JPH10511317A - 精密仕上げ盤用検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 ワーク（２）の円筒面（１）を加工する研磨ベルト（１８）および基準・締め付けシュー（６、８）を備えた精密仕上げ盤。精密仕上げ盤の加工が進行する間、円筒面（１）の直径および幾何学的特性（たとえば、テーパ誤差）を検査するために検出装置（３０）は限定された中心領域（７４、７８）においてシュー（６）と連結された支持要素（３２）と、この支持要素に連結される円筒面（１）の異なる２つの断面（Ｓ１、Ｓ２）で直径寸法を検出するための２組みの測定ヘッド（３３、３４；３５、３６）とを有する。シューは検出装置（３０）を収容するためのシート部および開口（８２、８４、８５、８６、８７）を備える。

Description

【発明の詳細な説明】 精密仕上げ盤用検査装置 本発明は移動可能な２個のシューおよび一方のシューとワークとの間に配置さ れた、少なくとも１条の研磨ベルトを具備する精密仕上げ盤でワークの加工が進 行する間、ワークの回転対称の円筒面の寸法特性を検査する装置に係り、この検 査装置は円筒面の断面において検査される円筒面の径方向に相対する部分と接触 する移動可能なフィーラおよびこのフィーラの移動に応じて電気信号を与えるた めの変換器を備えた、少なくとも１組みの測定ヘッドと、この測定ヘッドに電気 的に接続され、電気信号を受信し、かつ処理するための処理ユニットとを備える 。 また、本発明はワークの円筒面を加工するための精密仕上げ盤に係り、この精 密仕上げ盤は縦方向の回転軸を定め、かつその回転軸のまわりにワークの回転変 位を生じるように適応させる、ワークを支持し、かつ駆動するための手段と、ワ ークの円筒面を加工する、少なくとも１条の研磨ベルトと、加工される円筒面の ための機械的基準を与える面を支持するように対峙して配置され、加工される円 筒面に対して研磨ベルトを押し付けるように互いに接近し、かつ離れるように適 応させる２個のシューを備えた加工構造体と、この２個のシューおよびワークの 変位を制御する制御・処理ユニットおよび検出装置を具備する制御手段とを備え る。 精密仕上げ盤はクランクシャフトあるいはカムシャフトのようなワークの表面 に生じた加工誤差のような欠陥を除去するために研削盤による加工の後に、その 表面に研磨加工を施し、特に精度の高い仕上げ面を得るために使用される。上記 した精密仕上げ盤の幾つかは同時に研削盤が用いられるところでも使用される。 精密仕上げ盤に特有の構造としては、一般に、ワークが加工のために回転する 間、ワークを締め付け、かつ基準を与えるための対峙して配置される２個のシュ ーと、このシューによってワークの表面に押し付けられる研磨工具とがある。こ の研磨工具は、たとえばシューの少なくとも１個に装着される研磨砥石あるいは シューの一部によって加工される表面のある領域に押し付けて用いる１条ないし それよりも多数の研磨ベルトからなる。 自動化された方法における“精密仕上げ”サイクルの制御を可能にする手段は 、その“精密仕上げ”サイクルの“インプロセス”測定サイクルを行うべく用い られる手段に全面的に依存している。すなわち、この精密仕上げ盤の操作の間、 加工される面の外径寸法および幾何学的特性を機械を停止させないで検査し、そ の結果により精密仕上げ盤の停止を制御し、および／またはたとえば検出された 形状の誤差に応じて精密仕上げ盤の修正すべき部品については調整が必要となる 。 実現可能な用途によれば、クランクシャフトのクランクピンの自動加工を行う 間、そのクランクピンの円筒面に生じるテーパ誤差は自動的に修正することがで きる。インプロセス測定を果たすうえでの困難は、ベルト式精密仕上げ盤ではシ ュー同士の間隔が狭く、しかも検査される面が囲われてしまうので、検査面への 接近が極度に制限されるという、精密仕上げ盤の特有の構造に原因がある。ベル ト式精密仕上げ盤におけるこうした困難は、その加工面の一部を取り囲む研磨工 具のために一段と増すことになる。 本発明の目的は上述した困難を克服することであって、精密仕上げ盤、特に円 筒面を加工するベルト式精密仕上げ盤による加工において自動検査を確実に達成 することにある。 さらに、別の目的は円筒面の幾何学的特性をインプロセスで測定することにあ り、検査装置は、たとえば加工面のテーパ誤差を自動的に検出する手段を有する 。 これらの目的ならびに他の目的および利点は本発明による検査装置によって得 ることができる。この検査装置は一方のシューと連結される支持要素と、この支 持要素に連結される１組みの測定ヘッドとを備え、この支持要素はシューの限定 された中心領域において一方のシューと連結される中心連結部を有する。 また、上記目的および利点は本発明による次の精密仕上げ盤によって得ること ができる。検出装置はシューの限定された中心領域において一方のシューと連結 された支持要素と、この支持要素に連結される、少なくとも１組みの測定ヘッド とを備え、各々測定ヘッドが可動アーム、この可動アームの一端に連結されたフ ィーラ、支持要素に対して可動アームを変位させる支点手段およびフィーラの移 動に応じて電気信号を処理・制御ユニットに与える変換器を具備する。 本発明による検査装置および精密仕上げ盤によって得られる重要な利点は、シ ューと結合した測定ヘッドを支持する支持要素の特殊な連結方法により直径およ び幾何学的特性についてのインプロセス検査を極めて高精度に保つことが可能に なることである。これは検査装置を機械的に隔離し、加工中にシューが受けるひ ずみおよび変形が測定ヘッドならびに測定ヘッドが連結される支持要素の部分に 実質的に伝わらないようにすることで可能になる。 さらに、本発明による重要な利点は、検査装置の全体寸法が極めて小さくなる ことである。したがって、シューがワークの特殊な形状からみてスペースのほと んど全域を占める場合（たとえば、クランクシャフトのクランクピンを加工する 場合）においても、自動加工中、インプロセスで測定することが可能になる。 また、本発明が与えるさらに重要な利点は、全体寸法が著しく制限されるよう な場合でも、直径寸法だけでなく、たとえば円筒面に生じたテーパ誤差のような ワークの幾何学的特性も検査することが可能になることである。 本発明はこれに限られない、図解を目的とした図面を参照して詳細に説明され る。図面において、 図１は、本発明による精密仕上げ盤の摸式的な断面図であり、 図２は、図１に示される精密仕上げ盤の詳細を示す拡大側面図であり、 図３は、図２のIII−III線に沿う、図２の詳細を示す第１の縦断面図であり、 図４は、図２のIV−IV線に沿う、図２の詳細を示す第２の縦断面図であり、 図５は、図２および図３に示される精密仕上げ盤の詳細を示す斜視図であり、 図６は、特別な用途に向く精密仕上げ盤の摸式的な正面図である。 図１ないし図５に摸式的に示される精密仕上げ盤は、ワーク２の円筒面１を精 密仕上げするために使用され、機械的基準面１０、１２を定めるべく対峙して配 置される２個のシュー６、８を備えた加工構造体４を有する。このシュー６は、 たとえばよく知られた図示しない固定式連結手段によって回転要素１４と連結さ れている。シュー８は横方向のピン１５によって回転要素１６と連結されている 。研磨ベルト１８はその加工面が基準面１２と合わせて置かれるように回転要素 １６によって支持されている。 この研磨ベルト１８は加工部分を新しくするために図１に摸式的に示される適 当な装置を用いて周期的に送り動作を与えられる。シュー６は図に摸式的に示さ れるものと異なる手段、たとえばシュー８のピン１５と類似した方法で配置され る横方向のピンもしくは基準面１０と検査される円筒面１とのマッチングを保つ ようにシュー６の限定された往復動作を可能にする別の手段によって回転要素１ ４と連結することができる。 この回転要素１４、１６は図１に摸式的に示され、かつ符号２２、２４に示さ れる支点によってフレーム２０と連結されると共に、ワーク２の方向に接近する シュー６、８の回転変位を生じさせ、かつ基準面１２と加工される円筒面１との 間に配置される研磨ベルト１８の一部を押し付ける駆動装置２６によって互いに 連結されている。 また、円筒面１の加工寸法を検査する手段は、シュー６と連結して設けられる 円筒面１を測定するための検出装置３０を有する。この検出装置３０は支持要素 ３２と、図５に符号３８で示される一対の固定ねじによって支持要素３２と連結 される、たとえば電気機械式の２組みの測定ヘッド３３、３４および３５、３６ とを有する。これらの測定ヘッド３３、３４、３５、３６は図２に摸式的に示さ れる測定ヘッド３３のようにそれぞれ同一構造からなるフィーラ４０、４１、４ ２、４３と、可動アーム４４、４５、４６、４７とを備える。 特に、各々測定ヘッドは可動アーム４４と、支持要素３２に固く連結された固 定部５２と、この固定部５２に対して弾性曲げにより可動アーム４４の回転変位 を可能にする回転軸として働く薄肉部５４を備えた可撓部とからなる実質的に一 体のアームセット５０を備える。可動アーム４４と協働し、かつ回転変位を制限 するための調節可能な支持体５６が固定部５２と連結して設けられる。 さらに、図に符号５８で示される誘導式変換器は固定部５２および可動アーム ４４にそれぞれ固定された相互に動作可能な２個の可動部（巻線およびコア）を 有し、フィーラ４０および可動アーム４４の変位に応じて電気信号を与える。上 記変位を検出するために、アームセット５０の可撓部にある薄肉部５４が曲がる とき、それに応じて電気信号を出力する、たとえばストレーンゲージのような、 誘導式変換器と異なる形式の変換器を使用することも可能である。 また、測定ヘッド３３のアームセット５０は、たとえば一体とせず、可動アー ム４４の回転軸が薄肉部５４を備えた可撓部と相違するよく知られた形式の支点 手段で形成される別の手段によって構成することができる。 ほぼ管状に構成されるメタルガスケット６０はアームセット５０と連結される 端部を有し、フィーラ４０を支持する可動アーム４４の自由端側を除いてアーム セット５０自身を収容している。このメタルガスケット６０の一部は可動アーム ４４が変位するのを可能にする伸縮性を与えるためのベローズ構造を有する。 アダプタ６２、６３、６４、６５は一対の固定ねじ６６によって可動アーム４ ４、４５、４６、４７の自由端に固定され、たとえば図５に示されるように調節 可能なねじを刻んだ連結部材によってフィーラ４０、４１、４２、４３を支持 している。 精密仕上げ加工を制御する手段は測定ヘッド３３、３４、３５、３６に加えて 図に示されない方法で精密仕上げ盤の様々な部品と電気的に接続される処理・制 御ユニット６８を備える。すなわち、この処理・制御ユニット６８は変換器５８ からの電気信号を受け取り、この信号処理の結果に基づいて精密仕上げ盤のそれ ぞれの変位、特に（駆動装置２６によって）互いに接近し、かつ離れるように変 位するシュー６、８の相互変位、ならびに加工構造体４と（後述される操作に従 い）加工されるワーク２との相互変位および精密仕上げ盤の修正すべき部品の調 整を制御する。 図５に示されるように、支持要素３２は平らな形状の本体７０と、この本体７ ０とほぼ垂直に配置され、一対の固定ねじ３８によって測定ヘッド３３、３４、 ３５、３６を位置決めし、かつ固定するための貫通孔７３を形成している２個の 支持フランジ７１、７２とからなる。 この本体７０には内面７５が形成され、 そこに他の部分よりも厚さを有し、基準面および締め付け面を形成する中心連結 部７４が備えられる。この中心連結部７４は内面７５に対して突出し、異なる平 面に延びる内側接触面７６を有する。また、中心連結部７４には横方向の基準面 ７７と、半径方向の基準面を形成する２箇所の突出部７８、７９と、支持要素３ ２をシュー６に固定するための一対の貫通孔８０とが備えられる。 また、シュー６は検出装置３０を収容するための適当な開口およびシート部を 有する。特に、本体７０および対峙して配置される２個の測定ヘッド３３、３４ の双方を収容するためのＣ字状の第１のシート部８２、それぞれ対峙して配置さ れる測定ヘッド３５、３６を収容するための互いに平行な第２のシート部８４、 ８５、この第１のシート部８２と第２のシート部８４、８５との間にあって、支 持フランジ７１、７２を収容するための開口８６、８７および第１のシート部８ ２の中心部にあって、支持要素３２の中心連結部７４を収容し、かつ位置決め するための中心凹部８８はそれぞれシュー６の側面に形成されている。 シュー６は中心凹部８８に接触面８９および一対のねじ孔９０を形成している 。中心連結部７４の一対の貫通孔８０に締め付けねじ９２が嵌合されると共に、 支持要素３２をシュー６に固定するために一対のねじ孔９０に挿入されている。 検出装置３０は以下に述べる手順でシュー６に装着される。 １） 貫通孔７３に固定ねじ３８を挿入して支持フランジ７１、７２に測定ヘ ッド３３、３４を位置決めし、このとき、フィーラ４０、４１を対峙する位置に 配置する。 ２） 支持要素３２の中心連結部７４（基準面７７および突出部７８、７９） とシュー６の中心凹部８８の面とを合わせて開口８６、８７内に挿入し、支持要 素３２をシート部８２に置き、締め付けねじ９２によって支持要素３２とシュー ６とを固定する。 ３） 貫通孔７３に固定ねじ３８を挿入して支持フランジ７１、７２に測定ヘ ッド３５、３６を位置決めし、さらにフィーラ４２、４３を対峙する位置に配置 して測定ヘッド３５、３６をシュー６のシート部８4、８５内に収容する。 図１ないし図５に示される精密仕上げ盤の操作は以下のとおりである。図示し ないよく知られた手段によってワーク２が精密な仕上げ盤の縦軸に沿って位置決 めされ、処理・制御ユニット６８の制御のもとで駆動装置２６が働き、加工構造 体４の回転要素１４、１６が回転する。シュー６、８は互いに接近し、加工位置 に達するまでワーク２の方向に近づき、これにより基準面１０、１２が円筒面１ をつかみ、このとき、シュー８の基準面１２が加工される円筒面１に研磨ベルト １８の一部を押し付ける。 この加工位置において１組みのフィーラ４０、４１および４２、４３は、それ ぞれワーク１の円筒面１の２つの平行な断面（図３の点線Ｓ１およびＳ２で示さ れる）に置かれる。したがって、各々１組みのフィーラ４０、４１および４２、 ４３はそれぞれ断面Ｓ１、Ｓ２の領域で径方向に対峙して接触している。 第１の組み立て様式において、上記した操作は既知の直径寸法、好ましくはワ ークの加工が完了したとき、ワークが保持しなければならない標準的な寸法に等 しい寸法を備えたマスタピース２に基づいて実行する。この様式では最初に機械 的零調整操作が行わわ、その調整操作中にフィーラ４０、４１、４２、４３の位 置が調節され、その後フィーラ４０、４１、４２、４３の機械的基準位置と変換 器５８によって伝送され、処理・制御ユニット６８で処理された電気信号との間 の関係を定めるために処理・制御ユニット６８の制御量を調節して電気的零調整 が実行される。 組み立て操作が完了したならば、マスタビースは加工されるワーク２と交換し 、シュー６、８が円筒面１と接触する位置へ運ばれる。この後、図１に示されな いものの、後記の図６に示される手段とほぼ同様なよく知られた手段によってワ ーク２が縦方向の軸のまわりに回され、精密仕上げ加工が始まる。 ワーク２と加工構造体４とが演じる全体的な変位は縦方向の限定された相互往 復動作からなる。回転中、２つの断面Ｓ１、Ｓ２で（あるいは先に述べた縦方向 の往復動作によって生じるこれらの断面を含む限定された部分内で）円筒面１の 直径寸法が１組みの測定ヘッド３３、３４および３５、３６に備えられる変換器 ５８から与えられる電気信号を処理して検査される。さらに、処理・制御ユニッ ト６８はこれらの電気信号を処理し、たとえば一方の測定ヘッド（３３、３４） からの信号と、他方の測定ヘッド（３５、３６）からの信号とを比較することで 、円筒面１に生じるテーパ誤差を検出することができる。 さらに、２組みの測定ヘッドの一方の１組み（３３、３４）からの信号により 、処理・制御ユニット６８が限定された直径寸法の限界値を検出したとき、処理 ・制御ユニット６８は、たとえばワーク２の回転（および往復動作）を止めるた めに精密仕上げ盤を停止させる制御信号を出力する。すなわち、円筒面１に対し て シュー６、８で加えられた圧力を逃がし、この結果、回転要素１４、１６を互い に離れる方向に変位させることになる。 先に概略を述べたように、処理・制御ユニット６８によって加工プロセスを検 査する方法は、測定ヘッド３３、３４、３５、３６で検出された信号が円筒面１ の寸法および幾何学的特性をインプロセスで検査するためにどのように利用され るかの格好の例である。さらに、テーパ誤差の検出は、たとえば精密仕上げ盤の 部品の調整を自動的に行い、上記のテーパ誤差を修正するために正しく利用する ことができる。これはその精密仕上げ盤の構造に厳密に拘束される方法で、また 本発明の範囲を超えた方法を用いて行われる。 実際の加工中、ワーク２をつかむ回転要素１４、１６のために、さらには円筒 面１に圧力を加える基準面１０のためにシュー６は、特に基準面１０の両端部で 端部同士が互いに離れるような変形を受けることがある。 中心領域のみで互いに接触（中心凹部８８の接触面８９および基準面、特に上 記中心領域内に配置された突出部７８、７９と当接する中心連結部７４で連結し ている）するシュー６は、支持要素３２とシュー６との間の特別の連結方法によ ってシュー６上に生じるどのような変形も、実際上支持要素３２に伝わることが ない。この方法では各組みの測定ヘッド３３、３４および３５、３６の間の相互 位置が変わらず、したがって、直径寸法を正確に検出することができる。 測定ヘッド３３、３４、３５、３６を支持する支持要素３２とシュー６との間 の連結は図に一例として示された方法と異なる方法で連結できることは明らかで ある。特に、中心連結部７４および中心凹部８８は異なる方法で構成される接触 面部および基準面部によって置換することができ、限定された単一の中心領域に おいて連結を保証することが可能であれば、どのような方法を用いてもよい。 さらに、シュー６と検出装置３０とを有する組み立て要素の寸法が極度に小さ く、精密仕上げ盤の加工中のインプロセス検査が可能になり、特に、検査される 円筒面１の軸方向に倣うこれらの寸法がシュー６の厚さを超えて延びることがな く、スペースが限定されることから生じる問題、さらには接近が困難なことによ る問題を克服することができる。また、検出装置３０は構造面でも、また取り扱 いの面でも簡素であり、コストを大きく節約することが可能になる。 また、加工構造体４の全体寸法を制限するのに寄与するシュー６に形成される シート部８２、８４、８５および開口８６、８７は、シュー６自身の動きおよび 変形を過大にする可能性がある。しかしながら、この様式はシュー６に対する支 持要素３２の特別な連結方法により制限された拡張領域内で変形等が起こり、影 響は全くない。これにより上述した利点を得ることができる。 図６に示されるクランクシャフト９９のクランクピン１００を加工する精密仕 上げ盤は、クランクシャフト９９の配置方向に沿い回転軸を定めるセンタ１０２ とテールストック１０４とにより摸式的に示されるシャフトの支持駆動手段と、 図示しないよく知られた形式の可動連結装置と連結される複数個の加工ユニット １０６とを有する。ここで、各加工ユニット１０６（図においては２台のユニッ ト１０６が示される）は軸のまわりにクランクシャフト９９が回転する間、偏心 して回転するクランクピン１００部を加工するものである。 この支持・駆動手段１０２、１０４は、図１を参照して先に述べたように、こ れらの回転と共に、縦方向の往復動作を制御するために処理・制御ユニット６８ ´と接続されている。各々加工ユニット１０６は図１に示されるものと類似した 構造を有し、１組みシュー６、８、研磨ベルト１８、フレーム２０と連結された 回転装置および一方のシュー６と連結された検出装置３０を具備する。 図６に示される用途に従う精密仕上げ盤の操作は図１の精密仕上げ盤の操作に 類似する。しかし、この用途においては本発明の幾つかの利点をより向上させる ことができる。特に、検出装置３０の全体寸法が小さく、機械的特性から派生す る問題ならびに全体寸法から生じる問題をすべて克服し、精密仕上げ盤の習慣的 な操作を妨げないでワーク２の直径寸法および、たとえばテーパのような他の幾 何学的特性についてのインプロセス検査を確実に達成することができる。 本発明による検査装置は図に示されたものと異なる構造を持つ精密仕上げ盤に 適用することができる。たとえばシュー（６）の機械的基準面はワーク２と協働 する、図示の円筒状の基準面１０と異なる形状（たとえば、Ｖ字状）の基準面と して構成することができる。 さらに、本発明による検査装置はほぼ図２に示されるものに従い、１つの断面 の直径寸法を検出する、たとえば測定ヘッド３３、３４のように１組みの測定ヘ ッドからなるものとして構成してもよい。シュー６の限定された領域内において 支持要素３２と特殊な方法で連結することにより、また加工構造体４の全体寸法 を制限している手段によって与えられる利点は、２組みの測定ヘッドからなる検 査装置について上述したものと正確に同一である。 本発明のさらに異なる実施例によれば、精密仕上げ盤は２個のシュー６、８に よって円筒面１に押し付けられる研磨ベルト１８に類似する２条の研磨ベルトを 備えることが可能である。 図示しない類似の実施例はシュー６で押し付けられる研磨ベルトを妨げること なく、フィーラ４０、４１、４２、４３を円筒面１と接触させるための図５のア ダプタ６２、６３、６４、６５と異なるよく知られたアダプタ要素を使用するこ とについても予測している。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １． 移動可能な２個のシュー（６、８）および一方の前記シュー（６）とワ ーク（２）との間に配置された、少なくとも１条の研磨ベルト（１８）を具備す る精密仕上げ盤で前記ワークの加工が進行する間、前記ワーク（２）の回転対称 の円筒面（１）の寸法特性を検査する装置（３０、６８、６８´）であって、前 記円筒面（１）の断面（Ｓ１）において、検査される該円筒面の径方向に相対す る部分と接触する移動可能なフィーラ（４０、４１、４２、４３）および前記フ ィーラ（４０、４１、４２、４３）の移動に応じて電気信号を与えるための変換 器（５８）を備えた少なくとも１組みの測定ヘッド（３３、３４；３５、３６） と、前記測定ヘッド（３３、３４；３５、３６）に電気的に接続され、電気信号 を受信し、かつ処理するための処理ユニット（６８、６８´）とを備えたものに おいて、前記検査装置（３０、６８、６８´）は一方の前記シュー(６）と連結 された支持要素（３２）を備え、前記支持要素（３２）が前記シュー（６）の限 定された中心領域（８８）において該シュー（６）と連結される中心連結部（７ ４）を具備すると共に、１組みの前記測定ヘッド（３３、３４；３５、３６）が 前記支持要素（３２）と連結されることを特徴とする検査装置。 ２． 前記フィーラ（４２、４３）が検査される該円筒面（１）の異なる断面 （Ｓ２）で径方向に相対する部分と接触する位置において前記支持要素（３２） と連結され、１組みの前記測定ヘッド（３３、３４）にほぼ類似する１組みの測 定ヘッド（３５、３６）を備えることを特徴とする請求の範囲第１項記載の円筒 面（１）のテーパ誤差を検査するための検査装置。 ３． 各々１組みの前記測定ヘッド（３３、３４；３５、３６）が他の１組み の該測定ヘッド（３３、３４；３５、３６）の側で前記支持要素（３２）に固定 されることを特徴とする請求の範囲第２項記載の検査装置。 ４． 前記支持要素（３２）が前記中心連結部（７４）を有する本体（７０） と、この本体（７０）の両端部に２個の支持フランジ（７１、７２）とを備え、 各々前記測定ヘッド（３３、３４；３５、３６）が前記支持フランジ（７１、７ ２）の一方と、他方とに固定されることを特徴とする請求の範囲第３項記載の検 査装置。 ５． 前記本体（７０）が横方向の基準面（７７）と、前記中心連結部（７４ ）に半径方向の基準突出部（７８、７９）とを備えることを特徴とする請求の範 囲第４項記載の検査装置。 ６． 各々前記測定ヘッド（３３、３４；３５、３６）が前記支持要素（３２ ）に連結された固定部（５２）と、前記フィーラ（４０、４１、４２、４３）を 支持する可動部アーム（４４）と、前記固定部（５２）に対して前記可動アーム （４４）の変位を可能にするための薄肉部（５４）を備えた可撓部とからなる実 質的に一体のアームセット（５０）を備えることを特徴とする請求の範囲第１項 記載の検査装置。 ７． 前記変換器（５８）が誘導式変換器からなることを特徴とする請求の範 囲第６項記載の検査装置。 ８． 各々測定ヘッド（３３、３４；３５、３６）が前記変換器（５８）と、 実質的に一体の前記アームセット（５０）の一部とを収容するための管状の金属 ガスケット（６０）を備えることを特徴とする請求の範囲第７項記載の検査装置 。 ９． ワーク（２；９９）の円筒面（１；１００）を加工するための精密仕上 げ盤であって、縦方向の回転軸を定め、かつその回転軸のまわりに前記ワーク（ ２；９９）の回転変位を生じるように適応させる、該ワーク（２；９９）を支持 し、かつ駆動するための手段（１０２、１０４）と、前記ワーク（２；９９）の 該円筒面（１；１００）を加工する、少なくとも１条の研磨ベルト（１８）と、 加工される前記円筒面（１；１００）のための機械的基準面（１０、１２）を支 持するように対峙して配置され、前記円筒面（１；１００）に対して前記研磨ベ ルト（１８）を押し付けるように互いに接近し、かつ離れるように適応させる２ 個のシュー（６、８）を具備する加工構造体（４）と、２個の前記シュー（６、 ８）および前記ワーク（２；９９）の変位を制御する制御・処理ユニット（６８ ；６８´）および検出装置（３０）を具備する制御手段とを備えたものにおいて 、前記検出装置（３０）は該シュー（６）の限定された中心領域（８８）におい て一方の前記シュー（６）と連結された支持要素（３２）と、前記支持要素（３ ２）に連結される、少なくとも１組みの測定ヘッド（３３、３４；３５、３６） とを備え、各々前記測定ヘッド（３３、３４；３５、３６）が可動アーム（４４ 、４５；４６、４７）、前記可動アームの一端に連結されたフィーラ（４０、４ １；４２、４３）、前記支持要素（３２）に対して前記可動アーム（４４、４５ ；４６、４７）を変位させる支点手段（５４）および前記フィーラ（４０、４１ ；４２、４３）の移動に応じて電気信号を前記処理・制御ユニット（６８、６８ ´）に与える変換器（５８）を具備することを特徴とする精密仕上げ盤。 １０． 前記支持要素（３２）が連結される前記シュー（６）にはシート部（ ８２、８４、８５）が形成されており、前記検出装置（３０）が前記シート部（ ８２、８４、８５）に収容されることを特徴とする請求の範囲第９項記載の精密 仕上げ盤。 １１． 前記検出装置（３０）が前記支持要素（３２）に連結された２組みの 測定ヘッド（３３、３４；３５、３６）を備え、２組みの前記測定ヘッド（３３ 、３４；３５、３６）のフィーラ（４０、４１；４２、４３）が前記円筒面（１ ）の径方向に相対する第１および第２の領域でそれぞれ加工される該円筒面（１ ）と協働するように適応されることを特徴とする請求の範囲第１０項記載の精密 仕上げ盤。 １２． 前記支持要素（３２）が連結される前記シュー（６）に開口（８６、 ８７）が形成されており、前記支持要素（３２）が前記開口（８６、８７）内に 部分的に収容される２個の支持フランジ（７１、７２）を有し、各々２組みの前 記測定手段（３３、３４；３５、３６）が前記支持フランジ（７１、７２）の一 方と他方とに固定されることを特徴とする請求の範囲第１１項記載の精密仕上げ 盤。 １３． 前記検出装置（３０）の前記支持要素（３２）が中心連結部（７４） を有し、前記シュー（６）が限定された前記中心領域を定めている中心凹部（８ ８）を備えることを特徴とする請求の範囲第１２項記載の精密仕上げ盤。