JPH11214576A - 半導体チップ搭載用パッケージ - Google Patents
半導体チップ搭載用パッケージInfo
- Publication number
- JPH11214576A JPH11214576A JP1722598A JP1722598A JPH11214576A JP H11214576 A JPH11214576 A JP H11214576A JP 1722598 A JP1722598 A JP 1722598A JP 1722598 A JP1722598 A JP 1722598A JP H11214576 A JPH11214576 A JP H11214576A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- package
- solder
- semiconductor chip
- mounting
- motherboard
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 18
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 claims abstract description 36
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 36
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims abstract description 17
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims abstract description 17
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims abstract description 8
- 238000005476 soldering Methods 0.000 claims abstract description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 25
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 25
- 238000007747 plating Methods 0.000 claims description 7
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 2
- 230000035882 stress Effects 0.000 abstract description 8
- 230000008646 thermal stress Effects 0.000 abstract description 2
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 description 9
- 239000006071 cream Substances 0.000 description 5
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 5
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 3
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 3
- 239000012141 concentrate Substances 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 230000017525 heat dissipation Effects 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 239000002313 adhesive film Substances 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 230000007257 malfunction Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 description 1
- 230000035939 shock Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Structures For Mounting Electric Components On Printed Circuit Boards (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 初期変形(反り)および熱応力による変形を
極力抑えることが可能な半導体チップ搭載用パッケージ
を提供する。 【解決手段】 平板状の金属基板1と、金属基板に重ね
合わせて接着される樹脂基板2とを有し、はんだボール
8によるはんだ付けでマザーボードM上に実装される半
導体チップ搭載用パッケージPにおいて、当該パッケー
ジの平面方向から見た外周部の少なくとも一部に、前記
はんだボールの断面積よりも大きな面積のはんだ付着部
9を配設するものとする。これにより、応力が集中し易
いパッケージの外周部あるいは四隅において、マザーボ
ードとの接合強度を増大させることができる。
極力抑えることが可能な半導体チップ搭載用パッケージ
を提供する。 【解決手段】 平板状の金属基板1と、金属基板に重ね
合わせて接着される樹脂基板2とを有し、はんだボール
8によるはんだ付けでマザーボードM上に実装される半
導体チップ搭載用パッケージPにおいて、当該パッケー
ジの平面方向から見た外周部の少なくとも一部に、前記
はんだボールの断面積よりも大きな面積のはんだ付着部
9を配設するものとする。これにより、応力が集中し易
いパッケージの外周部あるいは四隅において、マザーボ
ードとの接合強度を増大させることができる。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体チップ搭載
用パッケージに関し、特に金属基板を用いた半導体チッ
プ搭載用パッケージに関するものである。
用パッケージに関し、特に金属基板を用いた半導体チッ
プ搭載用パッケージに関するものである。
【0002】
【従来の技術】近年、セラミックス利用の半導体チップ
搭載用パッケージ(以下、単にパッケージと呼ぶ)と比
較して小型・軽量・低コストであり、かつ放熱性に優れ
たパッケージとして、サブストレート及びヒートシンク
にアルミニウムや銅等の金属板を用いたパッケージが注
目を集めている(特願平8−238612号明細書など
参照)。
搭載用パッケージ(以下、単にパッケージと呼ぶ)と比
較して小型・軽量・低コストであり、かつ放熱性に優れ
たパッケージとして、サブストレート及びヒートシンク
にアルミニウムや銅等の金属板を用いたパッケージが注
目を集めている(特願平8−238612号明細書など
参照)。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記形
式のパッケージは、熱膨張率が互いに異なる(例えば、
アルミニウムは23μ/℃、ガラスエポキシ複合材は1
5μ/℃)板状体を互いに貼り合わせた構造であるた
め、熱的負荷が加わると反り変形が生じる。このため、
パッケージとマザーボードとのはんだ接合部の特に変位
が大きくなる外周部あるいは角部に集中応力が生じ、ク
ラックや接合部の剥離が発生し易くなると云う問題があ
った。特に温度変化が激しい環境下では、繰り返し冷熱
衝撃が加わるため、パッケージサイズが大きいほど、ま
た初期状態でのパッケージの反りが大きいほど、その耐
久疲労寿命が短くなることが実験によって確認されてい
る。
式のパッケージは、熱膨張率が互いに異なる(例えば、
アルミニウムは23μ/℃、ガラスエポキシ複合材は1
5μ/℃)板状体を互いに貼り合わせた構造であるた
め、熱的負荷が加わると反り変形が生じる。このため、
パッケージとマザーボードとのはんだ接合部の特に変位
が大きくなる外周部あるいは角部に集中応力が生じ、ク
ラックや接合部の剥離が発生し易くなると云う問題があ
った。特に温度変化が激しい環境下では、繰り返し冷熱
衝撃が加わるため、パッケージサイズが大きいほど、ま
た初期状態でのパッケージの反りが大きいほど、その耐
久疲労寿命が短くなることが実験によって確認されてい
る。
【0004】放熱フィンや冷却ファンを使用して熱的負
荷を低減することも可能ではあるが、これは小型化を阻
害するものであるし、コスト面でも不利である。
荷を低減することも可能ではあるが、これは小型化を阻
害するものであるし、コスト面でも不利である。
【0005】金属基板や接着フィルムを一部切断すると
いった集中応力緩和対策を本願出願人は既に提案してい
るが(特願平9−344591号)、パッケージは年々
縮小される傾向にあり、このような対策を施すことも困
難になりがちである。
いった集中応力緩和対策を本願出願人は既に提案してい
るが(特願平9−344591号)、パッケージは年々
縮小される傾向にあり、このような対策を施すことも困
難になりがちである。
【0006】本発明は、上記の如き従来技術の問題点を
解消するべく案出されたものであり、その主な目的は、
初期変形(反り)および熱応力による変形を極力抑える
ことが可能な半導体チップ搭載用パッケージを提供する
ことにある。
解消するべく案出されたものであり、その主な目的は、
初期変形(反り)および熱応力による変形を極力抑える
ことが可能な半導体チップ搭載用パッケージを提供する
ことにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】このような目的は、本発
明によれば、平板状の金属基板1と、金属基板に重ね合
わせて接着される樹脂基板2とを有し、はんだボール8
によるはんだ付けでマザーボードM上に実装される半導
体チップ搭載用パッケージPにおいて、当該パッケージ
の平面方向から見た外周部の少なくとも一部に、前記は
んだボールの断面積よりも大きな面積のはんだ付着部9
を配設することによって達成される。これによれば、応
力が集中し易いパッケージの外周部あるいは四隅におい
て、マザーボードとの接合強度を増大させることができ
る。
明によれば、平板状の金属基板1と、金属基板に重ね合
わせて接着される樹脂基板2とを有し、はんだボール8
によるはんだ付けでマザーボードM上に実装される半導
体チップ搭載用パッケージPにおいて、当該パッケージ
の平面方向から見た外周部の少なくとも一部に、前記は
んだボールの断面積よりも大きな面積のはんだ付着部9
を配設することによって達成される。これによれば、応
力が集中し易いパッケージの外周部あるいは四隅におい
て、マザーボードとの接合強度を増大させることができ
る。
【0008】
【発明の実施の形態】以下に、添付の図面を参照して本
発明の好適な実施形態について詳細に説明する。
発明の好適な実施形態について詳細に説明する。
【0009】図1は、本発明が適用された第1の実施形
態を示すメタルボールグリッドアレイのパッケージの底
面図であり、図2はその中央部の側断面図である。この
パッケージPは、概ね正方形の平板状をなし、アルミニ
ウム製の金属基板1とガラスエポキシ樹脂製の樹脂基板
2とを重ね合わせた上で、フィルム状または液状の樹脂
接着剤からなる接着剤層3をもって両者を接着してなる
ものであり、さらに、樹脂基板2の中央部に形成された
開口2aを介して金属基板1の中央部にダイボンディン
グで接着された半導体チップ4と、半導体チップ4を開
口2a内に封止するための封止樹脂6およびメタルキャ
ップ7とを有している。なお符号5は半導体チップ4を
金属基板1に接着した接着剤層である。
態を示すメタルボールグリッドアレイのパッケージの底
面図であり、図2はその中央部の側断面図である。この
パッケージPは、概ね正方形の平板状をなし、アルミニ
ウム製の金属基板1とガラスエポキシ樹脂製の樹脂基板
2とを重ね合わせた上で、フィルム状または液状の樹脂
接着剤からなる接着剤層3をもって両者を接着してなる
ものであり、さらに、樹脂基板2の中央部に形成された
開口2aを介して金属基板1の中央部にダイボンディン
グで接着された半導体チップ4と、半導体チップ4を開
口2a内に封止するための封止樹脂6およびメタルキャ
ップ7とを有している。なお符号5は半導体チップ4を
金属基板1に接着した接着剤層である。
【0010】樹脂基板2の底面(マザーボードとの対向
面)のランド部には、リフローによって多数のはんだボ
ール8が固着されている。そしてこのパッケージPは、
はんだボール8を介してマザーボード(図示せず)には
んだ付けされた後、外部回路に接続されることとなる。
面)のランド部には、リフローによって多数のはんだボ
ール8が固着されている。そしてこのパッケージPは、
はんだボール8を介してマザーボード(図示せず)には
んだ付けされた後、外部回路に接続されることとなる。
【0011】樹脂基盤2の底面の四隅には、図3に併せ
て示すように、他のはんだボール8の断面積より面積が
大きく、かつ底面側から見て三角形状をなすはんだ付着
部9が形成されている。このはんだ付着部9は、他のは
んだボール8と同時に同工程で形成されるものであり、
マザーボードに対して実装する際に、他のはんだボール
8と同様にマザーボードMに融着される。これによる
と、マザーボードMに対する接着面積を大きくとれるの
で、より大きな接着強度が得られ、またはんだボール8
と一括してはんだ付着部9が形成されるので、製造コス
トを増大せずに済む。
て示すように、他のはんだボール8の断面積より面積が
大きく、かつ底面側から見て三角形状をなすはんだ付着
部9が形成されている。このはんだ付着部9は、他のは
んだボール8と同時に同工程で形成されるものであり、
マザーボードに対して実装する際に、他のはんだボール
8と同様にマザーボードMに融着される。これによる
と、マザーボードMに対する接着面積を大きくとれるの
で、より大きな接着強度が得られ、またはんだボール8
と一括してはんだ付着部9が形成されるので、製造コス
トを増大せずに済む。
【0012】一般のパッケージをおいては、全てのピン
を電気的接続端子として用いることは少なく、外周部、
なかんずく四隅は配線も困難なので、専ら機械的な固定
手段としてはんだ付着部9を用いることが可能である
が、電気的接続端子を兼ねるようにはんだ付着部9を構
成することもできることは言うまでもない。
を電気的接続端子として用いることは少なく、外周部、
なかんずく四隅は配線も困難なので、専ら機械的な固定
手段としてはんだ付着部9を用いることが可能である
が、電気的接続端子を兼ねるようにはんだ付着部9を構
成することもできることは言うまでもない。
【0013】図4は、本発明の第2の実施形態を示すも
のであり、これは上記パッケージPの四隅に設けられた
はんだ付着部9に代えて、パッケージPの四隅にメッキ
面のみを設け、マザーボードM上のメッキ面に対応する
部分に予め形成しておいたクリームはんだ層(又は接着
剤層)10をもってパッケージPをマザーボードMに固
着するものである。
のであり、これは上記パッケージPの四隅に設けられた
はんだ付着部9に代えて、パッケージPの四隅にメッキ
面のみを設け、マザーボードM上のメッキ面に対応する
部分に予め形成しておいたクリームはんだ層(又は接着
剤層)10をもってパッケージPをマザーボードMに固
着するものである。
【0014】図5は、本発明の第3の実施形態を示す図
1と同様なパッケージの底面図であり、図6は本実施形
態の部分的な側面図である。この構成では、樹脂基板2
の厚さと同等の厚さの厚肉部11が金属基板1の四隅に
設けられており(図7参照)、樹脂基板2は、この三角
形状の厚肉部11を避けて金属基板1に重ね合わされて
いる。そして上記第1の実施形態と同様な、他のはんだ
ボール8の断面積よりも面積の大きなはんだ付着部9が
厚肉部11に設けられている。このパッケージPの場合
も、はんだボール8とはんだ付着部9とをもってマザー
ボードMに融着される。
1と同様なパッケージの底面図であり、図6は本実施形
態の部分的な側面図である。この構成では、樹脂基板2
の厚さと同等の厚さの厚肉部11が金属基板1の四隅に
設けられており(図7参照)、樹脂基板2は、この三角
形状の厚肉部11を避けて金属基板1に重ね合わされて
いる。そして上記第1の実施形態と同様な、他のはんだ
ボール8の断面積よりも面積の大きなはんだ付着部9が
厚肉部11に設けられている。このパッケージPの場合
も、はんだボール8とはんだ付着部9とをもってマザー
ボードMに融着される。
【0015】図8は、本発明の第4の実施形態を示すも
のであり、三角形状の厚肉部11の底面にメッキ面のみ
が形成されており、マザーボードM上のメッキ面に対応
する部分に予め形成しておいたクリームはんだ層(又は
接着剤層)12をもってパッケージPをマザーボードM
に固着するものである。なお、この場合の厚肉部11の
底面は、はんだボール8の頂点と略同等の位置とするこ
とが好ましい。
のであり、三角形状の厚肉部11の底面にメッキ面のみ
が形成されており、マザーボードM上のメッキ面に対応
する部分に予め形成しておいたクリームはんだ層(又は
接着剤層)12をもってパッケージPをマザーボードM
に固着するものである。なお、この場合の厚肉部11の
底面は、はんだボール8の頂点と略同等の位置とするこ
とが好ましい。
【0016】近年、メタルボールグリッドアレイのパッ
ケージの実装高さ(はんだ端子の形状)が疲労寿命に影
響することが分かってきているが、上記の如き金属基板
2に厚肉部11を設けた構造によると、厚肉部11の寸
法によってパッケージPの実装高さを精密に設定するこ
とができる。しかも通常ははんだボール8がブリッジ等
するのでパッケージPに大荷重を加えることはできない
のだが、この構造によると、金属基板1の厚肉部11が
荷重を支持するので、樹脂基板2あるいはパッケージP
自体に反りがあっても、搭載時にパッケージPの上面か
ら押圧することでパッケージPの歪みを矯正することが
できる。しかも金属基板1がマザーボードMに直接接続
されるため、パッケージP単体では飽和してしまう熱量
を、マザーボードM側へ拡散することができるので、放
熱性の向上を企図し得る。
ケージの実装高さ(はんだ端子の形状)が疲労寿命に影
響することが分かってきているが、上記の如き金属基板
2に厚肉部11を設けた構造によると、厚肉部11の寸
法によってパッケージPの実装高さを精密に設定するこ
とができる。しかも通常ははんだボール8がブリッジ等
するのでパッケージPに大荷重を加えることはできない
のだが、この構造によると、金属基板1の厚肉部11が
荷重を支持するので、樹脂基板2あるいはパッケージP
自体に反りがあっても、搭載時にパッケージPの上面か
ら押圧することでパッケージPの歪みを矯正することが
できる。しかも金属基板1がマザーボードMに直接接続
されるため、パッケージP単体では飽和してしまう熱量
を、マザーボードM側へ拡散することができるので、放
熱性の向上を企図し得る。
【0017】上記各実施形態は、はんだ付着部をパッケ
ージPの四隅に配設した三角形状をなすものとしたが、
これは図9〜図11に示すように、パッケージPの外周
の全周または四隅を囲むように設けた突条13としても
良い。そしてこの場合も、突条状のはんだ付着部は、樹
脂基板2に直接設けても良いし(図9・10)、金属基
板1の外周部を厚肉にしてその底面が樹脂基板2の底面
あるいははんだボール8の頂点と同等となるようにして
も良い(図11)。さらにマザーボード側にクリームは
んだ層又は接着剤層を設けるようにしても良いことは言
うまでもない。
ージPの四隅に配設した三角形状をなすものとしたが、
これは図9〜図11に示すように、パッケージPの外周
の全周または四隅を囲むように設けた突条13としても
良い。そしてこの場合も、突条状のはんだ付着部は、樹
脂基板2に直接設けても良いし(図9・10)、金属基
板1の外周部を厚肉にしてその底面が樹脂基板2の底面
あるいははんだボール8の頂点と同等となるようにして
も良い(図11)。さらにマザーボード側にクリームは
んだ層又は接着剤層を設けるようにしても良いことは言
うまでもない。
【0018】なお本発明は、メタルボールグリッドアレ
イのパッケージに限らず、外周部に応力が集中するパッ
ケージには効果があり、その場合、アンダーフィルが不
要になるのでコストダウンを企図し得る。
イのパッケージに限らず、外周部に応力が集中するパッ
ケージには効果があり、その場合、アンダーフィルが不
要になるのでコストダウンを企図し得る。
【0019】
【発明の効果】このように本発明によれば、応力が集中
し易いパッケージの外周部あるいは四隅に、マザーボー
ドとの接合強度を増大させる大面積のはんだ付着部を設
けることで、パッケージの変形を強制的に抑制し、電気
的接続端子としての役割を担うはんだボール部の応力緩
和を図ることができる。これにより熱的負荷に対する疲
労寿命を大幅に延長することができる。また、はんだ付
着部を電気的接続端子として利用する場合、この大面積
の端子を電源端子とすれば、電流容量の拡大(抵抗値の
減少)、インダクタンスの減少になるので、電気的特性
の改善に有利である。また非常に厳しい環境下で使用
し、パッケージのリペアを行う場合には、このはんだ付
着部で電気的な接続不良判定を行うようにすることによ
り、他の端子に影響が及んで誤作動が生じることのない
ようにすることができる。
し易いパッケージの外周部あるいは四隅に、マザーボー
ドとの接合強度を増大させる大面積のはんだ付着部を設
けることで、パッケージの変形を強制的に抑制し、電気
的接続端子としての役割を担うはんだボール部の応力緩
和を図ることができる。これにより熱的負荷に対する疲
労寿命を大幅に延長することができる。また、はんだ付
着部を電気的接続端子として利用する場合、この大面積
の端子を電源端子とすれば、電流容量の拡大(抵抗値の
減少)、インダクタンスの減少になるので、電気的特性
の改善に有利である。また非常に厳しい環境下で使用
し、パッケージのリペアを行う場合には、このはんだ付
着部で電気的な接続不良判定を行うようにすることによ
り、他の端子に影響が及んで誤作動が生じることのない
ようにすることができる。
【図1】本発明の第1の実施形態を示すメタルボールグ
リッドアレイのパッケージの底面図
リッドアレイのパッケージの底面図
【図2】図1のパッケージの中央部の側断面図
【図3】図1のパッケージの要部側面図
【図4】本発明の第2の実施形態を示す図3と同様の要
部側面図
部側面図
【図5】本発明の第3の実施形態を示す図1と同様の底
面図
面図
【図6】図5のパッケージの要部側面図
【図7】金属基板の概略斜視図
【図8】本発明の第4の実施形態を示す図3と同様の要
部側面図
部側面図
【図9】本発明の第5の実施形態を示す図1と同様の底
面図
面図
【図10】本発明の第6の実施形態を示す図1と同様の
底面図
底面図
【図11】本発明の第7の実施形態を示す図1と同様の
底面図
底面図
1 金属基板 2 樹脂基板 2a 開口 3 接着剤層 4 半導体チップ 5 接着剤層 6 封止樹脂 7 メタルキャップ 8 はんだボール 9 はんだ付着部 10 クリームはんだ層(接着剤層) 11 厚肉部 12 クリームはんだ層(接着剤層) 13 突条 M マザーボード P パッケージ
Claims (4)
- 【請求項1】 平板状の金属基板と、前記金属基板に重
ね合わせて接着される樹脂基板とを有し、はんだボール
によるはんだ付けでマザーボード上に実装される半導体
チップ搭載用パッケージであって、 当該パッケージの平面方向から見た外周部の少なくとも
一部に、前記はんだボールの断面積よりも大きな面積の
はんだ付着部が配設されることを特徴とする半導体チッ
プ搭載用パッケージ。 - 【請求項2】 前記はんだ付着部が、前記樹脂基板上に
設けられていることを特徴とする請求項1に記載の半導
体チップ搭載用パッケージ。 - 【請求項3】 前記はんだ付着部が、前記金属基板上に
設けられていることを特徴とする請求項1に記載の半導
体チップ搭載用パッケージ。 - 【請求項4】 前記はんだ付着部形成用のメッキ面のみ
が設けられると共に、前記マザーボード上の前記メッキ
面に対応する位置に予め設けられたはんだ付着面に前記
メッキ面がはんだ付けされることを特徴とする請求項1
または2に記載の半導体チップ搭載用パッケージ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1722598A JPH11214576A (ja) | 1998-01-29 | 1998-01-29 | 半導体チップ搭載用パッケージ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1722598A JPH11214576A (ja) | 1998-01-29 | 1998-01-29 | 半導体チップ搭載用パッケージ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH11214576A true JPH11214576A (ja) | 1999-08-06 |
Family
ID=11938018
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1722598A Pending JPH11214576A (ja) | 1998-01-29 | 1998-01-29 | 半導体チップ搭載用パッケージ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH11214576A (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE10062386A1 (de) * | 2000-12-14 | 2002-07-04 | Siemens Production & Logistics | Zwischenträger für ein Halbleitermodul sowie Anordnung eines mit einem solchen Zwischenträger gebildeten Moduls auf einem Schaltungsträger |
DE10347320A1 (de) * | 2003-10-08 | 2005-05-19 | Infineon Technologies Ag | Anordnung eines auf einem Substrat aufbauenden Chip-Packages und Substrat zur Herstellung desselben |
JP2006295136A (ja) * | 2005-03-18 | 2006-10-26 | Canon Inc | 積層型半導体パッケージ |
JP2010199178A (ja) * | 2009-02-24 | 2010-09-09 | Internatl Business Mach Corp <Ibm> | 半導体モジュール、端子板、端子板の製造方法および半導体モジュールの製造方法 |
JP2015070047A (ja) * | 2013-09-27 | 2015-04-13 | 京セラ株式会社 | 電子部品搭載用基板および電子装置 |
JP2016015406A (ja) * | 2014-07-02 | 2016-01-28 | 日本放送協会 | 高精細撮像素子用パッケージ |
-
1998
- 1998-01-29 JP JP1722598A patent/JPH11214576A/ja active Pending
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE10062386A1 (de) * | 2000-12-14 | 2002-07-04 | Siemens Production & Logistics | Zwischenträger für ein Halbleitermodul sowie Anordnung eines mit einem solchen Zwischenträger gebildeten Moduls auf einem Schaltungsträger |
DE10347320A1 (de) * | 2003-10-08 | 2005-05-19 | Infineon Technologies Ag | Anordnung eines auf einem Substrat aufbauenden Chip-Packages und Substrat zur Herstellung desselben |
JP2006295136A (ja) * | 2005-03-18 | 2006-10-26 | Canon Inc | 積層型半導体パッケージ |
JP2010199178A (ja) * | 2009-02-24 | 2010-09-09 | Internatl Business Mach Corp <Ibm> | 半導体モジュール、端子板、端子板の製造方法および半導体モジュールの製造方法 |
JP2015070047A (ja) * | 2013-09-27 | 2015-04-13 | 京セラ株式会社 | 電子部品搭載用基板および電子装置 |
JP2016015406A (ja) * | 2014-07-02 | 2016-01-28 | 日本放送協会 | 高精細撮像素子用パッケージ |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US6664643B2 (en) | Semiconductor device and method for manufacturing the same | |
JP5387685B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
US8518744B2 (en) | Method of manufacturing semiconductor device | |
US20030030134A1 (en) | Semiconductor device | |
JP2001274196A (ja) | 半導体装置 | |
JPH0758254A (ja) | マルチチップモジュール及びその製造方法 | |
JPH10308466A (ja) | ヒートシンク付着ボールグリッドアレイ半導体パッケージ | |
KR20020078931A (ko) | 반도체패키지용 캐리어프레임 및 이를 이용한반도체패키지와 그 제조 방법 | |
JPH1117064A (ja) | 半導体パッケージ | |
US6097085A (en) | Electronic device and semiconductor package | |
JP3813540B2 (ja) | 半導体装置の製造方法及び半導体装置及び半導体装置ユニット | |
US6351389B1 (en) | Device and method for packaging an electronic device | |
JPH11214576A (ja) | 半導体チップ搭載用パッケージ | |
JPH0491458A (ja) | 半導体装置 | |
US7804179B2 (en) | Plastic ball grid array ruggedization | |
JP3676091B2 (ja) | 半導体装置 | |
JP2000183246A (ja) | 接着方法及び半導体装置 | |
JP3374812B2 (ja) | 半導体装置 | |
JPS63190363A (ja) | パワ−パツケ−ジ | |
US20210398872A1 (en) | Chip scale package structure of heat-dissipating type | |
US20030211653A1 (en) | Apparatus for providing mechanical support to a column grid array package | |
JPH0331086Y2 (ja) | ||
US20240006370A1 (en) | Chip package with heat dissipation plate and manufacturing method thereof | |
JPH0770651B2 (ja) | 半導体パッケージ | |
JPH065769A (ja) | 積層構造のフィルム基材およびこれを用いた電子回路素子搭載用リードフレーム |