b及
び受光部51cを汚さないようにすると共に、投光部5
1b及び受光部51cの曇り止めの効果も奏するよう
に、測定領域に向け加圧空気を上向きに噴出する複数個
のノズルが配設されていてもよい。前記加圧空気は、工
具1に向けても噴射すれば、工具長測定時に工具1の刃
先等に付着した切屑、切削液などを測定領域外に吹き飛
ばすことも可能である。
1aの測定領域入口部と底部に、ラインセンサ51に故
障が発生したり誤作動が生じたときに備えて、工具1と
の接触を検出する接触板を設けてもよい。前記底部の接
触板には、工具長測定時に、工具1からラインセンサ5
1の測定領域に飛散する切屑や切削液が投光部51b及
び受光部51cを汚さないようにすると共に、投光部5
1b及び受光部51cの曇り止めの効果も奏するよう
に、測定領域に向け加圧空気を上向きに噴出する複数個
のノズルが配設されていてもよい。前記加圧空気は、工
具1に向けても噴射すれば、工具長測定時に工具1の刃
先等に付着した切屑、切削液などを測定領域外に吹き飛
ばすことも可能である。
【0026】 前記ラインセンサ51を取り囲むように設
けたセンサカバー57は、加工中に飛散する切屑や切削
液がラインセンサ51周辺部に付着するのを防止するも
のであり、工具長測定時には、シリンダ(図示せず)に
加圧空気が供給されて開き、ラインセンサ51の測定領
域を工具1に対して開放する。再び、図1を参照して、
前記ラインセンサ51の測定領域に対し主軸3の軸送り
方向(Z軸方向)に沿って、より下方位置に測定領域を
有し、かつ、加工の妨げとならないテーブル13上の所
定位置に工具先端位置検出のための接触式センサ63を
設けている。接触式センサ63もラインセンサ51と同
様、テーブル13上に限らず、工具1と相対移動可能な
位置ならば何処に設けられていてもよい。
けたセンサカバー57は、加工中に飛散する切屑や切削
液がラインセンサ51周辺部に付着するのを防止するも
のであり、工具長測定時には、シリンダ(図示せず)に
加圧空気が供給されて開き、ラインセンサ51の測定領
域を工具1に対して開放する。再び、図1を参照して、
前記ラインセンサ51の測定領域に対し主軸3の軸送り
方向(Z軸方向)に沿って、より下方位置に測定領域を
有し、かつ、加工の妨げとならないテーブル13上の所
定位置に工具先端位置検出のための接触式センサ63を
設けている。接触式センサ63もラインセンサ51と同
様、テーブル13上に限らず、工具1と相対移動可能な
位置ならば何処に設けられていてもよい。
【0027】 さきに述べたとおり、従来、機械加工の高
速化、測定時間の短縮化を目的として、工具長測定用の
接触式センサに対する測定進入速度を高速化し、それに
応じ測定子の触圧を100〜150g程度に高くして、
軸送りに基づき発生する振動が測定精度に影響しないよ
うにするのが一般的であるが、本実施形態の接触式セン
サ63では、この測定子65の触圧を20〜25g程度
に小さくして、工具先端の接触時に、刃先の欠損、折損
が生じないよう設計している。さらに、測定領域に進入
する工具1の送り速度を遅くして、工具長測定時には工
具先端が緩やかに測定子65に当るように配慮されて
る。なお、接触式センサ63にも、同センサ63を取り
囲むようにセンサカバー67が設けてあり、加工中に飛
散する切屑や切削液が接触式センサ63周辺部に付着す
るのを防止している。このセンサカバー67も工具長測
定時にはシリンダ(図示せず)にエアが供給されて開
き、接触式センサ63の測定領域を開放する。
速化、測定時間の短縮化を目的として、工具長測定用の
接触式センサに対する測定進入速度を高速化し、それに
応じ測定子の触圧を100〜150g程度に高くして、
軸送りに基づき発生する振動が測定精度に影響しないよ
うにするのが一般的であるが、本実施形態の接触式セン
サ63では、この測定子65の触圧を20〜25g程度
に小さくして、工具先端の接触時に、刃先の欠損、折損
が生じないよう設計している。さらに、測定領域に進入
する工具1の送り速度を遅くして、工具長測定時には工
具先端が緩やかに測定子65に当るように配慮されて
る。なお、接触式センサ63にも、同センサ63を取り
囲むようにセンサカバー67が設けてあり、加工中に飛
散する切屑や切削液が接触式センサ63周辺部に付着す
るのを防止している。このセンサカバー67も工具長測
定時にはシリンダ(図示せず)にエアが供給されて開
き、接触式センサ63の測定領域を開放する。
【0028】 工作機械の制御手段は、NC装置68と機
械制御装置71とにより構成される。NC装置68内の
数値制御部69は、加工プログラム及び工具長測定プロ
グラムでなるNCプログラムを読み取り、解読して直線
補間や円弧補間の演算を行い、移動指令をサーボ部を通
してX軸送リモータ7、Y軸送リモータ9、Z軸送リモ
ータ11に送出して各軸送リモータの駆動制御を行うと
共に、主軸回転用モータに主軸3の回転指令を送出す
る。また、NCプログラムの加工プログラムには工具交
換指令などが含まれ、加工工程において工具交換指令が
送出されたときには、加工の一時中止、工具マガジン1
7の移動、主軸3のX,Y,Z軸方向への移動による工
具1の交換等の指令を、順次、プログラムに従って機械
制御装置71へ送出する。
械制御装置71とにより構成される。NC装置68内の
数値制御部69は、加工プログラム及び工具長測定プロ
グラムでなるNCプログラムを読み取り、解読して直線
補間や円弧補間の演算を行い、移動指令をサーボ部を通
してX軸送リモータ7、Y軸送リモータ9、Z軸送リモ
ータ11に送出して各軸送リモータの駆動制御を行うと
共に、主軸回転用モータに主軸3の回転指令を送出す
る。また、NCプログラムの加工プログラムには工具交
換指令などが含まれ、加工工程において工具交換指令が
送出されたときには、加工の一時中止、工具マガジン1
7の移動、主軸3のX,Y,Z軸方向への移動による工
具1の交換等の指令を、順次、プログラムに従って機械
制御装置71へ送出する。
【0029】 機械制御装置71は、測定制御部73、工
具長演算部75、データ記憶部77及び送り軸位置検出
部79より構成されている。測定制御部73には、NC
プログラムの工具長測定プログラムが記憶され、ライン
センサ51または接触式センサ63の測定領域への工具
移動指令、ラインセンサ51への工具アプローチ速度
(第一送り速度)指令、接触式センサ63の測定子65
への工具アプローチ速度(第二送り速度)指令、接触式
センサ63の測定子65から所定距離離れた位置(工具
アプローチ速度を第一送り速度から第二送り速度へ減速
する送り軸の位置)への工具移動指令などが含まれる。
具長演算部75、データ記憶部77及び送り軸位置検出
部79より構成されている。測定制御部73には、NC
プログラムの工具長測定プログラムが記憶され、ライン
センサ51または接触式センサ63の測定領域への工具
移動指令、ラインセンサ51への工具アプローチ速度
(第一送り速度)指令、接触式センサ63の測定子65
への工具アプローチ速度(第二送り速度)指令、接触式
センサ63の測定子65から所定距離離れた位置(工具
アプローチ速度を第一送り速度から第二送り速度へ減速
する送り軸の位置)への工具移動指令などが含まれる。
【0030】 データ記憶部には、工具長を演算する基準
となる送り軸の位置(キャリブレーションデータ)が、
加工を行う前にあらかじめ求められ、記憶されている。
キャリブレーションデータは、主軸1の先端部がライン
センサ51における遮光を検出したときの送り軸の位置
及び主軸1の先端部が接触式センサ63の測定子65に
おける接触を検出したときの送り軸の位置である。キャ
リブレーションデータを求める際に、主軸1の先端部を
各センサ51,63にアプローチするときに、主軸1の
外径によっては主軸1と各センサ本体51,63との干
渉が発生することが想定される。そこで、工具長が既知
の工具を主軸1に装着して、当該工具が各センサ51,
63における遮光または接触を検出したときの送り軸の
位置を検出して、これらの検出位置と既知の工具長とか
ら主軸1の先端部が各センサ51,63における遮光ま
たは接触を検出したときの送り軸の位置を逆算するよう
にしている。
となる送り軸の位置(キャリブレーションデータ)が、
加工を行う前にあらかじめ求められ、記憶されている。
キャリブレーションデータは、主軸1の先端部がライン
センサ51における遮光を検出したときの送り軸の位置
及び主軸1の先端部が接触式センサ63の測定子65に
おける接触を検出したときの送り軸の位置である。キャ
リブレーションデータを求める際に、主軸1の先端部を
各センサ51,63にアプローチするときに、主軸1の
外径によっては主軸1と各センサ本体51,63との干
渉が発生することが想定される。そこで、工具長が既知
の工具を主軸1に装着して、当該工具が各センサ51,
63における遮光または接触を検出したときの送り軸の
位置を検出して、これらの検出位置と既知の工具長とか
ら主軸1の先端部が各センサ51,63における遮光ま
たは接触を検出したときの送り軸の位置を逆算するよう
にしている。
【0031】 送り軸位置検出部79では、NC装置68
の数値制御部69から各軸送りモータ7,9,11に送
出される移動指令により、ロータリエンコーダ8,1
0,12やリニアスケールなどを介してX,Y,Z軸の
各送り軸の位置を刻々読み込んでおり、工具長測定時
に、工具1先端部の各センサ51,63における遮光ま
たは接触信号を受けて、そのときのX,Y,Z軸の各送
り軸の位置を検出することができる。工具長演算部75
では、工具長測定時に、工具1先端部の各センサ51,
63による遮光または接触を検出したときの送り軸位置
検出部79におけるX,Y,Z軸の各送り軸の位置デー
タと、データ記憶部77に記憶された主軸1の先端部の
基準位置データとから工具長を演算する。また、必要に
応じて、工具長の変位量である工具オフセット量を演算
して、測定制御部73を介してNC装置68の数値制御
部69へ送出している。
の数値制御部69から各軸送りモータ7,9,11に送
出される移動指令により、ロータリエンコーダ8,1
0,12やリニアスケールなどを介してX,Y,Z軸の
各送り軸の位置を刻々読み込んでおり、工具長測定時
に、工具1先端部の各センサ51,63における遮光ま
たは接触信号を受けて、そのときのX,Y,Z軸の各送
り軸の位置を検出することができる。工具長演算部75
では、工具長測定時に、工具1先端部の各センサ51,
63による遮光または接触を検出したときの送り軸位置
検出部79におけるX,Y,Z軸の各送り軸の位置デー
タと、データ記憶部77に記憶された主軸1の先端部の
基準位置データとから工具長を演算する。また、必要に
応じて、工具長の変位量である工具オフセット量を演算
して、測定制御部73を介してNC装置68の数値制御
部69へ送出している。
【0032】 (実施形態1)以上、述べた工作機械の工
具長測定装置に基づいて、本実施形態の工具長測定方法
を説明する。 (1)所望形状の加工に使用する複数の微小径工具を含
む工具1に対し弾性リング27を嵌着して、工具マガジ
ン17の工具ポット17aに収納する。主軸3に別の工
具1が装着されている場合には、前記工具1を返却、交
換するための空の工具ポット17aを、工具マガジン1
7に設けておく必要がある(図1参照)。 (2)NC装置68の数値制御部69から工具交換指令
が送出されると、機械制御装置71に工具マガジン移動
指令が送られ、シリンダ31(図2参照)に加圧空気が
供給され、工具マガジン17が工具交換可能な位置まで
前進すると共に、マガジンカバー47を開放する。その
後、工具マガジン17と主軸3との間で、X,Y,Z軸
方向への相対移動により自動工具交換が行われる。その
都度、上述したとおり、主軸3のコレットチャック15
を開閉して工具1の開放、装着が行われる。
具長測定装置に基づいて、本実施形態の工具長測定方法
を説明する。 (1)所望形状の加工に使用する複数の微小径工具を含
む工具1に対し弾性リング27を嵌着して、工具マガジ
ン17の工具ポット17aに収納する。主軸3に別の工
具1が装着されている場合には、前記工具1を返却、交
換するための空の工具ポット17aを、工具マガジン1
7に設けておく必要がある(図1参照)。 (2)NC装置68の数値制御部69から工具交換指令
が送出されると、機械制御装置71に工具マガジン移動
指令が送られ、シリンダ31(図2参照)に加圧空気が
供給され、工具マガジン17が工具交換可能な位置まで
前進すると共に、マガジンカバー47を開放する。その
後、工具マガジン17と主軸3との間で、X,Y,Z軸
方向への相対移動により自動工具交換が行われる。その
都度、上述したとおり、主軸3のコレットチャック15
を開閉して工具1の開放、装着が行われる。
【0033】 (3)工具交換が完了すると、再び、シリ
ンダ31に加圧空気が供給され、工具マガジン17を旧
位置まで後退させると共に、マガジンカバー47を回動
させ、工具マガジン17をカバーする。 (4)工具交換後に、機械制御装置71の測定制御部7
3に記憶された工具長測定プログラムからの指令に基づ
き、工具1が、ラインセンサ51の測定領域上に位置決
めされる。 (5)次いで、ラインセンサ51及び接触式センサ63
のセンサカバー57,67を開放状態とすると共に、ラ
インセンサ51の投光部51bから受光部51cに向け
て、光線53を照射する。このときは、まだ、接触式セ
ンサ63は、起動していない。
ンダ31に加圧空気が供給され、工具マガジン17を旧
位置まで後退させると共に、マガジンカバー47を回動
させ、工具マガジン17をカバーする。 (4)工具交換後に、機械制御装置71の測定制御部7
3に記憶された工具長測定プログラムからの指令に基づ
き、工具1が、ラインセンサ51の測定領域上に位置決
めされる。 (5)次いで、ラインセンサ51及び接触式センサ63
のセンサカバー57,67を開放状態とすると共に、ラ
インセンサ51の投光部51bから受光部51cに向け
て、光線53を照射する。このときは、まだ、接触式セ
ンサ63は、起動していない。
【0034】 (6)工具1をラインセンサ51の測定領
域に向け、たとえば2000mm/min程度の送り速
度(第一送り速度)でZ軸方向へ移動させる。 (7)工具1の先端部によりラインセンサ51の受光部
51cに向けた光線53を遮光した出力が、NC装置6
8の数値制御部69に送出されて工具1のZ軸方向への
移動を一時停止または減速させる。同時に、機械制御装
置71の送り軸位置検出部79では、工具1の先端部に
よるラインセンサ51の遮光出力を受けて、その瞬間の
送り軸(Z軸)の位置を検出する。こうして、主軸3に
装着された当該工具1の先端位置を求めることができ
る。 (8)その後、工具1を接触式センサ63の測定子65
上に移動させ、さきの工具1の先端部が接触式センサ6
3の測定子65の上方位置、たとえば、50μm程度上
方位置に達するまで、再度工具1を第一送り速度でZ軸
方向へ移動させると共に、同位置に達すると同時に、工
具1の送り速度を、たとえば、0.3mm/min程度
のかなり遅い送り速度(第二送り速度)に減速させて、
接触式センサ63の測定子65に向けて移動させる。こ
こで、工具1の送り速度が第二送り速度に減速されると
同時に、測定子65の触圧が20〜25g程度の接触式
センサ63を起動させる(接触式センサ63からの検出
出力を有効にする)ようにして、軸送りにより生じる振
動が接触式センサ63の検出精度に影響しないよう図ら
れている。
域に向け、たとえば2000mm/min程度の送り速
度(第一送り速度)でZ軸方向へ移動させる。 (7)工具1の先端部によりラインセンサ51の受光部
51cに向けた光線53を遮光した出力が、NC装置6
8の数値制御部69に送出されて工具1のZ軸方向への
移動を一時停止または減速させる。同時に、機械制御装
置71の送り軸位置検出部79では、工具1の先端部に
よるラインセンサ51の遮光出力を受けて、その瞬間の
送り軸(Z軸)の位置を検出する。こうして、主軸3に
装着された当該工具1の先端位置を求めることができ
る。 (8)その後、工具1を接触式センサ63の測定子65
上に移動させ、さきの工具1の先端部が接触式センサ6
3の測定子65の上方位置、たとえば、50μm程度上
方位置に達するまで、再度工具1を第一送り速度でZ軸
方向へ移動させると共に、同位置に達すると同時に、工
具1の送り速度を、たとえば、0.3mm/min程度
のかなり遅い送り速度(第二送り速度)に減速させて、
接触式センサ63の測定子65に向けて移動させる。こ
こで、工具1の送り速度が第二送り速度に減速されると
同時に、測定子65の触圧が20〜25g程度の接触式
センサ63を起動させる(接触式センサ63からの検出
出力を有効にする)ようにして、軸送りにより生じる振
動が接触式センサ63の検出精度に影響しないよう図ら
れている。
【0035】 (9)工具1の先端部により接触式センサ
63の測定子65に接触した出力が、NC装置68の数
値制御部69に送出されて工具1のZ軸方向への移動を
停止させる。同時に、機械制御装置71の送り軸位置検
出部79では、工具1の先端部による接触式センサ63
の接触圧力をうけて、その瞬間の送り軸(Z軸)の位置
を検出して、工具長演算部75に送出する。よって、接
触式センサ63の触圧が極めて小さい測定子65に、工
具1をかなり遅い送り速度で軸送りして接触させるよう
にしたので、微小径工具であっても工具刃先が欠損また
は折損するおそれがない。 (10)機械制御装置71の送り軸位置検出部79で検
出、送出された、工具1の先端部が接触式センサ63の
測定子65に接触した瞬間の送り軸(Z軸)の位置と、
データ記憶部77で記憶された送り軸の基準位置デー
タ、つまり主軸1の先端部の基準位置データとを受け
て、工具長演算部75では当該工具1の工具長を演算す
る。
63の測定子65に接触した出力が、NC装置68の数
値制御部69に送出されて工具1のZ軸方向への移動を
停止させる。同時に、機械制御装置71の送り軸位置検
出部79では、工具1の先端部による接触式センサ63
の接触圧力をうけて、その瞬間の送り軸(Z軸)の位置
を検出して、工具長演算部75に送出する。よって、接
触式センサ63の触圧が極めて小さい測定子65に、工
具1をかなり遅い送り速度で軸送りして接触させるよう
にしたので、微小径工具であっても工具刃先が欠損また
は折損するおそれがない。 (10)機械制御装置71の送り軸位置検出部79で検
出、送出された、工具1の先端部が接触式センサ63の
測定子65に接触した瞬間の送り軸(Z軸)の位置と、
データ記憶部77で記憶された送り軸の基準位置デー
タ、つまり主軸1の先端部の基準位置データとを受け
て、工具長演算部75では当該工具1の工具長を演算す
る。
【0036】 (実施形態2)図3(b)に示すとおりの
レーザセンサ59を、前記〈実施形態1〉に説明した工
具長測定方法、装置の構成要素のうちのラインセンサ5
1に代えてテーブル13上に配置し、構成する。レーザ
センサ59も、ラインセンサ51と同様、工具1と相対
移動可能な位置にあればよい。ラインセンサ51の光線
53には幅を持たせてあるために、工具1を回転させな
くても工具1の先端部の最も突出した位置を検出するこ
とができる。前記レーザセンサ59の投光部59bは、
一本のビーム状(レーザ)光線61を対向する受光部5
9cに向けて照射するだけであるので、工具長測定時に
は、工具1を回転(通常、加工状態における回転数とす
る)させながらレーザセンサ59の投光部59bと受光
部59cとの間の測定領域に進入させるようにしなけれ
ば、工具1の先端部の最も突出した位置を検出すること
ができず、精度の高い工具長測定ができないとされてい
る。
レーザセンサ59を、前記〈実施形態1〉に説明した工
具長測定方法、装置の構成要素のうちのラインセンサ5
1に代えてテーブル13上に配置し、構成する。レーザ
センサ59も、ラインセンサ51と同様、工具1と相対
移動可能な位置にあればよい。ラインセンサ51の光線
53には幅を持たせてあるために、工具1を回転させな
くても工具1の先端部の最も突出した位置を検出するこ
とができる。前記レーザセンサ59の投光部59bは、
一本のビーム状(レーザ)光線61を対向する受光部5
9cに向けて照射するだけであるので、工具長測定時に
は、工具1を回転(通常、加工状態における回転数とす
る)させながらレーザセンサ59の投光部59bと受光
部59cとの間の測定領域に進入させるようにしなけれ
ば、工具1の先端部の最も突出した位置を検出すること
ができず、精度の高い工具長測定ができないとされてい
る。
【0037】 なお、51aは、レーザセンサ59のセン
サベースである。その他の構成、たとえば、センサカバ
ー、接触板等のセンサ付属機器については、前記ライン
センサ51のそれと同一と理解してもよい。本実施形態
においては、工具1の先端位置の検出が接触式センサ6
3により行われる段階では、主軸3の回転を停止させ
る。その他の工具先端位置の測定手段、構成、作用は、
(実施形態1)に説明したとおりである。
サベースである。その他の構成、たとえば、センサカバ
ー、接触板等のセンサ付属機器については、前記ライン
センサ51のそれと同一と理解してもよい。本実施形態
においては、工具1の先端位置の検出が接触式センサ6
3により行われる段階では、主軸3の回転を停止させ
る。その他の工具先端位置の測定手段、構成、作用は、
(実施形態1)に説明したとおりである。
【0038】 (実施形態3)上述した2つの実施形態に
おける工具長測定方法、装置においては少なくとも、光
学式の非接触形センサと接触式センサ63とを併用し
て、従来、接触式センサ63のみでは困難とされていた
微小径工具の工具長測定を、工具刃先の欠損または折損
を起こすことなく、短時間、高精度で測定することを可
能とした。この場合、さきの工具長測定方法、装置の構
成からみて、光学式の非接触形センサと接触式センサ6
3とを工具1の軸送り(Z軸)方向に沿って併設すれ
ば、工具1を前記非接触形センサの測定領域から接触式
センサ63の測定子65まで一気に移動させることがで
き、X,Y軸方向に水平移動させる動作、時間を節減す
ることができ、ひいては測定時間を短縮できることは明
らかである。
おける工具長測定方法、装置においては少なくとも、光
学式の非接触形センサと接触式センサ63とを併用し
て、従来、接触式センサ63のみでは困難とされていた
微小径工具の工具長測定を、工具刃先の欠損または折損
を起こすことなく、短時間、高精度で測定することを可
能とした。この場合、さきの工具長測定方法、装置の構
成からみて、光学式の非接触形センサと接触式センサ6
3とを工具1の軸送り(Z軸)方向に沿って併設すれ
ば、工具1を前記非接触形センサの測定領域から接触式
センサ63の測定子65まで一気に移動させることがで
き、X,Y軸方向に水平移動させる動作、時間を節減す
ることができ、ひいては測定時間を短縮できることは明
らかである。
【0039】 図4は、(実施形態1)の光学式の非接触
形センサ51と接触式センサ63の要素について、上記
の趣旨に沿って上下方向に相互位置を配置し直した別の
実施形態の要部側面図である。図中、図1,2及び3記
載のセンサ構成部材に付した符号と、同一の符号を付し
た部材は、図1,2及び3に説明のものと同一である。
本実施形態では、光学式の非接触形センサ51の測定領
域と、接触式センサ63の測定子65とは垂直方向に重
なっており、工具1のZ軸方向への移動のみで工具1の
先端位置検出が可能であり、したがって、光学式の非接
触形センサ51の測定領域と接触式センサ63の測定子
65との間で、工具1の水平面のX,Y軸方向への移動
は必要でない。
形センサ51と接触式センサ63の要素について、上記
の趣旨に沿って上下方向に相互位置を配置し直した別の
実施形態の要部側面図である。図中、図1,2及び3記
載のセンサ構成部材に付した符号と、同一の符号を付し
た部材は、図1,2及び3に説明のものと同一である。
本実施形態では、光学式の非接触形センサ51の測定領
域と、接触式センサ63の測定子65とは垂直方向に重
なっており、工具1のZ軸方向への移動のみで工具1の
先端位置検出が可能であり、したがって、光学式の非接
触形センサ51の測定領域と接触式センサ63の測定子
65との間で、工具1の水平面のX,Y軸方向への移動
は必要でない。
【0040】 当該光学式の非接触形センサは、ラインセ
ンサ51でも、レーザセンサ59であっても良い。主軸
3の回転は、前記センサの型式に対応し、さきの説明の
とおり、プログラムされいてる。その他の構成、作用に
ついては、(実施形態1)記載の説明を参照すること。
本発明の実施形態を、主軸が垂直軸線回りに回転する立
形マシニングセンタの形態に基づいて説明したが、主軸
が水平軸線回りに回転する横形マシニングセンタにも応
用できることはいうまでもない。
ンサ51でも、レーザセンサ59であっても良い。主軸
3の回転は、前記センサの型式に対応し、さきの説明の
とおり、プログラムされいてる。その他の構成、作用に
ついては、(実施形態1)記載の説明を参照すること。
本発明の実施形態を、主軸が垂直軸線回りに回転する立
形マシニングセンタの形態に基づいて説明したが、主軸
が水平軸線回りに回転する横形マシニングセンタにも応
用できることはいうまでもない。
【0041】
【発明の効果】本発明によれば、 光学式非接触形センサと触圧の小さな接触式センサ
とを併設することにより、従来、不可能または困難とさ
れていた微小径工具の工具長の自動測定が可能となり、
微小径工具を順次交換しても、交換後にその工具長を精
密に測定することができ、ワーク加工面に段差が生じる
ことのない、高精度な加工を連続的に行うことができ
る。 光学式非接触形センサにより工具の先端位置を検出
し、これを素速く触圧の小さな接触式センサの測定子近
接個所まで誘導し、以後、極めて緩やかな工具の軸送り
をさせることにより、工具刃先の欠損、折損事故がな
く、短時間で精度良く効率的に工具長の測定ができる。
等々、従来方法、装置には、期待することができない、
作用、効果を奏することができる。
とを併設することにより、従来、不可能または困難とさ
れていた微小径工具の工具長の自動測定が可能となり、
微小径工具を順次交換しても、交換後にその工具長を精
密に測定することができ、ワーク加工面に段差が生じる
ことのない、高精度な加工を連続的に行うことができ
る。 光学式非接触形センサにより工具の先端位置を検出
し、これを素速く触圧の小さな接触式センサの測定子近
接個所まで誘導し、以後、極めて緩やかな工具の軸送り
をさせることにより、工具刃先の欠損、折損事故がな
く、短時間で精度良く効率的に工具長の測定ができる。
等々、従来方法、装置には、期待することができない、
作用、効果を奏することができる。
Claims (3)
- 【請求項1】 主軸に装着された工具とワークとを相対
移動させて前記ワークを加工する工作機械において、 前記工具と相対移動可能な所定位置に光学式の工具先端
位置検出手段及び接触式の工具先端位置検出手段を設
け、 前記工具を第一の送り速度で前記光学式の工具先端位置
検出手段の測定領域へ向けて移動させ前記工具先端位置
を検出するとともに、前記接触式の工具先端位置検出手
段の測定子より所定距離だけ離れた位置へ誘導し、 前記工具を前記第一の送り速度より小さな第二の送り速
度で、前記所定位置から前記接触式の工具先端位置検出
手段の測定子へ向けて移動させ、前記工具の先端位置を
検出し、 前記接触式の工具先端位置検出手段で検出した前記工具
の先端位置とあらかじめ設定した前記主軸の基準位置と
から前記工具の工具長を演算する、 ことを特徴とした工作機械の工具長測定方法。 - 【請求項2】 数値制御部からの送り軸の移動指令によ
り主軸に装着された工具とワークとを相対移動させて前
記ワークを加工する工作機械において、 前記工具と相対移動可能な所定位置に設けられた光学式
の工具先端位置検出手段と、 前記工具と相対移動可能な所定位置に設けられ測定子を
有した接触式の工具先端位置検出手段と、 前記工具を第一の送り速度で前記光学式の工具先端位置
検出手段の測定領域へ向けて移動させ前記工具の先端位
置を検出するとともに、前記接触式の工具先端位置検出
手段の測定子より所定距離だけ離れた位置へ誘導し、 前記工具を前記第一の送り速度より小さい第二の送り速
度で前記所定位置から前記接触式の工具先端位置検出手
段の測定子へ向けて移動させ、前記工具の先端位置を検
出するよう測定動作を制御する測定制御手段と、 前記接触式の工具先端位置検出手段で検出した前記工具
の先端位置とあらかじめ設定した前記主軸の基準位置と
から前記工具の工具長を演算する工具長演算手段と、 を具備することを特徴とした工作機械の工具長測定装
置。 - 【請求項3】 前記光学式の工具先端位置検出手段の測
定領域の略下方位置に前記接触式の工具先端位置検出手
段の測定子を配置した請求項2に記載の工作機械の工具
長測定装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9279384A JPH1199450A (ja) | 1997-09-29 | 1997-09-29 | 工作機械の工具長測定方法及び装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9279384A JPH1199450A (ja) | 1997-09-29 | 1997-09-29 | 工作機械の工具長測定方法及び装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH1199450A true JPH1199450A (ja) | 1999-04-13 |
Family
ID=17610398
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP9279384A Pending JPH1199450A (ja) | 1997-09-29 | 1997-09-29 | 工作機械の工具長測定方法及び装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH1199450A (ja) |
Cited By (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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