JPH11100202A - オゾン発生器及びその運転方法 - Google Patents
オゾン発生器及びその運転方法Info
- Publication number
- JPH11100202A JPH11100202A JP26327797A JP26327797A JPH11100202A JP H11100202 A JPH11100202 A JP H11100202A JP 26327797 A JP26327797 A JP 26327797A JP 26327797 A JP26327797 A JP 26327797A JP H11100202 A JPH11100202 A JP H11100202A
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- JP
- Japan
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- ozone
- ozone generator
- vacuum pump
- air
- solenoid valve
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- Treatment Of Water By Oxidation Or Reduction (AREA)
- Oxygen, Ozone, And Oxides In General (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】オゾン発生器に電磁弁，真空ポンプ，活性炭及
びセンサーを装着させ、滞留したオゾンを短時間で強制
的にパージさせる。 【解決手段】本発明では、オゾン発生器６に真空ポンプ
１１及び電磁弁９，１０，１２，１３を取付け、活性炭
１４及びセンサー１５も取付けることによって、短時間
でオゾンを強制的にパージをさせる。 【効果】本発明によれば、短時間でオゾン化空気量を強
制的にパージできるので、機器の不具合及びメンテナン
スが早期に着手が可能となり、又、パージさせる動力の
省エネが得られる。
びセンサーを装着させ、滞留したオゾンを短時間で強制
的にパージさせる。 【解決手段】本発明では、オゾン発生器６に真空ポンプ
１１及び電磁弁９，１０，１２，１３を取付け、活性炭
１４及びセンサー１５も取付けることによって、短時間
でオゾンを強制的にパージをさせる。 【効果】本発明によれば、短時間でオゾン化空気量を強
制的にパージできるので、機器の不具合及びメンテナン
スが早期に着手が可能となり、又、パージさせる動力の
省エネが得られる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、上下処理施設など
に用いるオゾン酸化反応プロセスを利用する装置で、特
に浄水処理プラントにおけるオゾン処理システムに関す
る。
に用いるオゾン酸化反応プロセスを利用する装置で、特
に浄水処理プラントにおけるオゾン処理システムに関す
る。
【０００２】
【従来の技術】オゾン発生器の用途は、特開昭55−3146
0 号公報のオゾンによる水処理装置などオゾンの酸化力
を利用して連続的にプロセス運転するオゾン発生器とし
て使われたり、下水処理，パルプ漂白処理等にも使われ
ている。一方、オゾン発生器の内部構造は、特開昭63−
114991号公報のオゾン発生法は、電極管の間隙に放電を
発生させ、そのところに空気や酸素を通過させてオゾン
を発生する方法が公知である。従来のオゾン発生停止後
のオゾンパージ方法は、オゾン発生器内に滞留したオゾ
ンを除去するため空気源ブロワ装置，空気冷却装置及び
空気乾燥装置（以下まとめて補機と呼ぶ）を運転させて
乾燥空気をオゾン発生器内に流し残留オゾンを排気する
が、連続排気しても残留オゾン濃度が０.０６ppm以下に
なるまで約２日と長時間かかり、その間無駄な電力を消
費することになる。
0 号公報のオゾンによる水処理装置などオゾンの酸化力
を利用して連続的にプロセス運転するオゾン発生器とし
て使われたり、下水処理，パルプ漂白処理等にも使われ
ている。一方、オゾン発生器の内部構造は、特開昭63−
114991号公報のオゾン発生法は、電極管の間隙に放電を
発生させ、そのところに空気や酸素を通過させてオゾン
を発生する方法が公知である。従来のオゾン発生停止後
のオゾンパージ方法は、オゾン発生器内に滞留したオゾ
ンを除去するため空気源ブロワ装置，空気冷却装置及び
空気乾燥装置（以下まとめて補機と呼ぶ）を運転させて
乾燥空気をオゾン発生器内に流し残留オゾンを排気する
が、連続排気しても残留オゾン濃度が０.０６ppm以下に
なるまで約２日と長時間かかり、その間無駄な電力を消
費することになる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従来のオゾン発生停止
後のオゾンパージ方法は、オゾン発生器に滞留したオゾ
ンを除去するため空気源ブロワ装置，空気冷却装置及び
空気乾燥装置（以下まとめて補機と呼ぶ）を運転させて
乾燥空気をオゾン発生器内に流し約２日かけてオゾンを
一掃させる。しかし故障発生時、例えばオゾン発生器が
停止してオゾン漏れが生じたり、空気源ブロワ装置が停
止してオゾンが溜まってしまう不具合が発生した場合、
なかなか早期に対策を着手できなかった。又、約２日連
続的にパージしなければならず、補機のエネルギー消費
量が多い問題もあった。
後のオゾンパージ方法は、オゾン発生器に滞留したオゾ
ンを除去するため空気源ブロワ装置，空気冷却装置及び
空気乾燥装置（以下まとめて補機と呼ぶ）を運転させて
乾燥空気をオゾン発生器内に流し約２日かけてオゾンを
一掃させる。しかし故障発生時、例えばオゾン発生器が
停止してオゾン漏れが生じたり、空気源ブロワ装置が停
止してオゾンが溜まってしまう不具合が発生した場合、
なかなか早期に対策を着手できなかった。又、約２日連
続的にパージしなければならず、補機のエネルギー消費
量が多い問題もあった。
【０００４】本発明の目的は、オゾン発生器，空気源ブ
ロワ装置の故障にもかかわらず短時間で強制的にオゾン
パージができ、又、従来のパージ方法と比較すると省エ
ネルギーが可能となるオゾン発生器及びその運転方法を
提供することにある。
ロワ装置の故障にもかかわらず短時間で強制的にオゾン
パージができ、又、従来のパージ方法と比較すると省エ
ネルギーが可能となるオゾン発生器及びその運転方法を
提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明のオゾン発生器及
びその運転方法は、オゾン発生器の下部に排出管を設
け、電磁弁，真空ポンプ，活性炭及びセンサーを取付け
ることで、オゾン発生器入口部と出口部の残留オゾンを
交互に振動させながら短時間で強制的に排気する。その
排気オゾンを活性炭で処理し、その処理オゾンが０.０
６ppm以下なら大気放出し、０.０６ppm以上なら再び活
性炭に戻す。又、オゾン発生器の下部に排出管を設けた
のは、オゾンは空気よりも重いからである。
びその運転方法は、オゾン発生器の下部に排出管を設
け、電磁弁，真空ポンプ，活性炭及びセンサーを取付け
ることで、オゾン発生器入口部と出口部の残留オゾンを
交互に振動させながら短時間で強制的に排気する。その
排気オゾンを活性炭で処理し、その処理オゾンが０.０
６ppm以下なら大気放出し、０.０６ppm以上なら再び活
性炭に戻す。又、オゾン発生器の下部に排出管を設けた
のは、オゾンは空気よりも重いからである。
【０００６】
【発明の実施の形態】本発明のオゾン発生器の構造につ
いて、図１〜図５により説明する。
いて、図１〜図５により説明する。
【０００７】図１は従来のオゾン発生機システムフロー
図である。空気源ブロワ装置１は、従来のオゾン発生に
必要な原料空気を圧縮（約１.１kg／cm2Ｇ）し、必要な
空気量を供給させる。空気源ブロワ装置１より出力され
た原料空気を空気冷却装置２により原料空気の温度を約
５℃程度まで低下させ、後段の空気乾燥装置３の負荷を
一定にさせ、乾燥能力を持続させる。空気乾燥装置３よ
り出力された空気を、乾燥空気露点温度を−６０℃以下
の乾燥空気の状態にさせる。これにより、オゾン発生器
６でのオゾン発生が効率的に行える。空気乾燥装置３
は、２塔の乾燥塔３ａ及び３ｂを交互に使用し、乾燥・
再生を繰り返し連続的に運転する。この繰り返し運転
は、２塔の乾燥塔３ａ及び３ｂに収納された吸着剤の性
能を維持させる為である。空気乾燥装置３から出力され
る乾燥空気の塵埃をアフタフィルタ４で除去して、清浄
な乾燥空気をオゾン発生器６に供給する。次にオゾンを
発生させる電源について説明する。電力変換装置５は、
オゾンを効率よく発生するために電源の商用周波数（５
０／６０Ｈｚ）を１ｋＨｚの高周波に変換させ、オゾン
発生効率の良い定電流形インバータを採用し、効率良い
オゾン発生を可能とさせる。インバータ盤５ａにより約
１ｋＨｚの高周波に変換された後、昇圧変圧器盤５ｂで
オゾン発生に適した電圧約７,０００Ｖ に昇圧させ、オ
ゾン発生器６にブッシング６ａ及びヒューズ６ｂを通し
て印加させる。
図である。空気源ブロワ装置１は、従来のオゾン発生に
必要な原料空気を圧縮（約１.１kg／cm2Ｇ）し、必要な
空気量を供給させる。空気源ブロワ装置１より出力され
た原料空気を空気冷却装置２により原料空気の温度を約
５℃程度まで低下させ、後段の空気乾燥装置３の負荷を
一定にさせ、乾燥能力を持続させる。空気乾燥装置３よ
り出力された空気を、乾燥空気露点温度を−６０℃以下
の乾燥空気の状態にさせる。これにより、オゾン発生器
６でのオゾン発生が効率的に行える。空気乾燥装置３
は、２塔の乾燥塔３ａ及び３ｂを交互に使用し、乾燥・
再生を繰り返し連続的に運転する。この繰り返し運転
は、２塔の乾燥塔３ａ及び３ｂに収納された吸着剤の性
能を維持させる為である。空気乾燥装置３から出力され
る乾燥空気の塵埃をアフタフィルタ４で除去して、清浄
な乾燥空気をオゾン発生器６に供給する。次にオゾンを
発生させる電源について説明する。電力変換装置５は、
オゾンを効率よく発生するために電源の商用周波数（５
０／６０Ｈｚ）を１ｋＨｚの高周波に変換させ、オゾン
発生効率の良い定電流形インバータを採用し、効率良い
オゾン発生を可能とさせる。インバータ盤５ａにより約
１ｋＨｚの高周波に変換された後、昇圧変圧器盤５ｂで
オゾン発生に適した電圧約７,０００Ｖ に昇圧させ、オ
ゾン発生器６にブッシング６ａ及びヒューズ６ｂを通し
て印加させる。
【０００８】図２は、本発明によるオゾン発生器の構造
図である。放電管６ｃと接地電極管６ｅからなり、両者
で形成される間隙に高電圧を印加し、グロー放電をさ
せ、この間隙に乾燥空気を通して空気中のＯ2 をＯ3 に
し、オゾンを生成させる。オゾン発生器６を連続運転後
に停止すると、放電管６ｃ内やオゾン発生器６内にオゾ
ンが残留してしまう。そこで、パージする方法として電
力変換装置５を停止させグロー放電を止め、空気源ブロ
ワ装置１からの原料空気を乾燥空気にしてオゾン発生器
６に供給し連続パージをさせると図３のように約４０時
間以上経ってから０.０６ppm以下となる。
図である。放電管６ｃと接地電極管６ｅからなり、両者
で形成される間隙に高電圧を印加し、グロー放電をさ
せ、この間隙に乾燥空気を通して空気中のＯ2 をＯ3 に
し、オゾンを生成させる。オゾン発生器６を連続運転後
に停止すると、放電管６ｃ内やオゾン発生器６内にオゾ
ンが残留してしまう。そこで、パージする方法として電
力変換装置５を停止させグロー放電を止め、空気源ブロ
ワ装置１からの原料空気を乾燥空気にしてオゾン発生器
６に供給し連続パージをさせると図３のように約４０時
間以上経ってから０.０６ppm以下となる。
【０００９】図３は、従来のパージ時間に対する出口オ
ゾン濃度の特性グラフ１７である。オゾン発生中のオゾ
ン濃度は約９３４０ppm（２０ｇ／Ｎｍ3）であり、グロ
ー放電を止め連続パージをすると段々とオゾン濃度は減
少するが０.０６ppm以下になるまでには約４０時間（約
２日）かかる。なぜなら、オゾン発生器内の放電管６ｃ
は片方が閉空間の構造となっているため、放電管６ｃ内
に入り込んでいるオゾンが乾燥空気と置換されるのに時
間がかかるためである。実験結果では、約４０時間連続
パージをしないと０.０６ppm以下にはならない事が判明
した。もし、オゾン発生器６が故障停止してオゾン漏れ
が生じたり、空気源ブロワ装置１が故障停止してオゾン
が溜まってしまう不具合が生じると、早期対策に着手で
きない。なぜなら、オゾン発生器６内にオゾンが滞留し
たまま開閉扉６ｄを開けてしまうと、オゾンは高濃度で
は有毒であり人体に影響を及ぼす。本発明では、オゾン
発生器内に溜まっているオゾンを真空ポンプ１１で真空
引きを行い短時間で強制的にパージさせ、早期に対策を
着手することが可能となる。
ゾン濃度の特性グラフ１７である。オゾン発生中のオゾ
ン濃度は約９３４０ppm（２０ｇ／Ｎｍ3）であり、グロ
ー放電を止め連続パージをすると段々とオゾン濃度は減
少するが０.０６ppm以下になるまでには約４０時間（約
２日）かかる。なぜなら、オゾン発生器内の放電管６ｃ
は片方が閉空間の構造となっているため、放電管６ｃ内
に入り込んでいるオゾンが乾燥空気と置換されるのに時
間がかかるためである。実験結果では、約４０時間連続
パージをしないと０.０６ppm以下にはならない事が判明
した。もし、オゾン発生器６が故障停止してオゾン漏れ
が生じたり、空気源ブロワ装置１が故障停止してオゾン
が溜まってしまう不具合が生じると、早期対策に着手で
きない。なぜなら、オゾン発生器６内にオゾンが滞留し
たまま開閉扉６ｄを開けてしまうと、オゾンは高濃度で
は有毒であり人体に影響を及ぼす。本発明では、オゾン
発生器内に溜まっているオゾンを真空ポンプ１１で真空
引きを行い短時間で強制的にパージさせ、早期に対策を
着手することが可能となる。
【００１０】図４は、時系列による各弁及びポンプの動
作１８を示す。以下に手順を示す。 オゾン発生器の入口電動弁（Ｍ１）７及び出口電動
弁（Ｍ２）８を閉にする。
作１８を示す。以下に手順を示す。 オゾン発生器の入口電動弁（Ｍ１）７及び出口電動
弁（Ｍ２）８を閉にする。
【００１１】 オゾン発生器内の残留オゾンを除去す
るため、電磁弁（Ｓ１）９を開及び真空ポンプ（Ｐ）１
１を運転させ、電磁弁（Ｓ３）１２を開にし、大気放出
させる。
るため、電磁弁（Ｓ１）９を開及び真空ポンプ（Ｐ）１
１を運転させ、電磁弁（Ｓ３）１２を開にし、大気放出
させる。
【００１２】 電磁弁（Ｓ２）１０を開にし、オゾン
発生器内に空気を送り込み、大気圧と同じにさせる。
発生器内に空気を送り込み、大気圧と同じにさせる。
【００１３】 次に電磁弁（Ｓ２）１０を閉にし、電
磁弁（Ｓ１）９を開及び真空ポンプ（Ｐ）１１を運転さ
せ、オゾン発生器内の残留オゾンを除去し、電磁弁（Ｓ
４）１３を開にし、大気放出させる。
磁弁（Ｓ１）９を開及び真空ポンプ（Ｐ）１１を運転さ
せ、オゾン発生器内の残留オゾンを除去し、電磁弁（Ｓ
４）１３を開にし、大気放出させる。
【００１４】オゾン発生器内オゾン濃度が０.０６ppm以
下になるまで〜を繰り返す。
下になるまで〜を繰り返す。
【００１５】活性炭１４は高濃度オゾンが通過しても
０.０６ppm以下になるような量に設計するが、活性炭１
４の寿命等でオゾンが０.０６ppm以上の場合でも本発明
では′の動きで対応できる。′より０.０６ppm以
上ならば大気放出させず、電磁弁（Ｓ４）１３は閉に
し、電磁弁（Ｓ３）１２を開及び真空ポンプ（Ｐ）１１
を運転させ、循環させる。
０.０６ppm以下になるような量に設計するが、活性炭１
４の寿命等でオゾンが０.０６ppm以上の場合でも本発明
では′の動きで対応できる。′より０.０６ppm以
上ならば大気放出させず、電磁弁（Ｓ４）１３は閉に
し、電磁弁（Ｓ３）１２を開及び真空ポンプ（Ｐ）１１
を運転させ、循環させる。
【００１６】これらは、制御装置１６により設定させ制
御する。
御する。
【００１７】図５は、改善後のパージ時間に対する出口
オゾン濃度(ppm）の特性グラフである。オゾン発生中の
オゾン濃度は図３と同じく約９３４０ppm（２０ｇ／Ｎ
ｍ3）であるが、グロー放電を止め、連続パージするに
あたって、真空ポンプを用い振動を与えながら残留オゾ
ンを真空引きすることによって約３０分で０.０６ppm以
下となった。
オゾン濃度(ppm）の特性グラフである。オゾン発生中の
オゾン濃度は図３と同じく約９３４０ppm（２０ｇ／Ｎ
ｍ3）であるが、グロー放電を止め、連続パージするに
あたって、真空ポンプを用い振動を与えながら残留オゾ
ンを真空引きすることによって約３０分で０.０６ppm以
下となった。
【００１８】
【発明の効果】本発明によれば、次の効果が得られる。
【００１９】(1）オゾン発生器に真空ポンプを取付ける
ことによって、オゾンを真空引きによって強制的にパー
ジを行い、短時間（約３０分）でオゾン濃度を０.０６p
pm以下まで下げられる。
ことによって、オゾンを真空引きによって強制的にパー
ジを行い、短時間（約３０分）でオゾン濃度を０.０６p
pm以下まで下げられる。
【００２０】(2）従来のパージ方法では、連続的に長時
間（約２日）空気源ブロワ装置・空気冷却装置及び空気
乾燥装置を動作させるためエネルギー消費量が多かった
が、オゾン発生器に真空ポンプを取付けることによっ
て、従来と比較するとエネルギー消費量が少なくて済
む。
間（約２日）空気源ブロワ装置・空気冷却装置及び空気
乾燥装置を動作させるためエネルギー消費量が多かった
が、オゾン発生器に真空ポンプを取付けることによっ
て、従来と比較するとエネルギー消費量が少なくて済
む。
【００２１】(3）オゾン発生器に真空ポンプを取付ける
ことによって、オゾンを真空引きによって強制的にパー
ジを行い、短時間でオゾン濃度を０.０６ppm以下まで下
げられるので、不具合及びメンテナンスが早期に着手す
ることが可能となる。
ことによって、オゾンを真空引きによって強制的にパー
ジを行い、短時間でオゾン濃度を０.０６ppm以下まで下
げられるので、不具合及びメンテナンスが早期に着手す
ることが可能となる。
【図１】従来のオゾン発生機システムフロー図である。
【図２】本発明によるオゾン発生器の構造図である。
【図３】従来のパージ時間に対する出口オゾン濃度の特
性グラフである。
性グラフである。
【図４】時系列による各弁及びポンプの動作である。
【図５】改善後のパージ時間に対する出口オゾン濃度の
特性グラフである。
特性グラフである。
１…空気源ブロワ装置、２…空気冷却装置、３…空気乾
燥装置、３ａ…乾燥塔Ａ、３ｂ…乾燥塔Ｂ、４…アフタ
フィルタ、５…電力変換装置、５ａ…インバータ盤、５
ｂ…昇圧変圧器盤、６…オゾン発生器、６ａ…ブッシン
グ、６ｂ…ヒューズ、６ｃ…放電管、６ｄ…開閉扉、６
ｅ…接地電極管、７…入口電動弁(Ｍ１)、８…出口電動
弁（Ｍ２）、９…電磁弁（Ｓ１）、１０…電磁弁（Ｓ
２）、１１…真空ポンプ（Ｐ）、１２…電磁弁（Ｓ
３）、１３…電磁弁（Ｓ４）、１４…活性炭、１５…セ
ンサー、１６…制御装置、１７…従来のパージ時間に対
する出口オゾン濃度特性グラフ、１８…時系列による各
弁及びポンプの動作、１９…改善後のパージ時間に対す
る出口オゾン濃度特性グラフ。
燥装置、３ａ…乾燥塔Ａ、３ｂ…乾燥塔Ｂ、４…アフタ
フィルタ、５…電力変換装置、５ａ…インバータ盤、５
ｂ…昇圧変圧器盤、６…オゾン発生器、６ａ…ブッシン
グ、６ｂ…ヒューズ、６ｃ…放電管、６ｄ…開閉扉、６
ｅ…接地電極管、７…入口電動弁(Ｍ１)、８…出口電動
弁（Ｍ２）、９…電磁弁（Ｓ１）、１０…電磁弁（Ｓ
２）、１１…真空ポンプ（Ｐ）、１２…電磁弁（Ｓ
３）、１３…電磁弁（Ｓ４）、１４…活性炭、１５…セ
ンサー、１６…制御装置、１７…従来のパージ時間に対
する出口オゾン濃度特性グラフ、１８…時系列による各
弁及びポンプの動作、１９…改善後のパージ時間に対す
る出口オゾン濃度特性グラフ。
フロントページの続き (72)発明者 山下 正幸 茨城県日立市国分町一丁目１番１号 株式 会社日立製作所国分工場内 (72)発明者 塩野 繁男 茨城県日立市国分町一丁目１番１号 株式 会社日立製作所国分工場内
Claims (4)
- 【請求項１】原料ガス供給装置からの原料ガスをオゾン
化ガスにするオゾン発生器において、該オゾン発生器の
下部に排出管を設け、電磁弁，真空ポンプ，活性炭及び
センサーを取付け、オゾン発生器の入口部と出口部の残
留オゾンを交互に振動させながら強制的に排気すること
を特徴とするオゾン発生器。 - 【請求項２】原料ガス供給装置からの原料ガスをオゾン
化ガスにするオゾン発生器において、真空ポンプ及び活
性炭の後にセンサーを取付け、該センサーによるオゾン
濃度によって、大気に直接排気するか又は再び活性炭に
戻すかを制御する制御機構を有することを特徴とするオ
ゾン発生器。 - 【請求項３】原料ガス供給装置からの原料ガスをオゾン
化ガスにするオゾン発生器の運転方法において、該オゾ
ン発生器に真空ポンプを取付け、該オゾン発生器の残留
オゾンを振動させながら排気することを特徴とするオゾ
ン発生器の運転方法。 - 【請求項４】請求項３に記載のオゾン発生器の運転方法
において、該真空ポンプの後に活性炭を取付け、該真空
ポンプにより排気されたオゾンを活性炭で処理し、該オ
ゾンの濃度が０.０６ppm 以下の場合に大気に開放し、
０.０６ppm 以上の場合に再び活性炭に戻すことを特徴
とするオゾン発生器の運転方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26327797A JPH11100202A (ja) | 1997-09-29 | 1997-09-29 | オゾン発生器及びその運転方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26327797A JPH11100202A (ja) | 1997-09-29 | 1997-09-29 | オゾン発生器及びその運転方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11100202A true JPH11100202A (ja) | 1999-04-13 |
Family
ID=17387237
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26327797A Pending JPH11100202A (ja) | 1997-09-29 | 1997-09-29 | オゾン発生器及びその運転方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11100202A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010042331A (ja) * | 2008-08-11 | 2010-02-25 | Kyuchaku Gijutsu Kogyo Kk | 圧力スイング吸着法によるオゾン製造装置を搭載したバラスト水処理装置 |
| JP2018054619A (ja) * | 2014-08-15 | 2018-04-05 | カウンシル，インコーポレーテッド | ハイスループット試料処理システムおよび使用方法 |
-
1997
- 1997-09-29 JP JP26327797A patent/JPH11100202A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010042331A (ja) * | 2008-08-11 | 2010-02-25 | Kyuchaku Gijutsu Kogyo Kk | 圧力スイング吸着法によるオゾン製造装置を搭載したバラスト水処理装置 |
| JP2018054619A (ja) * | 2014-08-15 | 2018-04-05 | カウンシル，インコーポレーテッド | ハイスループット試料処理システムおよび使用方法 |
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