JPH11323534A - カーボン蒸着装置 - Google Patents
カーボン蒸着装置Info
- Publication number
- JPH11323534A JPH11323534A JP10132092A JP13209298A JPH11323534A JP H11323534 A JPH11323534 A JP H11323534A JP 10132092 A JP10132092 A JP 10132092A JP 13209298 A JP13209298 A JP 13209298A JP H11323534 A JPH11323534 A JP H11323534A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- capacitor
- current
- carbon
- circuit
- power supply
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Discharge Heating (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 本発明は、カーボン棒間に大電流を断続的に
供給してカーボン蒸着するカーボン蒸着装置に関し、商
用電源から一定電流で充電し当該充電した直流電源をも
とに数秒間断続的な大電流をカーボンに通電加熱してカ
ーボン蒸着し、入力電源に対する負荷変動を軽減するこ
とを目的とする。 【解決手段】 商用電源を整流し抵抗を介してコンデン
サに充電する回路と、コンデンサに充電された直流電源
をもとに低電圧の大電流を発生し、カーボン棒間に通電
する回路とを備えるように構成する。
供給してカーボン蒸着するカーボン蒸着装置に関し、商
用電源から一定電流で充電し当該充電した直流電源をも
とに数秒間断続的な大電流をカーボンに通電加熱してカ
ーボン蒸着し、入力電源に対する負荷変動を軽減するこ
とを目的とする。 【解決手段】 商用電源を整流し抵抗を介してコンデン
サに充電する回路と、コンデンサに充電された直流電源
をもとに低電圧の大電流を発生し、カーボン棒間に通電
する回路とを備えるように構成する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、カーボン棒間に大
電流を断続的に供給してカーボン蒸着するカーボン蒸着
装置に関するものである。
電流を断続的に供給してカーボン蒸着するカーボン蒸着
装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、走査型電子顕微鏡などにおいて、
非導電性の試料を観察したり元素分析したりする場合、
図５の（ａ）に示すように、カーボン棒の一方は先端を
尖らせ、他方は斜めにカットして両者をバネの力で相互
に接触させ、通電加熱して接触した部分のみを高温にし
てカーボンを蒸発させ、下方に置いた試料上に蒸着し、
粒径が極めて小さい非晶質の導電性のカーボン膜を成膜
していた。
非導電性の試料を観察したり元素分析したりする場合、
図５の（ａ）に示すように、カーボン棒の一方は先端を
尖らせ、他方は斜めにカットして両者をバネの力で相互
に接触させ、通電加熱して接触した部分のみを高温にし
てカーボンを蒸発させ、下方に置いた試料上に蒸着し、
粒径が極めて小さい非晶質の導電性のカーボン膜を成膜
していた。
【０００３】この際、図５の（ｂ）、（ｃ）に示すよう
に、数秒間断続的に８０〜１００Ａで２０〜３０Ｖから
なる２ＫＷの電力を図５の（ａ）のカーボン棒間に通電
して加熱する必要があった。
に、数秒間断続的に８０〜１００Ａで２０〜３０Ｖから
なる２ＫＷの電力を図５の（ａ）のカーボン棒間に通電
して加熱する必要があった。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上述したように、図５
の（ａ）のようにカーボン棒を相互に接触させ、図５の
（ｂ）に示すように数秒間断続的に８０〜１００Ａの２
０〜３０Ｖからなる２ＫＷの電力をカーボン棒間に供給
する必要があったため、図５の（ｃ）に示すように、Ａ
Ｃ１００Ｖの商用電源側では２０Ａの断続的な負荷変動
となり、負荷変動に応じて電圧がドロップし、部屋の明
かりが変化したり、他の装置に悪影響を与えるという問
題があった。
の（ａ）のようにカーボン棒を相互に接触させ、図５の
（ｂ）に示すように数秒間断続的に８０〜１００Ａの２
０〜３０Ｖからなる２ＫＷの電力をカーボン棒間に供給
する必要があったため、図５の（ｃ）に示すように、Ａ
Ｃ１００Ｖの商用電源側では２０Ａの断続的な負荷変動
となり、負荷変動に応じて電圧がドロップし、部屋の明
かりが変化したり、他の装置に悪影響を与えるという問
題があった。
【０００５】本発明は、これらの問題を解決するため、
商用電源から一定電流で充電し当該充電した直流電源を
もとに数秒間断続的な大電流をカーボンに通電加熱して
カーボン蒸着し、入力電源に対する負荷変動を軽減する
ことを目的としている。
商用電源から一定電流で充電し当該充電した直流電源を
もとに数秒間断続的な大電流をカーボンに通電加熱して
カーボン蒸着し、入力電源に対する負荷変動を軽減する
ことを目的としている。
【０００６】
【課題を解決するための手段】図１を参照して課題を解
決するための手段を説明する。図１において、整流回路
２は、商用入力電源を整流して直流を生成する回路であ
る。
決するための手段を説明する。図１において、整流回路
２は、商用入力電源を整流して直流を生成する回路であ
る。
【０００７】抵抗Ｒは、コンデンサＣに充電する電流を
一定にするものである。コンデンサＣは、電荷を充電す
るものである。インバータ回路５は、コンデンサＣに充
電された直流電源をもとに、カーボン電源（カーボン間
に通電して通電加熱するに適した電源）を生成するもの
である。
一定にするものである。コンデンサＣは、電荷を充電す
るものである。インバータ回路５は、コンデンサＣに充
電された直流電源をもとに、カーボン電源（カーボン間
に通電して通電加熱するに適した電源）を生成するもの
である。
【０００８】次に、動作を説明する。整流回路２によっ
て商用電源を整流して直流を生成し、抵抗Ｒあるいは定
電流回路を介してほぼ一定電流でコンデンサＣに充電す
る。コンデンサＣに充電された直流電源をもとに、イン
バータ回路５がカーボン棒間に通電するに適したカーボ
ン電源（例えば２０Ｖ／１００Ａ位）を生成し、カーボ
ン間に通電してカーボン蒸着するようにしている。
て商用電源を整流して直流を生成し、抵抗Ｒあるいは定
電流回路を介してほぼ一定電流でコンデンサＣに充電す
る。コンデンサＣに充電された直流電源をもとに、イン
バータ回路５がカーボン棒間に通電するに適したカーボ
ン電源（例えば２０Ｖ／１００Ａ位）を生成し、カーボ
ン間に通電してカーボン蒸着するようにしている。
【０００９】この際、商用電源を整流する回路として、
ＡＣ−ＤＣコンバータとするようにしている。また、コ
ンデンサＣに充電した直流電源をもとに低電圧の大電流
を発生する回路として、ＤＣ−ＡＣコンバータを使用
し、カーボン蒸着するに適した断続的な大電流（例えば
２０Ｖ／１００Ａの数秒間隔の断続的な大電流）を生成
してカーボン間に通電し、カーボン蒸着するようにして
いる。
ＡＣ−ＤＣコンバータとするようにしている。また、コ
ンデンサＣに充電した直流電源をもとに低電圧の大電流
を発生する回路として、ＤＣ−ＡＣコンバータを使用
し、カーボン蒸着するに適した断続的な大電流（例えば
２０Ｖ／１００Ａの数秒間隔の断続的な大電流）を生成
してカーボン間に通電し、カーボン蒸着するようにして
いる。
【００１０】従って、商用電源から一定電流で充電し充
電した直流電源をもとに数秒間断続的な大電流をカーボ
ンに通電加熱してカーボン蒸着することにより、入力電
源に対する負荷変動を軽減することが可能となる。
電した直流電源をもとに数秒間断続的な大電流をカーボ
ンに通電加熱してカーボン蒸着することにより、入力電
源に対する負荷変動を軽減することが可能となる。
【００１１】
【発明の実施の形態】次に、図１から図４を用いて本発
明の実施の形態および動作を順次詳細に説明する。
明の実施の形態および動作を順次詳細に説明する。
【００１２】図１は、本発明のシステム構成図を示す。
図１の（ａ）は、回路図を示す。図１の（ａ）におい
て、電荷補充回路１は、ＡＣ１００Ｖを整流して直流に
しコンデンサＣに補充（充電）するものであって、整流
回路２、抵抗Ｒ、コンデンサＣから構成されるものであ
る。
図１の（ａ）は、回路図を示す。図１の（ａ）におい
て、電荷補充回路１は、ＡＣ１００Ｖを整流して直流に
しコンデンサＣに補充（充電）するものであって、整流
回路２、抵抗Ｒ、コンデンサＣから構成されるものであ
る。
【００１３】整流回路２は、商用電源であるＡＣ１００
Ｖを整流して直流電源を生成するものであって、例えば
両波整流器、ＡＣ−ＤＣコンバータなどである。抵抗Ｒ
は、整流回路２からコンデンサＣを充電する充電電流を
ほぼ一定にするものである。
Ｖを整流して直流電源を生成するものであって、例えば
両波整流器、ＡＣ−ＤＣコンバータなどである。抵抗Ｒ
は、整流回路２からコンデンサＣを充電する充電電流を
ほぼ一定にするものである。
【００１４】コンデンサＣは、大容量のコンデンサであ
って、直流電流（電荷）を充電するものである。コンデ
ンサＣを設け、商用電源を整流した直流電流を抵抗Ｒを
介してほぼ一定電流でコンデンサＣに充電し、当該コン
デンサＣから数秒間間隔で２０Ｖ／１００Ａの電源をカ
ーボン間に通電することにより、商用電源の負荷の変動
を軽減することが可能となる。
って、直流電流（電荷）を充電するものである。コンデ
ンサＣを設け、商用電源を整流した直流電流を抵抗Ｒを
介してほぼ一定電流でコンデンサＣに充電し、当該コン
デンサＣから数秒間間隔で２０Ｖ／１００Ａの電源をカ
ーボン間に通電することにより、商用電源の負荷の変動
を軽減することが可能となる。
【００１５】インバータ回路５は、コンデンサＣに充電
された直流電源をもとに、カーボン電源（カーボン間に
通電して例えば数秒間断続的に通電加熱するに適した約
２０Ｖ／１００Ａの電源）を生成するものであって、例
えばＤＣ−ＡＣコンバータであり、ここでは、スイッチ
ング素子６、およびトランス７から構成されるものであ
る。
された直流電源をもとに、カーボン電源（カーボン間に
通電して例えば数秒間断続的に通電加熱するに適した約
２０Ｖ／１００Ａの電源）を生成するものであって、例
えばＤＣ−ＡＣコンバータであり、ここでは、スイッチ
ング素子６、およびトランス７から構成されるものであ
る。
【００１６】スイッチング素子６は、ドライブ信号を入
力としてスイッチングするものであって、ここでは、コ
ンデンサＣに充電された直流電源をトランス７の一次巻
線にＯＮ／ＯＦＦし、トランス７の２次巻線から所定の
ＡＣ電源（例えば２０Ｖ／１００Ａ）を生成するもので
ある。
力としてスイッチングするものであって、ここでは、コ
ンデンサＣに充電された直流電源をトランス７の一次巻
線にＯＮ／ＯＦＦし、トランス７の２次巻線から所定の
ＡＣ電源（例えば２０Ｖ／１００Ａ）を生成するもので
ある。
【００１７】トランス７は、１次巻線間に印加される電
圧を２次巻線の巻数比に対応した電圧に変換するもので
ある。図１の（ｂ）は、図１の（ａ）の回路の波形図を
示す。
圧を２次巻線の巻数比に対応した電圧に変換するもので
ある。図１の（ｂ）は、図１の（ａ）の回路の波形図を
示す。
【００１８】図１の（ｂ−１）は、図１の（ａ）のコン
デンサＣの両端の充電電圧を示す。図示のようにコンデ
ンサＣの両端の電圧ｅは、コンデンサＣからインバータ
回路５に電流ｉ2を放電すると電圧が若干低下し、放電
が終了するとコンデンサＣが商用電源から電流ｉ1で徐
々に充電されて元の電圧に戻る。
デンサＣの両端の充電電圧を示す。図示のようにコンデ
ンサＣの両端の電圧ｅは、コンデンサＣからインバータ
回路５に電流ｉ2を放電すると電圧が若干低下し、放電
が終了するとコンデンサＣが商用電源から電流ｉ1で徐
々に充電されて元の電圧に戻る。
【００１９】図１の（ｂ−２）は、図１の（ａ）のコン
デンサＣからインバータ回路５に供給される電流ｉ2を
示す。図示のように、コンデンサＣからインバータ回路
５に供給される電流ｉ2はカーボン蒸着している数秒間
間隔で図示のように供給する。
デンサＣからインバータ回路５に供給される電流ｉ2を
示す。図示のように、コンデンサＣからインバータ回路
５に供給される電流ｉ2はカーボン蒸着している数秒間
間隔で図示のように供給する。
【００２０】図１の（ｂ−３）は、図１の（ａ）の抵抗
Ｒを介してコンデンサＣに充電する電流ｉ1を示す。図
示のように、商用電源からは整流回路２によって直流電
圧に整流し、更に抵抗Ｒを介して図示のようにコンデン
サＣに充電する。充電電流は、図示のように約３Ａ／１
００Ｖであり、そのときの図１の（ｂ−２）のコンデン
サＣからインバータ回路５に数秒間隔で供給するときの
約２０Ａ／１００Ｖに比し、２０／３＝６．６分の１に
減少させ、負荷変動を軽減することが可能となる。
Ｒを介してコンデンサＣに充電する電流ｉ1を示す。図
示のように、商用電源からは整流回路２によって直流電
圧に整流し、更に抵抗Ｒを介して図示のようにコンデン
サＣに充電する。充電電流は、図示のように約３Ａ／１
００Ｖであり、そのときの図１の（ｂ−２）のコンデン
サＣからインバータ回路５に数秒間隔で供給するときの
約２０Ａ／１００Ｖに比し、２０／３＝６．６分の１に
減少させ、負荷変動を軽減することが可能となる。
【００２１】図２は、本発明の説明図を示す。図２の
（ａ）はコンデンサＣの充電した直流電圧をもとにイン
バータ回路５によってカーボン電源を出力する回路を示
し、図２の（ｂ）は各部の波形を示す。
（ａ）はコンデンサＣの充電した直流電圧をもとにイン
バータ回路５によってカーボン電源を出力する回路を示
し、図２の（ｂ）は各部の波形を示す。
【００２２】図２の（ｂ−１）、（ｂ−２）は、２つの
イッチング素子６を駆動するドライブ信号をそれぞれ示
す。ドライブ信号Ａ、Ｂは位相が１８０度異なり、数秒
間隔で図示のＯＮの時間間隔の間、所定周波数のドライ
ブ信号を生成し、図示のＯＦＦの時間間隔の間、ドライ
ブ信号を生成しない。
イッチング素子６を駆動するドライブ信号をそれぞれ示
す。ドライブ信号Ａ、Ｂは位相が１８０度異なり、数秒
間隔で図示のＯＮの時間間隔の間、所定周波数のドライ
ブ信号を生成し、図示のＯＦＦの時間間隔の間、ドライ
ブ信号を生成しない。
【００２３】図２の（ｂ−３）は、図２の（ａ）のイン
バータ回路５の出力を示す。インバータ回路５の出力
は、図示のように２０Ｖ／１００Ａの交流電源であっ
て、カーボン棒間に通電して通電加熱するに適した交流
電源である。
バータ回路５の出力を示す。インバータ回路５の出力
は、図示のように２０Ｖ／１００Ａの交流電源であっ
て、カーボン棒間に通電して通電加熱するに適した交流
電源である。
【００２４】以上のように、ドライブ信号Ａ、Ｂをイン
バータ回路５を構成する２つのスイッチング素子６のゲ
ートにそれぞれ供給し、インバータ回路５を構成する２
次巻線からここでは、２０Ｖ／１００Ａのカーボン棒間
に通電するに適した交流電源（カーボン電源）を生成す
ることが可能となる。ここで、図２の（ｂ−３）の如
く、コンデンサの値を低めに選択し蒸着開始時の電圧を
上げることでカーボン棒同士の接触が不十分なときにも
電圧を上げることで通電をし易くすることが可能となる
（一種のトリガー効果がある）。また、通電時の電流を
多くし、徐々に電圧が下がることでカーボン棒の温度が
より早く高温になりその温度を維持できるので、蒸着を
より安定にすることが可能となる。
バータ回路５を構成する２つのスイッチング素子６のゲ
ートにそれぞれ供給し、インバータ回路５を構成する２
次巻線からここでは、２０Ｖ／１００Ａのカーボン棒間
に通電するに適した交流電源（カーボン電源）を生成す
ることが可能となる。ここで、図２の（ｂ−３）の如
く、コンデンサの値を低めに選択し蒸着開始時の電圧を
上げることでカーボン棒同士の接触が不十分なときにも
電圧を上げることで通電をし易くすることが可能となる
（一種のトリガー効果がある）。また、通電時の電流を
多くし、徐々に電圧が下がることでカーボン棒の温度が
より早く高温になりその温度を維持できるので、蒸着を
より安定にすることが可能となる。
【００２５】図３は、本発明の他のシステム構成図を示
す。これは、コンデンサＣに充電するときの充電電流ｉ
1を図１の回路では抵抗Ｒでほぼ一定にしたが、この図
３では更に定電流回路１１を介して大容量のコンデンサ
Ｃに定電流ｉ1で充電するようにしたものである。コン
デンサＣに充電した直流電圧をもとにカーボン電源を生
成するインバータ回路５は、図１の構成と同一である。
す。これは、コンデンサＣに充電するときの充電電流ｉ
1を図１の回路では抵抗Ｒでほぼ一定にしたが、この図
３では更に定電流回路１１を介して大容量のコンデンサ
Ｃに定電流ｉ1で充電するようにしたものである。コン
デンサＣに充電した直流電圧をもとにカーボン電源を生
成するインバータ回路５は、図１の構成と同一である。
【００２６】以上のように、商用電源ＡＣ１００Ｖを整
流回路２によって直流に変換し、定電流回路１１によっ
て大容量のコンデンサＣに充電電流ｉ1を一定にして充
電するため、充電電流ｉ1を一定にして商用電源の負荷
変動を大幅に軽減できる。
流回路２によって直流に変換し、定電流回路１１によっ
て大容量のコンデンサＣに充電電流ｉ1を一定にして充
電するため、充電電流ｉ1を一定にして商用電源の負荷
変動を大幅に軽減できる。
【００２７】図４は、本発明の他のシステム構成図を示
す。これは、商用電源ＡＣ１００Ｖを直流電流に整流す
るのに、ＡＣ−ＤＣコンバータ１２を使用し、ＡＣ１０
０Ｖから直接に任意の直流電圧Ｅを生成し、充電電流ｉ
1でコンデンサＣに充電することができる。このため、
任意の直流電圧Ｅを低い電圧にしてコンデンサＣの耐圧
を低くして大容量の安価なコンデンサを使用したり、あ
るいは、任意の直流電圧Ｅを高い電圧にしてコンデンサ
Ｃの耐圧を高くして小容量のコンデンサを使用したり、
任意の設計を行うことが可能となり、コスト的に最適な
設計（コンデンサＣに充電できる電荷量とコストの関係
で最も安い最適な設計）を行う自由度が高くなる。
す。これは、商用電源ＡＣ１００Ｖを直流電流に整流す
るのに、ＡＣ−ＤＣコンバータ１２を使用し、ＡＣ１０
０Ｖから直接に任意の直流電圧Ｅを生成し、充電電流ｉ
1でコンデンサＣに充電することができる。このため、
任意の直流電圧Ｅを低い電圧にしてコンデンサＣの耐圧
を低くして大容量の安価なコンデンサを使用したり、あ
るいは、任意の直流電圧Ｅを高い電圧にしてコンデンサ
Ｃの耐圧を高くして小容量のコンデンサを使用したり、
任意の設計を行うことが可能となり、コスト的に最適な
設計（コンデンサＣに充電できる電荷量とコストの関係
で最も安い最適な設計）を行う自由度が高くなる。
【００２８】以上のように、商用電源ＡＣ１００ＶをＡ
Ｃ−ＣＤコンバータ１２（直流スイッチング電源等）に
よって直流に変換し、抵抗Ｒ（あるいは定電流回路１
１）によって大容量のコンデンサＣに任意の直流電圧で
充電電流ｉ1を一定にして充電できるため、充電電流ｉ1
を一定にして商用電源の負荷変動を大幅に軽減できると
共に、大容量のコンデンサＣの最も安価な電圧を選択し
て設計できるという自由度を高くすることが可能とな
る。
Ｃ−ＣＤコンバータ１２（直流スイッチング電源等）に
よって直流に変換し、抵抗Ｒ（あるいは定電流回路１
１）によって大容量のコンデンサＣに任意の直流電圧で
充電電流ｉ1を一定にして充電できるため、充電電流ｉ1
を一定にして商用電源の負荷変動を大幅に軽減できると
共に、大容量のコンデンサＣの最も安価な電圧を選択し
て設計できるという自由度を高くすることが可能とな
る。
【００２９】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
商用電源から一定電流で充電し充電した直流電源をもと
に数秒間断続的な大電流をカーボンに通電加熱してカー
ボン蒸着する構成を採用しているため、入力電源に対す
る負荷変動による電圧変動を軽減し、入力電源容量を小
さくできる。
商用電源から一定電流で充電し充電した直流電源をもと
に数秒間断続的な大電流をカーボンに通電加熱してカー
ボン蒸着する構成を採用しているため、入力電源に対す
る負荷変動による電圧変動を軽減し、入力電源容量を小
さくできる。
【００３０】また、交流周波数を使わずより高周波加熱
を用いるため、交流の５０／６０Ｈｚの通電により、蒸
着時のカーボン棒の機械的な振動がなくなり蒸着膜の粒
子がより細かいものが得られる効果がある。
を用いるため、交流の５０／６０Ｈｚの通電により、蒸
着時のカーボン棒の機械的な振動がなくなり蒸着膜の粒
子がより細かいものが得られる効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のシステム構成図である。
【図２】本発明の説明図である。
【図３】本発明の他のシステム構成図である。
【図４】本発明の他のシステム構成図である。
【図５】従来技術の説明図である。
１：電荷補充回路 ２：整流回路 ５：インバータ回路 ６：スイッチング素子 ７：トランス １１：定電流回路 １２：ＡＣ−ＤＣコンバータ Ｒ：抵抗 Ｃ：コンデンサ ｉ1：コンデンサＣの充電電流 ｉ2：コンデンサＣの放電電流
Claims (5)
- 【請求項１】カーボン棒間に大電流を断続的に供給して
カーボン蒸着するカーボン蒸着装置において、 商用電源を整流してコンデンサに充電する回路と、 上記コンデンサに充電された直流電源をもとに低電圧の
大電流を発生し、カーボン棒間に通電する回路とを備え
たことを特徴とするカーボン蒸着装置。 - 【請求項２】カーボン棒間に大電流を断続的に供給して
カーボン蒸着するカーボン蒸着装置において、 商用電源を整流し定電流回路を介してコンデンサに充電
する回路と、 上記コンデンサに充電された直流電源をもとに低電圧の
大電流を発生し、カーボン棒間に通電する回路とを備え
たことを特徴とするカーボン蒸着装置。 - 【請求項３】上記商用電源を整流する回路として、ＡＣ
−ＤＣコンバータとしたことを特徴とする請求項１ある
いは請求項２記載のカーボン蒸着装置。 - 【請求項４】上記コンデンサに充電された直流電源をも
とに低電圧の大電流を発生する回路として、ＤＣ−ＡＣ
コンバータとしたことを特徴とする請求項１ないし請求
項３記載のいずれかのカーボン蒸着装置。 - 【請求項５】上記コンデンサの値を選択して放電電流波
形を制御し、蒸着することを特徴とする請求項１ないし
請求項４記載のいずれかのカーボン蒸着装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10132092A JPH11323534A (ja) | 1998-05-14 | 1998-05-14 | カーボン蒸着装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10132092A JPH11323534A (ja) | 1998-05-14 | 1998-05-14 | カーボン蒸着装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11323534A true JPH11323534A (ja) | 1999-11-26 |
Family
ID=15073309
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10132092A Pending JPH11323534A (ja) | 1998-05-14 | 1998-05-14 | カーボン蒸着装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11323534A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2007057925A1 (en) * | 2005-11-15 | 2007-05-24 | Galileo Vacuum Systems S.P.A. | Device and method for controlling the power supplied to vacuum vaporization sources of metals and other |
| WO2012039035A1 (ja) * | 2010-09-22 | 2012-03-29 | 株式会社 島津製作所 | 高周波電源 |
-
1998
- 1998-05-14 JP JP10132092A patent/JPH11323534A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2007057925A1 (en) * | 2005-11-15 | 2007-05-24 | Galileo Vacuum Systems S.P.A. | Device and method for controlling the power supplied to vacuum vaporization sources of metals and other |
| WO2012039035A1 (ja) * | 2010-09-22 | 2012-03-29 | 株式会社 島津製作所 | 高周波電源 |
| CN103222344A (zh) * | 2010-09-22 | 2013-07-24 | 株式会社岛津制作所 | 高频电源 |
| US9537422B2 (en) | 2010-09-22 | 2017-01-03 | Shimadzu Corporation | High-frequency power supply apparatus for supplying high-frequency power |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP2039434B1 (en) | Electrostatic atomizer and hot air blower having the same | |
| US11081273B1 (en) | Magnetic field generation with thermovoltaic cooling | |
| US6998791B2 (en) | Discharge power supply apparatus | |
| AU2018346513A1 (en) | Magnetic field generation with magneto-caloric cooling | |
| US4481447A (en) | Power supply for a magnetron | |
| JPH11323534A (ja) | カーボン蒸着装置 | |
| EP0482373A1 (en) | Discharge lamp lighting apparatus | |
| JPS61260915A (ja) | 放電加工用電源 | |
| US1947093A (en) | Converter | |
| JP4420520B2 (ja) | 抵抗溶接電源装置 | |
| JP3347450B2 (ja) | 放電式被覆装置 | |
| US4833581A (en) | Power supply for a magnetron | |
| JPH0713433Y2 (ja) | 高周波発振器用直流電源回路 | |
| JP3514603B2 (ja) | 高力率高輝度放電灯点灯装置及びその駆動方法 | |
| JP2745920B2 (ja) | 超低周波発生装置 | |
| JP2799975B2 (ja) | パルス型電磁石用電源装置 | |
| WO1992008563A1 (en) | Autonomous device for arc welding | |
| JPS603908B2 (ja) | 高周波式抵抗スポット・プロジェクション溶接機 | |
| JP2587358B2 (ja) | アーク溶接機のスイッチング駆動回路 | |
| JPH08317662A (ja) | 電力変換装置 | |
| KR920003569B1 (ko) | 동작전압 및 수평 편향전류의 발생회로 | |
| JP3147368B2 (ja) | 放電灯点灯装置 | |
| JPH0511680Y2 (ja) | ||
| JPS5934080Y2 (ja) | Ｘ線管フイラメント加熱回路 | |
| JP2004017096A (ja) | 電磁溶接機のコンデンサ充電装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |