JPH11118528A - 測定データ表示装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 グラフ表示によって測定データについての概
要を容易に把握させるとともに、所望のデータ数値を表
示することによってその内容を正確に把握させて、オペ
レータにより基板処理装置の動作状態を正確に監視させ
る。 【解決手段】 測定データ表示装置では、記憶手段１２
が測定データを測定時間をキーとして格納しており、表
示制御手段１３は当該記憶手段１２に格納された測定デ
ータを時間軸を基準としてディスプレイ画面１４にグラ
フ表示する。そして、入力手段１６からグラフ中の位置
が指定されると、この指示位置から対応する測定時間の
データ数値を記憶手段１２から検索手段１３が検索し、
表示制御手段１５がこの検索された測定データの数値を
ディスプレイ画面１４に表示出力する。したがって、オ
ペレータは例えばグラフ中の変化が大きい位置を指示す
るだけで、当該時点での正確なデータ数値を把握するこ
とができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ＬＣＤ製造装置や
半導体製造装置（半導体デバイス製造装置も含む）等と
言った基板処理装置に適用される測定データ表示装置に
関し、特に、同一のディスプレイ画面上にグラフ表示と
それに対応付けた数値表示とを行う測定データ表示装置
に関する。

【０００２】

【従来の技術】例えば半導体製造工場の自動化ラインに
おいては、従来より、半導体製造装置のプロセス実行状
態をセンサ等で測定し、得られた測定データ（温度、圧
力、ガス流量等）をオペレータに対してディスプレイ画
面上に表示出力することが行われている。半導体製造装
置等のように特に清浄な環境を要求される装置について
は、測定データを遠隔な位置で確認できるようにしてお
り、オペレータは半導体製造装置の設置エリアに立ち入
らなくとも、装置の動作状態を監視することができるよ
うになっている。

【０００３】このような測定データの表示は、従来で
は、測定データを単にグラフとして表示出力する、又
は、測定データの数値を一覧表として表示することによ
り行われていた。したがって、オペレータは、所望のデ
ータ数値を知るためには、グラフのスケール軸から数値
を読み取る、又は、一覧表中から数値を読み取るように
していた。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、グラフ
のスケール軸から数値を読み取る場合には、正確なデー
タ数値を得ることができず、装置の動作状態を詳細に監
視することができないと言う問題があった。一方、一覧
表中から数値を読み取る場合には、正確なデータ数値を
得ることができる反面、そのデータ数値が他のデータと
の関係でどのような位置づけにあるのかが把握し難いと
いう問題があった。例えばグラフ表示では、或る時点の
データがその前後のデータに対してどのように変化した
ものであるかが容易に把握できるが、一覧表中からはこ
のような把握が困難である。

【０００５】本発明は、上記従来の事情に鑑みなされた
もので、基板処理装置からの測定データをオペレータに
対して把握し易い態様で表示することを目的とする。更
に具体的には、本発明は、基板処理装置からの測定デー
タを同一のディスプレイ画面上にグラフとそれに対応付
けた数値とで表示する測定データ表示装置を提供するこ
とを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明に係る測定データ表示装置では、基板処理装
置から測定されたデータを表示制御手段がディスプレイ
画面にグラフとして表示出力し、入力手段から当該グラ
フ中の所望の位置を指定することによって、オペレータ
が確認したい数値を指定すると、表示制御手段が当該指
示位置に対応する測定データの数値を当該ディスプレイ
画面に表示出力する。したがって、オペレータは、グラ
フ表示によって測定データのついての概要を容易に把握
することができるとともに、所望のデータ数値を正確に
把握することができ、基板処理装置の動作状態を正確に
監視することができる。

【０００７】また、本発明に係る測定データ表示装置で
は、記憶手段が測定データを測定時間をキーとして格納
しており、表示制御手段は当該記憶手段に格納された測
定データを時間軸を基準としてディスプレイ画面にグラ
フ表示する。そして、入力手段からグラフ中の位置が指
定されると、この指示位置から対応する測定時間のデー
タ数値を記憶手段から検索手段が検索し、表示制御手段
がこの検索された測定データの数値をディスプレイ画面
に表示出力する。したがって、オペレータは例えばグラ
フ中の変化が大きい位置を指示するだけで、当該時点で
の正確なデータ数値を把握することができ、基板処理装
置の動作状態を正確に監視することができる。

【０００８】また、本発明に係る測定データ表示装置で
は、複数の基板処理装置から測定されたデータを同一の
ディスプレイ画面に表示出力する。このために、記憶手
段は各基板処理装置毎の測定データを測定時間をキーと
して格納しており、表示制御手段は記憶手段に格納され
た複数の基板処理装置の測定データを同一の時間軸を基
準としてディスプレイ画面にグラフ表示する。そして、
入力手段からグラフ中の位置が指定されると、検索手段
がこの指示位置から対応する測定時間のデータ数値を記
憶手段から検索し、表示制御手段が検索された各測定デ
ータ数値を各グラフに対応付けてディスプレイ画面に表
示出力する。したがって、オペレータは例えばグラフ中
の或る時点を指示するだけで、当該時点での各基板処理
装置の正確なデータ数値を把握することができ、複数の
基板処理装置の動作状態を比較しつつ正確に監視するこ
とができる。

【０００９】また、本発明に係る測定データ表示装置で
は、基板処理装置の複数箇所から測定されたデータを同
一のディスプレイ画面に表示出力する。このために、記
憶手段は各測定箇所毎の測定データを測定時間をキーと
して格納しており、表示制御手段は記憶手段に格納され
た複数箇所の測定データを同一の時間軸を基準としてデ
ィスプレイ画面にグラフ表示する。そして、入力手段か
らグラフ中の位置が指定されると、検索手段がこの指示
位置から対応する測定時間のデータ数値を記憶手段から
検索し、表示制御手段が検索された各測定データ数値を
各グラフに対応付けてディスプレイ画面に表示出力す
る。したがって、オペレータは例えばグラフ中の或る時
点を指示するだけで、当該時点での各測定箇所の正確な
データ数値を把握することができ、基板処理装置の複数
箇所の動作状態を比較しつつ正確に監視することができ
る。

【００１０】また、本発明に係る測定データ表示装置で
は、基板処理装置から測定されたデータを表示するため
に、測定データをグラフ形式で表示する領域と、当該グ
ラフ中の所定の値を数値で表示する領域とが、同一のデ
ィスプレイ画面上に形成されている。したがって、同一
の画面上において、オペレータは、グラフ表示によって
測定データのついての概要を容易に把握することができ
るとともに、所望のデータ数値を正確に把握することが
でき、基板処理装置の動作状態を正確に監視することが
できる。

【００１１】

【発明の実施の形態】本発明の一実施形態に係る測定デ
ータ表示装置を図面を参照して説明する。本実施形態
は、ホストコンピュータに複数台の半導体製造装置を接
続して、これら半導体製造装置をホストコンピュータか
ら通信により統括制御する群管理システムに適用した例
であり、本実施形態に係る測定データ表示装置は、これ
ら半導体製造装置からの測定データを同一のディスプレ
イ画面に表示するためにホストコンピュータに付設され
ている。

【００１２】すなわち、図１に示すように、本例では３
台の半導体製造装置１、２、３に対してホストコンピュ
ータを中心として構成された群管理システム４が通信ラ
イン５を介して接続されており、群管理システム４によ
る統括制御の下に半導体製造装置１、２、３は所定のプ
ロセス処理動作を実行する。また、各半導体製造装置
１、２、３の所要の箇所にはそれぞれセンサが設けられ
ており、これらセンサによって測定されたプロセスのデ
ータが通信ライン５を介して群管理システム４へ送信さ
れるようになっている。

【００１３】図２には、本例に係る測定データ表示装置
の主要な構成を示してあり、当該測定データ表示装置は
ホストコンピュータの機能手段を利用して群管理システ
ム４の一部として構成されている。この測定データ表示
装置は、各半導体製造装置１、２、３から通信ライン５
を介して送信されてきた測定データを記憶格納する測定
データ記憶手段１０と、測定データ記憶手段１０に格納
されている測定データを所定形式の表示用データへ変換
するデータ変換手段１１と、データ変換手段１１によっ
て変換された表示用データを記憶格納する表示用データ
記憶手段１２と、表示用データ記憶手段１２に格納され
ているデータを検索する検索手段１３と、ＣＲＴや液晶
パネルからなる表示手段１４と、表示用データ記憶手段
１２に格納されているデータを表示手段１４のディスプ
レイ画面に表示出力する表示制御手段１５と、オペレー
タからの入力指示を受け付けるマウス等の入力手段１６
と、を備えている。

【００１４】測定データ記憶手段１０は、ハードディス
ク装置等の読み出し書き込み自在なメモリ装置から構成
されており、本例では特に長期に亘る測定データを蓄積
できるように比較的容量の大きなハードディスク装置等
の外部メモリによって構成されている。この測定データ
記憶手段１０には送信されてきた測定データが各半導体
製造装置毎のファイルとしてその測定時刻を付して記憶
格納される。なお、このようなファイル化及び測定時刻
の管理はホストコンピュータに備えられたデータ管理機
能によって実現されており、本例では、データを測定す
るセンサに対応して各半導体製造装置を識別し、センサ
からデータを受信した時点を当該データの測定時刻とし
ているが、本発明においては勿論他の管理方法を採用し
てもよい。

【００１５】また、データ変換手段１１及び検索手段１
３及び表示制御手段１５は、本例では、ホストコンピュ
ータのハードウエア資源が所定の制御プログラムを実行
することにより構成されているが、本発明においてはこ
れら機能手段を専用な装置として構成してもよい。ま
た、表示用データ記憶手段１２は、読み出し書き込み自
在なメモリ装置から構成されており、本例では特に検索
処理が迅速に実行されるようにＲＡＭ等の内部メモリに
よって構成されている。

【００１６】ここで、入力手段１６からは、後述するよ
うにグラフ中の位置の指示のみならず、オペレータがデ
ィスプレイ画面に表示出力させたい測定データの期間、
測定データの種類、半導体製造装置、等と言った表示対
象データを特定する指示も入力され、このような指示に
基づいて、データ変換手段１１は特定された測定データ
を測定データ記憶手段１０から読み出し、その形式を変
換して表示用データ記憶手段１２へ格納する。この表示
用データ記憶手段１２に記憶される表示用データは、本
例では図３に示すような構造となっており、各測定デー
タをその測定時間をキーとしたレコードとしてまとめ、
各レコードには測定されたガスデータ（ガス流量）、圧
力データ（プロセスチャンバの圧力）、温度データ（プ
ロセス温度）等が含まれている。なお、本例では、表示
対象として特定された複数の半導体製造装置及び期間に
ついて上記のような表示用データが表示用データ記憶手
段１２に記憶される。

【００１７】上記構成の測定データ表示装置によれば、
各半導体製造装置１、２、３から測定されたデータが次
のようにして表示手段１４のディスプレイ画面に表示出
力される。上記のようにして表示対象の測定データが変
換されて表示用データ記憶手段１２に記憶されている状
態において、表示制御手段１５が当該表示用データを読
み出してグラフに作成し、所定のグラフフォーマットで
表示手段１４のディスプレイ画面に表示出力する。な
お、このようなグラフ形式での表示は公知の種々な方法
を採用することができる。

【００１８】本例では、図４（ａ）に示すように、半導
体製造装置１、２、３から測定されたデータ（本例で
は、温度データ）を、その測定時間を基準軸（横軸）と
して、それぞれＡ（太い実線）、Ｂ（細い実線）、Ｃ
（点線）のグラフとしてディスプレイ画面上のグラフ表
示エリア２０に表示出力する。また、表示制御手段１５
は、このディスプレイ画面中に図４（ｂ）への表示切換
を行うための「マーク機能」ボタン２１も表示する。こ
の結果、オペレータは当該グラフを見ることによって、
各半導体製造装置１、２、３がどのような状態で動作し
ているかの概要を、時間推移において容易に把握するこ
とができる。

【００１９】図４（ａ）に示すようにグラフ表示を行う
と、表示制御手段１５及び検索手段１３は表示切換処理
の待機状態となる。そして、オペレータがマウス１６を
操作して「マーク機能」ボタン２１をクリックすると図
５に示す表示切換処理が開始され、表示制御手段１５は
座標入力待ちの状態となる（ステップＳ１）。

【００２０】そして、オペレータがマウス１６を操作し
てグラフ表示エリア２０内の任意の位置をクリックする
と（ステップＳ２）、このクリック位置から表示制御手
段１５がディスプレイ画面中に座標位置を割り出して、
グラフの時間軸上との対応座標（すなわち、横軸の座標
点）からオペレータが指示した時間位置を特定する（ス
テップＳ３）。なお、本例では、図４（ｂ）に示すよう
に、表示制御手段１５がディスプレイ画面上にオペレー
タがクリックした位置からグラフ時間軸へ垂直にライン
を表示し、オペレータが自分が指示した時間位置を確認
し易いようにしている。

【００２１】上記のようにして、表示制御手段１５が取
得した時間データは検索手段１３へ受け渡され、検索手
段１３が当該時間データをキーとして表示用データ記憶
手段１２を検索する（ステップＳ４）。すなわち、図３
に示したように表示用データ記憶手段１２に記憶されて
いるデータレコードを検索手段１３が検索して、当該時
間キーに該当するデータレコードからグラフ表示されて
いるデータの数値（本例では、温度データの数値）を取
得して、当該数値データを表示制御手段１５へ受け渡
す。なお、本例では、Ａ、Ｂ、Ｃの３本のグラフに対し
て上記ラインが交差する時点が指示されるため、検索手
段１３は各グラフＡ、Ｂ、Ｃについて該当する数値デー
タをそれぞれ検索する。

【００２２】そして、表示制御手段１５は、グラフ表示
エリア２０と同一のディスプレイ画面上に数値データ表
示エリア２２を表示し、このエリア２２内に検索手段１
３から受け取った各数値データを各グラフＡ、Ｂ、Ｃに
対応付けて表示出力する（ステップＳ５）。すなわち、
図４（ｂ）に示すように、数値データ表示エリア２２に
は各グラフの種別Ａ（太い実線）、Ｂ（細い実線）、Ｃ
（点線）に対応付けて、オペレータによって指示された
測定時刻における数値が表示出力される。この結果、オ
ペレータは当該ディスプレイ画面を見ることによって、
各半導体製造装置１、２、３がどのような状態で動作し
ているかの概要をグラフから容易に把握することができ
るとともに、或る時点において各半導体製造装置１、
２、３がどのような状態で動作しているかの詳しい内容
を数値データから正確に把握することができる。

【００２３】なお、上記した説明では半導体製造装置に
適用した例を示したが、本発明は他の基板処理装置にも
勿論適用することができる。また、上記した説明では複
数台の半導体製造装置からの測定データを表示する群管
理システムを示したが、本発明は１台の基板処理装置の
複数の測定箇所から得られるデータを同一のディスプレ
イ画面にグラフと数値とで表示する場合にも適用するこ
とができる。この場合には、例えば、基板処理装置の各
測定箇所にセンサ等の測定手段を設け、これら測定デー
タを図４に示したようにグラフ表示すればよい。

【００２４】また、上記した説明では複数の測定データ
を同時表示する場合を示したが、本発明は１つの測定デ
ータを同一のディスプレイ画面にグラフと数値とで表示
する場合にも適用することができ、この場合にあって
も、概要を容易に把握できるとともに内容を正確に把握
できるという本発明の目的は十分に達成できる。また、
上記した説明で示したように測定データを時間軸をキー
として格納及びグラフ表示すると、時間推移に従った装
置の動作状況の概要を容易に把握できて装置のメンテナ
ンス管理等に便利であるが、本発明では、例えば、ガス
データと圧力データとの関係でグラフ表示する等と言っ
たように、格納及びグラフ表示に用いるキーには特に限
定はない。

【００２５】また、上記した説明では測定データと表示
用データと記憶する記憶手段をそれぞれ別個なメモリ装
置で構成した場合を示したが、本発明ではこれら記憶手
段は同一のメモリ装置に領域を分ける等して構成しても
よい。また、上記した説明では入力手段としてマウスを
用いた例を示したが、キーボード等の公知の他の入力手
段や、ディスプレイ画面上に設けたタッチパネル等を用
いてもよい。

【００２６】

【発明の効果】以上説明したように、本発明の測定デー
タ表示装置によると、基板処理装置から測定されたデー
タをディスプレイ画面にグラフとして表示出力し、オペ
レータに指示に基づいて対応する測定データの数値を当
該ディスプレイ画面に表示出力するようにしたため、オ
ペレータがグラフ表示によって測定データのついての概
要を容易に把握することができるとともに所望のデータ
数値を正確に把握することができ、基板処理装置の動作
状態を正確に監視することができる。また、表示された
複数のグラフが重なり合ってしまった場合にあっても、
その数値データを表示することによって各データを識別
して把握することができ、データ読み取りの誤りを回避
することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の一実施形態に係る半導体製造装置の
群管理システムを示す構成図である。

【図２】 本発明の一実施形態に係る測定データ表示装
置の構成図である。

【図３】 表示用データの一例を示す図である。

【図４】 ディスプレイ画面の表示例を示す図であり、
（ａ）はグラフ表示を行っている状態を示し、（ｂ）は
グラフ表示と数値表示とを行っている状態を示す。

【図５】 表示切換処理の一例を示すフローチャートで
ある。

【符号の説明】

１、２、３・・・半導体製造装置、 ４・・・群管理シ
ステム、５・・・通信ライン、 １０・・・測定データ
記憶手段、１１・・・データ変換手段、 １２・・・表
示用データ記憶手段、１３・・・検索手段、 １４・・
・表示手段、 １５・・・表示制御手段、１６・・・入
力手段、 ２０・・・グラフ表示エリア、２２・・・数
値データ表示エリア、

フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号 ＦＩ Ｈ０１Ｌ 21/68 Ｈ０１Ｌ 21/68 Ａ

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 基板処理装置から測定されたデータをデ
   ィスプレイ画面に表示出力する測定データ表示装置であ
   って、 ディスプレイ画面に対するオペレータからの指示入力を
   受け付ける入力手段と、 測定データをディスプレイ画面にグラフ表示するととも
   に、入力手段から受け付けた当該グラフ中の指示位置に
   対応する当該測定データの数値を当該ディスプレイ画面
   に表示出力する表示制御手段と、 を備えたことを特徴とする測定データ表示装置。
2. 【請求項２】 請求項１に記載の測定データ表示装置に
   おいて、 測定データを測定時間をキーとして格納する記憶手段を
   有して、 前記表示制御手段は当該記憶手段に格納された測定デー
   タを時間軸を基準として前記ディスプレイ画面にグラフ
   表示し、 更に、前記入力手段から受け付けた当該グラフ中の指示
   位置から対応する測定時間のデータ数値を前記記憶手段
   から検索する検索手段を有して、 前記表示制御手段は当該検索された測定データの数値を
   当該ディスプレイ画面に表示出力することを特徴とする
   測定データ表示装置。
3. 【請求項３】 請求項２に記載の測定データ表示装置に
   おいて、 複数の基板処理装置から測定されたデータを同一のディ
   スプレイ画面に表示出力する測定データ表示装置であ
   り、 前記記憶手段は、各基板処理装置毎の測定データを測定
   時間をキーとして格納し、 前記表示制御手段は、当該記憶手段に格納された複数の
   基板処理装置の測定データを同一の時間軸を基準として
   前記ディスプレイ画面にグラフ表示し、 更に、前記検索手段は、当該グラフ表示されている測定
   データについて、前記入力手段から受け付けた当該グラ
   フ中の指示位置から対応する測定時間のデータ数値を前
   記記憶手段から検索し、 前記表示制御手段は、当該検索された各測定データ数値
   を各グラフに対応付けて当該ディスプレイ画面に表示出
   力することを特徴とする測定データ表示装置。
4. 【請求項４】 請求項２又は請求項３に記載の測定デー
   タ表示装置において、 基板処理装置の複数箇所から測定されたデータを同一の
   ディスプレイ画面に表示出力する測定データ表示装置で
   あり、 前記記憶手段は、各測定箇所毎の測定データを測定時間
   をキーとして格納し、 前記表示制御手段は、当該記憶手段に格納された複数箇
   所の測定データを同一の時間軸を基準として前記ディス
   プレイ画面にグラフ表示し、 更に、前記検索手段は、当該グラフ表示されている測定
   データについて、前記入力手段から受け付けた当該グラ
   フ中の指示位置から対応する測定時間のデータ数値を前
   記記憶手段から検索し、 前記表示制御手段は、当該検索された各測定データ数値
   を各グラフに対応付けて当該ディスプレイ画面に表示出
   力することを特徴とする測定データ表示装置。
5. 【請求項５】 基板処理装置から測定されたデータをデ
   ィスプレイ画面に表示出力する測定データ表示装置であ
   って、 測定データをグラフ形式で表示する領域と、当該グラフ
   中の所定の値を数値で表示する領域とが、同一のディス
   プレイ画面上に形成されていることを特徴とする測定デ
   ータ表示装置。