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JPH11254543A - 光造形装置 - Google Patents

光造形装置

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JPH11254543A
JPH11254543A JP10054606A JP5460698A JPH11254543A JP H11254543 A JPH11254543 A JP H11254543A JP 10054606 A JP10054606 A JP 10054606A JP 5460698 A JP5460698 A JP 5460698A JP H11254543 A JPH11254543 A JP H11254543A
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JP
Japan
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light
light emitting
emitting points
photocurable resin
optical
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JP10054606A
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Takakuni Ueno
高邦 上野
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Nabtesco Corp
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Teijin Seiki Co Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 紫外線レーザを不要とし、位置決め精度を向
上し、光学系の複雑な調整が不要で安価でかつ高速な光
造形装置を提供する。 【解決手段】 光硬化性樹脂12の表面16から等距離
を隔てる複数の発光点2を有し、発光点2から射出した
光を光硬化性樹脂12の表面16に照射する光照射手段
と、発光点2を光硬化性樹脂12の表面16に対し相対
移動させて発光点2からの射出光を走査する光走査手段
8とを備えたことを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は光硬化性樹脂に光を
照射して造形する光造形装置、特に光源にレーザや複雑
な光学系を必要としない光造形装置に関する。
【0002】
【従来の技術】光硬化性樹脂に光を照射して造形する光
造形装置においては、精度良く造形するため集光性が良
好で波長の揃った紫外線レーザ光を光源として使用して
いる。光造形装置は、丸谷:光造形システムの基礎・現
状・問題点、型技術、第7巻第10号、pp18−2
3,1992に示されるように、光走査の方法の観点か
ら、レーザ走査方式と可動ミラー方式に分けられる。
【0003】レーザ走査方式による光造形装置を図5に
示す。紫外線レーザ50は紫外線レーザ光を発し、シャ
ッタ52、光ファイバ54を通してプロッタ56に到達
する。プロッタ56は容器60にいれられた光硬化性樹
脂62の、容器60の開口部64に存在する面66を照
射する。光硬化性樹脂62は紫外線レーザ光を受けると
硬化する性質をもつ樹脂である。なお、シャッタ52は
紫外線レーザ50から発せられる紫外線レーザ光をさえ
ぎることができ、プロッタ56が紫外線レーザ光を照射
するか否かを制御できる。また、XY位置決め機構58
はX位置決め機構58aとY位置決め機構58bを有
し、X位置決め機構58aはプロッタ56のX方向の位
置を決め、Y位置決め機構58bはプロッタ56のY方
向の位置を決める。このように、XY位置決め機構58
によりプロッタ56のX方向、Y方向の位置を制御で
き、シャッタ52によりプロッタ56が照射するか否
か、すなわちon−offを制御できるので、面66の
任意の部分を硬化させられる。このとき、面66の一端
から他の一端までX方向(またはY方向)にプロッタ5
6を動かし、プロッタ56をon−offしていく、す
なわち走査することも可能である。
【0004】しかし、シャッタ52によるon−off
の制御にかかる時間の制約から、X方向、Y方向のプロ
ッタ56の速度が数百mm/secしか出せないので造
形に時間がかかりすぎる。そこで、高速に造形するため
には数十m/secでX方向、Y方向の走査が行える可
動ミラー方式が使用される。可動ミラー方式による光造
形装置を図6に示す。可動ミラー方式においても、紫外
線レーザを使用するのはレーザ走査方式と同様である。
紫外線レーザ光70はX軸回転ミラー72、Y軸回転ミ
ラー74に反射されて光硬化性樹脂62を照射する。X
軸回転ミラー72はZ軸を回転軸として回転することで
照射位置のX方向の位置を、Y軸回転ミラー74はX軸
を回転軸として回転することで照射位置のY方向の位置
を制御する。
【0005】
【発明を解決しようとする課題】レーザ走査方式および
可動ミラー方式においては、紫外線レーザを使用する。
しかし、紫外線レーザ発振チューブは非常に高価であ
る。また、紫外線レーザ発振チューブの寿命は数千時間
程度であり短い。さらに、10KW入力でレーザ出力
0.5W、つまり0.005%程度の低いヱネルギ効率
しか得られない。入力したエネルギの大部分は熱とな
り、装置に悪影響を与える。そこで、冷却のためのチラ
ーが必要となり、装置が大きくなる。このように、紫外
線レーザを使用することで種々の問題が生ずる。
【0006】また、可動ミラー方式においては高速の造
形が可能ではある。しかし、回転ミラーを使用している
ことから、以下のような問題点が生ずる。紫外線レーザ
光70がY軸回転ミラー74に反射されて光硬化性樹脂
62に進行する状態を図7に示す。図7(a)に示すよ
うに、レーザ光の入射する角度αがある程度の範囲にお
さまっていれば光硬化性樹脂62に紫外線レーザ光70
が進行する。しかし、レーザ光の入射する角度αが図7
(b)に示すように小さすぎたり、図7(c)に示すよ
うに大きすぎたりすれば紫外線レーザ光70を反射しき
れなくなる。よって、照射できる範囲が限定されてく
る。照射できる範囲を広くするためには、Y軸回転ミラ
ー74を光硬化性樹脂62から遠ざける、すなわち高く
する必要がある。これにより、紫外線レーザを使用しな
ければ集光性が悪く位置決め精度が悪くなるので、光源
として紫外線レーザを使用することになる。
【0007】また、紫外線レーザ光を照射する位置を決
めるために、Y軸回転ミラー74が紫外線レーザ光70
を反射する点を中心とした極座標を平面座標に変換す
る。極座標を平面座標に変換する際の考え方を図8に示
す。紫外線レーザ光70を反射する点を原点oとして原
点oと光硬化性樹脂62の面64との距離をDとする。
Y軸回転ミラー74の回転角の違いにより紫外線レーザ
光70の進行方向が(a)(b)というように変化す
る。(a)(b)のなす角度をθとすると、(b)の照
射位置と(a)の照射位置との間の距離はおよそDsi
nθとなり、これを変位として位置決めを行う。しか
し、真の照射位置とはdのずれがある。このずれをピン
・クッションエラーという。θが大きいほどピン・クッ
ションエラーは大きくなるため、照射範囲を拡大するほ
ど、特に照射範囲の端の方で位置決め精度に問題がでて
くる。
【0008】さらに、ミラーの光軸調整などの光学系の
調整も複雑である。そこで、本発明は紫外線レーザを不
要とし、位置決め精度を向上し、光学系の複雑な調整が
不要な光造形装置を提供することを目的とする。
【0009】
【課題を解決する手段】本発明は、光硬化性樹脂の表面
から等距離を隔てる複数の発光点を有し、発光点から射
出した光を光硬化性樹脂の表面に照射する光照射手段
と、発光点を光硬化性樹脂の表面に対し相対移動させて
発光点からの射出光を走査する光走査手段とを備えたこ
とを特徴とする。
【0010】ここで、発光点を光硬化性樹脂の表面に対
し相対移動させるというのは、発光点を光硬化性樹脂の
表面から等距離を隔てながら、発光点と光硬化性樹脂の
表面との相対的な位置関係を変えることをいう。発光点
を移動させてもよいし、光硬化性樹脂の表面のみを移動
させてもよいし、発光点と光硬化性樹脂の表面の双方を
移動させてもよい。
【0011】本発明においては、光照射手段と光走査手
段とを備えたことで、ミラーが不要となるので、光学系
の複雑な調整が不要となる。また、ミラーを使用しない
ため、広い範囲を照射するために光源と光硬化性樹脂の
面を遠ざける必要がなくなるので、光源を光硬化性樹脂
に接近させることができる。よって、集光が楽になるの
で、光源に紫外線レーザのように集光性の良いものを使
用する必要がない。
【0012】さらに、ミラーを使用しないためピン・ク
ッションエラーが生じないので、造形精度が向上する。
発光点を複数の発光素子で形成し、光照射手段が発光素
子を選択的に発光させてもよい。発光手段により、任意
の点を照射できる。なお、発光素子には例えば、発光ダ
イオードを用いることができる。
【0013】光照射手段が光源と、発光点に配置され、
光源からの光を複数の発光点から選択的に射出する複数
の光スイッチング素子とを有するようにしてもよい。光
スイッチング素子により、任意の点を照射できる。発光
点を単一の列に配置してもよい。発光点を一つ備えるよ
りも、高速に走査が可能である。複数の列に、いわばマ
トリクス状に配置してもよい。
【0014】マトリクス状に配置した場合、複数の列に
おける発光点の位置を、隣の列の発光点の位置に対し射
出光の走査方向にずらすこともできる。発光点を単一の
列に配置した場合、発光点の大きさから、発光点の間隔
をつめられない場合があるが、列の長さ方向にずらした
配置により、実質的に間隔をつめられる。
【0015】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて説明する。図1に本発明の第1の実施の形態
に係る光造形装置を示す。発光ダイオード2が一列に並
んで配置されている。発光ダイオード2はスイッチ6を
介して電源4に接続されている。スイッチ6は発光ダイ
オード2を一個づつ、電源4に接続および接続の解除を
行うことにより、発光ダイオード2を一個づつ選択的に
発光、すなわちon−offできる。発光ダイオード2
は容器10にいれられた光硬化性樹脂12の、容器10
の開口部14に存在する面16を照射する。光硬化性樹
脂12は光を受けると硬化する性質をもつ樹脂である。
【0016】また、XY位置決め機構8はX位置決め機
構8aとY位置決め機構8bを有し、X位置決め機構8
aは発光ダイオード2のX方向の位置を決め、Y位置決
め機構8bは発光ダイオード2のY方向の位置を決め
る。いいかえれば、XY位置決め機構8は発光ダイオー
ド2を、面16から一定距離離れているXY平面上を動
くように駆動している。
【0017】さらに、図示しない容器駆動手段により、
容器10はX方向、Y方向に高さを変えずに動かすこと
ができる。よって、XY位置決め機構8および図示しな
い容器駆動手段により、発光ダイオード2と面16はそ
の距離を変えずに、相対的に移動させられる。このよう
に、XY位置決め機構8、容器駆動手段により発光ダイ
オード2の面16に対するX方向、Y方向の位置を制御
でき、スイッチ6により各々の発光ダイオード2のon
−offを制御できるので、面16の任意の部分を硬化
させられる。このとき、XY位置決め機構8、容器駆動
手段により面16の一端から他の一端までX方向(また
はY方向)に発光ダイオード2を動くようにし、発光ダ
イオード2をon−offしていく、すなわち走査する
ことも可能である。
【0018】本発明の第1の実施の形態に係る光造形装
置によれば、ミラーを使用しないため、光軸の調整等の
光学系の複雑な調整が不要となる。また、ミラーを使用
すれば広い範囲に光を照射するためには光源と光硬化性
樹脂の面を遠ざける必要があるが、本発明の第1の実施
の形態に係る光造形装置はミラーを使用しないため、光
源を光硬化性樹脂の面に接近させることができる。よっ
て、集光が楽になるので、光源に紫外線レーザのように
集光性の良いものを使用する必要がなく、発光ダイオー
ドを光源に使用できる。
【0019】さらに、ミラーを使用しないためピン・ク
ッションエラーがおきないので、位置決め精度が向上す
る。なお、発光ダイオードの点滅すなわちon−off
は電気的に切り換えられるので高速にできるため、高速
に走査ができる。図2に本発明の第2の実施の形態に係
る光造形装置を示す。発光ダイオード2は列20、2
2、24といった複数の列に配置されている。列20、
22、24は方向Aに沿ってずれている。その他の構成
は第1の実施の形態と同様である。そこで、図1と同じ
番号を付して説明を省略する。
【0020】発光ダイオード2を単一の列に配置した場
合、発光ダイオード2の大きさから、発光ダイオード2
の間隔をつめられない場合があるが、第2の実施の形態
に係る光造形装置によれば、列20、22、24は方向
Aに沿ってずれているので、実質的に間隔をつめること
ができる。図3に本発明の第3の実施の形態に係る光造
形装置を示す。ファラデ回転子32が一列に並んで配置
されている。ファラデ回転子32は磁場制御手段36を
に接続されている。磁場制御手段36はファラデ回転子
32の一個づつに、磁場をかける/かけないの制御がで
きる。
【0021】光源34から照射された光は第1偏光フィ
ルタ38により偏光面が一方向にそろう。なお、光源3
4は、紫外線ランプ、紫外線蛍光灯である。第1偏光フ
ィルタ38を通過した光は、ファラデ回転子32を通過
することで、ファラデ回転子32に磁場がかけらていれ
ば、さらに偏光面が回転する。第2偏光フィルタ40は
ファラデ回転子32により偏光面が回転した光のみが通
過するようにされている。よって、磁場がかけらている
ファラデ回転子32を通過した光のみが光を集める集光
性レンズ41により集光され、光硬化性樹脂12の、容
器10の開口部14に存在する面16を照射する。ま
た、第2偏光フィルタ40はファラデ回転子32により
偏光面が回転しなかった光のみが通過するようにしても
よい。この場合は、磁場がかけられていないファラデ回
転子32を通過した光のみが光硬化性樹脂12の、容器
10の開口部14に存在する面16を照射する。このよ
うにして、面16に照射する光のon−offを制御で
きる。その他の構成は第1の実施の形態と同様である。
そこで、図1と同じ番号を付して説明を省略する。
【0022】本発明の第3の実施の形態に係る光造形装
置によれば、ミラーを使用しないため、光軸の調整等の
光学系の複雑な調整が不要となる。また、ミラーを使用
すれば広い範囲に光を照射するためには光源と光硬化性
樹脂の面を遠ざける必要があるが、本発明の第3の実施
の形態に係る光造形装置はミラーを使用しないため、光
源を光硬化性樹脂の面に接近させることができる。よっ
て、集光が楽になるので、発光体に紫外線レーザのよう
に集光性の良いものを使用する必要がなく、紫外線ラン
プ、紫外線蛍光灯を光源に使用できる。
【0023】さらに、ミラーを使用しないためピン・ク
ッションエラーがおきないので、位置決め精度が向上す
る。なお、面16に照射する光のon−offを高速に
切り換えられるので、高速に走査ができる。図4に本発
明の第4の実施の形態に係る光造形装置を示す。ファラ
デ回転子32は列42、44、46といった複数の列に
配置されている。列42、44、46は方向Aに沿って
ずれている。その他の構成は第3の実施の形態と同様で
ある。そこで、図1と同じ番号を付して説明を省略す
る。なお、容器10などは第3の実施の形態と同様であ
り、図示を省略する。
【0024】ファラデ回転子32を単一の列に配置した
場合、ファラデ回転子32の大きさから、ファラデ回転
子32の間隔をつめられない場合があるが、第4の実施
の形態に係る光造形装置によれば、列42、44、46
は方向Aに沿ってずれているので、実質的に間隔をつめ
ることができる。
【0025】
【発明の効果】本発明によれば、光学系の複雑な調整が
不要となる。発光点を光硬化樹脂の表面に対し相対移動
させることにより、広い範囲を描画するために光源と光
硬化性樹脂の面を遠ざける必要がなくなるので、光源を
光硬化性樹脂に接近させることができる。よって、紫外
線レーザのように集光性の良い高価な光源や光走査用の
ミラーが不要である。
【0026】さらに、ミラーを使用しないためピン・ク
ッションエラーが生じなくなり、造形精度が向上する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施の形態に係る光造形装置の
斜視図である。
【図2】本発明の第2の実施の形態に係る光造形装置の
斜視図および部分平面図である。
【図3】本発明の第3の実施の形態に係る光造形装置の
斜視図である。
【図4】本発明の第4の実施の形態に係る光造形装置の
斜視図および部分平面図である。
【図5】従来例のレーザ走査方式による光造形装置の斜
視図である。
【図6】従来例の可動ミラー方式による光造形装置の斜
視図である。
【図7】紫外線レーザ光がY軸回転ミラーに反射されて
光硬化性樹脂に進行する状態を示す概念図である。
【図8】紫外線レーザ光を照射する位置を決めるための
極座標を平面座標に変換する際の考え方を示す概念図で
ある。
【符号の説明】
2 発光ダイオード 3 電気回路 4 電源 6 スイッチ 8 XY位置決め機構 8a X位置決め機構 8b Y位置決め機構 10 容器 12 光硬化性樹脂 14 開口部 16 面 20、22、24 列 32 ファラデ回転子 34 光源 36 磁場制御手段 38 第1偏光フィルタ 40 第2偏光フィルタ 42、44、46 列 50 紫外線レーザ 52 シャッタ 54 光ファイバ 56 プロッタ 58 XY位置決め機構 58a X位置決め機構 58b Y位置決め機構 60 容器 62 光硬化性樹脂 64 開口部 66 面 70 紫外線レーザ光 72 X軸回転ミラー 74 Y軸回転ミラー

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】光硬化性樹脂の表面から等距離を隔てる複
    数の発光点を有し、前記発光点から射出した光を光硬化
    性樹脂の表面に照射する光照射手段と、 前記発光点を前記光硬化性樹脂の表面に対し相対移動さ
    せて前記発光点からの射出光を走査する光走査手段と、 を備えたことを特徴とする光造形装置。
  2. 【請求項2】前記発光点は複数の発光素子から形成さ
    れ、 前記光照射手段が該発光素子を選択的に発光させること
    を特徴とする請求項1に記載の光造形装置。
  3. 【請求項3】前記光照射手段が光源と、前記発光点に配
    置され、前記光源からの光を複数の発光点から選択的に
    射出する複数の光スイッチング素子と、 を有することを特徴とする請求項1に記載の光造形装
    置。
  4. 【請求項4】前記発光点が前記射出光の走査方向に延び
    る、単一の列に整列配置されたことを特徴とする請求項
    1ないし3のいずれか一項に記載の光造形装置。
  5. 【請求項5】前記発光点が前記射出光の走査方向に延び
    る、複数の列に整列配置されたことを特徴とする請求項
    1ないし3のいずれか一項に記載の光造形装置。
  6. 【請求項6】前記複数の列における前記発光点の位置
    が、隣の列の前記発光点の位置に対し前記射出光の走査
    方向にずれていることを特徴とする請求項5に記載の光
    造形装置。
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Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002210834A (ja) * 2001-01-23 2002-07-31 Teijin Seiki Co Ltd 立体造形装置および立体造形方法
JP2012505773A (ja) * 2008-10-20 2012-03-08 イフォクレール ヴィヴァデント アクチェンゲゼルシャフト 層内で物体を構築するために光重合性材料を処理するためのデバイスおよび方法
JP2014037148A (ja) * 2007-01-17 2014-02-27 Three D Syst Inc 立体像造形のための造形装置及び方法
CN104669625A (zh) * 2015-03-12 2015-06-03 上海联泰三维科技有限公司 基于投影式的光固化三维打印方法以及打印装置
CN104708827A (zh) * 2015-04-09 2015-06-17 深圳长朗三维科技有限公司 一种大幅面光敏树脂固化3d打印机
WO2015093032A1 (ja) * 2013-12-20 2015-06-25 ソニー株式会社 造形装置および造形方法
CN104816479A (zh) * 2015-05-17 2015-08-05 北京工业大学 一种大幅面光固化3d打印机
CN105437558A (zh) * 2016-01-06 2016-03-30 江苏锐辰光电技术有限公司 模块化激光3d打印机
WO2020210101A1 (en) * 2019-04-12 2020-10-15 3D Systems, Inc. Large array stereolithography with efficient optical path
JP2021154714A (ja) * 2020-03-30 2021-10-07 豊田合成株式会社 3次元プリンタ装置

Cited By (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002210834A (ja) * 2001-01-23 2002-07-31 Teijin Seiki Co Ltd 立体造形装置および立体造形方法
JP2014037148A (ja) * 2007-01-17 2014-02-27 Three D Syst Inc 立体像造形のための造形装置及び方法
JP2012505773A (ja) * 2008-10-20 2012-03-08 イフォクレール ヴィヴァデント アクチェンゲゼルシャフト 層内で物体を構築するために光重合性材料を処理するためのデバイスおよび方法
US10703085B2 (en) 2013-12-20 2020-07-07 Sony Corporation Modeling apparatus and modeling method
WO2015093032A1 (ja) * 2013-12-20 2015-06-25 ソニー株式会社 造形装置および造形方法
JP2015120261A (ja) * 2013-12-20 2015-07-02 ソニー株式会社 造形装置および造形方法
US20160311163A1 (en) * 2013-12-20 2016-10-27 Sony Corporation Modeling apparatus and modeling method
CN104669625A (zh) * 2015-03-12 2015-06-03 上海联泰三维科技有限公司 基于投影式的光固化三维打印方法以及打印装置
CN104708827A (zh) * 2015-04-09 2015-06-17 深圳长朗三维科技有限公司 一种大幅面光敏树脂固化3d打印机
CN104816479A (zh) * 2015-05-17 2015-08-05 北京工业大学 一种大幅面光固化3d打印机
CN105437558A (zh) * 2016-01-06 2016-03-30 江苏锐辰光电技术有限公司 模块化激光3d打印机
WO2020210101A1 (en) * 2019-04-12 2020-10-15 3D Systems, Inc. Large array stereolithography with efficient optical path
JP2022520500A (ja) * 2019-04-12 2022-03-30 スリーディー システムズ インコーポレーテッド 効率的な光路を備えた大型アレイステレオリソグラフィ
US11345089B2 (en) 2019-04-12 2022-05-31 3D Systems, Inc. Large array stereolithography with efficient optical path
US11806932B2 (en) 2019-04-12 2023-11-07 3D Systems, Inc. Large array stereolithography with efficient optical path
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