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JPH11329069A - 異方導電性接着フィルム - Google Patents

異方導電性接着フィルム

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Publication number
JPH11329069A
JPH11329069A JP12839798A JP12839798A JPH11329069A JP H11329069 A JPH11329069 A JP H11329069A JP 12839798 A JP12839798 A JP 12839798A JP 12839798 A JP12839798 A JP 12839798A JP H11329069 A JPH11329069 A JP H11329069A
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JP
Japan
Prior art keywords
anisotropic conductive
adhesive film
stress
particles
conductive adhesive
Prior art date
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Granted
Application number
JP12839798A
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English (en)
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JP3477367B2 (ja
Inventor
Kaori Suemasa
香里 末政
Masamitsu Itagaki
政光 板垣
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Dexerials Corp
Original Assignee
Sony Chemicals Corp
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Publication date
Application filed by Sony Chemicals Corp filed Critical Sony Chemicals Corp
Priority to JP12839798A priority Critical patent/JP3477367B2/ja
Publication of JPH11329069A publication Critical patent/JPH11329069A/ja
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Abstract

(57)【要約】 【課題】バインダーのガラス転移温度を低下させること
なく接着剤としての実効接着力を向上しうる異方導電性
接着フィルムを提供する。 【解決手段】本発明の異方導電性接着フィルム1は、絶
縁性接着剤中に導電粒子を分散され、絶縁性接着剤樹脂
6中にゴム系の弾性材料からなる応力吸収粒子8が分散
されている。応力吸収粒子の弾性率は、硬化後の絶縁性
接着剤樹脂6の弾性率より小さく、その平均粒径は、導
電粒子7の平均粒径より小さい。応力吸収粒子8として
は、架橋ポリブタジエンが用いられる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば、液晶表示
装置(LCD)と回路基板との間の電気的な接続に用い
られる異方導電性接着フィルムに関する。
【0002】
【従来の技術】従来より、例えば、液晶表示装置と集積
回路基板等を接続する手段として、異方導電性接着フィ
ルムが用いられている。この異方導電性接着フィルム
は、例えば、TCP(Tape Carieer Package)やICチッ
プの接続電極と、LCDパネルのガラス基板上に形成さ
れたITO(Indium Tin Oxide)電極とを接続する場合を
始めとして、種々の端子間を接着するとともに電気的に
接続する場合に用いられている。
【0003】従来、異方導電性接着フィルムの絶縁性接
着剤(バインダー)には、例えば、ビスフェノールA型
エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、フェ
ノキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂、ノボラック型
エポキシ樹脂等のエポキシ樹脂を、イミダゾール系の硬
化剤で熱硬化させる熱硬化性樹脂が広く用いられてい
る。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上述した従
来のバインダーの場合、高温時における信頼性及び被着
体との間の接着強度を確保するため、ガラス転移温度
(Tg)が高く、しかも硬化時の弾性率が大きい材料が用
いられている。
【0005】しかしながら、このような従来の異方導電
性接着フィルムにおいて外部応力に起因する力がバイン
ダーに加わった場合には、バインダーの被着体との界面
部分に大きな内部応力が発生し、これにより異方導電性
接着フィルムの見かけ上の接着強度(実効接着力)が低
下するという問題があった。
【0006】本発明は、このような従来の技術の課題を
解決するためになされたもので、バインダーについてガ
ラス転移温度を低下させることなく接着剤としての実効
接着力を向上しうる異方導電性接着フィルムを提供する
ことを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】本発明者等は、上記目的
を達成するために鋭意研究を重ねた結果、バインダー中
に特定のゴム系の弾性粒子を添加することによって当該
バインダーに生ずる内部応力を低減しうることを見い出
し、本発明を完成するに至った。
【0008】かかる知見に基づいてなされた請求項1記
載の発明は、絶縁性接着剤中に導電粒子を分散してなる
異方導電性接着フィルムであって、上記絶縁性接着剤中
にゴム系の弾性材料からなる応力吸収粒子が分散されて
いることを特徴とする。
【0009】請求項1記載の発明にあっては、外部応力
に起因する力が絶縁性接着剤に加わった場合に、この応
力吸収粒子が大きく弾性変形することによって、絶縁性
接着剤の被着体との界面部分に生ずる内部応力が吸収さ
れ、絶縁性接着剤全体としての弾性率が低下する。その
結果、本発明によれば、絶縁性接着剤のガラス転移温度
を下げることなく、接着剤としての実効接着力を向上さ
せることが可能になる。
【0010】一方、請求項2記載の発明は、請求項1記
載の発明において、応力吸収粒子の弾性率が、硬化後の
絶縁性接着剤の弾性率より小さいことを特徴とする。
【0011】また、請求項3記載の発明は、請求項1又
は2のいずれか1項記載の発明において、応力吸収粒子
の平均粒径が、導電粒子の平均粒径より小さいことを特
徴とする。
【0012】請求項3記載の発明によれば、異方導電性
接着フィルムを圧着する際に、接続電極に対して導電粒
子をより確実に接続させることが可能になる。
【0013】さらに、請求項4記載の発明は、請求項1
乃至3のいずれか1項記載の発明において、絶縁性接着
剤中への応力吸収粒子の添加量が0.5〜30重量%で
あることを特徴とする。
【0014】さらにまた、請求項5記載の発明は、請求
項1乃至4のいずれか1項記載の発明において、応力吸
収粒子が架橋ポリブタジエンを主体とする材料からなる
ものであることを特徴とする。
【0015】加えて、請求項6記載の発明は、請求項1
乃至5のいずれか1項記載の発明において、応力吸収粒
子が、低ガラス転移温度の核材の表面に高ガラス転移温
度の表面層を形成したものであることを特徴とする。
【0016】請求項5又は6記載の発明によれば、応力
吸収粒子の弾性率を容易に小さくすることができるた
め、絶縁性接着剤樹脂の内部応力を一層小さくすること
ができ、接着剤としての実効接着力をより向上させるこ
とができる。
【0017】特に、請求項6記載の発明のように、応力
吸収粒子として低ガラス転移温度の核材の表面に高ガラ
ス転移温度の表面層を形成したものを用いれば、表面層
のガラス転移温度が絶縁性接着剤樹脂のガラス転移温度
に近くなり絶縁性接着剤樹脂との密着性が向上する。
【0018】一方、応力吸収粒子の内部は低ガラス転移
温度のもので弾性率がより小さいため、絶縁性接着剤樹
脂の内部応力を確実に吸収してこれを一層小さくするこ
とができる。しかも、本発明によれば、環境変化によっ
て生ずる応力をも吸収することができるため、長期にわ
たって導通信頼性及び接続信頼性を確保することが可能
になる。
【0019】
【発明の実施の形態】以下、本発明に係る異方導電性接
着フィルムの実施の形態を図面を参照して詳細に説明す
る。図1(a)〜(c)は、本発明に係る異方導電性接
着フィルムの好ましい実施の形態を示すもので、図1
(a)は、熱圧着前の状態を示す構成図、図1(b)
は、熱圧着後の状態を示す構成図、図1(c)は、図1
(b)の一点鎖線Aで示す部分の作用を示す説明図であ
る。
【0020】図1に示すように、本発明の異方導電性接
着フィルム1は、例えばLCDパネル2のITO電極3
とLSIチップ4のバンプ5とを接続する際に用いられ
るもので、フィルム状の絶縁性接着剤樹脂(絶縁性接着
剤)6中に導電粒子7が分散されて構成される。
【0021】この場合、絶縁性接着剤樹脂6としては、
例えば、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノ
ールF型エポキシ樹脂、フェノキシ樹脂、ナフタレン型
エポキシ樹脂、ノボラック型エポキシ樹脂等のエポキシ
樹脂を主成分として、カップリング剤、硬化剤等を含む
ものなどを用いることができる。
【0022】ここで、絶縁性接着剤樹脂6の厚さは、L
SIチップのバンプの高さ及び異方導電性接着フィルム
の充填性の観点から、10〜60μmとすることが好ま
しい。
【0023】また、絶縁性接着剤樹脂6は、硬化後の弾
性率が、後述する応力吸収粒子8の弾性率より大きいも
のを用いるとよい。
【0024】好ましい絶縁性接着剤樹脂6の弾性率は、
常温時において、1×109〜1×1012dyn/cm2であ
り、さらに好ましくは1×1010〜1×1011dyn/cm2
である。
【0025】絶縁性接着剤樹脂6の弾性率が1×109d
yn/cm2より小さいと、保持力が低下するという不都合が
あり、1×1012dyn/cm2より大きいと、絶縁性接着剤樹
脂6の内部応力を十分に小さくすることができないとい
う不都合がある。
【0026】また、絶縁性接着剤樹脂6のガラス転移温
度(Tg)は、80〜200℃であることが好ましく、
さらに好ましくは100〜150℃である。
【0027】絶縁性接着剤樹脂6のガラス転移温度が8
0℃より小さいと、異方導電性接着フィルム1の耐熱性
が低下するという不都合があり、200℃より大きい
と、絶縁性接着剤樹脂6に生ずる内部応力を十分に小さ
くすることが困難になるという不都合がある。
【0028】一方、導電粒子7としては、例えば、ニッ
ケル、金、銅等の金属粒子、樹脂粒子に金めっき等を施
したもの、また、樹脂粒子に金めっきを施した粒子の最
外層に絶縁被覆を施したもの等を用いることができる。
【0029】ここで、導電粒子7の平均粒径は、導通信
頼性の観点から、1〜20μmとすることが好ましい。
【0030】また、絶縁性接着剤樹脂6中への導電粒子
7の分散量は、導通信頼性及び絶縁信頼性の観点から、
2〜50重量%とすることが好ましい。
【0031】また、図示はしないが、この異方導電性接
着フィルム1は、剥離用の例えば剥離処理を施したポリ
エチレンテレフタレート(PET)フィルム上に形成さ
れており、また、異方導電性接着フィルム1の表面は必
要に応じてカバーフィルムによって覆われている。
【0032】一方、本発明においては、絶縁性接着剤樹
脂6中に、ゴム系の弾性材料からなる応力吸収粒子8が
分散されている。
【0033】ここで、応力吸収粒子8としては、その弾
性率が硬化後の絶縁性接着剤樹脂6の弾性率より小さい
ものを用いるとよい。
【0034】好ましい応力吸収粒子8の弾性率は、1×
108〜1×1010dyn/cm2であり、さらに好ましくは1
×109〜1×1010dyn/cm2である。
【0035】応力吸収粒子8の弾性率が1×108dyn/c
m2より小さいと、保持力が低下するという不都合があ
り、1×1010dyn/cm2より大きいと、絶縁性接着剤樹脂
6の内部応力を十分に小さくすることができないという
不都合がある。
【0036】また、応力吸収粒子8のガラス転移温度
は、80〜120℃であることが好ましく、さらに好ま
しくは80〜100℃である。
【0037】応力吸収粒子8のガラス転移温度が80℃
より小さいと、異方導電性接着フィルム1の耐熱性が低
下するという不都合があり、120℃より大きいと、絶
縁性接着剤樹脂6に生ずる内部応力を十分に小さくする
ことが困難になるという不都合がある。
【0038】さらに、応力吸収粒子8としては、核材に
低ガラス転移温度(−80〜−30℃、より好ましくは
−70〜−40℃)の材料を用い、この核材の表面を上
記高ガラス転移温度(80〜120℃、より好ましくは
80〜100℃)の樹脂で被覆したものがより好まし
い。
【0039】この場合、低ガラス転移温度の核材の表面
に高ガラス転移温度の表面層を形成するには、例えば、
核材の表面にエポキシ樹脂等の樹脂をグラフト重合する
とよい。
【0040】本発明において使用可能な応力吸収粒子8
としては、例えば、架橋アクリロニトリル−ブタジエン
ゴム、架橋アクリルゴム、カルボン酸変性アクリロニト
リル−ブタジエンゴム、シリコーンゴム、架橋ポリブタ
ジエンゴムからなるものがあげられる。
【0041】また、核材としてこれらのゴムを用い、核
材の表面にエポキシ樹脂等の樹脂をグラフト重合して表
面層を形成した応力吸収粒子6は、絶縁性接着剤樹脂6
に生ずる内部応力を一層小さくする観点から、より好ま
しいものである。
【0042】また、導電粒子7と接続電極間の電気的な
接続を十分に確保するためには、応力吸収粒子8の平均
粒径は、導電粒子7の平均粒径より小さいことが好まし
い。
【0043】好ましい応力吸収粒子8の平均粒径は、1
0nm〜2μmであり、さらに好ましくは30〜100
0nmである。
【0044】絶縁性接着剤樹脂6の内部応力を小さくす
るためには添加する応力吸収粒子8の粒径が小さくその
表面積が大きい方が望ましいが、応力吸収粒子8の平均
粒径が10nmより小さいと、応力を吸収しきれないと
いう不都合がある。
【0045】他方、応力吸収粒子8の平均粒径が2μm
より大きいと、導電粒子7と接続電極間の電気的な接続
が低下するおそれがある。
【0046】一方、絶縁性接着剤中への応力吸収粒子8
の添加量は、0.5〜30重量%であることが好まし
く、さらに好ましくは1.0〜20重量%である。
【0047】絶縁性接着剤中への応力吸収粒子8の添加
量が0.5重量%より小さいと、絶縁性接着剤樹脂6に
生ずる内部応力を十分に小さくすることができず、30
重量%より大きいと、フィルムになりにくく、また耐熱
性が低下するという不都合がある。
【0048】本発明の異方導電性接着フィルム1を作成
するには、まず、所定のエポキシ樹脂を溶解させた溶液
に、ゴム系の弾性材料からなる応力吸収粒子8と硬化剤
等を所定量加えて混合し、溶剤に分散させた導電粒子7
をこの溶液に加えて混合してバインダーを調製する。
【0049】このバインダーを例えばポリエステルフィ
ルム等の剥離フィルム上にコーティングし、乾燥後、カ
バーフィルムをラミネートして異方導電性接着フィルム
1を得る。
【0050】本発明の異方導電性接着フィルム1を用い
て電極間の接続を行う場合には、図1(a)(b)に示
すように、例えばLCDパネル2側に異方導電性接着フ
ィルム1を貼付し、LSIチップ4の位置合わせ(仮接
続)を行った後に、所定の温度及び圧力で熱圧着を行う
ことにより、LSIチップ4の電極5とLCDパネル2
の電極3とを電気的に接続させた状態で絶縁性接着剤樹
脂6を硬化させる。
【0051】ところで、一般に、異方導電性接着フィル
ムの接着界面に発生する内部応力σは、次の式(1)によ
って算出しうることが知られている。
【0052】
【数1】
【0053】本発明の異方導電性接着フィルム1におい
て、異方導電性接着フィルム1に対して外部応力に起因
する力Fが加わった場合には、例えば、図1(c)に示
すように、絶縁性接着剤樹脂6より弾性率の小さい各応
力吸収粒子8が絶縁性接着剤樹脂6の各部分より大きく
変形することによってこれらの部分においていわば応力
が吸収された状態となるため、異方導電性接着フィルム
1全体としての弾性率は絶縁性接着剤樹脂6のみの場合
に比べて小さくなる。
【0054】その結果、本発明によれば、式(1)から明
らかなように、従来技術に比べて異方導電性接着フィル
ム1の絶縁性接着剤樹脂6中に生ずる内部応力σを小さ
くすることができる。その一方、絶縁性接着剤樹脂6は
従来と同様のものを用いることができることから、本発
明によれば、ガラス転移温度を低下させることなく接着
剤としての実効接着力を向上させることが可能になる。
【0055】この場合、応力吸収粒子8としてより弾性
率の小さいものを用いれば、絶縁性接着剤樹脂6の内部
応力を一層小さくすることができ、接着剤としての実効
接着力をより向上させることができる。
【0056】特に、応力吸収粒子8として低ガラス転移
温度の核材の表面に高ガラス転移温度の表面層を形成し
たものを用いれば、表面層のガラス転移温度が絶縁性接
着剤樹脂のガラス転移温度に近くなり絶縁性接着剤樹脂
との密着性が向上する。
【0057】特に、グラフト重合によって核材の表面に
エポキシ樹脂による表面層を形成すれば、絶縁性接着剤
樹脂6と同種の材質となるため、絶縁性接着剤樹脂6と
の密着性がより向上し、熱圧着の際に絶縁性接着剤樹脂
6と応力吸収粒子8との界面において剥離することがな
く、エージングの際において内部応力が吸収されること
によって高い接続信頼性が得られるようになる。
【0058】一方、応力吸収粒子の内部は低ガラス転移
温度のもので弾性率がより小さいため、絶縁性接着剤樹
脂の内部応力を確実に吸収してこれを一層小さくするこ
とができる。しかも、本発明によれば、高い初期接着力
が得られることに加え、環境変化によって生ずる応力を
も吸収することができるため、長期にわたって導通信頼
性及び接続信頼性を確保することが可能になる。
【0059】
【実施例】以下、本発明に係る異方導電性接着フィルム
の実施例を比較例とともに詳細に説明する。 〔実施例1〕まず、フェノキシ樹脂(東都化成社製 Y
P50)50重量部、エポキシ樹脂(油化シェル社製
828)、イミダゾール系硬化剤(旭化成社製 HX3
941HP)100重量部、シランカップリング剤(日
本ユニカー社製 A187)3.2重量部、平均粒径1
00nmの架橋ポリブタジエン粒子0.5重量部を、溶
剤トルエンに溶解して絶縁性接着剤樹脂、すなわち、バ
インダー溶液を調製する。
【0060】そして、このバインダー溶液100重量部
に、導電粒子として、平均粒径5μmのベンゾグアナミ
ン粒子にニッケル−金めっきを施したものを3.5重量
部加えてバインダーとする。
【0061】さらに、このバインダーを剥離用のPET
フィルム上に乾燥後の厚みが25μmになるようにコー
ティングし、異方導電性接着フィルムを得る。この異方
導電性接着フィルムを幅2mmのスリット状に切断し、
実施例1のサンプルとした。
【0062】〔実施例2〕架橋ポリブタジエン粒子の添
加量を1重量部とした以外は実施例1と同様の方法によ
って異方導電性接着フィルムのサンプルを作成した。
【0063】〔実施例3〕架橋ポリブタジエン粒子の添
加量を5重量部とした以外は実施例1と同様の方法によ
って異方導電性接着フィルムのサンプルを作成した。
【0064】〔実施例4〕架橋ポリブタジエン粒子の添
加量を10重量部とした以外は実施例1と同様の方法に
よって異方導電性接着フィルムのサンプルを作成した。
【0065】〔実施例5〕架橋ポリブタジエン粒子の添
加量を30重量部とした以外は実施例1と同様の方法に
よって異方導電性接着フィルムのサンプルを作成した。
【0066】〔比較例1〕架橋ポリブタジエン粒子を添
加せずにバインダー溶液を調製した以外は実施例1と同
様の方法によって異方導電性接着フィルムのサンプルを
作成した。
【0067】〔比較例2〕架橋ポリブタジエン粒子の添
加量を35重量部とした以外は実施例1と同様の方法に
よって異方導電性接着フィルムのサンプルを作成した。
【0068】〔比較例3〕架橋ポリブタジエン粒子の添
加量を40重量部とした以外は実施例1と同様の方法に
よって異方導電性接着フィルムのサンプルを作成した。
【0069】〔実施例6〕平均粒径10nmの架橋ポリ
ブタジエン粒子を5重量部添加した以外は実施例1と同
様の方法によって異方導電性接着フィルムのサンプルを
作成した。
【0070】〔実施例7〕架橋ポリブタジエン粒子の平
均粒径を1μmとした以外は実施例6と同様の方法によ
って異方導電性接着フィルムのサンプルを作成した。
【0071】〔実施例8〕架橋ポリブタジエン粒子の平
均粒径を2μmとした以外は実施例6と同様の方法によ
って異方導電性接着フィルムのサンプルを作成した。
【0072】〔比較例4〕架橋ポリブタジエン粒子の平
均粒径を5μmとした以外は実施例6と同様の方法によ
って異方導電性接着フィルムのサンプルを作成した。
【0073】〔比較例5〕架橋ポリブタジエン粒子を添
加せずに液状ゴム(日本ゼオン社製 DN−601)を
5重量部添加した以外は実施例1と同様の方法によって
異方導電性接着フィルムのサンプルを作成した。
【0074】〔比較例6〕液状ゴムの添加量を10重量
部とした以外は比較例5と同様の方法によって異方導電
性接着フィルムのサンプルを作成した。
【0075】〔比較例7〕液状ゴムの添加量を30重量
部とした以外は比較例5と同様の方法によって異方導電
性接着フィルムのサンプルを作成した。
【0076】<評価結果>次に、上述のサンプルを用
い、プリント基板とガラス基板との圧着を行った。この
場合、プリント基板としては、厚みが75μmのポリイ
ミドからなる基材上に、厚み35μmの銅箔にすずめっ
きを施したパターンを200μmのピッチで形成したも
のを用いた。一方、ガラス基板としては、全面にITO
による電極が形成されたもので、その表面抵抗が10Ω
/□となるものを用いた。そして、このようにして作成
した各サンプルについて、導通抵抗値、接着強度、フィ
ルム性の測定を行った。その結果を表1に示す。
【0077】
【表1】
【0078】この場合、導通抵抗の判定は、3Ω以下の
ものを良好(○)、3〜20Ωのものをやや不良
(△)、20Ωより大きくなったものを不良(×)とし
た。
【0079】一方、接着強度については、温度85℃、
相対湿度85%〜温度45℃、相対湿度90%の条件下
で1000時間エージング後において、引張り速度が5
0mm/分で、ガラス基板からプリント基板を90°方
向に引き剥がすときの接着力を測定した。
【0080】そして、接着強度が600g/cm以上の
ものをきわめて良好(◎)、300g/cmより大きく
600g/cm未満のものを良好(○)、300g/c
m以下のものを不良(×)とした。
【0081】さらに、フィルム性については、容易にフ
ィルム化したものを良好(○)、フィルムになりにくい
ものをやや不良(△)、フィルムにならなかったものを
不良(×)とした。
【0082】表1に示すように、ゴム系の弾性材料から
なる応力吸収粒子を添加した実施例1〜5は、応力吸収
粒子を添加しない比較例1に比べて接着強度が向上し
た。この場合、応力吸収粒子の添加量が多いほど接着強
度が向上したが、35重量%以上添加すると、フィルム
になりにくく(比較例2)、40重量%以上添加した場
合にはフィルム化することができなかった(比較例
3)。
【0083】以上の結果から、応力吸収粒子の添加量
は、0.5〜30重量%が効果的であると考えられる。
【0084】実施例6〜8及び比較例4において応力吸
収粒子の粒径を変えて評価を行ったが、応力吸収粒子の
粒径が2μmを超えると導通抵抗値がやや大きくなり
(実施例8、実用可能なレベルである)、応力吸収粒子
の粒径が導電粒子の粒径より大きい5μmの場合には、
接続電極間の導通がとれなくなった(比較例4)。一
方、接着強度については、応力吸収粒子の粒径による差
はみられなかった。
【0085】さらに、応力吸収粒子の代わりに液状ゴム
評価を添加した比較例5〜7は、応力吸収粒子を添加し
ない比較例1に比べて接着強度の向上はみられなかっ
た。
【0086】
【発明の効果】以上述べたように本発明によれば、異方
導電性接着フィルムにおいて、バインダーのガラス転移
温度を低下させることなく接着剤としての実効接着力を
向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】図1(a)〜(c)は、本発明に係る異方導電
性接着フィルムの好ましい実施の形態を示すもので、図
1(a)は、熱圧着前の状態を示す構成図、図1(b)
は、熱圧着後の状態を示す構成図、図1(c)は、図1
(b)の一点鎖線Aで示す部分の作用を示す説明図であ
る。
【符号の説明】
1 異方導電性接着フィルム 2 LCDパネル 3 ITO電極 4 LSIチップ 5 バンプ 6 絶縁性接着剤樹脂(絶縁性接着剤) 7 導電粒子 8 応力吸収粒子

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】絶縁性接着剤中に導電粒子を分散してなる
    異方導電性接着フィルムであって、 上記絶縁性接着剤中にゴム系の弾性材料からなる応力吸
    収粒子が分散されていることを特徴とする異方導電性接
    着フィルム。
  2. 【請求項2】応力吸収粒子の弾性率が、硬化後の絶縁性
    接着剤の弾性率より小さいことを特徴とする請求項1記
    載の異方導電性接着フィルム。
  3. 【請求項3】応力吸収粒子の平均粒径が、導電粒子の平
    均粒径より小さいことを特徴とする請求項1又は2のい
    ずれか1項記載の異方導電性接着フィルム。
  4. 【請求項4】絶縁性接着剤中への応力吸収粒子の添加量
    が0.5〜30重量%であることを特徴とする請求項1
    乃至3のいずれか1項記載の異方導電性接着フィルム。
  5. 【請求項5】応力吸収粒子が、架橋ポリブタジエンを主
    体とする材料からなることを特徴とする請求項1乃至4
    のいずれか1項記載の異方導電性接着フィルム。
  6. 【請求項6】応力吸収粒子が、低ガラス転移温度の核材
    の表面に高ガラス転移温度の表面層を形成したものであ
    ることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項記載
    の異方導電性接着フィルム。
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