[go: up one dir, main page]

JPH11352196A - サンプリング・デジタイザ - Google Patents

サンプリング・デジタイザ

Info

Publication number
JPH11352196A
JPH11352196A JP10160332A JP16033298A JPH11352196A JP H11352196 A JPH11352196 A JP H11352196A JP 10160332 A JP10160332 A JP 10160332A JP 16033298 A JP16033298 A JP 16033298A JP H11352196 A JPH11352196 A JP H11352196A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
digitizer
sampling
frequency signal
signal
measured
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP10160332A
Other languages
English (en)
Inventor
Takahiro Nakajima
隆博 中島
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Advantest Corp
Original Assignee
Advantest Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Advantest Corp filed Critical Advantest Corp
Priority to JP10160332A priority Critical patent/JPH11352196A/ja
Publication of JPH11352196A publication Critical patent/JPH11352196A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
  • Tests Of Electronic Circuits (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 システムに組込済みのデジタイザに高周波信
号用サンプラを増設するサンプリング・デジタイザ。 【解決手段】 組込済みのデジタイザが存在し高周波
信号用サンプリング・デジタイザを増設するシステムで
あって、既存のデジタイザと、被測定高周波信号を
入力端子から入力し低周波信号に変換するサンプリング
・ヘッドと、サンプリング・ヘッドからの低周波信号と
直接入力する被測定低周波信号とを切り換えていずれか
の信号をデジタイザに与えるるスイッチと、サンプリン
グ・ヘッドと既存デジタイザの外部クロック信号入力端
子とにサンプリング・クロックを供給するクロック発生
器と、から成るサンプリング・オプションと、既存の
デジタイザの前段にサンプリング・オプションを設けて
高周波信号も低周波信号も任意に測定できるようにし
た。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、システムに既に
組み込まれているデジタイザに、専用サンプリング・デ
ジタイザを用いることなくフロントエンドのオプション
として追加できる1チャンネルから数チャンネルのサン
プリング・デジタイザに関する。
【0002】
【従来の技術】例えばアナログ半導体試験装置におい
て、アナログICやアナログ・デジタル混在ICのDU
T(被試験デバイス)のテストを行うためにデジタル・
アナログ変換器(以後、「DAC」という)とデジタイ
ザ(以後、「DGT」という)を搭載している。そし
て、DACでアナログ信号を発生しDUTに与えてその
応答信号をDGTでデジタイズし、DUTのアナログ特
性をテストする。ここで、DGTとはサンプリング・ク
ロックで動作するアナログ・デジタル変換器である。
【0003】これらのシステムに搭載されるDGTは、
目的や用途によって各種の機種がある。例えば、1Ms
ps(サンプル/秒)と低速ではあるが18ビット分解
能の高精度DGTや、20Mspsの高速DGTや、1
00Mspsの超高速DGTや、更に数GHzまで測定
できるサンプリングDGTなどがある。図6に従来のシ
ステムに搭載されているサンプリングDGTやDGTの
ブロック図を示す。チャンネルCH1やCH2やCH3
のように、それぞれ専用ユニットとして搭載される。従
って、必要なチャンネル数によりユニットを追加する必
要があった。
【0004】図6においては、CH1及びCH2は高周
波信号処理のサンプリングDGTであり、CH3は高精
度DGTである。DUTの出力端子より出力される被測
定アナログ信号は、CH1の入力端子11 、CH2の入
力端子12 、CH3の入力端子13 にそれぞれ入力され
る。CH1及びCH2ではサンプリング・ヘッド2iで
クロック発生部4iからのサンプリング・クロックで低
周波信号に変換され、それぞれのデジタイザ3iでデジ
タイズされ処理される。CH3では直接デジタイザ3で
高精度にデジタイズされ処理される。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】このアナログ半導体試
験装置で、DGTを用途別に搭載してDUTをテストす
ることは非常に有効な手段である。しかしながら、DU
TであるアナログICやアナログ・デジタル混在ICの
発展はめざましく、より集積度が高度になり、扱う周波
数範囲も高周波から低周波まで高帯域化し、入出力ピン
数も益々多くなり、非常に高度化してきている。例え
ば、通信用LSIやTV用LSIでは数100MHzの
高周波数からオーディオ用の1KHz前後の低周波数ま
で混在しているLSIが開発され、入出力ピンは増大し
テストするピン数も増えている。
【0006】このようにしてDUTが多様化する度に、
専用ユニットのDGTやサンプリングDGTを追加し搭
載してテストすることは高価格となり、テストコストの
増加につながる。この発明は、DGTには最も必要な種
類のDGTを搭載し、高周波信号のテストが必要である
場合には、フロントエンドとしてサンプラ・オプション
を追加してテストできるようにし、テストコストの低減
を図ることを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、この第1発明はシステムに組込済みのデジタイザを
基準にして、サンプリング・オプションをデジタイザの
前段に設けて、被測定信号が低周波信号のときは直接デ
ジタイザに、被測定信号が高周波信号のときはサンプリ
ング・オプションを通して被測定信号をデジタイザに伝
送して測定するようにした。
【0008】第2発明は複数の高周波信号をテストする
必要があるシステムの場合である。この場合には、入力
端子とサンプリング・ヘッドとを複数個並列に設け、そ
れぞれのサンプリング・ヘッドの出力信号をアナログ・
マルチプレクサで選択して組込済みのデジタイザに伝送
し、測定することとした。低周波入力信号がある場合に
は勿論、入力端子からアナログ・マルチプレクサに直接
接続する。次に、構成を述べる。
【0009】第1発明は、次の通りである。組込済み
のデジタイザが存在し、高周波信号用サンプリング・デ
ジタイザを増設するシステムであって、既存のデジタ
イザと、被測定高周波信号を入力端子から入力し低周
波信号に変換するサンプリング・ヘッドと、サンプリン
グ・ヘッドからの低周波信号と直接入力する被測定低周
波信号とを切り換えていずれかの信号をデジタイザに与
えるスイッチと、サンプリング・ヘッドと既存デジタイ
ザの外部クロック信号入力端子とにサンプリング・クロ
ックを供給するクロック発生部と、から成るサンプリン
グ・オプションと、既存のデジタイザの前段にサンプ
リング・オプションを設けて高周波信号も低周波信号も
任意に測定できるようにしたものである。
【0010】第2発明は次による。組込済みのデジタ
イザが存在して複数の高周波信号用サンプリング・デジ
タイザを増設するシステムであって、既存のデジタイ
ザと、複数の被測定高周波信号をそれぞれの入力端子
から入力し低周波信号に変換しアナログ・マルチプレク
サに出力する複数のサンプリング・ヘッドと、複数の入
力信号のいずれかの信号を選択してデジタイザに出力信
号を与えるアナログ・マルチプレクサと、複数のサンプ
リング・ヘッドとアナログ・マルチプレクサと既存デジ
タイザの外部クロック信号入力端子とにそれぞれの信号
を生成し供給するクロック発生部と、から成る複数サン
プリング・オプションと、既存のデジタイザの前段に
複数サンプリング・オプションを設けて、複数の高周波
信号を任意に測定できるサンプリング・デジタイザであ
る。
【0011】
【発明の実施の形態】発明の実施の形態を実施例に基づ
き図面を参照して説明する。図1に本発明の一実施例の
構成図を、図2に図1のタイミングチャートを、図3に
本発明の他の実施例の構成図を、図4に図3のタイミン
グチャートを示す。図6と同一部分には同一符号を付
す。先ず、図1より説明する。
【0012】図1の構成は、組込済みデジタイザ3のシ
ステムにおいて、デジタイザ3の前段にサンプリング・
オプション10を設け、スイッチ11の切換によって、
被測定高周波信号もしくは従前の被測定低周波信号を測
定できるようにしたものである。サンプリング・オプシ
ョン10はサンプリング・ヘッド2とクロック発生部4
とスイッチ11とから構成される。被測定高周波信号は
入力端子12 から入力され、サンプリング・ヘッド2で
低周波に変換され、スイッチ11を経てデジタイザ3に
入力される。クロック発生部4はサンプリング・ヘッド
用クロックとデジタイザ用クロックを生成し発生してい
【0013】図2に図1のタイミング・チャートを示し
ている。図2(A)はサンプリング・ヘッド2への入力
波形とサンプリング後の出力波形aである。図2(B)
に示すサンプリング・パルスが与えられると、そのタイ
ミングでサンプリングされる。図2(C)は低周波に変
換されたサンプリング・ヘッド2の出力波形でありデジ
タイザ3の入力波形である。図2(D)のクロック信号
のタイミング時に、図2(C)の信号はデジタイズされ
る。
【0014】図3の構成は複数の高周波信号をテストす
るために、複数サンプリング・オプション20を既存の
デジタイザ3の前段に設けたものである。複数サンプリ
ング・オプション20は複数のサンプリング・ヘッド2
i(i=1〜n)を並べて配置し複数の入力端子1iよ
り複数の被測定高周波信号を入力する。それぞれのサン
プリング・ヘッド2iはサンプリング用クロックでそれ
ぞれの入力信号をサンプリングし低周波信号に変換しア
ナログ・マルチプレクサ21に出力する。アナログ・マ
ルチプレクサ21は切り替え信号によってそのうちのい
ずれかの信号を選択する。選択された被測定信号はデジ
タイザ3に送られてデジタイズする。図示していない
が、被測定低周波信号が存在するときには、直接アナロ
グ・マルチプレクサ21に与えて選択することもでき
る。
【0015】クロック発生部4は複数のサンプリング・
ヘッド2i用クロックと、アナログ・マルチプレクサ2
1用切り替え信号とデジタイザ3用タイミング・クロッ
クとを、それぞれのタイミングに連動させてクロックを
生成し発生させて、それぞれの部処に供給する。
【0016】図4に図3のタイミングチャートを示す。
図4(A)から(C)は、複数のサンプリング・ヘッド
2iに入力される高周波信号の波形とサンプリングされ
て低周波に変換された出力波形a、b、c、である。サ
ンプリングは、図4(D)に示すサンプリング・クロッ
クのタイミングで行われる。サンプリング・ヘッド2i
の出力波形a、b、c、はアナログ・マルチプレクサ2
1に伝送されて、図4(F)に示す切り換え信号で選択
されて、図4(E)に示すアナログ信号がデジタイザ3
に伝送される。デジタイザ3では図4(H)に示すクロ
ック信号でデジタイズされ、図4(G)に示す低周波信
号であるアナログ信号a、b、…、n、は、それぞれデ
ジタル・データに変換され、例えば、図5に示す順番に
メモりされて、その後にデータ処理される。
【0017】
【発明の効果】以上詳細に説明したように、この発明は
システムに適した組込済みのデジタイザ3が存在し、更
にサンプリング・デジタイザが必要になった場合に、専
用ユニットのサンプリング・デジタイザを追加設置する
ことなく、組込済みのデジタイザ3を用いて測定できる
フロントエンドのサンプリング・オプション10を提供
することができた。よって、従来通りのデジタイザの測
定もできるし、高周波信号に対するサンプリング・デジ
タイザの測定もできるようになった。
【0018】更に、複数のサンプリング・ヘッド2iと
アナログ・マルチプレクサ21を用いた複数サンプリン
グ・オプション20を提供することができた。組込済み
の一つのデジタイザ3を用いて、複数の被測定高周波信
号を同時に低周波に変換するサンプリング・ヘッド2i
を用いて複数の被測定信号を、一つのデジタイザ3でデ
ジタイズできることは有効である。
【0019】この発明は、例えばアナログ半導体試験装
置において、被測定デバイスの技術進歩が高速で多様な
DUTが出現してもサンプリング・オプション10ある
いは複数サンプリング・オプション20を用いることに
より専用ユニットを追加設置する必要がなく、テストコ
ストの低減につながり、その効果は大である。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例の構成図である。
【図2】図1の動作を説明するタイミングチャートであ
る。図2(A)のサンプリング・ヘッド2の入力高周波
信号と出力低周波信号aであり、図2(B)は図2
(A)のサンプリング・クロックである。図2(C)は
デジタイザ3の入力波形であり、図2(D)は図2
(C)の波形をデジタイズするクロック信号である。
【図3】本発明の他の実施例の構成図である。
【図4】図3の動作を説明するタイミングチャートであ
る。図4(A)〜(C)はそれぞれの高周波入力波形と
サンプル波形a、b、c、であり、図4(D)はサンプ
リング・クロックである。図4(E)はアナログ・マル
チプレクサの出力波形であり、図4(F)はマルチプレ
クサの切換信号である。図4(G)はデジタイザの入力
信号であり、図4(H)はデジタイザのクロック信号で
ある。
【図5】図3で測定したデータを記憶するデジタイザ・
メモリの構成例の図である。
【図6】従来のシステムに搭載される専用ユニットによ
る各チャンネルの構成例のブロック図である。
【符号の説明】
1i(i=1〜n) 入力端子 2、2i(i=1〜n) サンプリング・ヘッド 3 デジタイザ 4、4i クロック発生部 10 サンプリング・オプション 11 スイッチ 20 複数サンプリング・オプション 21 アナログ・マルチプレクサ

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 組込済みのデジタイザ(3)が存在し、
    高周波信号用サンプリング・デジタイザを増設するシス
    テムにおいて、 既存のデジタイザ(3)と、 被測定高周波信号を入力端子から入力し低周波信号に変
    換するサンプリング・ヘッド(2)と、サンプリング・
    ヘッド(2)からの低周波信号と直接入力する被測定低
    周波信号とを切り換えていずれかの信号をデジタイザ
    (3)に与えるスイッチ(11)と、サンプリング・ヘ
    ッド(2)と既存デジタイザ(3)の外部クロック信号
    入力端子とにサンプリング・クロックを供給するクロッ
    ク発生部(4)と、から成るサンプリング・オプション
    (10)と、 既存のデジタイザ(3)の前段にサンプリング・オプシ
    ョン(10)を設け、高周波信号も低周波信号も任意に
    測定できることを特徴とするサンプリング・デジタイ
    ザ。
  2. 【請求項2】 組込済みのデジタイザ(3)が存在し、
    複数の高周波信号用サンプリング・デジタイザを増設す
    るシステムにおいて、 既存のデジタイザ(3)と、 複数の被測定高周波信号をそれぞれの入力端子(1i)
    から入力し低周波信号に変換しアナログ・マルチプレク
    サ(21)に出力する複数のサンプリング・ヘッド(2
    i)と、複数の入力信号のいずれかの信号を選択してデ
    ジタイザ(3)に出力信号を与えるアナログ・マルチプ
    レクサ(21)と、複数のサンプリング・ヘッド(2
    i)とアナログ・マルチプレクサ(21)と既存のデジ
    タイザ(3)の外部クロック信号入力端子とにそれぞれ
    の信号を生成し供給するクロック発生部(4)と、から
    成る複数サンプリング・オプション(20)と、 既存のデジタイザ(3)の前段に複数サンプリング・オ
    プション(20)を設けて、複数の高周波信号を任意に
    測定できることを特徴とするサンプリング・デジタイ
    ザ。
JP10160332A 1998-06-09 1998-06-09 サンプリング・デジタイザ Pending JPH11352196A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP10160332A JPH11352196A (ja) 1998-06-09 1998-06-09 サンプリング・デジタイザ

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP10160332A JPH11352196A (ja) 1998-06-09 1998-06-09 サンプリング・デジタイザ

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH11352196A true JPH11352196A (ja) 1999-12-24

Family

ID=15712689

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP10160332A Pending JPH11352196A (ja) 1998-06-09 1998-06-09 サンプリング・デジタイザ

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH11352196A (ja)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5418452A (en) Apparatus for testing integrated circuits using time division multiplexing
JP3984282B2 (ja) 試験装置
US8324885B2 (en) Mixed signal acquisition system for a measurement instrument
US6445208B1 (en) Power source current measurement unit for semiconductor test system
US6864699B2 (en) Apparatus for testing integrated circuits having an integrated unit for testing digital and analog signals
US6966019B2 (en) Instrument initiated communication for automatic test equipment
CA2347236A1 (en) Integrated multi-channel analog test instrument architecture
US20070162800A1 (en) Semiconductor test system
US6751566B2 (en) Sampling digitizer, method for sampling digitizing, and semiconductor integrated circuit test device with sampling digitizer
JPH11352196A (ja) サンプリング・デジタイザ
JP2000065890A (ja) Lsiテストシステム
US6373260B1 (en) Single cable, single point, stimulus and response probing system and method
JP2561816B2 (ja) タイミング較正方法
KR20030077941A (ko) 이벤트 기반 테스트 시스템을 위한 스캔 벡터 지원
JP2000353955A (ja) サンプリング・デジタイザ
JPH0829500A (ja) 半導体試験装置
KR20040013283A (ko) 통합 계측기
JP3067850U (ja) 半導体試験装置
JP2002156389A (ja) サンプリングデジタイザ及びこのサンプリングデジタイザを備えた半導体集積回路試験装置
JPH0926468A (ja) 半導体試験装置における周波数/周期測定装置
US6654700B2 (en) Testing method of semiconductor integrated circuit and equipment thereof
JP2001296333A (ja) Icテスタ
WO2004003583A1 (en) Instrument initiated communication for automatic test equipment
JPH06249921A (ja) ミックスドシグナルicテスタ
JPH0829488A (ja) I/oピンエレクトロニクス回路

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20050318

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20061101

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20061114

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20070313