JPH11113906A

JPH11113906A - 圧電素子及びその製造方法

Info

Publication number: JPH11113906A
Application number: JP27758497A
Authority: JP
Inventors: Shinichi Tsutaki; 新一蔦木
Original assignee: Olympus Optical Co Ltd
Current assignee: Olympus Corp
Priority date: 1997-10-09
Filing date: 1997-10-09
Publication date: 1999-04-27
Anticipated expiration: 2017-10-09
Also published as: JP3930118B2

Abstract

(57)【要約】【課題】圧電素子の凹状曲面と側面とで形成されるエッ
ジ先端から底面までの高さ寸法の精度が高い圧電素子を
提供すること。【解決手段】圧電素子１は、平板状部材の圧電セラミッ
クの高さ寸法ｈ，幅寸法ｗ及び長さ寸法ｌを角出しして
予め所定寸法に加工したものであり、この直方体に加工
された圧電素子１に凹状曲面２を形成する。このとき、
まず砥石に凹状曲面の曲率半径（Ｒ）に対応するアール
付けをし、この圧電素子１の対向する二平面３ａ，３ｂ
の少なくとも一方の平面側を研削していく。すると、第
１平面３ａに交わるように略円筒面形状の凹状曲面２が
形成されると共に、平面部４ａ，４ｂが残存する。この
ことによって、圧電素子１の高さ寸法ｈが高精度に維持
され、従来の圧電素子で形成されていた凹状曲面と側面
とで形成されたエッジ部がなくなって欠けや割れによる
不良がなくなる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、超音波診断装置の
超音波振動子を形成する圧電素子及びその製造方法に関
する。

【０００２】

【従来の技術】医療分野においては、超音波振動子から
生体組織内に超音波パルスを繰り返し送信し、生体組織
から反射される超音波パルスのエコーを、同一あるいは
別体に設けた超音波振動子で受信して、この超音波パル
スを送受信する方向を徐々にずらすことによって、生体
内の複数の方向から収集した情報を可視像の超音波断層
画像として表示する超音波診断装置が、従来より種々提
案されている。

【０００３】例えば、実開昭６２−１２７１９６号公報
には１つの超音波探触子で各診断領域について良質な画
質の超音波画像が得られるようにするために、圧電振動
子の超音波放射方向の厚さ寸法が連続的に変化するよう
に円弧状に形成した超音波探触子が開示されている。

【０００４】また、特開昭６０−２４７１５９号公報に
は平凹面形状や平凸面形状にして有効な広帯域化が実現
できるようにするため、有機物中に多数の柱状圧電体が
埋め込まれた構造の複合圧電体を用いた超音波探触子が
開示されている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記実
開昭６２−１２７１９６号公報及び特開昭６０−２４７
１５９号公報に開示されている超音波探触子では平板の
圧電体に所望の曲率の凹状曲面を形成する際、図９に示
すように凹状曲面９１と側面９２，９３とで形成される
エッジ先端から底面までの高さ寸法（Ｈ）にばらつきが
生じ、すなわち高さ寸法（Ｈ）を精度良く加工すること
が難しく、超音波探触子の超音波特性がばらつくという
問題があった。また、加工の際や保管中などにエッジ面
が欠けたり、割れたりして歩留りが悪いという問題があ
った。さらに、湾曲面に信号電極を設けた際、配線面が
湾曲形状になっていることにより信号線を信号電極に配
線する際の作業性が低下するという問題があった。

【０００６】本発明は上記事情に鑑みてなされたもので
あり、圧電素子の凹状曲面と側面とで形成されるエッジ
先端から底面までの高さ寸法を精度良く加工可能で、歩
留りを向上させ、かつ配線作業性を向上させることが可
能な圧電素子及びその製造方法を提供することを目的と
している。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明の請求項１記載の
圧電素子は、対向する二平面の少なくとも一方の平面側
に、この平面に交わる曲面を形成している。

【０００８】また、本発明の請求項２記載の圧電素子の
製造方法は、対向する二平面の少なくとも一方の平面側
に、この平面の一部が残存するように平面に交わる曲面
を形成する工程を有している。

【０００９】この請求項１記載の圧電素子の構成によれ
ば、残存する平面によって配線作業性が向上すると共
に、エッジ先端の欠けや割れがなくなり、エッジ先端か
ら底面までの高さ寸法の精度が向上する。

【００１０】また、請求項２記載の圧電素子の製造方法
によれば、圧電素子の凹状曲面と側面とで形成されるエ
ッジ先端から底面までの高さ寸法の加工精度が良く、寸
法のばらつきやかけなどの不良の発生が少なくなって歩
留りが向上すると共に、超音波振動子の超音波特性が安
定する。

【００１１】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態を説明する。図１ないし図３は本発明の一実施
形態に係り、図１は圧電素子の構成を説明する斜視図、
図２は圧電素子に設ける２種類の電極の配置例を示す
図、図３は本実施形態の圧電素子を使用した超音波振動
子の１例を示す説明図である。

【００１２】図１（ａ）に示すように本実施形態の圧電
素子１は、例えばジルコン酸チタン酸塩又はチタン酸塩
等の平板状部材の圧電セラミックの高さ寸法ｈ，幅寸法
ｗ及び長さ寸法ｌを角出しして予め所定寸法に加工した
ものであり、この直方体に加工された圧電素子１に後述
する平面部４ａ，４ｂを残存させて、二点鎖線に示すよ
うな凹状曲面（以下曲面とも記載する）２を形成するよ
うにしている。すなわち、曲面２を設けた圧電素子１に
平面部４ａ，４ｂが残存することによって、従来の圧電
素子で形成されていた凹状曲面と側面とで形成されたエ
ッジ部をなくして、圧電素子１の高さ寸法ｈを高精度に
したものである。

【００１３】前記圧電素子１に凹状曲面２を形成する
際、まず砥石に凹状曲面の曲率半径（Ｒ）に対応するア
ール付けをし、この圧電素子１の対向する二平面３ａ，
３ｂの少なくとも一方の平面側を研削していく。する
と、同図（ｂ）に示すように第１平面３ａに交わるよう
に略円筒面形状の凹状曲面２が形成されていく。そし
て、所定の曲面２が形成されたとき、この曲面２の両端
部に平面部４ａ，４ｂが残存した圧電素子１になる。

【００１４】図２に示すように前記凹状曲面２を加工し
た圧電素子１の第１平面３ａ側及び第２平面３ｂ側の両
面にそれぞれ第１電極１１及び第２電極１２を、例えば
金や銀等を焼付けや蒸着、スパッタ等によって形成す
る。この圧電素子１に形成される第１電極１１及び第２
電極１２の形成位置には以下に示す形態がある。

【００１５】圧電素子１に形成する第１電極１１及び第
２電極１２の一例として図２（ａ）に示すものがある。
本図の圧電素子１Ａは、第１電極１１を第１平面３ａの
表面及び曲面２の表面に電気的に一体に形成し、第２電
極１２を前記曲面２を設けた第１平面３ａに対向する第
２平面３ｂの表面上に前記第１電極１１に対して電気的
に別体に形成している。

【００１６】また、圧電素子１に形成する第１電極１１
及び第２電極１２の他の例である同図（ｂ）に示す圧電
素子１Ｂでは、第１平面３ａの表面及び曲面２の表面に
電気的に一体に形成した第１電極１１の一端部を一側面
５ａまで延設し、第２平面３ｂの表面に形成した前記第
１電極１１に対して電気的に別体な第２電極１２の一端
部を他側面５ｂの表面まで延設している。

【００１７】さらに、圧電素子１に形成する第１電極１
１及び第２電極１２の別の例である同図（ｃ）に示す圧
電素子１Ｃでは、前記同図（ｂ）で他側面５ｂまで延設
させた第２電極１２の一端部をさらに延伸させて前記第
１電極１１が形成されている第１平面３ａまで延設して
いる。すなわち、第１平面３ａに第１電極１１と第２電
極１２とを配置している。このとき、前記第１平面上で
前記第１電極１１と前記第２電極１２とは電気的に別体
になっている。

【００１８】又、圧電素子１に形成する第１電極１１及
び第２電極１２のまた別の例である同図（ｄ）に示す圧
電素子１Ｄでは、前記同図（ｂ）で一側面５ａまで延設
させた第１電極１１の一端部を更に延伸させて前記第２
電極１２が形成されている第２平面３ｂまで延設してい
る。すなわち、第２平面３ｂに第１電極１１と第２電極
１２とを配置している。このとき、前記第２平面上で前
記第１電極１１と前記第２電極とは電気的に別体になっ
ている。

【００１９】図３を参照して超音波振動子１０の１例を
説明する。同図（ａ）に示す超音波振動子１０Ａは、前
記図２（ｃ）に示した圧電素子１Ｃを複数配設して第２
平面３ｂ側が超音波放射面になるように形成したもので
あり、これらの圧電素子１Ｃに形成されている曲面２側
にフェライト入りのポリクロロプレンゴム，タングステ
ン粉末入りのエポキシ樹脂等の弾性体を成形した超音波
吸収体１３を設けている。また、前記圧電素子１Ｃの第
１平面３ａに延設した全ての第２電極１２にはグランド
線となる例えば１枚の燐青銅板等で形成したアース導体
１４の先端部平面が半田付けや導電性接着剤により電気
的に接続されている。

【００２０】一方、前記圧電素子１Ｃに形成されている
第２平面３ｂ側にはマコールガラスからなる第１整合層
１５及びポリイミド樹脂部材等からなる第２整合層１６
を介してシリコンやエポキシ等、樹脂製の音響レンズ１
７を配設している。この音響レンズ１７は、シリコン樹
脂で形成した場合は凸レンズであり、エポキシ樹脂で形
成した場合には凹レンズである。また、前記第１平面３
ａの第１電極１１にはフレキシブルプリント基板に配設
された銅パターン等の信号導体１８が半田付けや導電性
接着剤により電気的に接続されている。

【００２１】このように、超音波振動子を構成する圧電
素子に凹状曲面を形成する際、予め平板状の圧電素子を
所定の寸法に加工し、この圧電素子に平面部が残存する
ように所定の曲率半径の凹状曲面を形成することにより
寸法精度が安定し、凹状曲面と側面とで形成されるエッ
ジ部がなくなることにより歩留りが向上して超音波特性
の安定した圧電素子を確実に量産することができる。

【００２２】また、圧電素子の一平面の表面に電気的に
別体な第１電極と第２電極とを設けたことによって、第
１電極と信号導体とを電気的に接続するための配線作業
及び第２電極とアース導体とを電気的に接続するための
配線作業を容易に行うことができる。

【００２３】さらに、超音波放射面側にアース導体を配
置することなく、またそれぞれの電極に接続する信号導
体とアース導体とを対称な位置関係で配置したことによ
り、音場の偏りを解消することができる。このことによ
って、超音波受信の特性が向上する。

【００２４】又、圧電素子に平面部を形成することによ
って圧電素子の面積が増大する一方、前記圧電素子に形
成した平面部が厚肉部であるため、この平面部から低周
波側の超音波が出射されて、超音波振動子から遠い位置
での感度を向上させることができる。

【００２５】なお、同図（ｂ）に示す超音波振動子１０
Ｂは、前記図２（ｄ）に示した圧電素子１Ｄを複数配設
して第１平面３ａ側が超音波放射面になるように形成し
たものであり、この圧電素子１Ｄの第２平面３ｂ側に超
音波吸収体１３を設け、曲面２側に音響レンズ１７を配
設することなくエポキシ樹脂等からなる音響整合層１９
だけを設けている。そして、前記圧電素子１Ｃの第２平
面３ｂに延設した全ての第１電極１１にアース導体１４
が接続され、前記第２平面３ｂの第２電極１２に信号導
体１８を電気的に接続して超音波振動子１０Ｂを構成し
ている。このことによって、音響レンズによる超音波の
減衰がなくなって感度の良い超音波振動子を構成するこ
とができる。その他の作用及び効果は同図（ａ）に示し
た超音波振動子１０Ａと同様である。なお、幾何学的な
超音波の収束位置は圧電素子１に形成する曲面２の曲率
半径によって設定される。また、音響整合層は複数層に
なっていてもよい。

【００２６】また、図４に示すように圧電素子１に縦・
横方向に延びる複数の分割溝２１を設け、この分割溝２
１中にポリウレタン、エポキシ等の樹脂部材２２を充填
して圧電素子１Ｅを構成することにより、圧電素子１の
音響インピーダンスを下げて、生体の有する音響インピ
ーダンスに近づけることができる。

【００２７】このように、圧電素子に形成した分割溝に
樹脂部材を充填して音響インピーダンスを生体の有する
音響インピーダンスに近づけることによって、超音波振
動子から出射される超音波が生体に入り易くすることが
できる。

【００２８】前記圧電素子１は、略直方体形状に限定さ
れるものではなく、図５（ａ），（ｂ）に示すように円
板形状の圧電素子１Ｆの中央部に凹状曲面２ａを形成
し、この凹状曲面２ａの周囲に平面部４ｃを残存させた
ものであっても良い。

【００２９】このように、円板形状の圧電素子に上述の
実施形態と同様に平面部を残存させたことにより、凹状
曲面の形成時に寸法精度を確保できなくなるなどの不具
合を解消することができる。その他の作用及び効果は上
述の実施形態と同様である。

【００３０】図６に示すように前記円板状圧電素子１Ｆ
を用いた超音波振動子１０Ｃは、前記図５に示した圧電
素子１Ｆを金属製のハウジング３１内に配設して構成し
たものであり、この圧電素子１Ｆには前記図２（ａ）に
示すように第１平面３ａの表面及び曲面２の表面に設け
た電気的に一体な第１電極１１及びこの第１平面３ａに
対向する第２平面３ｂに設けた第２電極１２が設けられ
ている。なお、前記第１電極１１と前記第２電極１２と
は電気的に別体であり、第１電極１１が設けられている
第１平面３ａ側が超音波放射面になっている。

【００３１】前記ハウジング３１内に配設されている圧
電素子１Ｆの第２平面３ｂ側に超音波吸収体１３を設
け、曲面２ａを形成した第１平面３ａ側にハウジング３
１の先端面を覆うように整合層１９を設けている。ま
た、第２平面３ｂの第２電極１２に信号線からなる信号
導体１８を接続し、第１平面３ａの第１電極１１にグラ
ンド線となるアース導体１４の一端部を接続している。

【００３２】なお、符号３２は第１電極１１と第２電極
１２との短絡を防止するための樹脂製の絶縁層であり、
超音波吸収体１３及び圧電素子１Ｆのそれぞれ外周に設
けられている。また、このアース導体１４の他端部はハ
ウジング３１の外表面に接続されている。さらに、前記
信号導体１８には図示しない超音波診断装置の超音波送
受信部から延出する同軸ケーブルの芯線が接続され、前
記同軸ケーブルのシールド線はハウジングに接続されて
いる。

【００３３】ここで、図７を参照して分割溝に樹脂部材
を充填して生体の有する音響インピーダンスに近づけた
圧電素子１Ｅの一製造方法の各工程を説明する。まず、
同図（ａ）に示すように所定寸法に加工された圧電素子
１の第１平面３ａに予備電極４１を設け、第２平面３ｂ
に第２電極１２を設け、両電極４１,１２に高電圧を印
可して分極しておく。

【００３４】次に、同図（ｂ）に示すように圧電素子１
の例えば第１平面３ａ側からダイヤモンドカッター又は
レーザなどによって所定ピッチで複数の分割溝２１，
…,２１を切削していく。これら分割溝２１は圧電素子
１の一部が残るように、すなわち前記第２電極１２に至
る手前まで切削して形成されている。

【００３５】次いで、同図（ｃ）に示すように複数形成
した分割溝２１，…，２１にポリウレタン、エポキシ等
の樹脂部材２２を充填して、前記分割溝２１，…，２１
を樹脂部材２２で埋める。この状態で、同図（ｄ）に示
すように予備電極４１及び樹脂部材２２及び圧電素子１
をひとまとめに削って、所定の曲率半径（Ｒ）の凹状曲
面２を形成する。このとき、前記凹状曲面２の両端部に
平面部４ａ，４ｂが残存する。この後、残存した平面部
４ａ，４ｂに設けた予備電極４１を除去して、同図
（ｅ）に示すように第１電極１１を平面部４ａ，４ｂ及
び曲面２に焼付けや蒸着、スパッタによって設けて圧電
素子１Ｅを形成する。

【００３６】このように、圧電素子に複数の分割溝を形
成し、この分割溝を樹脂部材で埋めた後、第１平面に平
面部が残存するように凹状曲面を形成することによっ
て、加工中の欠けや割れの発生がなくなる共に、凹状曲
面と側面とで形成されるエッジ部をなくして歩留りの向
上及び寸法精度が向上を図ることができる。このことに
よって、生体の有する音響インピーダンスに近く、超音
波特性の安定した圧電素子を効率良く生産することがで
きる。

【００３７】また、凹状曲面を形成する際、圧電素子に
設けられている予備電極及び分割溝を埋めている樹脂部
材及び圧電素子を一度に削るので、圧電素子の平面部及
び曲面の表面に残存樹脂がなくなって、平面部及び曲面
に第１電極を形成する際に発生する残存樹脂による不具
合を解消することができる。残存樹脂があると電極の付
着強度が低下し剥がれやすくなるが、樹脂がないので付
着強度が向上する。このことにより、電極の付着強度が
安定して、より超音波特性の安定した圧電素子の生産効
率が向上する。

【００３８】図８を参照して圧電素子１Ｅの他の製造方
法の各工程を説明する。本製造方法においてはまず、同
図（ａ）に示すように圧電素子１の第１平面３ａ及び第
２平面３ｂにそれぞれ予備電極４１を設け、両平面３
ａ，３ｂの予備電極４１に高電圧を印可して分極したも
のを、エレクトロンワックスなどの固定用樹脂４２に例
えば圧電素子１の第２平面３ｂ側を一体的に固定する。

【００３９】次に、同図（ｂ）に示すように圧電素子１
の第１平面３ａ側からダイヤモンドカッター又はレーザ
などによって固定用樹脂４２に到達するまで切削溝４３
を形成して、所定ピッチで圧電素子１を複数に分割す
る。

【００４０】次いで、同図（ｃ）に示すように複数形成
した切削溝４３，…，４３に上述と同様に樹脂部材２２
を充填して、前記切削溝４３，…，４３を樹脂部材２２
で埋める。この状態で、同図（ｄ）に示すように予備電
極４１及び樹脂部材２２及び圧電素子１をひとまとめに
削って、所定の曲率半径（Ｒ）の凹状曲面２を形成す
る。このとき、前記凹状曲面２の両端部に平面部４ａ，
４ｂが残存する。この後、残存した予備電極４１を除去
する。そして、同図（ｅ）に示すように第１電極１１を
平面部４ａ，４ｂ及び曲面２に焼付けや蒸着、スパッタ
によって設ける。

【００４１】次に、同図（ｆ）に示すように前記第２平
面３ｂ側に固定されていた固定用樹脂４２を溶融させ
る。すると、前記切削溝４３に充填されていた樹脂部材
２２が第２平面３ｂ側から突出する。また、前記第１平
面３ａ側の凹状曲面２内に樹脂部材２２などを充填し
て、この凹状曲面２を埋め、前記凹状曲面２側を下側に
して突出した樹脂部材２２及び予備電極４１を除去した
後、同図（ｇ）に示すように第２電極１２を第２平面３
ｂの表面に焼付けや蒸着、スパッタにより設けて圧電素
子１Ｅを形成する。

【００４２】このように、図７で示した製造方法で形成
した分割溝の代わりに、本製造方法においては圧電素子
を完全に分割する切削溝を形成したことにより、分割溝
形成時に残こる圧電素子残存部によって発生する不要振
動の発生をなくすことができる。

【００４３】また、第１平面に形成した凹状曲面を樹脂
部材で埋めることによって、第２平面側を加工する際、
凹状曲面を形成した第１平面の強度が低下することを防
止することができると共に、この凹状曲面を埋める樹脂
部材を適宜選択しておくことにより、凹状曲面を埋めた
樹脂部材を整合層として使用することができる。その他
の作用及び効果は前記第１製造方法と同様である。

【００４４】なお、本発明は、以上述べた実施形態のみ
に限定されるものではなく、発明の要旨を逸脱しない範
囲で種々変形実施可能である。

【００４５】［付記］（１）対向する二平面の少なくとも一方の平面側に、こ
の平面に交わる曲面を形成した圧電素子。

【００４６】（２）対向する二平面の少なくとも一方の
平面側に、この平面に交わる曲面を形成し、この曲面及
び前記曲面を形成した一方の平面の表面に電気的に一体
な第１電極を設け、他方の平面の表面に前記第１電極に
電気的に別体な第２電極を設けた圧電素子。

【００４７】（３）前記第１電極を設けた一方の平面側
まで前記第２電極を延設した付記２記載の圧電素子。

【００４８】（４）前記第２電極を設けた他方の平面側
まで前記第１電極を延設した付記２記載の圧電素子。

【００４９】（５）対向する二平面の少なくとも一方の
平面に形成する曲面が円筒面形状である付記１又は付記
２記載の圧電素子。

【００５０】（６）対向する二平面の少なくとも一方の
平面に形成する曲面が球面形状である付記１又は付記２
記載の圧電素子。

【００５１】（７）前記圧電素子に複数の溝を形成し、
前記溝内に樹脂部材を充填した付記１又は付記２記載の
圧電素子。

【００５２】（８）対向する二平面の少なくとも一方の
平面側に、この平面に交わる曲面を形成した圧電素子を
備え、この圧電素子の超音波放射方向側に音響整合層を
設け、他方側に超音波吸収層を設けた超音波振動子。

【００５３】（９）対向する二平面の少なくとも一方の
平面側に、この平面に交わる曲面を形成し、この曲面及
び前記曲面を形成した平面の表面に電気的に一体な第１
電極を形成し、他方の平面の表面に前記第１電極に電気
的に別体な第２電極を設けた圧電素子を備え、この圧電
素子の超音波放射方向側に音響整合層を設け、他方側に
超音波吸収層を設けた超音波振動子。

【００５４】（１０）前記第１電極を設けた平面側まで
前記第２電極を延設した付記９記載の超音波振動子。

【００５５】（１１）前記第２電極を設けた平面側が超
音波放射面側であり、一方の平面側に設けた第１電極に
圧電素子に信号電圧を供給する信号導体を接続し、この
平面側に延設した第２電極にアース用導体を接続した付
記１０記載の超音波振動子。

【００５６】（１２）前記第２電極を設けた平面側まで
前記第１電極を延設した付記９記載の超音波振動子。

【００５７】（１３）前記第１電極を設けた平面側が超
音波放射面側であり、前記一方の平面に対向する平面側
に設けた第２電極に圧電素子に信号電圧を供給する信号
導体を接続し、この平面側に延設した第１電極にアース
用導体を接続した付記１２記載の超音波振動子。

【００５８】（１４）対向する二平面の少なくとも一方
の平面に形成した曲面が円筒面形状である付記８ないし
付記１３のいずれか１つに記載の超音波振動子。

【００５９】（１５）対向する二平面の少なくとも一方
の平面側に形成した曲面が球面形状である付記８ないし
付記１３のいずれか１つに記載の超音波振動子。

【００６０】（１６）前記圧電素子を複数配設した付記
８ないし付記１５記のいずれか１つに記載の超音波振動
子。

【００６１】（１７）前記圧電素子に複数の溝が形成さ
れ、この溝内に樹脂部材が充填されている付記８ないし
付記１６のいずれか１つに記載の超音波振動子。

【００６２】（１８）対向する二平面の少なくとも一方
の平面側に、この平面の一部が残存するように平面に交
わる曲面を形成する工程を有することを特徴とする圧電
素子の製造方法。

【００６３】（１９）対向する二平面を有する平板状圧
電素子に複数の分割溝を形成する工程と、前記溝中に樹
脂部材を充填する工程と、前記対向する二平面の少なく
とも一方の平面側に、この平面の一部が残存するように
平面に交わる曲面を形成する工程と、を有する圧電素子
の製造方法。

【００６４】（２０）対向する二平面を有する平板状圧
電素子に複数の分割溝を形成する工程と、前記溝中に樹
脂部材を充填する工程と、前記対向する二平面の少なく
とも一方の平面側に、この平面の一部が残存するように
平面に交わる曲面を形成する工程と、前記曲面及びこの
曲面を形成した平面の表面に電気的に一体な第１電極を
設ける工程と、前記第１電極と電気的に別体な第２電極
を前記曲面を形成した平面に対向する他方の平面側に設
ける工程と、を有する圧電素子の製造方法。

【００６５】（２１）対向する二平面の少なくとも一方
の面に形成される曲面が円筒面形状である付記１８ない
し付記２０のいずれか１つに記載の圧電素子の製法。

【００６６】（２２）対向する二平面の少なくとも一方
の面に形成される曲面が球面形状である付記１８ないし
付記２０のいずれか１つに記載の圧電素子の製法。

【００６７】（２３）対向する二平面を有する平板状圧
電素子の一方の平面を固定用樹脂に固定する工程と、前
記他方の平面側から一方の平面を経て固定用樹脂に至る
切削溝を複数形成して圧電素子を分割する工程と、前記
溝中に樹脂部材を充填する工程と、前記他方の平面側
に、平面の一部が残存するように、この平面に交わる曲
面を形成する工程と、前記曲面及びこの曲面を形成した
平面の表面に電気的に一体な第１電極を設ける工程と、
前記固定用樹脂から前記圧電素子を取り外す工程と、前
記固定用樹脂を取り除いたことにより前記一方の平面側
から突出した樹脂部材を除去する工程と、この一方の平
面上に前記第１電極と電気的に別体な第２電極を設ける
工程と、を有する圧電素子の製造方法。

【００６８】（２４）前記平面に形成する曲面が円筒面
形状である付記２３記載の圧電素子の製造方法。

【００６９】（２５）前記平面に形成する曲面が球面形
状である付記２３記載の圧電素子の製造方法。

【００７０】

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、圧
電素子の凹状曲面と側面とで形成されるエッジ先端から
底面までの高さ寸法を精度良く加工可能で、歩留りを向
上させ、かつ配線作業性を向上させることが可能な圧電
素子及びその製造方法を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１ないし図３は本発明の一実施形態に係り、
図１は圧電素子の構成を説明する斜視図

【図２】圧電素子に設ける２種類の電極の配置例を示す
図

【図３】本実施形態の圧電素子を使用した超音波振動子
の１例を示す説明図

【図４】生体の有する音響インピーダンスに近い圧電素
子を示す説明図

【図５】圧電素子の他の形状例を示す説明図

【図６】図６に示した圧電素子を使用した超音波振動子
の１例を示す説明図

【図７】生体の有する音響インピーダンスに近い圧電素
子の製造方法の１例を示す説明図

【図８】生体の有する音響インピーダンスに近い圧電素
子の製造方法の他の例を示す説明図

【図９】従来の圧電素子を示す図

【符号の説明】

１…圧電素子２…凹状曲面（曲面）３ａ…第１平面３ｂ…第２平面４ａ，４ｂ…平面部

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号ＦＩＨ０４Ｒ 17/00 Ｈ０１Ｌ 41/22 Ｃ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】対向する二平面の少なくとも一方の平面
側に、この平面に交わる曲面を形成したことを特徴とす
る圧電素子。
【請求項２】対向する二平面の少なくとも一方の平面
側に、この平面の一部が残存するように平面に交わる曲
面を形成する工程を有することを特徴とする圧電素子の
製造方法。