JPH11354602A - ポッドオープナーの蓋ラッチ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 カセットの蓋のキー溝とキー部材との位置合
わせの精度が比較的低くても蓋をラッチ可能な蓋ラッチ
装置を提供すること。 【解決手段】 蓋ラッチ装置１０は、カセットの蓋９の
キー溝３０に侵入可能な先端部４１を有するキー部材３
１と、キー部材３１の元部３２を保持するキー保持部材
３３とを備え、キー溝３０にキー部材先端部４１を侵入
させた状態で回動されることにより、キー部材先端部４
１で蓋９をラッチする。キー保持部材３３には、フロー
ティングばね４９が配設され、フローティングばね４９
は、キー部材３１を弾性的に保持する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ポッドオープナー
の蓋ラッチ装置、詳しくは、半導体ウエハ等薄型基板の
加工のために、クリーン度の高い高クリーン空間とクリ
ーン度の低い低クリーン空間との境界に設置されるポッ
ドオープナーにおいて、該ポッドオープナーのテーブル
に載置されたカセットの蓋を開けるための蓋ラッチ装置
に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体ウエハ等薄型基板の加工にあた
り、作業室内を高クリーン度に維持することが重要であ
ることは言うまでもないことであるが、作業室内全体を
高クリーン度に維持することはコスト面などの点で好ま
しくない。そこで、通常、作業室を、加工装置が配置さ
れるクリーン度の高い高クリーン空間と、加工対象物と
しての薄型基板が格納されたカセットが配置されるクリ
ーン度の低い低クリーン空間とに区画し、その境界にポ
ッドオープナーが設置される。

【０００３】ポッドオープナーは、加工開始に先だって
低クリーン空間と高クリーン空間とを連通させることに
よってカセット内の薄型基板を高クリーン空間内に搬入
可能にし、加工装置による加工を可能にする。

【０００４】具体的に図６に示すように、ポッドオープ
ナー１は、高クリーン空間２と低クリーン空間３とを区
画する仕切板４と、低クリーン空間３側に配置されカセ
ット５が載置されるテーブル６と、仕切板４に形成され
て低クリーン空間３と高クリーン空間２とを連通する開
口部７と、高クリーン空間２側に配され開口部７を開閉
するドア８と、高クリーン空間２側に配されカセット５
の蓋９を開ける蓋ラッチ装置１０とを備え、ドア８及び
蓋９を図示二点鎖線で示す状態になるよう開口部７の右
斜め下位置に移動させることで開口部７を開け、高クリ
ーン空間２に配置された搬送ロボット１１によってカセ
ット５内の薄型基板１２を取り出し加工装置１３まで搬
送可能とする。

【０００５】従来、蓋ラッチ装置１０は、カセット５の
蓋９のキー溝に侵入可能な先端部を有するキー部材と、
キー部材の元部を保持するキー保持部材とを備え、キー
溝にキー部材先端部を侵入させた状態でロータリーアク
チュエータ１４等によって回動されることにより、キー
部材先端部で蓋９をラッチするよう構成される。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
蓋ラッチ装置は、キー部材の元部がキー保持部材に強固
に固定される構造を採用しているため、カセット５の蓋
９のキー溝とキー部材との位置合わせに高い精度が要求
される。

【０００７】本発明は、上記問題点にかんがみ、カセッ
トの蓋のキー溝とキー部材との位置合わせの精度が比較
的低くても蓋をラッチ可能な蓋ラッチ装置を提供するこ
とを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明によるポッドオー
プナーの蓋ラッチ装置は、カセットの蓋のキー溝に侵入
可能な先端部を有するキー部材と、前記キー部材の元部
を保持するキー保持部材とを備え、前記キー溝に前記キ
ー部材先端部を侵入させた状態で回動されることによ
り、前記キー部材先端部で前記蓋をラッチする、ポッド
オープナーの蓋ラッチ装置において、前記キー保持部材
に弾性部材を配設し、該弾性部材により前記キー部材を
弾性的に保持することを特徴とする。

【０００９】

【発明の実施の形態】図１は、本発明の一実施形態に係
る蓋ラッチ装置が組み込まれたポッドオープナーの概略
構成図、図２は、同蓋ラッチ装置とカセットの蓋との関
係を示す斜視図、図３は、同蓋ラッチ装置の側面断面
図、図４は、同蓋ラッチ装置の正面図、図５は、同蓋ラ
ッチ装置を駆動する駆動機構の概略構成図を示す。

【００１０】図１において、ポッドオープナー１は、ク
リーン度の高い高クリーン空間２とクリーン度の低い低
クリーン空間３とを区画するための仕切板４を備える。
仕切板４には、高クリーン空間２と低クリーン空間３と
を連通する開口部７が形成されている。

【００１１】仕切板４の高クリーン空間２側には、開口
部７を開閉するためのドア８が設けられている。ドア８
は、ドア駆動機構１５によって二本の平行レール１６上
を図面左右方向へ移動可能（実線で示す状態からは右方
向へ移動可能）とされている。

【００１２】レール１６は昇降部材１７の上に設けられ
ており、昇降部材１７は、エレベータ１８、ガイドポス
ト１９、１９等からなる昇降機構２０によって昇降可能
（図示の状態からは下降可能）とされている。

【００１３】ドア８には、複数の蓋ラッチ装置１０、１
０が回動可能に配設されている。これらの蓋ラッチ装置
１０、１０はエアシリンダ２２、リンク機構２３等から
なる共通の駆動機構２４によって回動される。蓋ラッチ
装置１０の具体的構成については後述する。さらに、ド
ア８には、複数の弾性押圧部材２５、２５が配設されて
いる。各弾性押圧部材２５は、カセット５の蓋９の前面
が仕切板４の低クリーン空間３側の側面に圧接されたと
き、頭部がばねの付勢力に抗して図示の状態から右方向
へ移動し、頭部がばねの付勢力によって蓋９の前面に対
し左方向の押圧力を加え、蓋ラッチ装置１０、１０のキ
ー部材３１、３１と協同して蓋９をしっかりと保持する
ものである。

【００１４】仕切板４の低クリーン空間３側には、二本
の水平な平行レール２６が配設されている。平行レール
２６の上にはテーブル２７が載置されている。テーブル
２７は、駆動機構２８によって左右方向へ移動可能とさ
れている。テーブル２７の上には、複数枚の薄型基板１
２、１２、…、１２を格納したカセット５が載置され
る。カセット５は、本体部２９と、本体部２９の前方開
口部を塞ぐ蓋９とを備えて構成される。蓋９には、蓋ラ
ッチ装置１０、１０のキー部材３１、３１の先端部４１
が侵入可能なキー溝３０、３０が形成されている。

【００１５】図２、図３、図４及び図５において、各蓋
ラッチ装置１０は、先端部４１と元部３２とからなるＴ
字状のキー部材３１と、このキー部材３１の元部３２を
保持するキー保持部材３３とを備えて構成される。

【００１６】キー部材３１の元部３２は円柱形状に形成
されており、元部３２には半径方向に伸びるピン挿通孔
３４が形成されている。

【００１７】キー保持部材３３は、キー部材３１の元部
３２に一体化されるアダプタ部材３５を備える。アダプ
タ部材３５は、本体部３６とピン３７とから構成され
る。本体部３６の前部には、キー部材３１の円柱状の元
部３２が挿入されるキー挿通孔３８が形成されている。
本体部３６の左部及び右部には、それぞれ、キー挿通孔
３８に挿入されたキー部材元部３２のピン挿通孔３４と
同一直線上に位置するようピン挿通孔３９及び４０が形
成されている。ピン３７は、本体部３６のキー挿通孔３
８にキー部材３１の元部３２を挿通し、キー部材３１の
ピン挿通孔３４と本体部３６のピン挿通孔３９、４０と
を一直線に並べた状態でピン挿通孔３４、３９、４０に
挿通され、キー部材３１にアダプタ部材３５を一体化さ
せる。本体部３６の後面には、複数の前後プッシュばね
収容孔４２、４２、４２、４２が形成されている。

【００１８】キー保持部材３３は、アダプタ収容部材４
４と蓋部材４５とから構成される。アダプタ収容部材４
４の前部には、キー部材３３の元部３２が間隙をもって
挿通される元部挿通孔４６が形成されている。また、ア
ダプタ収容部材４４の上部及び下部には、それぞれ上下
方向に伸びるフローティングばね収容孔４７、４７、４
７、４７が形成されている。

【００１９】蓋部材４５は、アダプタ収容部材４４の後
面に接着等により固着されている。

【００２０】キー部材３１の元部３２の後面及びアダプ
タ部材３５の本体部３６の後面と、蓋部材４５の前面と
の間には空隙が形成されており、前後プッシュばね収容
孔４２と蓋部材４５の前面との間に前後プッシュばね４
３が配設されている。前後プッシュばね４３は、定常
時、アダプタ部材３５の本体部３６をアダプタ収容部材
４４の元部挿通孔４６の周縁部に弾性的に押圧してお
り、キー部材３１の先端部４１に後方への押圧力が加わ
ったとき、キー部材３１を後方へ逃す作用を果たす。

【００２１】アダプタ部材３５の本体部３６は、アダプ
タ収容部材４４の凹部５０に上下方向及び左右方向に空
隙をもって収容されている。フローティングばね収容孔
４７は雌ねじによって形成されており、フローティング
ばね収容孔４７に、ばね受け部材及びばね弾性力調整部
材としての雄ねじ部材４８がねじ込まれている。雄ねじ
部材４８とアダプタ部材３５の本体部３６の上面及び下
面との間には、フローティングばね４９が配設されてい
る。フローティングばね４９は、アダプタ部材３５の本
体部３６を上下方向及び左右方向に移動可能に弾性的に
保持している。

【００２２】次に、上記のように構成された蓋ラッチ装
置１０の動作を説明する。

【００２３】ドア８が閉状態にある下で駆動機構２８に
よりテーブル６をドア８に接近させると、テーブル６上
のカセット５の蓋９がドア８に接近して対面し、蓋９の
各キー溝３０に各キー部材３１の先端部４１が侵入した
キー侵入状態となる。このとき、キー部材３１の先端部
４１がキー溝３０の周縁と干渉することなく侵入できる
場合はなんら問題とならないが、多少干渉する場合であ
っても、蓋ラッチ装置１０のフローティングばね４９に
よってキー部材３１の先端部が上下方向及び左右方向に
逃げることが可能なため、キー部材３１の先端部４１は
キー溝３０に侵入可能となる。

【００２４】キー部材３１の先端部４１がキー溝３０に
侵入し、蓋９の前面が仕切板４の低クリーン空間３側の
側面に圧接されたとき、各弾性保持部材２５は、その頭
部がばねの付勢力に抗して図示の状態から右方向へ移動
し、頭部がばねの付勢力によって蓋９の前面に対し左方
向の押圧力を加える。

【００２５】その後、駆動機構２４により蓋ラッチ装置
１０を約９０°回動させると、各キー部材３１の先端部
４１が蓋９をラッチする蓋ラッチ状態となる。この蓋ラ
ッチ状態においてドア駆動機構１５によりドア８を移動
させると、ドア８が蓋９を保持しながら開口部７を開け
る。そして、昇降機構２０によりドア８を下降させる。
これにより、開口部７を介してカセット５内の薄型基板
１２を高クリーン空間２に搬入可能となる。

【００２６】以上説明したように、本実施形態に係る蓋
ラッチ装置１０は、キー保持部材３３に弾性部材（フロ
ーティングばね４９）を配設し、該弾性部材によりキー
部材３１を弾性的に保持する。このため、カセット５の
蓋９のキー溝３０とキー部材３１との位置合わせの精度
が比較的低くても蓋９をラッチ可能になる。なお、上記
実施形態では弾性部材としてフローティングばねを用い
ているが、その他、弾性ゴム材、弾性合成樹脂材等も用
いるようにしても実施不能というわけではない。

【００２７】

【発明の効果】本発明によると、弾性部材がキー部材を
弾性的に保持するため、カセットの蓋のキー溝とキー部
材との位置合わせの精度が比較的低くても蓋をラッチ可
能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施形態に係る蓋ラッチ装置が組み
込まれたポッドオープナーの概略構成図である。

【図２】同蓋ラッチ装置とカセットの蓋との関係を示す
斜視図である。

【図３】同蓋ラッチ装置の側面断面図である。

【図４】同蓋ラッチ装置の正面図である。

【図５】同蓋ラッチ装置を駆動する駆動機構の概略構成
図である。

【図６】従来の蓋ラッチ装置が組み込まれたポッドオー
プナーの使用態様を示す説明図である。

【符号の説明】

１ ポッドオープナー ５ カセット ９ 蓋 １０ 蓋ラッチ装置 ３０ キー溝 ３１ キー部材 ３２ 元部 ４１ 先端部 ３３ キー保持部材 ４９ フローティングばね（弾性部材）

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 カセットの蓋のキー溝に侵入可能な先端
   部を有するキー部材と、前記キー部材の元部を保持する
   キー保持部材とを備え、前記キー溝に前記キー部材先端
   部を侵入させた状態で回動されることにより、前記キー
   部材先端部で前記蓋をラッチする、ポッドオープナーの
   蓋ラッチ装置において、 前記キー保持部材に弾性部材を配設し、該弾性部材によ
   り前記キー部材を弾性的に保持することを特徴とするポ
   ッドオープナーの蓋ラッチ装置。
2. 【請求項２】 請求項１において、前記弾性部材はバネ
   からなることを特徴とするポッドオープナーの蓋ラッチ
   装置。