JPH11254705A

JPH11254705A - 記録装置及びその製造方法

Info

Publication number: JPH11254705A
Application number: JP10063629A
Authority: JP
Inventors: Hiroyuki Mihashi; 裕之三橋
Original assignee: Sony Corp
Current assignee: Sony Corp
Priority date: 1998-03-13
Filing date: 1998-03-13
Publication date: 1999-09-21
Also published as: US6106105A; CN1233565A

Abstract

(57)【要約】【課題】製造方法を複雑化することなく、染料飛翔部
における染料の飛翔が十分に行えるような染料のメニス
カスが形成され、染料が途切れることなく染料飛翔部に
供給できる記録装置及びその製造方法を提供すること。【解決手段】供給染料７の分岐路８を形成する隔壁２
の端縁２ａよりも蓋３の端縁３ａを染料飛翔部６の側で
突出させ、隔壁２の端縁２ａと染料飛翔部６の中心線Ｃ
₁との距離Ｃと、蓋３の端縁３ａと染料飛翔部６の中心
線Ｃ₁との距離ＢとをＣ≧Ｂとして、蓋３の端縁３ａを
染料飛翔部６の近傍に位置させる。これにより良好なメ
ニスカスを維持し、飛翔に必要な量の染料７を染料飛翔
部６に保持させる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、インクを気化又は
溶発させてプリンタ用紙等の被転写体に転写する、所
謂、染料気化型熱転写方式のプリンタヘッド又はプリン
タ及びその製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、例えば、パーソナルコンピュータ
等で処理したカラー画像や、ビデオカメラ、電子スチル
カメラ等の画像記録において、高品位なフルカラー画像
が得られるプリンタの要求が高い。

【０００３】カラープリンタ方式としては、従来、昇華
型熱転写方式（又は染料拡散熱転写方式）、溶融熱転写
方式、インクジェット方式、電子写真方式、熱現像銀塩
方式等が提案されているが、これらの中で、特に、高画
質の画像を比較的簡単な装置で手軽に出力できるものと
して、染料拡散熱転写方式とインクジェット方式とが挙
げられる。

【０００４】染料拡散熱転写方式は、適当なバインダ樹
脂中に高濃度の転写染料を分散させたインク層をインク
リボン又はシートに塗布し、これを、転写された染料を
受容する染着樹脂がコーティングされた、所謂、熱転写
用紙に一定の圧力で密着させ、そのインクリボン又はシ
ート上から感熱ヘッド（サーマルヘッド）により熱を加
えて、その熱量に応じインクリボン又はシートから熱転
写用紙に転写染料を熱転写させるものである。

【０００５】この操作を、例えば、滅法混色の三原色で
あるイエロー（Ｙ）、マゼンタ（Ｍ）、シアン（Ｃ）に
分解された画像信号について夫々繰り返すことにより、
連続的な階調を持つフルカラー画像を得ることができ
る。

【０００６】図４１に、この方式によるプリンタのサー
マルヘッド周辺部の構成を示す。

【０００７】サーマルヘッド７０は、プラテンローラ７
１に対向して配置され、それらの間を、例えば、ベース
フィルム７２ｂ上にインク層７２ａを設けたインクシー
ト７２と、紙７３ｂの表面に染着樹脂層（染料受容層）
７３ａをコーティングした熱転写用紙７３とが、回転す
るプラテンローラ７１によりサーマルヘッド７０に押し
付けられた状態で走行する。

【０００８】そして、印刷すべき画像に応じ、サーマル
ヘッド７０により選択的に加熱されたインク層７２ａ中
のインクが、そのインク層７２ａに接して加熱された熱
転写用紙７４の染着樹脂層７３ａ中に熱拡散し、例え
ば、ドットパターンでの転写が行われる。

【０００９】この染料拡散熱転写方式は、プリンタの小
型化及び保守が容易で、且つ、即時性を備え、銀塩カラ
ー写真並の高品位な画像を得ることができる優れた技術
である。しかしながら、この方式では、インクリボン又
はシートの使い捨てに起因する多量の廃棄物の発生と高
いランニングコストが大きな欠点であった。また、熱転
写用紙を使用する必要が有り、この点でもコスト高にな
るという問題が有った。

【００１０】溶融熱転写方式は、普通紙転写が可能であ
るが、やはり、インクリボン又はシートを使用するの
で、その使い捨てに起因する多量の廃棄物の発生と高い
ランニングコストの問題が有った。また、画像品位も銀
塩写真には及ばなかった。

【００１１】熱現像銀塩方式は、高画質であるが、やは
り、専用の印画紙と使い捨てのリボン又はシートを使用
するためにランニングコストが高くなり、更に、この方
式では、装置コストが高いという問題も有った。

【００１２】一方、インクジェット方式は、例えば、特
公昭６１−５９９１１号公報や特公平５−２１７号公報
等に示されているように、静電引力方式、連続振動発生
方式（ピエゾ方式）、サーマル方式（バブルジェット方
式）等の方法で、プリンタヘッドに設けられたノズルか
らインクの小滴を噴射させ、それをプリンタ用紙等に付
着させて印刷を行うものである。

【００１３】従って、普通紙転写が可能であり、また、
インクリボン等も使用しないので、ランニングコストが
低く、更に、インクリボン等を使用する場合のような廃
棄物の発生が殆ど無い。しかし、このインクジェット方
式では、画素内の濃度階調が原理的に困難であり、上述
した染料拡散熱転写方式で得られるような、銀塩写真に
匹敵する高画質の画像を短時間で再現することは困難で
あった。

【００１４】他方、電子写真方式は、ランニングコスト
は低く、転写速度も速いが、画像品位が銀塩写真に及ば
ないのみならず、装置コストが著しく高かった。

【００１５】即ち、以上に説明した方式では、画質、ラ
ンニングコスト、装置コスト、転写時間等の要求を全て
満たすものが無かった。

【００１６】そこで、それらの要求を全て満たし得るカ
ラープリンタ方式として、所謂、染料気化型熱転写方式
が提案された（例えば、特開平７−８９１０７号公報及
び特開平７−８９１０８号公報参照）。

【００１７】この方式では、プリンタヘッドの転写部に
おいてインクを加熱して、気化又はアブレーションによ
りインクを飛翔させ、それを、例えば、５０〜１００μ
ｍ程度のギャップを介して対向配置されたプリンタ用紙
等の被転写体表面に付着させて転写を行うものである。

【００１８】転写部には、例えば、幅又は径が２μｍ程
度、高さ６μｍ程度の多数の柱状体を互いに２μｍ程度
の微小間隔で立設配置した凹凸構造によるインク保持構
造が設けられ、このインク保持構造の下にヒータが設け
られて、気化部が構成されている。

【００１９】このようなインク保持構造を転写部に設け
ることにより、次のような効果が得られる。即ち、（１）毛管現象によりインクが自発的に気化部に供給さ
れる。（２）大きな表面積により、インクを効率的に加熱する
ことができる。（３）柱状体の高さを適宜に設定することにより、常に
所定量のインクを気化部に保持させることができる。（４）液体の表面張力は一般に負の温度係数を持つの
で、局所的に加熱されたインクは、温度の低い外周部へ
向かう力を受けるが、インク保持構造によりその移動が
最小限に抑制されて、転写感度の低下が防止される。

【００２０】従って、このようなインク保持構造を設け
ることにより、気化部での加熱に応じた量のインクを気
化又は溶発させて、プリンタ用紙等に転写することがで
き、インク転写量の連続的な制御、即ち、画素内での濃
度階調が可能となる。この結果、例えば、銀塩カラー写
真に匹敵する高品位の画像を得ることができる。

【００２１】また、インクリボン等を使用する必要が無
いので、ランニングコストが低く、更に、普通紙に対し
吸収性の高いインクを用いることで普通紙転写も可能と
なるので、普通紙の使用による低コスト化も可能とな
る。

【００２２】また、この方式は、インク、即ち、染料の
気化又は溶発を利用したものであるため、インクを加熱
するプリンタヘッドの転写部をプリンタ用紙等の被転写
体に高い圧力で押し付けることは勿論、接触させる必要
も無く、従って、他の熱転写方式では往々にして起こり
得た、インクリボン等のインク加熱部とプリンタ用紙等
との熱融着の問題も発生しない利点を有している。

【００２３】上記したようにこの記録ヘッドでは、被記
録体に染料を定着させてドットを形成する上で、各染料
飛翔部（加熱部又は転写部）間の間隔がドット間隔とな
る。換言すれば、１つの染料飛翔部が１ドットに相当
し、ドット間隔が印画される画像の解像度を左右し、ド
ット間隔が狭いと高解像度が得られる。

【００２４】即ち、各染料飛翔部間の間隔（ドット間
隔）を狭めることが１つの対策であるが、上記の記録ヘ
ッドでは、１つの染料飛翔部に対し１つの染料供給路か
ら染料を供給しているので、解像度の高い画像を実現す
るために各染料飛翔部間の間隔を狭めることは、各染料
供給路間の間隔を狭めることになる。

【００２５】このため、染料供給路の断面を縮小しなけ
れば、上記間隔を狭めることは困難となる。これでは、
染料供給路が狭隘化し、転写に必要な十分な量の染料を
染料飛翔部に供給できなくなるおそれが生じる。更に、
染料供給部を含めてヘッドの製造方法が複雑化し易く、
また高精度化が要求されることに伴って製造の歩留りが
低下したり、コストの上昇も招くことがある。

【００２６】

【発明に至る経過】そこで、本出願人は、上記した染料
飛翔部構造による利点を活かしつつ、上記の問題点を解
消した記録装置を特開平７−３５４１１３号公報、特開
平７−３５４１１４号公報、特開平７−３５４１１５号
公報において既に提案している。

【００２７】即ち、これらの先願の記録装置における上
記問題点の解消策の共通点は、被記録体に染料を飛翔さ
せる染料飛翔部を有する記録ヘッドが、被記録体に対し
て相対的に傾斜して接触し、この状態で染料飛翔部と被
記録体との間が所定の間隔に保たれることと、染料を供
給するための共通の染料供給路から分岐した分岐路を形
成し、この分岐路のそれぞれから複数の染料飛翔部へ染
料を同時に供給できるように構成されていることであ
る。

【００２８】図４２は、上記した記録ヘッド２０の要部
を示す平面図である。この記録ヘッド２０においては、
ヒートシンクを兼ねたアルミニウム製のベース２５上に
プリント基板２８及びヘッドチップ３１がシリコン系の
接着剤により接着され、更にその上に、図４３に示すよ
うにカバー３２が取り付けられて同じ接着剤により接着
されている。

【００２９】図４４は、この記録ヘッドの断面図であ
り、ベース２５のプリント基板２８の取り付け部はプリ
ント基板２８の厚さだけ薄く形成され、そこにプリント
基板２８を取り付けた状態で、プリント基板２８上に実
装されている発熱体駆動用のドライバＩＣ２６を含む高
さが、プリント基板２８に並列して取り付けられている
ヘッドチップ３１の上面とほぼ同じ高さとなっている。

【００３０】ヘッドチップ３１の接着部には、ヘッドチ
ップ３１が均一に接着されるように、ベース２５上に溝
３３、３３が設けられ、ヘッドチップ３１を接着する際
の余分な接着剤がこの溝３３に逃げるようになってい
る。そして、図４２及び図４４に示すように、ヘッドチ
ップ３１上の電極とドライバＩＣ２６との接続部、及び
ドライバＩＣ２６とプリント基板２８上の配線との接続
部は、接続用のボンディングワイヤを保護するために、
シリコーン系のコーティング材ＪＣＲ（ジャンクション
・コーティング・レジン）２７を塗布し、熱硬化してあ
る。

【００３１】図４２及び図４４に示すように、プリント
基板２８にはベース２５を貫通した染料導入孔２９が設
けられ、液状の染料７はベース２５側からカバー３２と
ベース２５との間に導入される。そして、プリント基板
２８の一部及びヘッドチップ３１の一部を覆うようにカ
バー３２が接着、封止され、このカバー３２の内面が染
料導入孔２９から導入される染料７を受けて、上記した
分岐路へ染料７を供給する共通の染料供給路を形成して
いる。

【００３２】そして、この記録ヘッド２０は、図４４に
示すように、ヘッドチップ３１が設けられている側のベ
ース２５の一端２５ａを被記録体３４に接触させること
により、被記録体３４に対して所定の角度を保ち、図４
５に示すように染料飛翔部６の中心Ｃ₁と被記録体３４
との間隔を一定に保つことができるようになっている。

【００３３】図４４において示す実線の矢印Ｓは印画時
の記録ヘッド２０の走査方向であり、破線の矢印Ｓ’は
印画後の戻りの方向を示している。従って、印画の際
は、プリント基板２８の先端部に設けたコネクタ３０を
経由して送られる画像データに対応した信号によって発
熱体を加熱し、染料飛翔部６から染料７を気化させ、被
記録体３４に飛翔させる。プリント基板２８上の配線
は、コネクタ３０を介して可撓性のＦＰＣ（フレキシブ
ル・プリント・サーキット）（図示省略）に接続され、
図４６（シリアル方式）及び図４７（ライン方式）に示
すようにして使用される。

【００３４】シリアル方式の場合は、図４６に示すよう
に、並列に配した３個の各色用の記録ヘッド２０に例え
ばＹ（イエロー）、Ｍ（マゼンタ）、Ｃ（シアン）の三
原色の染料（更に黒を加えてもよい。）を収容した染料
貯留部２４を取り付け、この記録ヘッドを連結材２２を
介して送り軸２１に係合させた可動片２３に連結する。
送り軸２１と可動片２３とはねじ式に係合されているの
で、図示省略した駆動源による送り軸２１の回動に伴
い、各記録ヘッド２０は矢印Ｙ方向へ往復動する。

【００３５】一方、この記録ヘッド２０に対向配置され
た被記録体３４は、記録ヘッド２０の１ラインの走査毎
に送りローラ１８によって矢印Ｘ方向へ移動する。従っ
て、プラテン１９と記録ヘッド２０との間に挟まれるよ
うに位置する被記録体３４は記録ヘッド２０によって印
画が遂行される。

【００３６】また、ライン方式の場合は、図４７に示す
ように、被記録体３４の幅に対応する長さに作製した記
録ヘッド２０Ａを各色別にＸ方向に縦列に配し、この記
録ヘッド２０Ａに同じくＹ（イエロー）、Ｍ（マゼン
タ）、Ｃ（シアン）の三色の染料（更に黒を加えてもよ
い。）をそれぞれ収容した染料貯留槽２４Ａを取り付け
る。

【００３７】従って、上記した記録ヘッド２０Ａに対向
配置され、この記録ヘッド２０Ａとプラテン１９との間
に挟まれた被記録体３４に対して記録ヘッド２０Ａによ
って印画が行われ、所定の印画後に被記録体３４はロー
ラ１８により矢印Ｘ方向へ移動しながら逐次印画が遂行
される。

【００３８】図４８は、これらの記録ヘッドにおけるヘ
ッドチップ３１の一部分の平面図であるが、図４４で示
したように、カバー３２とベース２５との間に導入され
た染料７は、基板１、隔壁２及び蓋３Ｂにより分岐路と
して形成される毛細管部３６ａを毛細管現象により供給
され、更に、隔壁間部３６ｂ及び連通部３６ｃを経由し
て染料飛翔部６に供給される。

【００３９】そして、図示の如く、分岐路８の隔壁２が
蓋３Ｂと染料飛翔部６との中間付近まで突出して設けら
れ、隔壁２が存在しない部分が連通部３６ｃを形成して
いるので、分岐路８が主として染料７を供給する本来の
染料供給領域以外の染料飛翔部６（即ち、隣接する分岐
路側の染料飛翔部）へも矢印で示すように染料７の供給
が可能になっている。

【００４０】

【発明が解決しようとする課題】図４９は、図４８のXX
XXIV−XXXXVI線断面図であるが、毛細管部３６ａにおい
ては、毛細管現象により染料７が安定して供給されるの
で、染料７の供給不足が発生する危険性は極めて低い
が、隔壁間部３６ｂ、特に連通部３６ｃにおいては、図
５０に示すようにメニスカス７ａが形成されて染料７の
厚さが薄くなり、染料飛翔部６からの染料７の飛翔に対
して染料７の供給が追いつかず、図５１に示す如く、染
料消失部３７が生じて染料７（図面では理解容易のた
め、１ドット分の染料を点々で示す。）が途中で途切れ
る可能性がある。

【００４１】このように、染料７の途切れが発生する
と、途切れは回復し難く、染料飛翔部６への染料７の供
給が出来なくなり、次第に染料飛翔部６に染料７が存在
しなくなって、画像情報に応じた染料７の飛翔が不可能
になる場合がある。

【００４２】また、隔壁２はシート状の有機物をリソグ
ラフィーにより形成しているので形状が安定せず、ま
た、隔壁２の表面状態が微妙に変化したり、隔壁２の端
縁２ａから染料飛翔部６までの距離が変化したりするこ
と等により、染料７の表面のメニスカスが変化して、染
料飛翔部６上の所望の染料高さが得られない場合があ
り、なお改善の余地があることが分かった。

【００４３】本発明の目的は、上記の事情に鑑みてなさ
れたものであって、従来の製造方法に比べて製法を複雑
化することなく、記録材飛翔部における記録材の飛翔が
十分に行えるような記録材のメニスカスが形成され、記
録材が途切れることなく記録材飛翔部に供給できる記録
装置及びその製造方法を提供することにある。

【００４４】

【課題を解決するための手段】即ち、本発明は、被記録
体に対向配置され、隔壁によって形成された記録材供給
路を経由して記録材が供給され、この記録材を前記被記
録体に飛翔させるための記録材飛翔部を有する記録装置
において、前記記録材飛翔部側の前記隔壁の端縁位置と
同じか或いは前記端縁位置よりも前記記録材飛翔部に近
い位置に先端を有し、予め加工されたメニスカス形成手
段が取り付けられ、少なくとも前記先端と前記記録材飛
翔部との間に前記記録材のメニスカスが形成されること
を特徴とする記録装置に係るものである。

【００４５】本発明の記録装置によれば、予め加工され
て取り付けられたメニスカス形成手段の先端が、記録材
飛翔部側の隔壁の端縁位置よりも記録材飛翔部に近く位
置して、この先端と記録材飛翔部との間に記録材のメニ
スカスを形成するので、記録材飛翔部において、記録材
が途切れることなく供給され、記録材の飛翔が十分に行
えるような記録材のメニスカスを形成させることができ
る。その結果、被記録体に対して良好な記録が行えるた
め、記録装置としての製品の歩留りを高めると共にコス
トの低減が可能な記録装置を提供することができる。し
かも、前記メニスカス形成手段は予め加工されてから取
り付けたものであるから、既述した如きリソグラフィー
などの後加工の問題点がなく、安定な形状と表面状態で
取り付けられ、記録材飛翔部との間の距離が一定し、メ
ニスカス（従って記録材の高さ）が常に一定となり、良
好な記録を行うことができる。

【００４６】また、本発明は、被記録体に対向配置さ
れ、隔壁によって形成された記録材供給路を経由して記
録材が供給され、この記録材を前記被記録体に飛翔させ
るための記録材飛翔部を有する記録装置を製造するに際
し、前記隔壁を形成する工程と、前記記録材飛翔部側の
前記隔壁の端縁位置と同じか或いは前記端縁位置よりも
前記記録材飛翔部に近い位置に先端を有する形状にメニ
スカス形成手段を予め加工する工程と、少なくとも前記
先端と前記記録材飛翔部との間に前記記録材のメニスカ
スが形成されるように前記メニスカス形成手段を取り付
ける工程とを有する、記録装置の製造方法に係るもので
ある。

【００４７】本発明の製造方法によれば、上記した記録
装置を再現性良く製造できる。

【００４８】本発明において、上記の「隔壁」とは、記
録材供給路の側壁を指し、メニスカス形成手段を構成す
る後述の蓋は含まない。なお、上記の「飛翔」とは、気
化、蒸発、アブレーション、又は表面張力波（ヒータの
加熱によって生じるインクの表面張力対流（マランゴニ
流）によるインクの衝突力を利用してインクをミスト状
に転写させること）により記録材を飛翔させることを意
味する。

【００４９】

【発明の実施の形態】本発明に基づく記録装置及びその
製造方法においては、前記隔壁が前記記録材供給路の側
壁をなし、前記側壁上に取り付けられた蓋部と共に前記
記録材供給路を形成し、前記蓋部が前記メニスカス形成
手段として前記記録材飛翔部の近傍にまで延設されてい
ることが望ましい。

【００５０】また、前記蓋部に加えて、前記記録材飛翔
部に関し前記蓋部とは反対側に、予め加工された第２の
メニスカス形成手段が取り付けられ、この第２のメニス
カス形成手段が前記記録材飛翔部との間に前記記録材の
メニスカスを形成してもよい。

【００５１】また、前記蓋部が前記記録材飛翔部上を含
む領域にまで延設され、この記録材飛翔部上に開口部を
有するようにしてもよい。

【００５２】また、前記メニスカス形成手段が予め加工
されて、前記隔壁の前記端縁位置と前記記録材飛翔部と
の間に貼付によって取り付けられていてもよい。

【００５３】また、前記記録材供給路を形成するための
隔壁が、前記端縁位置よりも前記記録材飛翔部に近い位
置に先端を有するように予め加工され、前記メニスカス
形成手段として取り付けられていてもよい。

【００５４】そして、前記記録材飛翔部が、前記記録材
を保持する例えば小円柱体からなる凹凸構造を有してい
ることが望ましい。

【００５５】更に、共通の記録材供給路から分岐して、
前記記録材飛翔部へ前記記録材を供給するための分岐路
が前記隔壁によって前記記録材供給路として設けられて
いることが望ましい。しかし、記録材供給路は共通の供
給路でなくてもよい。

【００５６】この場合、前記記録材が例えばヒータの加
熱によって、前記記録材飛翔部と非接触状態で対向配置
された前記被記録体へ飛翔するようにすることが望まし
い。

【００５７】以下、図面を参照しながら本発明の好まし
い実施の形態を説明する。

【００５８】実施の形態１図１は、第１の実施の形態によるヘッドチップ１０の一
部分を示す平面図、図２は、図１のII−II線断面図、図
３は、図１の III−III 線の縮小断面図である。なお、
前述した従来例と共通の部位には共通の符号を用いる。
後述する他の実施の形態も同様。

【００５９】図２及び図３に示すように、本実施の形態
のヘッドチップ１０は、厚さが５ｍｍ以下の、例えば
０．２〜１ｍｍのＳｉ（シリコン）からなる基板１の上
に、厚さが５０μｍ以下の、例えば１０〜３０μｍのド
ライフィルム（例えばシートレジスト）からなる隔壁２
と、予め精密に加工（後述する実施形態も同様）した厚
さが１００μｍ以下の、例えば２０〜３０μｍのＮｉ
（ニッケル）シートからなる染料供給路の蓋３とによっ
て、既述した図４４と同様に共通の染料供給路から分岐
した分岐路８が形成されている。後述する他の実施の形
態も同様。

【００６０】そして、この先端部にそれぞれ１ドットを
形成する染料飛翔部６が、幅及び径が１０μｍ以下（例
えば１〜４μｍ）、間隔が１０μｍ以下（例えば１〜４
μｍ）、高さが２０μｍ以下（例えば１〜１０μｍ）の
微細な小円柱状の、例えばＳｉＯ₂からなる小円柱体４
の群と、染料７を加熱して飛翔させるための、例えばpo
ly−Ｓｉ（ポリシリコン）からなるヒータ（図示省略）
と、これに電流を流すための、例えばＡｌ（アルミニウ
ム）からなる電極（図示省略）により構成されている。
後述する他の実施の形態も同様である。

【００６１】また、図２に示すように、蓋３の染料飛翔
部６に近い側の端縁３ａと染料飛翔部６の中心線Ｃ₁と
の距離Ｂが１５μｍ以上（例えば３０〜１００μｍ）に
なる位置に設置され、また、分岐路８の隔壁２は、染料
飛翔部６に近い側の端縁２ａと染料飛翔部６の中心線Ｃ
₁との距離ＣがＣ≧Ｂになる位置に設置されて、染料７
のメニスカス形成手段が製造工程を複雑化することなく
形成されている。この位置関係は、更にＣ＞Ｂが好まし
く、（１／２）Ｃ≧Ｂ≧（１／５）Ｃが一層好ましい。

【００６２】図１に示すように、分岐路８を経由して供
給される染料７は、連通部３６ｃ領域においては矢印で
示す如く、自然に流路を拡げながら染料飛翔部６の小円
柱体４群の染料収容部９の中へ収容される。

【００６３】図４は、図２に相当する部分における染料
７の流入状態を示す断面図、図５はこの状態における染
料飛翔部６近傍の拡大断面図である。図示の如く、基板
１、隔壁２及び蓋３で囲まれた分岐路８の領域を毛細管
現象で供給される染料７は連通部３６ｃにおいては、自
然にその表面にメニスカス７ａが形成され、図５に示す
ように染料７の厚さＡが薄くなるが、本実施の形態は上
記したメニスカス形成手段によって所望の染料７の厚さ
Ａを得ることができる。

【００６４】即ち、染料飛翔部６上における染料７の高
さＡは、主に図４に見られるように蓋３の染料飛翔部に
近い側の端縁３ａから染料飛翔部６にかけて形成される
染料表面のメニスカス７ａと小円柱体４の高さで決ま
る。

【００６５】従って、蓋３の染料７と接する表面を処理
することで染料７との接触角を変えたり、蓋３の染料飛
翔部６に近い側の端縁３ａと染料飛翔部６の中心線Ｃ₁
との距離Ｂを調整することにより、蓋３の染料飛翔部６
に近い側の端縁３ａから染料飛翔部６にかけて形成され
る染料表面のメニスカス形状を調整して、所望の染料高
さを得ることができる。

【００６６】そして、このヘッドチップ１０を具備した
記録ヘッドは、画像情報に応じて電流が電極よりヒータ
に流れ、ヒータで発生するジュール熱により染料飛翔部
６にある染料７が気化し、対向する被記録体（図示省
略）に向かって飛翔する。

【００６７】染料飛翔部６に小円柱体４等からなる記録
材飛翔用構造体を設けない場合には、画像情報に応じて
電流が電極よりヒーターに流れ、染料飛翔部６に存在し
ている染料７が熱せられ飛翔するが、発熱による染料７
の表面張力低下により、染料７が加熱されたヒーター上
面部より逃げて、染料飛翔部６の外周部に局在してしま
い、必要十分な染料７を確保することができず染料７の
飛翔が困難になる。しかし、本実施の形態のように染料
飛翔部６に小円柱体４等からなる染料飛翔用構造体が存
在していれば、毛細管現象により染料７を保持し、既述
した図５１に示すような染料消失部３７を生じさせるこ
となく、染料飛翔部６に必要十分な染料７を供給し続け
ることが可能となる。

【００６８】上記したように、画像情報に応じて所望の
量の染料７を飛翔させるには、染料飛翔部６上に存在す
る染料７の量をコントロールする必要がある。つまり、
染料飛翔部６上に存在する染料７の量が所望の量より多
ければ、即ち、染料飛翔部６上に存在する染料７の高さ
Ａが高ければ、染料７を加熱するのに想定以上のエネル
ギーが必要となり、所望の量の染料７を飛翔させること
ができない。

【００６９】また、逆に染料飛翔部６上に存在する染料
７の量が所望の量より少なければ、即ち、染料飛翔部６
上に存在する染料７の高さＡが低ければ、加熱時の染料
７の表面張力低下により発生する染料飛翔部６よりの染
料７の「逃げ」現象により、染料の飛翔時に染料飛翔部
６上に染料が殆ど存在しなくなり、所望の量の染料７を
飛翔させることができない。

【００７０】このように、染料飛翔部６上の染料７の高
さＡは、小円柱体４の高さと、染料供給路を形成する隔
壁２及び蓋３の染料飛翔部６に近い側の端縁から染料飛
翔部６にかけて形成される染料７の表面のメニスカスに
より決まる。

【００７１】本実施の形態によれば、蓋３の端縁３ａが
隔壁２の端縁２ａよりも染料飛翔部６に近い位置に突出
しているので、染料７のメニスカス７ａの衰退を抑制す
る。即ち、フォトリソグラフィ技術により形成されてい
る隔壁２の各端縁は、ミクロ的には微細な凹凸が形成さ
れて形状が安定せず、また、隔壁２の表面状態が微妙に
変化したり、この端縁から染料飛翔部までの距離が変化
したりすることにより、良好な形状のメニスカスの形成
を妨げる要因となる。従って、予め加工した蓋３の端縁
３ａを隔壁２の端縁２ａよりも染料飛翔部６の近傍にま
で突出させて取り付けることにより、蓋３の端縁３ａか
ら前方において形成される染料７のメニスカス７ａを所
望の形状に形成することができ、染料飛翔部６において
所望の染料７の高さＡを保持することができる。しか
も、このヘッドチップは蓋の貼付位置の変更等で簡単に
作製することができる。

【００７２】実施の形態２図６は、第２の実施の形態によるヘッドチップ１０Ａの
一部分を示す平面図、図７（ａ）は、図６のVIIa−VIIa
線断面図、図７（ｂ）は、図６のVIIb−VIIb線断面図で
ある。

【００７３】本実施の形態は、図６及び図７（ａ）に示
すように。前記した第１の実施の形態における蓋３の染
料飛翔部６に対向する側に、側壁１２とこの上部を覆う
蓋１３を設けて染料飛翔部６上にスリット構造を形成し
たものであるが、製造工程を複雑化することなく作製す
ることができる。

【００７４】そして、図７（ａ）に示すように、蓋１３
の染料飛翔部６に近い側の端縁１３ａと染料飛翔部６の
中心線Ｃ₁との距離Ｄが１５μｍ以上（例えば３０〜１
００μｍ）になる位置に設置し、隔壁１２の染料飛翔部
６に近い側の端縁１２ａと染料飛翔部６の中心線Ｃ₁と
の距離ＥがＥ≧Ｄになる位置に設置している。

【００７５】従って、本実施の形態の場合は、蓋３の端
縁３ａと対向する側に第２のメニスカス形成手段が形成
され、図８に示すように、染料７のメニスカス７ａがこ
の第２のメニスカス形成手段によってスリット１４の両
側から形成されるため、上記の図５に示した染料高さＡ
を更に良好な高さに保持することができる。

【００７６】本実施の形態によれば、前記した第１の実
施の形態による効果に加え、第２のメニスカス形成手段
により所望な染料７のメニスカス７ａの形状を更に良好
に形成することができる。

【００７７】実施の形態３図９（ａ）は、第３の実施の形態によるヘッドチップ１
０Ｂの一部分を示す平面図であり、図９（ｂ）は、図９
（ａ）の IXb−IXb 線断面図である。この図におけるVI
Ia−VIIa線断面は、図７（ａ）と同様であるので、図示
省略する。

【００７８】本実施の形態は、図９（ａ）に示すよう
に、前記した第２の実施の形態における蓋３とこれに対
向配置した蓋１３とを一体形成した蓋３Ａにより、各染
料飛翔部６に対応する位置の上方に円形のオリフィス１
１を設けたものであり、例えばオリフィス１１の開口部
の大きさＦを３０μｍ以上（例えば６０〜２００μｍ）
に形成したものであるが、この場合も製造工程を複雑化
することはない。

【００７９】従って、本実施の形態の場合は、オリフィ
ス１１の端縁３ｂによって染料飛翔部６を円状に囲むメ
ニスカス形成手段が形成され、図１０に示すように、染
料７のメニスカス７ａがオリフィス１１の全端縁３ｂと
染料飛翔部６との間に形成されるため、前記した第２の
実施の形態よりも更に良好な状態にメニスカス７ａが形
成され、良好な染料の高さＡ（図５参照）に染料７を保
持することができる。更に、オリフィス１１によって染
料７の飛翔方向が規制されるので、良好なドットを形成
することができる。

【００８０】本実施の形態によれば、染料飛翔部６を囲
むメニスカス形成手段により染料７のメニスカス７ａが
形成され、染料７の飛翔方向の規制により良好な記録が
得られるので、前記した第２の実施形態と同等、若しく
はそれ以上の良好な染料７のメニスカス７ａを形成する
ことができる。

【００８１】実施の形態４図１１は、第４の実施の形態によるヘッドチップ１０Ｃ
の一部分を示す平面図である。この図における断面VIIa
−VIIaは、図７（ａ）と同様、また、断面 IXb−IXb は
図９（ｂ）と同様であるので、図示省略する。

【００８２】本実施の形態は、図１１に示すように、前
記した第３の実施形態と同様に形成した蓋３Ａにより、
染料飛翔部６に対応する位置の上方に方形のオリフィス
１１Ａを設けたものであり、オリフィス１１Ａの開口部
の大きさＧが３０μｍ以上（例えば６０〜２００μｍ）
に形成したものであるが、この場合も製造工程を複雑化
することはない。

【００８３】従って、本実施の形態の場合は、オリフィ
ス１１Ａの方形の端縁３ｃによって染料飛翔部６を囲む
メニスカス形成手段が形成され、図１０に示した前記第
３の実施の形態の場合とほぼ同様のメニスカス７ａが形
成され、良好な染料７のメニスカス７ａを形成すること
ができると共に、上記した第３の実施の形態と同様に染
料７の飛翔方向を規制することができる。

【００８４】本実施の形態によれば、前記した第３の実
施の形態と同等のメニスカスによって第３の実施の形態
と同等の効果を得ることができる。

【００８５】実施の形態５図１２は、第５の実施の形態によるヘッドチップ１０Ｄ
の一部分を示す平面図であり、図１３（ａ）は、図１２
の XIIIa−XIIIa 線断面図、図１３（ｂ）は、図１２の
XIIIb−XIIIb 線断面図である。

【００８６】本実施の形態は、図１２及び図１３（ｂ）
に示すように、染料飛翔部６を間に挟んで、前記した第
１の実施の形態における隔壁２及び蓋３と対称的に隔壁
２’及び蓋３’が対向配設され、染料飛翔部６に対して
対向する側からも染料７を供給できる構造を有するヘッ
ドチップに適用した形態であり、この場合は染料飛翔部
６の上方がスリット構造に形成されているが、製造工程
を複雑化することなく簡単に実施することができる。

【００８７】上記の如く、本実施の形態の場合は、対向
配置されている隔壁２’と基板１及び蓋３’との間から
も毛細管現象によって染料７が供給され、図１２に示す
ように、染料飛翔部６へは両方から染料７が供給され
る。

【００８８】従って、本実施の形態の場合は、互いに対
向するそれぞれの蓋３、３’の端縁３ａ及び３ａ’によ
ってメニスカス形成手段が形成され、前記した第２の実
施の形態の場合とほぼ同様な染料７のメニスカス７ａ
が、図１４に示すように形成される。そして、本実施の
形態の場合は、染料飛翔部６に対して両方の染料供給路
から染料７が有利に供給されるので、良好にメニスカス
７ａを形成し易い。

【００８９】本実施の形態によれば、前記した第２の実
施の形態と同様なメニスカス７ａが形成され、更に有利
な染料の供給により、第２の実施の形態と同等若しくは
それ以上の効果を得ることができる。

【００９０】実施の形態６図１５は、第６の実施の形態によるヘッドチップ１０Ｅ
の一部分を示す平面図である。この図における断面 IXb
−IXb 線は図９（ｂ）と同様、また、断面XIIIb −XIII
b 線は図１３（ｂ）と同様であるので、図示省略する。

【００９１】本実施の形態は、図１５に示すように、前
記した第５の実施の形態と同様に染料飛翔部６に対して
両方から染料７が供給される構造であり、蓋３Ａ’が図
９に示した第３の実施の形態と同様に一体に形成され、
染料飛翔部６を挟んで対向配置された隔壁２、２’上に
設けられている。また、各染料飛翔部６の上方には、図
９に示した第３の実施の形態と同様に円形のオリフィス
１１’が形成されているが、この場合も製造工程を複雑
化することなく作製することができる。

【００９２】従って、本実施の形態の場合は、オリフィ
ス１１’の全端縁３ｂ’によってメニスカス形成手段が
形成され、上記した第５の実施の形態と同様に両側から
染料７が有利に供給されて良好なメニスカス７ａを形成
し易く、上記した第３の実施の形態の場合と同様なメニ
スカス７ａを形成することができると共に染料７の飛翔
方向を規制することができる。

【００９３】本実施の形態によれば、前記した第３の実
施の形態と同様なメニスカスが形成されるのに加えて、
有利な染料７の供給によって、第５の実施の形態と同等
の効果を得ることができる。

【００９４】実施の形態７図１６は、第７の実施の形態によるヘッドチップ１０Ｆ
の一部分を示す平面図である。この図における断面 IXb
−IXb は図９（ｂ）と同様、また、断面 XIIIb−XIIIb
は図１３（ｂ）と同様であるので図示省略する。

【００９５】本実施の形態は、前記した第６の実施の形
態における円形のオリフィス１１’に代えて、図１１に
示した第４の実施の形態と同様な方形のオリフィス１１
Ａ’を染料飛翔部６上に形成したものであり、この場合
も製造工程を複雑化することはない。

【００９６】従って、本実施の形態の場合は、図１１に
示した前記第４の実施の形態の場合と同様に、方形のオ
リフィス１１Ａ’の開口部の端縁３ｃ’によってメニス
カス形成手段が形成され、染料飛翔部６の両側からの有
利な染料７の供給により、第４の実施の形態の場合と同
様なメニスカス７ａを形成することができる共に、染料
７の飛翔方向を規制することができる。

【００９７】本実施の形態によれば、前記した第４の実
施の形態と同様なメニスカスが形成されるのに加えて、
有利な染料７の供給によって、上記した第６の実施の形
態と同等の効果を得ることができる。

【００９８】実施の形態８図１７は、第８の実施の形態によるヘッドチップ１０Ｇ
の一部分を示す平面図である。

【００９９】本実施の形態は、前記した各実施の形態と
は異なり、既述の図４８に示した従来例によるヘッドチ
ップの隔壁２の端縁２ａの先に、隔壁２とは異なる材質
（例えば、蓋３Ｂと同じニッケル）からなる隔壁２Ａを
メニスカス形成手段として延設したものである。そし
て、この隔壁２Ａは、製造工程において形成される隔壁
２と同時に形成したものではなく、予め別途加工したも
のが貼付により延設されている。

【０１００】製造工程において、フォトリソグラフィ技
術により形成される隔壁２の各端縁は、既述した如くミ
クロ的には微細な凹凸が形成されている。しかし、この
凹凸は良好な形状のメニスカスの形成を妨げる要因とな
る。従って、予め別途精密に加工した材料を貼付する
が、例えば厚さが２０μｍの薄いものであるため別途作
製したものを貼付している。しかし、製造工程を複雑化
することなく、メニスカスを安定に形成することができ
る。

【０１０１】これにより、延設による隔壁２Ａの端縁２
ａ”が染料飛翔部６の近傍に位置し、しかも凹凸のない
精密に加工された延設部の端縁２ａ”によってメニスカ
スが良好な形状に形成され、染料飛翔部６における染料
７の飛翔に必要な染料７を保持させることができる。

【０１０２】本実施の形態によれば、延設された隔壁２
Ａの端縁２ａ”が染料飛翔部６の近傍に位置するため、
染料飛翔部６において、染料７の飛翔に所要量の染料７
を供給できる良好な染料７のメニスカスを形成させるこ
とができる。しかも、予め加工した延設材料を貼付する
ので、延設部の隔壁２Ａの端縁２ａ”を精密に加工する
ことができる上に、簡単に作製することができる。

【０１０３】実施の形態９図１８は、第９の実施の形態によるヘッドチップ１０Ｈ
の一部分を示す平面図である。

【０１０４】本実施の形態は、前記した第８の実施の形
態が予め加工した材料の貼付による隔壁の延長であるの
に対し、図示の如く、端縁２ａ''' が染料飛翔部６の近
傍に位置するようなサイズのレジストシートからなる隔
壁２Ｂ全体を、予め加工して作製後に所定位置に貼付
し、メニスカス形成手段を形成したものである。

【０１０５】従って、隔壁２Ｂ及び蓋３Ｂは、ヘッドチ
ップ１０Ｈの製造工程においてフォトリソグラフィ技術
によって形成されたものではなく、予め別途作製後に貼
付されている。これにより、隔壁２Ｂの先端２ａ''' を
凹凸なく精密に形成することができると共にヘッドチッ
プの製造工程を複雑化することなく作製することができ
る。

【０１０６】本実施の形態によれば、前記した第８の実
施の形態の場合と同等な効果を得ることができる。

【０１０７】実施の形態１０図１９は、第１０の実施の形態によるヘッドチップ１０
Ｉの一部分を示す平面図である。

【０１０８】図示の如く、本実施の形態のヘッドチップ
１０Ｉは、図４８に示した従来例によるヘッドチップの
各隔壁２間にメニスカス形成手段としての補助壁１５を
設け、しかも、この補助壁１５の端縁１５ａが染料飛翔
部６の近傍に位置している。また、図１９において仮想
線で示すように、この補助壁１５の端縁１５ａ側と対向
させた補助壁１６を設けると更に効果を高めることがで
きる。但し、この補助壁１６は加熱によって劣化するの
でヒーターとの間に所定の距離を保つ方がよい。

【０１０９】本実施の形態の補助壁１５は、例えば、レ
ジストシート、ニッケルシート又はその他の材料を用
い、予め加工したものが貼付によって取り付けられ、蓋
３Ｂは補助壁１５の貼付後に、この上に貼付されてお
り、製造工程も複雑化されることなく作製することがで
きる。

【０１１０】これにより、補助壁１５の端縁１５ａが染
料飛翔部６の近傍に位置するため、本来、隔壁２の端縁
２ａから染料飛翔部６にかけて形成され、染料厚みが衰
退しがちな染料７のメニスカスを、この補助壁１５によ
って良好な形状に保つことが可能となる。

【０１１１】本実施の形態によれば、前記した第８及び
第９の実施の形態の場合と同等な効果を得ることができ
る。

【０１１２】次に、上記した実施の形態のヘッドチップ
の概略の製造方法をその製造工程の順に説明する。図２
０〜図３２は、各工程における概略断面図であり、図３
３〜図４０はこの工程に対応した一部分の工程を示す概
略平面図である。

【０１１３】まず、図２０に示すように、本実施形態の
ヘッドチップは、放熱特性の良好な（熱電導率の高い）
シリコンウエハをヒータチップの基板１として用いた。
そして、この上に熱酸化あるいはＣＶＤ（化学的気相成
長法）等によってＳｉＯ₂層３９を厚さ１〜２μｍ程度
成膜する。このＳｉＯ₂膜はヒータ直下で蓄熱層として
の働きをするので、ＳｉＯ₂層３９の厚さ、さらにはベ
ースとなるアルミニウムヒートシンクの放熱特性を考慮
してその厚さを決定する必要がある。

【０１１４】次いで、図２１に示すように、ＳｉＯ₂層
３９上に減圧ＣＶＤ法等によって抵抗体（発熱体）とな
るポリシリコン層４０を厚さ０．４μｍ程度に成膜す
る。ポリシリコン層４０はリン（Ｐ）をドープすること
によってシート抵抗が４ｋΩ程度になるように成膜す
る。

【０１１５】次いで、図２２に示すように、ポリシリコ
ン層４０上にアルミニウム４１をスパッタ法によって
０．５μｍ程度成膜する。この場合、導体としてはアル
ミニウム以外にも金、銅、白金等の金属を用いることが
できる。

【０１１６】次いで、図２３（図３３の XXIII−XXIII
線断面図）及び図３３に示すように、ヒータ５を形成す
る部分のポリシリコン層４０を露出させるために、フォ
トレジストを所定パターンに形成し、エッチング液でそ
の部分のアルミニウム層４１を選択的に除去する。図３
３はこの工程に対応する平面図である。アルミニウム４
１のエッチング液としてはリン酸：硝酸：酢酸：水＝
４：１：４：１の比で混合した混酸を用いる。但し、図
面ではヒータ５を４個示したが、実際はそれ以上存在す
る（以下、同様）。

【０１１７】次いで、図２４（図３４のXXIV−XXIV線断
面図）及び図３４に示すように、各ヒータ５に導通する
ように配線パターンをフォトレジストで形成した後、こ
れをマスクにして上記アルミニウム・エッチング液でア
ルミニウム４１を図３４に示すような共通電極４１Ａ及
び個別電極４１Ｂの導体パターンにエッチングする。

【０１１８】次いで、図２５（図３５の XXV−XXV 線断
面図）及び図３５に示すように、アルミニウム・エッチ
ング液ではポリシリコンはエッチングされないので、上
記のフォトレジストをマスクとしてＲＩＥ（リアクティ
ブ・イオン・エッチング）法でＣＦ₄ガス（フッ化炭素
ガス）によってポリシリコン層４０をアルミニウム４１
と同様のパターンにエッチングする。

【０１１９】この時、ヒータ部６のポリシリコン層４０
上にはフォトレジストがあるので、この部分のポリシリ
コン層４０はエッチングされない。これにより、はじめ
にポリシリコン層４１を露出させた部分以外はアルミニ
ウム４１とポリシリコン層４０が同じ形に導体パターン
として加工され、後の工程で行う加熱処理によってアル
ミニウムとポリシリコンがオーミックコンタクトし、導
体として機能する。ポリシリコンが露出した部分は高抵
抗の抵抗体となり抵抗加熱ヒータ５として機能する。

【０１２０】次いで、図２６に示すように、ＳｉＯ₂層
４２を全面にＣＶＤ法によって６μｍ程度成膜して、４
５０℃で３０分間窒素雰囲気中でアニールし、ポリシリ
コンとアルミニウム電極のオーミックコンタクトがとれ
るようにシリンダ処理する。

【０１２１】次いで、図２７に示すように、小円柱体と
染料収容部を形成する際のメタルマスクとなるクロム層
４５をスパッタ法で０．２μｍ程度成膜する。

【０１２２】次いで、図２８に示すように、小円柱体と
染料収容部を形成するために所定パターンをフォトレジ
ストで形成し、ＲＩＥ法で塩素と酸素の混合ガスによっ
て不要なクロム膜を除去し、メタルマスク４５を形成す
る。図３６が図２８に対応する平面図であるが、図３６
においては、図２８におけるＳｉＯ₂層４４は図示省略
しメタルマスク４５を示している。

【０１２３】次いで、図２９に示すように、電極取り出
し用のボンディングパッド部４６及び４７を開口させる
ための所定パターンをフォトレジストで形成し、ＲＩＥ
でＳｉＯ₂層４４を１μｍエッチングする。これは、染
料収容部と小円柱体の群を形成する次の工程において、
ウエハー上に存在する全ての電極取り出し用ボンディン
グパッド部を確実に開口させるために行う。

【０１２４】次いで、図３０（図３７の XXX−XXX 線断
面図）及び図３７に示すように、所定パターンに形成さ
れたクロム膜をマスクとしてＲＩＥを行い、ＳｉＯ₂層
４４に染料収容部９と小円柱体４の群（本数は省略して
図示）とをそれぞれ形成する。染料収容部９と小円柱体
４の群は１個のヒータ５にそれぞれ１組ずつ形成され
る。この時に、電極取り出し用ボンディングパッド部４
６、４７の開口も同時に行い、電極のアルミニウムを露
出させる。なお、図３７においても、図３０におけるＳ
ｉＯ₂層４４は図示省略している。また、図３０におい
て仮想線で示した符号５０は後述する囲い壁を示してい
る。

【０１２５】次いで、図３１（図３８のXXXI−XXXI線概
略断面図）及び図３８に示すように、厚み２５μｍ程度
のドライフィルム（シートレジスト）をラミネートし、
染料供給路の隔壁２として所定パターンにパターニング
する。

【０１２６】なお、第２〜第４の実施の形態における側
壁１２は、この工程において隔壁２と同様にパターニン
グ形成してもよく、または、第８の実施の形態における
延設隔壁２Ａ、第９の実施の形態における隔壁２Ｂ及び
第１０の実施の形態における補助壁１５と同様に貼付し
て形成する。

【０１２７】更に、図３２（図３９の XXXII−XXXII 線
概略断面図）及び図３９に示すように、予め精密に加工
した厚さ２５μｍ程度のニッケルシートからなるインク
供給路の蓋３の端縁３ａを隔壁２の端縁２ａよりも突出
させて熱圧着により形成する。

【０１２８】また、第２の実施の形態における側壁１２
上の蓋１３は、この工程において上記の如く側壁１２を
形成後に取り付ける。また、第３〜第７の実施の形態に
おける蓋はそれぞれのオリフィス又はスリット構造を形
成して熱圧着する。

【０１２９】上記のようにして、幅がヒータ５の間隔、
高さが２５μｍ程度のトンネル状の染料供給の分岐路８
が形成され、毛細管現象により気化部へ過不足なく染料
が供給される。また、隔壁２がなく、分岐路を形成しな
い染料供給路の場合でも蓋３で覆うことにより毛細管現
象で染料を供給することができる。

【０１３０】このようにシリコン基板１上に気化部６の
ヒータ５及び配線導体、染料収容部９ならびに分岐路８
を一体に形成し、所定のヘッドチップの大きさにカット
して、ヘッドチップは完成する。

【０１３１】そして、このヘッドチップの各ヒータ５を
画像データに対応した信号で駆動するため、既述の図４
２に示したようにドライバＩＣ２６が実装され、ガラス
エポキシからなるプリント基板２８上に銅線によりドラ
イバＩＣ２６とコネクタ３０とを結線できるように配線
を形成する。

【０１３２】ヘッドチップ上の電極とドライバＩＣ２６
及びドライバＩＣ２６とプリント基板２８上のコネクタ
３０との配線との接続は、それぞれ直径２５ミクロンの
金線をワイヤーボンドで接続する。更に、ドライバＩＣ
２６とボンディングしたワイヤーを保護するために、シ
リコン系のＪＣＲ（ジャンクション・コーティング・レ
ジン）を塗布し熱硬化させる。

【０１３３】上記の如く作製したヘッドチップは、既述
した図４２〜図４５に示すように、ベース２５に接着さ
れ、更にカバー３２が取り付けられて、既述した図４６
に示すシリアル方式、または図４７に示すライン方式の
プリンタヘッドとして使用する。

【０１３４】本実施の形態の製造方法によれば、既述し
た先願発明の製造工程を大幅に変更することなく、しか
も複雑化させることもなく製造することができる。

【０１３５】また、例えば図４０に示すように、先願発
明（特開平７−３５４１１５号公報）と同様に、それぞ
れの染料飛翔部６を取り囲むＳｉＯ₂からなる第２の隔
壁５０（図３０においては仮想線で表示）を形成し、こ
の上に端縁３ａが染料飛翔部６の近傍に位置した蓋３を
取り付ければ、この端縁３ａと第２隔壁５０とによって
良好な染料のメニスカスを形成させることもできる。

【０１３６】以上、本発明の実施の形態を説明したが、
上述の実施の形態は本発明の技術的思想に基づいて種々
の変形が可能である。

【０１３７】例えば、ヒータチップや記録ヘッドの各部
の構造、形状、材質等も前記以外に変化させて良い。ま
た、記録の際には、被記録体が移動する、或いは記録ヘ
ッドと被記録体とが共に移動して両者が相対的に移動す
るようにしても良い。

【０１３８】また、上述したヒータ６の形状、材質、サ
イズ等については種々のもの、或いは組み合わせを採用
することができる。基板１はアルミナ等のセラミックス
で形成し、発熱体、断熱材、基板によってヘッドの熱特
性を調節してもよい。

【０１３９】染料飛翔部に形成する小円柱体４はその高
さ、平面又は断面形状、密度、材質等を変化させてもよ
い。例えば、柱状体に対応した形（丁度、ネガ−ポジ反
転した形状）にフォトレジストでパターンを形成し、電
解めっき法でニッケル等の金属の柱を形成してもよい。
この場合下地層として導電性のある膜を予め形成してお
く必要がある。

【０１４０】めっき法による柱状体の形成法は、ＳｉＯ
₂の柱状体形成法に比べてＳｉＯ₂の成膜、メタルマス
クの形成、ＳｉＯ₂のエッチング等の時間のかかるプロ
セスを省略できるので、短時間に柱状体を形成でき、量
産性に優れている。

【０１４１】また、染料飛翔部の構造は、上述した柱状
体以外にも、壁状体やビーズ集合体、繊維体等で形成し
たものであってもよい。

【０１４２】また、染料を収容する染料収容部の数やド
ット数、及びこれに対応した発熱体や飛翔部の数は種々
変更してよいし、その配列形状やサイズ等も上述したも
のに限定されることはない。

【０１４３】また、記録染料についても、マゼンタ、イ
エロー、シアンの３色として（更には、黒を加えた）フ
ルカラーの記録を行うほか、２色印刷、１色のモノカラ
ー又は白黒の記録を行うことができる。

【０１４４】また、発熱体を金属又は金属系でも形成で
きる。ヘッドベース材をアルミニウム、セラミックス等
の高熱伝導材で形成し、発熱体、断熱材、ヘッドベース
材によって記録ヘッドの熱特性を調整してもよい。

【０１４５】

【発明の作用効果】上記した如く、本発明は、被記録体
に対向配置され、隔壁によって形成された記録材供給路
を経由して記録材が供給され、この記録材を前記被記録
体に飛翔させるための記録材飛翔部を有する記録装置に
おいて、前記記録材飛翔部側の前記隔壁の端縁位置と同
じか或いは前記端縁位置よりも前記記録材飛翔部に近い
位置に先端を有し、予め加工されたメニスカス形成手段
が取り付けられ、少なくとも前記先端と前記記録材飛翔
部との間に前記記録材のメニスカスが形成されるので、
記録材が途切れることなく記録材飛翔部に供給され、記
録材の飛翔が十分に行えるような記録材のメニスカスを
形成させることができる。その結果、被記録体に対して
良好な記録が行えるため、記録装置としての製品の歩留
りを高めると共に、コストの低減が可能となる。しか
も、前記メニスカス形成手段は予め加工されてから取り
付けたものであるから、既述した如きリソグラフィーな
どの後加工の問題点がなく、安定な形状と表面状態で取
り付けられ、記録材飛翔部との間の距離が一定し、メニ
スカス（従って記録材の高さ）が常に一定となり、良好
な記録を行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施の形態によるヘッドチップ
の一部分を示す概略平面図である。

【図２】図１のII−II線概略断面図である。

【図３】図１の III−III 線縮小概略断面図である。

【図４】図２の部分への染料の導入及びメニスカスを示
す概略断面図である。

【図５】同、染料飛翔部近傍におけるメニスカスを示す
拡大断面図である。

【図６】同、第２の実施の形態によるヘッドチップの一
部分を示す概略平面図である。

【図７】同、ヘッドチップを示し、（ａ）は図６のVIIa
−VIIa線概略断面図、（ｂ）は図６のVIIb−VIIb線概略
断面図である。

【図８】図７（ａ）の部分への染料の流入及びメニスカ
スを示す概略断面図である。

【図９】同、第３の実施の形態によるヘッドチップを示
し、（ａ）はその一部分の概略平面図、（ｂ）は（ａ）
のIX−IX線概略断面図である。

【図１０】図９の部分における染料のメニスカスを示す
概略断面図である。

【図１１】同、第４の実施の形態によるヘッドチップの
一部分を示す概略平面図である。

【図１２】同、第５の実施の形態によるヘッドチップの
一部分を示す概略平面図である。

【図１３】図１２の断面を示し、（ａ）は図１２の XII
Ia−XIIIa 線概略断面図、（ｂ）は図１２の XIIIb−XI
IIb 線概略断面図である。

【図１４】図１２の部分における染料のメニスカスを示
す概略断面図である。

【図１５】同、第６の実施の形態によるヘッドチップの
一部分を示す概略平面図である。

【図１６】同、第７の実施の形態によるヘッドチップの
一部分を示す概略平面図である。

【図１７】同、第８の実施の形態によるヘッドチップの
一部分を示す概略平面図である。

【図１８】同、第９の実施の形態によるヘッドチップの
一部分を示す概略平面図である。

【図１９】同、第１０の実施の形態によるヘッドチップ
の一部分を示す概略平面図である。

【図２０】同、ヘッドチップの製造工程の一工程を示す
概略断面図である。

【図２１】同、他の一工程を示す概略断面図である。

【図２２】同、他の一工程を示す概略断面図である。

【図２３】同、他の一工程を示す概略断面図である。

【図２４】同、他の一工程を示す概略断面図である。

【図２５】同、他の一工程を示す概略断面図である。

【図２６】同、他の一工程を示す概略断面図である。

【図２７】同、他の一工程を示す概略断面図である。

【図２８】同、他の一工程を示す概略断面図である。

【図２９】同、他の一工程を示す概略断面図である。

【図３０】同、他の一工程を示す概略断面図である。

【図３１】同、他の一工程を示す概略断面図である。

【図３２】同、更に他の一工程を示す概略断面図であ
る。

【図３３】同、ヘッドチップの製造工程の一工程を示す
概略平面図である。

【図３４】同、他の一工程を示す概略平面図である。

【図３５】同、他の一工程を示す概略平面図である。

【図３６】同、他の一工程を示す概略平面図である。

【図３７】同、他の一工程を示す概略平面図である。

【図３８】同、他の一工程を示す概略平面図である。

【図３９】同、更に他の一工程を示す概略平面図であ
る。

【図４０】同、他の実施の形態によるヘッドチップの一
部分を示す概略平面図である。

【図４１】従来例による熱転写方式のプリンタの要部を
示す概略図である。

【図４２】先願発明によるプリンタヘッドからカバーを
取り外した状態を示す平面図である。

【図４３】同ヘッドにカバーを取り付けた状態を示す平
面図である。

【図４４】同、プリンタヘッドによる記録状態を示す概
略断面図である。

【図４５】同、プリンタヘッドによる記録状態を示す概
略側面図である。

【図４６】同、プリンタヘッドのシリアル方式による使
用状態を示す概略斜視図である。

【図４７】同、プリンタヘッドのライン方式による使用
状態を示す概略斜視図である。

【図４８】同、ヘッドチップの一部分を示す概略平面図
である。

【図４９】図４８のXXXXIX−XXXXIX線概略断面図であ
る。

【図５０】図４９の部分における染料のメニスカスを示
す概略断面図である。

【図５１】同、ヘッドチップにおける染料消失部を示す
一部分の概略平面図である。

【符号の説明】

１…基板、２、２Ａ、２Ｂ…隔壁、２ａ、２a'、２a"、
３ａ、３ｂ、３ｃ、３b'、３c'、１２ａ、１３ａ…端縁３Ａ、３Ａ’、３Ｂ、１３…蓋、４…小円柱体、５…ヒ
ータ、６…染料飛翔部、７…染料、７ａ…メニスカス、
８…分岐路、９…染料収容部、１０、１０Ａ〜１０Ｉ、
３１…ヘッドチップ、１１、１１’、１１Ａ、１１Ａ’
…オリフィス開口部、１２…側壁、１４…スリット、１
５、１６…補助壁、１８…送りローラ、１９…プラテ
ン、２０…記録ヘッド、２１…送り軸、２２…連結材、
２３…可動片、２４…染料貯留部、２５…ベースプレー
ト、２５ａ…一端、２６…ドライバＩＣ、２７…コーテ
ィング材（ＪＣＲ）、２８…プリント基板、２９…染料
導入孔、３０…コネクタ端子、３２…カバー、３３…
溝、３４…記録紙、３６ａ…毛細管部、３６ｂ…隔壁間
部、３６ｃ…連通部、３７…染料消失部、３９、４４…
ＳｉＯ₂層、４０…ポリシリコン層、４１…アルミニウ
ム電極、４１Ａ…共通電極、４１Ｂ…個別電極、４５…
クロム膜、４６、４７…スルーホール、４８…電極取り
出し部、５０…囲い壁、Ａ…染料の厚み、Ｂ、Ｄ…蓋端
縁と飛翔部中心との距離、Ｃ、Ｅ…隔壁端縁と飛翔部中
心との距離、Ｃ₁…飛翔部中心線、Ｆ、Ｇ…オリフィス
開口の大きさ、Ｓ、Ｓ’…走査方向

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】被記録体に対向配置され、隔壁によって
形成された記録材供給路を経由して記録材が供給され、
この記録材を前記被記録体に飛翔させるための記録材飛
翔部を有する記録装置において、前記記録材飛翔部側の前記隔壁の端縁位置と同じか或い
は前記端縁位置よりも前記記録材飛翔部に近い位置に先
端を有し、予め加工されたメニスカス形成手段が取り付
けられ、少なくとも前記先端と前記記録材飛翔部との間に前記記
録材のメニスカスが形成されることを特徴とする記録装
置。
【請求項２】前記隔壁が前記記録材供給路の側壁をな
し、前記側壁上に取り付けられた蓋部と共に前記記録材
供給路を形成し、前記蓋部が前記メニスカス形成手段と
して前記記録材飛翔部の近傍にまで延設されている、請
求項１に記載した記録装置。
【請求項３】前記蓋部に加えて、前記記録材飛翔部に
関し前記蓋部とは反対側に、予め加工された第２のメニ
スカス形成手段が取り付けられ、この第２のメニスカス
形成手段が前記記録材飛翔部との間に前記記録材のメニ
スカスを形成する、請求項２に記載した記録装置。
【請求項４】前記蓋部が前記記録材飛翔部上に開口部
を有している、請求項２に記載した記録装置。
【請求項５】前記メニスカス形成手段が前記隔壁の前
記端縁位置と前記記録材飛翔部との間に取り付けられて
いる、請求項１に記載した記録装置。
【請求項６】前記記録材供給路を形成するための隔壁
が、前記端縁位置よりも前記記録材飛翔部に近い位置に
先端を有するように予め加工され、前記メニスカス形成
手段として取り付けられている、請求項２に記載した記
録装置。
【請求項７】前記記録材飛翔部が、前記記録材を保持
する凹凸構造を有している、請求項１に記載した記録装
置。
【請求項８】共通の記録材供給路から分岐して、前記
記録材飛翔部へ前記記録材を供給するための分岐路が前
記隔壁によって前記記録材供給路として設けられてい
る、請求項１に記載した記録装置。
【請求項９】前記記録材が加熱によって、前記記録材
飛翔部と非接触状態で対向配置された前記被記録体へ飛
翔するようにした、請求項１に記載した記録装置。
【請求項１０】被記録体に対向配置され、隔壁によっ
て形成された記録材供給路を経由して記録材が供給さ
れ、この記録材を前記被記録体に飛翔させるための記録
材飛翔部を有する記録装置を製造するに際し、前記隔壁を形成する工程と、前記記録材飛翔部側の前記隔壁の端縁位置と同じか或い
は前記端縁位置よりも前記記録材飛翔部に近い位置に先
端を有する形状にメニスカス形成手段を予め加工する工
程と、少なくとも前記先端と前記記録材飛翔部との間に前記記
録材のメニスカスが形成されるように前記メニスカス形
成手段を取り付ける工程とを有する、記録装置の製造方
法。
【請求項１１】前記記録材供給路の側壁をなす前記隔
壁と、前記側壁上に取り付けられた蓋部とによって前記
記録材供給路を形成し、前記蓋部を前記メニスカス形成
手段として前記記録材飛翔部の近傍にまで延設して取り
付ける、請求項１０に記載した記録装置の製造方法。
【請求項１２】前記蓋部に加えて、前記記録材飛翔部
に関し前記蓋部とは反対側に、予め加工した第２のメニ
スカス形成手段を取り付け、この第２のメニスカス形成
手段が前記記録材飛翔部との間に前記記録材のメニスカ
スを形成する、請求項１１に記載した記録装置の製造方
法。
【請求項１３】前記記録材飛翔部上に開口部を有する
前記蓋部を取り付ける、請求項１１に記載した記録装置
の製造方法。
【請求項１４】前記メニスカス形成手段を前記隔壁の
前記端縁位置と前記記録材飛翔部との間に取り付ける、
請求項１０に記載した記録装置の製造方法。
【請求項１５】前記記録材供給路を形成するための隔
壁を、前記端縁位置よりも前記記録材飛翔部に近い位置
に先端を有するように予め加工し、前記メニスカス形成
手段として取り付ける、請求項１０に記載した記録装置
の製造方法。
【請求項１６】前記記録材を保持する凹凸構造として
前記記録材飛翔部を形成する、請求項１０に記載した記
録装置の製造方法。
【請求項１７】共通の記録材供給路から分岐して、前
記記録材飛翔部へ前記記録材を供給するための分岐路を
前記隔壁によって前記記録材供給路として設ける、請求
項１０に記載した記録装置の製造方法。
【請求項１８】前記記録材が加熱によって、前記記録
材飛翔部と非接触状態で対向配置された前記被記録体へ
飛翔するようにした記録装置を製造する、請求項１０に
記載した記録装置の製造方法。