JPH1078391A - Surface plasmon sensor - Google Patents
Surface plasmon sensorInfo
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- JPH1078391A JPH1078391A JP8233867A JP23386796A JPH1078391A JP H1078391 A JPH1078391 A JP H1078391A JP 8233867 A JP8233867 A JP 8233867A JP 23386796 A JP23386796 A JP 23386796A JP H1078391 A JPH1078391 A JP H1078391A
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- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、表面プラズモンの
発生を利用して試料中の物質を定量分析する表面プラズ
モンセンサーに関し、特に詳細には、試料中の物質に関
する2次元の物性情報を測定できるようにした表面プラ
ズモンセンサーに関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a surface plasmon sensor for quantitatively analyzing a substance in a sample by utilizing the generation of surface plasmons, and more particularly, it can measure two-dimensional physical property information on a substance in a sample. And a surface plasmon sensor as described above.
【0002】[0002]
【従来の技術】金属中においては、自由電子が集団的に
振動して、プラズマ波と呼ばれる粗密波が生じる。そし
て、金属表面に生じるこの粗密波を量子化したものは、
表面プラズモンと呼ばれている。2. Description of the Related Art In a metal, free electrons vibrate collectively to generate a compression wave called a plasma wave. And, the quantization of this compression wave generated on the metal surface is
It is called surface plasmon.
【0003】従来より、この表面プラズモンが光波によ
って励起される現象を利用して、試料中の物質を定量分
析する表面プラズモンセンサーが種々提案されている。
そして、それらの中で特に良く知られているものとし
て、 Kretschmann配置と称される系を用いるものが挙げ
られる(例えば特開平6−167443号参照)。Conventionally, various surface plasmon sensors for quantitatively analyzing a substance in a sample by utilizing the phenomenon that surface plasmons are excited by light waves have been proposed.
Among them, a particularly well-known one uses a system called a Kretschmann configuration (see, for example, JP-A-6-167443).
【0004】上記の系を用いる従来の表面プラズモンセ
ンサーは基本的に、プリズムと、このプリズムの一面に
形成されて試料に接触させられる金属膜と、光ビームを
発生させる光源と、上記光ビームをプリズムに通し、該
プリズムと金属膜との界面に対して種々の入射角が得ら
れるように入射させる光学系と、上記の界面で全反射し
た光ビームの強度を種々の入射角毎に検出可能な光検出
手段とを備えてなるものである。A conventional surface plasmon sensor using the above system basically includes a prism, a metal film formed on one surface of the prism and brought into contact with a sample, a light source for generating a light beam, and a light source for generating the light beam. An optical system that passes through the prism and enters the interface between the prism and the metal film so that various angles of incidence can be obtained, and the intensity of the light beam totally reflected at the interface can be detected at various angles of incidence And light detecting means.
【0005】なお上述のように種々の入射角を得るため
には、比較的細い光ビームを偏向させて上記界面に入射
させてもよいし、あるいは光ビームに種々の角度で入射
する成分が含まれるように、比較的太い光ビームを上記
界面で集束するように入射させてもよい。前者の場合
は、光ビームの偏向にともなって出射角が変化する光ビ
ームを、光ビームの偏向に同期移動する小さな光検出器
によって検出したり、出射角の変化方向に沿って延びる
エリアセンサによって検出することができる。一方後者
の場合は、種々の出射角で出射した各光ビームを全て受
光できる方向に延びるエリアセンサによって検出するこ
とができる。In order to obtain various angles of incidence as described above, a relatively narrow light beam may be deflected and incident on the interface, or a component which is incident on the light beam at various angles may be included. As described above, a relatively thick light beam may be incident so as to be focused at the interface. In the former case, the light beam whose emission angle changes with the deflection of the light beam is detected by a small photodetector that moves synchronously with the deflection of the light beam, or by an area sensor extending along the change direction of the emission angle. Can be detected. On the other hand, the latter case can be detected by an area sensor extending in a direction in which all light beams emitted at various emission angles can be received.
【0006】上記構成の表面プラズモンセンサーにおい
て、P偏光(センサー面に垂直な偏光成分)の光ビーム
を金属膜に対して全反射角以上の特定入射角θSPで入射
させると、該金属膜に接している試料中に電界分布をも
つエバネッセント波が生じ、このエバネッセント波によ
って金属膜と試料との界面に表面プラズモンが励起され
る。エバネッセント光の波数ベクトルが表面プラズモン
の波数と等しくて波数整合が成立すると、両者は共鳴状
態となり、光のエネルギーが表面プラズモンに移行する
ので、プリズムと金属膜との界面で全反射する光の強度
が鋭く低下する。In the surface plasmon sensor having the above-mentioned structure, when a light beam of P-polarized light (polarized light component perpendicular to the sensor surface) is incident on the metal film at a specific incident angle θ SP equal to or larger than the total reflection angle, the metal film is An evanescent wave having an electric field distribution is generated in the sample in contact with the surface, and the evanescent wave excites surface plasmons at the interface between the metal film and the sample. When the wave number vector of the evanescent light is equal to the wave number of the surface plasmon and the wave number matching is established, the two are in a resonance state, and the light energy is transferred to the surface plasmon, so the intensity of the light totally reflected at the interface between the prism and the metal film Drops sharply.
【0007】この現象が生じる入射角θSPより表面プラ
ズモンの波数が分かると、試料の誘電率が求められる。
すなわち表面プラズモンの波数をKSP、表面プラズモン
の角周波数をω、cを真空中の光速、εm とεs をそれ
ぞれ金属、試料の誘電率とすると、以下の関係がある。When the wave number of the surface plasmon is known from the incident angle θ SP at which this phenomenon occurs, the dielectric constant of the sample can be obtained.
That is, when the wave number of the surface plasmon is K SP , the angular frequency of the surface plasmon is ω, c is the speed of light in vacuum, ε m and ε s are metal and the dielectric constant of the sample, respectively, the following relationship is obtained.
【0008】[0008]
【数1】 (Equation 1)
【0009】試料の誘電率εs が分かれば、所定の較正
曲線等に基づいて試料中の特定物質の濃度が分かるの
で、結局、上記反射光強度が低下する入射角(全反射解
消角)θSPを知ることにより、試料中の特定物質を定量
分析することができる。If the dielectric constant ε s of the sample is known, the concentration of the specific substance in the sample can be determined based on a predetermined calibration curve or the like, and eventually, the incident angle (the angle of elimination of total reflection) θ at which the reflected light intensity decreases. Knowing the SP enables quantitative analysis of a specific substance in the sample.
【0010】[0010]
【発明が解決しようとする課題】ところで、試料中の物
質を分析する場合、その2次元的な物性情報を得たいこ
ともある。しかし、上述した従来の表面プラズモンセン
サーでは、試料中の物質の2次元的な物性情報を得るこ
とは困難となっていた。つまり2次元的な物性情報を得
ようとして、光ビームを、プリズムと金属膜との界面に
おいて2次元的に走査させると、プリズム内の光ビーム
の光路長が変化し、そのために、例えば上記界面にある
べき光ビームの収束点位置が変動する等して、正しい分
析ができなくなることがある。When analyzing a substance in a sample, it is sometimes necessary to obtain two-dimensional physical property information. However, with the above-described conventional surface plasmon sensor, it has been difficult to obtain two-dimensional physical property information of a substance in a sample. That is, when the light beam is two-dimensionally scanned at the interface between the prism and the metal film in order to obtain two-dimensional physical property information, the optical path length of the light beam in the prism changes, and, for example, In some cases, correct analysis cannot be performed due to a change in the position of the convergence point of the light beam that should be present.
【0011】本発明は上記の事情に鑑みてなされたもの
であり、試料中の物質に関する2次元の物性情報を測定
することができる表面プラズモンセンサーを提供するこ
とを目的とする。The present invention has been made in view of the above circumstances, and has as its object to provide a surface plasmon sensor capable of measuring two-dimensional physical property information on a substance in a sample.
【0012】[0012]
【課題を解決するための手段】本発明による表面プラズ
モンセンサーは、従来の表面プラズモンセンサーで用い
られていたプリズムに代えて均一な厚さの透明基板を用
い、この透明基板の一表面に金属膜を形成する一方、こ
の一表面と対面する他表面上に、それぞれ2次元的に広
がる光入力手段および光出力手段を形成し、この光入力
手段に入射する光ビームを光走査手段により、該光入力
手段の広がり方向に2次元的に走査させ、そして透明基
板と金属膜との界面で全反射して光出力手段から透明基
板外に出射した光ビームを、光検出手段によって検出す
るようにしたものである。According to the surface plasmon sensor of the present invention, a transparent substrate having a uniform thickness is used in place of the prism used in the conventional surface plasmon sensor, and a metal film is formed on one surface of the transparent substrate. On the other surface facing the one surface, a light input means and a light output means which are respectively spread two-dimensionally are formed, and the light beam incident on the light input means is scanned by the light scanning means to form the light beam. The light beam is made to scan two-dimensionally in the spreading direction of the input means, and the light beam emitted from the light output means to the outside of the transparent substrate after being totally reflected at the interface between the transparent substrate and the metal film is detected by the light detection means. Things.
【0013】なお上述のように2次元的に広がる光入力
手段や光出力手段としては、例えばグレーティング(回
折格子)を好適に用いることができる。As the light input means and light output means which spread two-dimensionally as described above, for example, a grating (diffraction grating) can be suitably used.
【0014】[0014]
【発明の効果】上記構成を有する本発明の表面プラズモ
ンセンサーにおいて、金属膜に接触している試料は、従
来の表面プラズモンセンサーにおけるのと同様の仕組み
で分析され得る。According to the surface plasmon sensor of the present invention having the above structure, the sample in contact with the metal film can be analyzed by the same mechanism as in the conventional surface plasmon sensor.
【0015】そして、光入力手段に入射する光ビームを
上記のように走査させると、透明基板と金属膜との界面
において光ビームが2次元的に走査する。そこで、この
界面で全反射して光出力手段から透明基板外に出射した
光ビームを光検出手段によって検出すれば、該光検出手
段から、金属膜と接触している試料中の物質の2次元的
な物性情報を示す信号が得られるようになる。When the light beam incident on the light input means is scanned as described above, the light beam scans two-dimensionally at the interface between the transparent substrate and the metal film. Therefore, if a light beam totally reflected at the interface and emitted from the light output means to the outside of the transparent substrate is detected by the light detection means, the two-dimensional material of the sample in contact with the metal film is detected from the light detection means. A signal indicating physical property information can be obtained.
【0016】また光ビームの2次元走査は、光入力手段
の広がり方向つまり透明基板表面に平行な方向になされ
る一方、透明基板の厚さは均一であるから、この2次元
走査がなされても透明基板内の光ビームの光路長が変化
することはない。したがって、この光路長の変化のため
に分析が阻害されることがない。The two-dimensional scanning of the light beam is performed in the direction in which the light input means spreads, that is, in a direction parallel to the surface of the transparent substrate. On the other hand, since the thickness of the transparent substrate is uniform, even if the two-dimensional scanning is performed. The optical path length of the light beam in the transparent substrate does not change. Therefore, the analysis is not hindered by the change in the optical path length.
【0017】[0017]
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態を詳細に説明する。図1は、本発明の第1の実
施形態である表面プラズモンセンサーの側面形状を示す
ものであり、また図2はその分解斜視図である。図示さ
れるようにこの表面プラズモンセンサーは、例えばガラ
スからなる均一な厚さの透明基板10と、この透明基板10
の一表面(図中の上表面)に形成されて、試料11に接触
させられる例えば金、銀等からなる金属膜12と、1本の
細い光ビーム13を発生させる半導体レーザー等からなる
光源14とを備えている。Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings. FIG. 1 shows a side surface shape of a surface plasmon sensor according to a first embodiment of the present invention, and FIG. 2 is an exploded perspective view thereof. As shown, the surface plasmon sensor includes a transparent substrate 10 having a uniform thickness, for example, made of glass,
A metal film 12 made of, for example, gold, silver or the like formed on one surface (upper surface in the figure) and brought into contact with the sample 11 and a light source 14 made of a semiconductor laser or the like for generating one thin light beam 13 And
【0018】上記透明基板10の他表面つまり図中の下表
面には、それぞれ該表面に沿って2次元的に広がる光入
力用グレーティング(回折格子)15、および光出力用グ
レーティング16が形成されている。一方光源14は、所定
の向きにしてXYスキャナステージ17に固定されてい
る。またこのXYスキャナステージ17には、例えばフォ
トダイオード等の光検出手段18が所定の向きにして固定
されている。On the other surface of the transparent substrate 10, that is, on the lower surface in the figure, a light input grating (diffraction grating) 15 and a light output grating 16 extending two-dimensionally along the surface are formed. I have. On the other hand, the light source 14 is fixed to the XY scanner stage 17 in a predetermined direction. On the XY scanner stage 17, a light detecting means 18 such as a photodiode is fixed in a predetermined direction.
【0019】上記XYスキャナステージ17はドライバ20
によって駆動され、透明基板10の表面と平行な面内で、
該基板10の縦横方向(XY方向)に移動する。一方、光
検出手段18が出力する光検出信号Sは、増幅器21によっ
て増幅された後、A/D変換器22によってデジタル化さ
れ、例えばコンピュータシステムからなるデータ処理お
よび制御部23に入力される。上述したドライバ20の作動
は、このデータ処理および制御部23によって制御され
る。またこのデータ処理および制御部23には、CRT表
示装置等からなる画像表示手段24が接続されている。The XY scanner stage 17 includes a driver 20
Driven by, in a plane parallel to the surface of the transparent substrate 10,
The substrate 10 moves in the vertical and horizontal directions (XY directions). On the other hand, the photodetection signal S output from the photodetection means 18 is amplified by an amplifier 21, digitized by an A / D converter 22, and input to a data processing and control unit 23 composed of, for example, a computer system. The operation of the driver 20 described above is controlled by the data processing and control unit 23. The data processing and control unit 23 is connected to an image display means 24 such as a CRT display device.
【0020】例えば電気泳動に用いられたゲルシート等
の試料11は、分析に際して金属膜12の上に載置される。
そしてP偏光に設定された光ビーム13が、光入力用グレ
ーティング15に対して所定の入射角で入射せしめられ
る。この光ビーム13は光入力用グレーティング15で回折
して透明基板10内に入射し、透明基板10と金属膜12との
界面10aに入射する。光ビーム13はこの界面10aで全反
射し、光出力用グレーティング16に入射してそこで回折
し、透明基板10外に出射する。出射した光ビーム13は、
光検出手段18によって検出される。For example, a sample 11 such as a gel sheet used for electrophoresis is placed on a metal film 12 at the time of analysis.
Then, the light beam 13 set to P-polarized light is made incident on the light input grating 15 at a predetermined incident angle. The light beam 13 is diffracted by the light input grating 15 and is incident on the transparent substrate 10, and is incident on the interface 10 a between the transparent substrate 10 and the metal film 12. The light beam 13 is totally reflected at the interface 10a, enters the light output grating 16, diffracts there, and exits the transparent substrate 10. The emitted light beam 13 is
The light is detected by the light detecting means 18.
【0021】この光ビーム13の強度を光検出手段18で測
定すれば、そこから出力される光検出信号Sに基づい
て、試料11中にあって金属膜12に接している分析対象物
質30を検出、分析することができる。本実施形態では具
体的に、以下のようにして分析がなされる。When the intensity of the light beam 13 is measured by the light detecting means 18, based on the light detection signal S output from the light detecting means 18, the substance 30 in the sample 11 and in contact with the metal film 12 is detected. Can be detected and analyzed. In the present embodiment, the analysis is specifically performed as follows.
【0022】光ビーム13の界面10aに対する入射角θ
と、光検出手段18が出力する光検出信号Sの強度(全反
射した光ビーム13の強度)との関係は、概ね図3に示す
ようなものとなる。つまり、ある特定の入射角θSPで入
射した光ビーム13は、金属膜12と試料11との界面に表面
プラズモンを励起させるので、このときは反射光強度が
鋭く低下する。この入射角(全反射解消角)θSPが分か
れば、それに基づいて試料11中の物質30を定量分析する
ことができるが、本例ではこの全反射解消角θSPを間接
的に求めるようにしている。The incident angle θ of the light beam 13 with respect to the interface 10a
The relationship between the intensity of the light detection signal S output from the light detection means 18 (the intensity of the light beam 13 totally reflected) is substantially as shown in FIG. That is, the light beam 13 incident at a specific incident angle θ SP excites surface plasmons at the interface between the metal film 12 and the sample 11, so that the intensity of the reflected light sharply decreases at this time. If the incident angle (the angle of total reflection elimination) θ SP is known, the substance 30 in the sample 11 can be quantitatively analyzed based on the angle. In this example, the total reflection elimination angle θ SP is obtained indirectly. ing.
【0023】すなわちここでは、光ビーム13の入射角θ
が、上記全反射解消角θSPよりも小さい一定の角度θS
に設定されている。そして入射角がθS であるときの光
検出信号Sの強度IS は、全反射解消角θSPの値に応じ
て変化するから、この信号強度IS に基づいて全反射解
消角θSPを知り、試料11中の物質30を定量分析すること
ができる。That is, here, the incident angle θ of the light beam 13
Is a constant angle θ S smaller than the total reflection elimination angle θ SP
Is set to The intensity I S of the light detection signal S when the incident angle is theta S, since changes in accordance with the value of total reflection eliminated angle theta SP, the total reflection eliminate angle theta SP on the basis of the signal intensity I S Knowing that, the substance 30 in the sample 11 can be quantitatively analyzed.
【0024】また本装置では、XYスキャナステージ17
がXY方向に移動することにより、光ビーム13が光入力
用グレーティング15の広がり方向に2次元的に移動し、
上記界面10a上を2次元走査する。そこで、この走査が
なされている際に光検出手段18から連続的に出力される
光検出信号Sは、試料11において分布している分析対象
物質30の2次元物性情報を示すものとなる。したがっ
て、この光検出信号Sを前述のようにデジタル化した
後、データ処理および制御部23において所定のデータ処
理を施せば、該光検出信号Sに基づいて上記2次元の物
性情報を画像化し、画像表示手段24に表示可能となる。In this apparatus, the XY scanner stage 17
Move in the XY directions, the light beam 13 moves two-dimensionally in the spreading direction of the light input grating 15,
Two-dimensional scanning is performed on the interface 10a. Therefore, the light detection signal S continuously output from the light detection means 18 during this scanning indicates two-dimensional physical property information of the analysis target substance 30 distributed in the sample 11. Therefore, after the light detection signal S is digitized as described above, if predetermined data processing is performed in the data processing and control unit 23, the two-dimensional physical property information is imaged based on the light detection signal S, The image can be displayed on the image display means 24.
【0025】ここで、光ビーム13の2次元走査は透明基
板10の表面に平行な方向になされ、この透明基板10の厚
さは均一であるから、この2次元走査がなされても、透
明基板10内の光ビーム13の光路長が変化することはな
い。したがって、この光路長の変化のために正しい分析
が妨げられることはない。Here, the two-dimensional scanning of the light beam 13 is performed in a direction parallel to the surface of the transparent substrate 10, and the thickness of the transparent substrate 10 is uniform. The optical path length of the light beam 13 in 10 does not change. Therefore, correct analysis is not hindered by this change in optical path length.
【0026】なお光ビーム13を走査させるためには、上
述のようにする他、光源14および光検出手段18は固定し
ておいて、透明基板10側を移動させるようにしてもよ
い。In order to scan the light beam 13, in addition to the above, the light source 14 and the light detecting means 18 may be fixed and the transparent substrate 10 may be moved.
【0027】また図4に示すように、金属膜12に複数の
領域12a、12a、12a……を設定し、各領域に互いに異
なる機能薄膜を形成しておくことにより、それぞれの領
域で相異なる免疫反応等を引き起こして、各領域毎に分
析を行なうこともできる。As shown in FIG. 4, a plurality of regions 12a, 12a, 12a... Are set in the metal film 12 and different functional thin films are formed in each region, so that each region has a different function. An analysis can be performed for each region by causing an immune reaction or the like.
【0028】さらには図5に示す第2実施形態のよう
に、光源14から出射した光ビーム13を発散光にするレン
ズ32と、この光ビーム13を紙面に平行な面内のみで収束
させるシリンドリカルレンズ33とで構成される光学系を
設けて、光ビーム13に、種々の入射角で界面10aに入射
する成分が含まれるようにしてもよい。その場合は、界
面10aから種々の出射角で出射した各光ビーム13を受光
できる方向に延びるCCDや、フォトダイオードアレ
イ、2分割フォトダイオード等を光検出手段18として用
いて、その出力に基づいて前述の全反射解消角θSPを検
出すればよい。Further, as in the second embodiment shown in FIG. 5, a lens 32 for converting the light beam 13 emitted from the light source 14 into divergent light, and a cylindrical lens for converging the light beam 13 only in a plane parallel to the paper surface. An optical system including the lens 33 may be provided so that the light beam 13 includes components incident on the interface 10a at various incident angles. In that case, a CCD or a photodiode array extending in a direction in which each light beam 13 emitted from the interface 10a at various emission angles can be received, a photodiode array, a two-division photodiode, or the like is used as the light detection means 18 and based on the output thereof. What is necessary is just to detect the total reflection elimination angle θ SP described above.
【図1】本発明の第1の実施形態である表面プラズモン
センサーの側面図FIG. 1 is a side view of a surface plasmon sensor according to a first embodiment of the present invention.
【図2】上記表面プラズモンセンサーの分解斜視図FIG. 2 is an exploded perspective view of the surface plasmon sensor.
【図3】表面プラズモンセンサーにおける、透明基板と
金属膜との界面への光ビーム入射角と全反射光強度との
概略関係を示すグラフFIG. 3 is a graph showing a schematic relationship between an incident angle of a light beam on an interface between a transparent substrate and a metal film and a total reflection light intensity in a surface plasmon sensor.
【図4】本発明の表面プラズモンセンサーにおける金属
膜の別の例を示す斜視図FIG. 4 is a perspective view showing another example of the metal film in the surface plasmon sensor of the present invention.
【図5】本発明の第2の実施形態の一部を示す側面図FIG. 5 is a side view showing a part of the second embodiment of the present invention.
10 透明基板 10a 透明基板と金属膜との界面 11 試料 12 金属膜 13 光ビーム 14 光源 15 光入力用グレーティング 16 光出力用グレーティング 17 XYスキャナステージ 18 光検出手段 20 ドライバ 21 増幅器 22 A/D変換器 23 データ処理および制御部 24 画像表示手段 30 分析対象物質 32 レンズ 33 シリンドリカルレンズ 10 Transparent substrate 10a Interface between transparent substrate and metal film 11 Sample 12 Metal film 13 Light beam 14 Light source 15 Light input grating 16 Light output grating 17 XY scanner stage 18 Light detection means 20 Driver 21 Amplifier 22 A / D converter 23 Data processing and control unit 24 Image display means 30 Analyte 32 Lens 33 Cylindrical lens
Claims (2)
る金属膜と、 光ビームを発生させる光源と、 前記一表面と対面する透明基板の他表面上において2次
元的に広がり、照射された前記光ビームを該透明基板と
前記金属膜との界面に導く光入力手段と、 前記他表面上において2次元的に広がり、前記界面で全
反射した光ビームを前記透明基板外に出射させる光出力
手段と、 前記透明基板外に出射した光ビームの強度を検出する光
検出手段と、 前記光入力手段に入射する光ビームを、該光入力手段の
広がり方向に2次元的に走査させる光走査手段とを備え
てなる表面プラズモンセンサー。1. A transparent substrate having a uniform thickness, a metal film formed on one surface of the transparent substrate and brought into contact with a sample, a light source for generating a light beam, and a transparent substrate facing the one surface. A light input unit that spreads two-dimensionally on another surface and guides the irradiated light beam to an interface between the transparent substrate and the metal film; and two-dimensionally spreads on the other surface and totally reflects at the interface. Light output means for emitting the light beam emitted out of the transparent substrate; light detection means for detecting the intensity of the light beam emitted out of the transparent substrate; and light input means for inputting the light beam incident on the light input means. A surface scanning plasmon sensor comprising: a light scanning unit for performing two-dimensional scanning in a spreading direction of the object.
ーティングからなることを特徴とする請求項1記載の表
面プラズモンセンサー。2. The surface plasmon sensor according to claim 1, wherein said light input means or light output means comprises a grating.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8233867A JPH1078391A (en) | 1996-09-04 | 1996-09-04 | Surface plasmon sensor |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8233867A JPH1078391A (en) | 1996-09-04 | 1996-09-04 | Surface plasmon sensor |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH1078391A true JPH1078391A (en) | 1998-03-24 |
Family
ID=16961821
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP8233867A Pending JPH1078391A (en) | 1996-09-04 | 1996-09-04 | Surface plasmon sensor |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH1078391A (en) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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