JPH11295876A - 多階層フォトマスクおよびその製造法 - Google Patents
多階層フォトマスクおよびその製造法Info
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- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| TW87105391 | 1998-04-09 | ||
| TW087105391A TW359769B (en) | 1998-04-09 | 1998-04-09 | Multidensity photomask and production process therefor |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11295876A true JPH11295876A (ja) | 1999-10-29 |
Family
ID=21629839
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24253998A Pending JPH11295876A (ja) | 1998-04-09 | 1998-08-12 | 多階層フォトマスクおよびその製造法 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11295876A (zh) |
| TW (1) | TW359769B (zh) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2000045222A1 (fr) * | 1999-01-27 | 2000-08-03 | Citizen Watch Co., Ltd. | Masque photolithographique et procede de fabrication de celui-ci |
| JP2009276774A (ja) * | 2009-07-06 | 2009-11-26 | Dainippon Printing Co Ltd | 高低パターン層形成体の製造方法 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010123230A (ja) * | 2008-11-21 | 2010-06-03 | Sony Disc & Digital Solutions Inc | 現像方法、及び現像装置 |
-
1998
- 1998-04-09 TW TW087105391A patent/TW359769B/zh not_active IP Right Cessation
- 1998-08-12 JP JP24253998A patent/JPH11295876A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2000045222A1 (fr) * | 1999-01-27 | 2000-08-03 | Citizen Watch Co., Ltd. | Masque photolithographique et procede de fabrication de celui-ci |
| JP2009276774A (ja) * | 2009-07-06 | 2009-11-26 | Dainippon Printing Co Ltd | 高低パターン層形成体の製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| TW359769B (en) | 1999-06-01 |
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