JPH10316232A - 搬送装置 - Google Patents
搬送装置Info
- Publication number
- JPH10316232A JPH10316232A JP12920797A JP12920797A JPH10316232A JP H10316232 A JPH10316232 A JP H10316232A JP 12920797 A JP12920797 A JP 12920797A JP 12920797 A JP12920797 A JP 12920797A JP H10316232 A JPH10316232 A JP H10316232A
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- Japan
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- conveyor
- roller
- transfer
- transport
- wiring board
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 縦列に配設された第1の搬送コンベアと第2
の搬送コンベアの隙間部分で長さの短いプリント配線板
が搬送されなくなるのを解消する。 【解決手段】 第1の搬送コンベア2から第2の搬送コ
ンベア7へ移送する移送部分の隙間に第2の搬送コンベ
ア7のベルト23に接触して回転する中間ローラ31
と、この中間ローラ31に接触して回転する搬送ローラ
32とを設け、この搬送ローラ32を第1の搬送コンベ
ア2と第2の搬送コンベア7との間の隙間部分でプリン
ト配線板1を支持しながら搬送する位置に設ける。
の搬送コンベアの隙間部分で長さの短いプリント配線板
が搬送されなくなるのを解消する。 【解決手段】 第1の搬送コンベア2から第2の搬送コ
ンベア7へ移送する移送部分の隙間に第2の搬送コンベ
ア7のベルト23に接触して回転する中間ローラ31
と、この中間ローラ31に接触して回転する搬送ローラ
32とを設け、この搬送ローラ32を第1の搬送コンベ
ア2と第2の搬送コンベア7との間の隙間部分でプリン
ト配線板1を支持しながら搬送する位置に設ける。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば板状のワー
ク、具体的にはプリント配線板を搬送する際に、搬送コ
ンベア間の移載部分に使用する搬送装置に関するもので
ある。
ク、具体的にはプリント配線板を搬送する際に、搬送コ
ンベア間の移載部分に使用する搬送装置に関するもので
ある。
【0002】
【従来の技術】図4は、はんだ付け装置における従来の
搬送コンベア部分のみを示す平面図で、はんだ付けされ
たプリント配線板を、搬出装置あるいは次工程の装置に
移載するための技術を説明する図である。また、図5
(a),(b)は図4の断面を示す図で、図5(a)は
図4のI−I線による拡大断面図、図5(b)は図4の
II−II線による拡大断面図、図6は図4の搬送コンベア
の移載部分を示す側面図である。
搬送コンベア部分のみを示す平面図で、はんだ付けされ
たプリント配線板を、搬出装置あるいは次工程の装置に
移載するための技術を説明する図である。また、図5
(a),(b)は図4の断面を示す図で、図5(a)は
図4のI−I線による拡大断面図、図5(b)は図4の
II−II線による拡大断面図、図6は図4の搬送コンベア
の移載部分を示す側面図である。
【0003】すなわち、プリント配線板1は、第1の搬
送コンベア2で搬送方向Aに向けて搬送されつつはんだ
付け装置3の予備加熱工程4とはんだ付け工程5とを経
て、はんだ付けが行われ、次工程の装置あるいは搬出装
置6の第2の搬送コンベア7に移載されてプリント配線
板1が搬送されて行く。
送コンベア2で搬送方向Aに向けて搬送されつつはんだ
付け装置3の予備加熱工程4とはんだ付け工程5とを経
て、はんだ付けが行われ、次工程の装置あるいは搬出装
置6の第2の搬送コンベア7に移載されてプリント配線
板1が搬送されて行く。
【0004】図4,5の例では、第1の搬送コンベア2
および第2の搬送コンベア7のいずれも、プリント配線
板1の両側端部を支持・保持して搬送する例を示してい
る。
および第2の搬送コンベア7のいずれも、プリント配線
板1の両側端部を支持・保持して搬送する例を示してい
る。
【0005】第1の搬送コンベア2は、コンベアフレー
ム11のチェーンガイド12に沿って走行し、図示しな
いモータによって駆動する回転体としての駆動スプロケ
ット13と従動スプロケット14によって張架され駆動
される走行体としてのチェーン15に保持爪16を設
け、その凹型状の保持部17でプリント配線板1の両側
の側端部1aを支持・保持して搬送する仕組みで、平行
2条に構成されている。
ム11のチェーンガイド12に沿って走行し、図示しな
いモータによって駆動する回転体としての駆動スプロケ
ット13と従動スプロケット14によって張架され駆動
される走行体としてのチェーン15に保持爪16を設
け、その凹型状の保持部17でプリント配線板1の両側
の側端部1aを支持・保持して搬送する仕組みで、平行
2条に構成されている。
【0006】第2の搬送コンベア7は、コンベアフレー
ム21のベルトガイド部22に嵌まって走行する走行体
としてのベルト23の面に直接プリント配線板1の両側
端部1aを載置・支持して搬送する仕組みで、平行2条
に構成されている。しかし、搬出装置6等に使用される
第2の搬送コンベア7では、図示しない平ベルトのコン
ベア上にプリント配線板1を載置して搬出するタイプの
搬送コンベアも多く使用されている。なお、モータ24
は回転体としての駆動ローラ25によりベルトの並行駆
動を行う手段であり、従動ローラ26はベルト23を張
架する手段である。
ム21のベルトガイド部22に嵌まって走行する走行体
としてのベルト23の面に直接プリント配線板1の両側
端部1aを載置・支持して搬送する仕組みで、平行2条
に構成されている。しかし、搬出装置6等に使用される
第2の搬送コンベア7では、図示しない平ベルトのコン
ベア上にプリント配線板1を載置して搬出するタイプの
搬送コンベアも多く使用されている。なお、モータ24
は回転体としての駆動ローラ25によりベルトの並行駆
動を行う手段であり、従動ローラ26はベルト23を張
架する手段である。
【0007】また、当然に第1の搬送コンベア2と第2
の搬送コンベア7との間には、両搬送コンベア2,7が
衝突しないように適正な余裕を持って隙間Δdを設けて
ある。したがって、第1の搬送コンベア2で搬送された
プリント配線板1は、この隙間Δdをまたいで第2の搬
送コンベア7へ移送される。
の搬送コンベア7との間には、両搬送コンベア2,7が
衝突しないように適正な余裕を持って隙間Δdを設けて
ある。したがって、第1の搬送コンベア2で搬送された
プリント配線板1は、この隙間Δdをまたいで第2の搬
送コンベア7へ移送される。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】しかし、図4,6に示
すように搬送されるプリント配線板1の長さLが短い
と、この移載の際に問題を生ずることがある。すなわ
ち、第1の搬送コンベア2から第2の搬送コンベア7に
プリント配線板1が移載されずに、第1の搬送コンベア
2の搬出口8でプリント配線板1が停滞することがあ
る。
すように搬送されるプリント配線板1の長さLが短い
と、この移載の際に問題を生ずることがある。すなわ
ち、第1の搬送コンベア2から第2の搬送コンベア7に
プリント配線板1が移載されずに、第1の搬送コンベア
2の搬出口8でプリント配線板1が停滞することがあ
る。
【0009】すなわち、第1の搬送コンベア2と第2の
搬送コンベア7との間には隙間Δdを設けてあり、第1
の搬送コンベア2の保持爪16の折り返し点となるスプ
ロケット13の回転中心軸O1 と第2の搬送コンベア7
のベルト23の折り返し点となるローラ25の回転中心
軸O2 との間には間隔dがある。
搬送コンベア7との間には隙間Δdを設けてあり、第1
の搬送コンベア2の保持爪16の折り返し点となるスプ
ロケット13の回転中心軸O1 と第2の搬送コンベア7
のベルト23の折り返し点となるローラ25の回転中心
軸O2 との間には間隔dがある。
【0010】第1の搬送コンベア2の保持爪16は半径
rで回転して折り返すため、搬送する駆動力がプリント
配線板1に加えられるのは前記回転の中心軸O1 から搬
送方向Aに対しておよそ直角の面にある点αまでであ
る。また、第2の搬送コンベア7で搬送する駆動力がプ
リント配線板1に加えられるのは同様に点βからであ
る。
rで回転して折り返すため、搬送する駆動力がプリント
配線板1に加えられるのは前記回転の中心軸O1 から搬
送方向Aに対しておよそ直角の面にある点αまでであ
る。また、第2の搬送コンベア7で搬送する駆動力がプ
リント配線板1に加えられるのは同様に点βからであ
る。
【0011】したがって、搬送されるプリント配線板1
の長さLが短くなって前記距離dの間隔に近づいてくる
と、点αで加えられる搬送駆動力が失われ点βで加えら
れる搬送駆動力に依存するようになっても、プリント配
線板1の重心が点βよりも点α側にあるため、十分な搬
送駆動力をプリント配線板1に伝えることができずに、
点βで滑りを生じて停滞することがあるのである。すな
わち、移載が行われなかったり一時的に移載が停止した
りする。さらには、プリント配線板1の長さLが間隔d
よりも短い場合には当然のことながら移載することがで
きない。
の長さLが短くなって前記距離dの間隔に近づいてくる
と、点αで加えられる搬送駆動力が失われ点βで加えら
れる搬送駆動力に依存するようになっても、プリント配
線板1の重心が点βよりも点α側にあるため、十分な搬
送駆動力をプリント配線板1に伝えることができずに、
点βで滑りを生じて停滞することがあるのである。すな
わち、移載が行われなかったり一時的に移載が停止した
りする。さらには、プリント配線板1の長さLが間隔d
よりも短い場合には当然のことながら移載することがで
きない。
【0012】本発明の目的は、搬送されるワーク、例え
ばプリント配線板の長さが短くても、搬送コンベアから
搬送コンベアへの移載が支障なく安定・確実に行われる
ようにすることにある。
ばプリント配線板の長さが短くても、搬送コンベアから
搬送コンベアへの移載が支障なく安定・確実に行われる
ようにすることにある。
【0013】
【課題を解決するための手段】第1の搬送コンベアと第
2の搬送コンベアとの間の移載部分に補助的に搬送する
搬送ローラを設ける。この搬送ローラは回転することに
よってワークを支持しながら搬送する。この搬送ローラ
の回転駆動力は、第1の搬送コンベアまたは第2の搬送
コンベアの回転部分または走行部分に接触して回転する
中継用の中間ローラに接触して回転駆動されるように構
成する。
2の搬送コンベアとの間の移載部分に補助的に搬送する
搬送ローラを設ける。この搬送ローラは回転することに
よってワークを支持しながら搬送する。この搬送ローラ
の回転駆動力は、第1の搬送コンベアまたは第2の搬送
コンベアの回転部分または走行部分に接触して回転する
中継用の中間ローラに接触して回転駆動されるように構
成する。
【0014】これにより、中間ローラは搬送ローラの回
転方向を反転させてワークの搬送方向と同一方向となる
ように変換する。
転方向を反転させてワークの搬送方向と同一方向となる
ように変換する。
【0015】この移載部分に設けた搬送装置は、チェー
ンやベルト等の複雑な機構を用いることなくただ単に中
間ローラと搬送ローラとを接触させることだけで構成で
きる。しかも既存の搬送コンベアに中間ローラを接触さ
せるように設けることで搬送駆動力を得ることができ
る。
ンやベルト等の複雑な機構を用いることなくただ単に中
間ローラと搬送ローラとを接触させることだけで構成で
きる。しかも既存の搬送コンベアに中間ローラを接触さ
せるように設けることで搬送駆動力を得ることができ
る。
【0016】そして、長さの短いワークでも確実・安定
に搬送し移載することができるようになる。
に搬送し移載することができるようになる。
【0017】
【発明の実施の形態】本発明は、次のような形態におい
て実施にることができる。
て実施にることができる。
【0018】すなわち、第1の搬送コンベアと第2の搬
送コンベアとを縦列に配設して第1の搬送コンベアに載
置されているプリント配線板を第1の搬送コンベアから
第2の搬送コンベアへ移載搬送する際の移載位置に用い
る搬送装置であって、第1の搬送コンベアまたは第2の
搬送コンベアの回転体または走行体のいずれかに接触に
より駆動されて回転する中間ローラと、この中間ローラ
に接触により駆動されて回転する搬送ローラを設け、こ
の搬送ローラを第1の搬送コンベアと第2の搬送コンベ
アとの間でワークを支持しながら搬送する位置に設けた
ものである。
送コンベアとを縦列に配設して第1の搬送コンベアに載
置されているプリント配線板を第1の搬送コンベアから
第2の搬送コンベアへ移載搬送する際の移載位置に用い
る搬送装置であって、第1の搬送コンベアまたは第2の
搬送コンベアの回転体または走行体のいずれかに接触に
より駆動されて回転する中間ローラと、この中間ローラ
に接触により駆動されて回転する搬送ローラを設け、こ
の搬送ローラを第1の搬送コンベアと第2の搬送コンベ
アとの間でワークを支持しながら搬送する位置に設けた
ものである。
【0019】
【実施例】次に、本発明による搬送装置の具体例を実施
例で説明する。
例で説明する。
【0020】図1は、本発明の第1の実施例を示す側面
図であり、第1の搬送コンベアと第2の搬送コンベアと
の移載部分の側面を示した図で、図6に対応した図であ
る。また、図2は図1の搬送コンベアの移載部分を拡大
して示す平面図である。
図であり、第1の搬送コンベアと第2の搬送コンベアと
の移載部分の側面を示した図で、図6に対応した図であ
る。また、図2は図1の搬送コンベアの移載部分を拡大
して示す平面図である。
【0021】これらの図において、第2の搬送コンベア
7のコンベアフレーム21を第1の搬送コンベア2側へ
延長した延長部21aに中間ローラ31と搬送ローラ3
2とを設け、各ローラ31,32の外周部分には摩擦の
大きい素材、例えばゴム輪33を被着してある。これら
のローラ31,32の中心にはころがり軸受等のベアリ
ングを嵌着すると、回転が円滑になり、プリント配線板
1の移載がスムーズに行われる。そして、両ローラ3
1,32はゴム輪33部分を接触させてその回転が互い
に伝動できるように設けてある。
7のコンベアフレーム21を第1の搬送コンベア2側へ
延長した延長部21aに中間ローラ31と搬送ローラ3
2とを設け、各ローラ31,32の外周部分には摩擦の
大きい素材、例えばゴム輪33を被着してある。これら
のローラ31,32の中心にはころがり軸受等のベアリ
ングを嵌着すると、回転が円滑になり、プリント配線板
1の移載がスムーズに行われる。そして、両ローラ3
1,32はゴム輪33部分を接触させてその回転が互い
に伝動できるように設けてある。
【0022】そして、中間ローラ31は第2の搬送コン
ベア7のベルト23と接触により駆動されて回転する位
置に設け、また、搬送ローラ32は第1の搬送コンベア
2と第2の搬送コンベア7の間の位置にあって移載され
るプリント配線板1を支持しながら搬送することができ
るとともに、中間ローラ31と接触により駆動されて回
転する位置に設ける。なお、これらのローラ31,32
は厚さtが薄いものでよいので、それらを間隔d部分に
おいて余剰空間が少ないスペースであっても容易に配設
することができる。
ベア7のベルト23と接触により駆動されて回転する位
置に設け、また、搬送ローラ32は第1の搬送コンベア
2と第2の搬送コンベア7の間の位置にあって移載され
るプリント配線板1を支持しながら搬送することができ
るとともに、中間ローラ31と接触により駆動されて回
転する位置に設ける。なお、これらのローラ31,32
は厚さtが薄いものでよいので、それらを間隔d部分に
おいて余剰空間が少ないスペースであっても容易に配設
することができる。
【0023】これにより、第2の搬送コンベア7のベル
ト23が走行・回転するとその回転が中間ローラ31に
伝動され、続いて搬送ローラ32に伝動される。この場
合、第2の搬送コンベア7のベルト23の走行速度と搬
送ローラ32の外周における周速度とは同一となる。ま
た、第2の搬送コンベア7のベルト23に接触により駆
動されているが中間ローラ31の回転方向が逆転するこ
とにより搬送ローラ32の回転方向はプリント配線板1
の搬送方向Aと同一となる。
ト23が走行・回転するとその回転が中間ローラ31に
伝動され、続いて搬送ローラ32に伝動される。この場
合、第2の搬送コンベア7のベルト23の走行速度と搬
送ローラ32の外周における周速度とは同一となる。ま
た、第2の搬送コンベア7のベルト23に接触により駆
動されているが中間ローラ31の回転方向が逆転するこ
とにより搬送ローラ32の回転方向はプリント配線板1
の搬送方向Aと同一となる。
【0024】したがって、第1の搬送コンベア2から第
2の搬送コンベア7へ移載されるプリント配線板1は、
点αおよびβの他に搬送ローラ32によって支持される
点γでも支持され搬送されるようになり、長さLの短い
プリント配線板1であっても、安定・確実に移載するこ
とができるようになる。
2の搬送コンベア7へ移載されるプリント配線板1は、
点αおよびβの他に搬送ローラ32によって支持される
点γでも支持され搬送されるようになり、長さLの短い
プリント配線板1であっても、安定・確実に移載するこ
とができるようになる。
【0025】なお、図1に示す中間ローラ31と搬送ロ
ーラ32とからなる1組の搬送装置の外に、もう1組の
中間ローラと搬送ローラとからなる搬送装置(図示せ
ず)を接続させることにより該搬送装置を2段に設け、
所要の距離をおいて2点で支えることも可能である。
ーラ32とからなる1組の搬送装置の外に、もう1組の
中間ローラと搬送ローラとからなる搬送装置(図示せ
ず)を接続させることにより該搬送装置を2段に設け、
所要の距離をおいて2点で支えることも可能である。
【0026】また、図1および図2に示す第1の実施例
では、第1の搬送コンベア2がチェーン15と保持爪1
6等からなる構成のものであったが、この第1の搬送コ
ンベア2が第2の搬送コンベア7と同様のベルト23を
使用したものであってもよく、この場合には、中間ロー
ラ31を第1の搬送コンベア2のベルト23に接触させ
てその駆動力を得るように構成することができる。
では、第1の搬送コンベア2がチェーン15と保持爪1
6等からなる構成のものであったが、この第1の搬送コ
ンベア2が第2の搬送コンベア7と同様のベルト23を
使用したものであってもよく、この場合には、中間ロー
ラ31を第1の搬送コンベア2のベルト23に接触させ
てその駆動力を得るように構成することができる。
【0027】また、図示はされないが、中間ローラ31
は各ローラ25,26または各スプロケット13,14
のいずれかに接触して回転せしめることができる。
は各ローラ25,26または各スプロケット13,14
のいずれかに接触して回転せしめることができる。
【0028】図3は本発明の第2の実施例を示す斜視図
で、第1の搬送コンベア41と第2の搬送コンベア42
との移載部分を示す。図3において、第1の実施例と異
なるところは第1の搬送コンベア41と第2の搬送コン
ベア42のいずれもベルト43を使用したものであっ
て、かつ、各ベルト43の面が上下方向の面となるよう
にローラ44に張架されている。このためベルト43か
ら突出した載置部45が設けられてプリント配線板1を
載置して搬送する構成になっている。
で、第1の搬送コンベア41と第2の搬送コンベア42
との移載部分を示す。図3において、第1の実施例と異
なるところは第1の搬送コンベア41と第2の搬送コン
ベア42のいずれもベルト43を使用したものであっ
て、かつ、各ベルト43の面が上下方向の面となるよう
にローラ44に張架されている。このためベルト43か
ら突出した載置部45が設けられてプリント配線板1を
載置して搬送する構成になっている。
【0029】そして中間ローラ46は第2の搬送コンベ
ア42との接触により駆動されて、水平方向に回転する
ように設けられている。また、搬送ローラ47は中間ロ
ーラ46と接触して第1の実施例と同様にプリント配線
板1を支持して搬送し得る位置に設けられている。
ア42との接触により駆動されて、水平方向に回転する
ように設けられている。また、搬送ローラ47は中間ロ
ーラ46と接触して第1の実施例と同様にプリント配線
板1を支持して搬送し得る位置に設けられている。
【0030】なお、動作については第1の実施例と同一
である。
である。
【0031】また、中間ローラ46は第1の搬送コンベ
ア41のベルト43に接触させてその駆動力を得るよう
に構成することもできる。
ア41のベルト43に接触させてその駆動力を得るよう
に構成することもできる。
【0032】また、図3に示す第2の実施例において、
第1の搬送コンベア41は、ベルト43およびローラ4
4に代えて、図1の第1の実施例と同様に駆動スプロケ
ット13,チェーン15および保持爪16等からなるも
のであってもよい。
第1の搬送コンベア41は、ベルト43およびローラ4
4に代えて、図1の第1の実施例と同様に駆動スプロケ
ット13,チェーン15および保持爪16等からなるも
のであってもよい。
【0033】このように、本発明は、モータ等の駆動装
置やチェーンやベルトおよびそれに付随して必要となる
スプロケットやプーリ等を使用することなく、簡単な構
成でプリント配線板1の移載を安定・確実とする搬送装
置を得ることが可能となる。しかもその搬送装置の搬送
速度を接触させる搬送コンベアの搬送速度に同期させる
ことができる。
置やチェーンやベルトおよびそれに付随して必要となる
スプロケットやプーリ等を使用することなく、簡単な構
成でプリント配線板1の移載を安定・確実とする搬送装
置を得ることが可能となる。しかもその搬送装置の搬送
速度を接触させる搬送コンベアの搬送速度に同期させる
ことができる。
【0034】
【発明の効果】以上のように、本発明の搬送装置によれ
ば、簡単な構成でありながら搬送されるワーク、例えば
プリント配線板の長さが短くても、搬送コンベアから搬
送コンベアへの移載を支障なく安定・確実に行うことが
できるようになる。また、狭いスペースにも容易に設備
することができる。
ば、簡単な構成でありながら搬送されるワーク、例えば
プリント配線板の長さが短くても、搬送コンベアから搬
送コンベアへの移載を支障なく安定・確実に行うことが
できるようになる。また、狭いスペースにも容易に設備
することができる。
【図1】本発明の第1の実施例を示す側面図である。
【図2】図1の搬送コンベアの移載部分を拡大して示す
平面図である。
平面図である。
【図3】本発明の第2の実施例を示す斜視図である。
【図4】はんだ付け装置における従来の搬送コンベア部
分のみを示す平面図である。
分のみを示す平面図である。
【図5】図4の断面を示す図で、図5(a)は図4のI
−I線による拡大断面図、図5(b)は図4のII−II線
による拡大断面図である。
−I線による拡大断面図、図5(b)は図4のII−II線
による拡大断面図である。
【図6】図4の搬送コンベアの移載部分を示す側面図で
ある。
ある。
1 プリント配線板 2 第1の搬送コンベア 7 第2の搬送コンベア 11 コンベアフレーム 12 チェーンガイド 13 駆動スプロケット 14 従動スプロケット 15 チェーン 16 保持爪 21 コンベアフレーム 21a 延長部 22 ベルトガイド部 23 ベルト 24 モータ 25 駆動ローラ 26 従動ローラ 31 中間ローラ 32 搬送ローラ 33 ゴム輪 41 第1の搬送コンベア 42 第2の搬送コンベア 43 ベルト 44 ローラ 45 載置部 46 中間ローラ 47 搬送ローラ
Claims (1)
- 【請求項1】 第1の搬送コンベアと第2の搬送コンベ
アとを縦列に配設し、前記第1の搬送コンベアに載置さ
れるワークを前記第1の搬送コンベアから前記第2の搬
送コンベアへ移載する移載部分に使用する搬送装置であ
って、 前記第1の搬送コンベアまたは第2の搬送コンベアの回
転体または走行体のいずれかに駆動されて回転する中間
ローラと、この中間ローラに駆動されて回転する搬送ロ
ーラとを設け、この搬送ローラを前記第1の搬送コンベ
アと前記第2の搬送コンベアとの間で前記ワークを支持
する位置に設けたこと、を特徴とする搬送装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12920797A JPH10316232A (ja) | 1997-05-20 | 1997-05-20 | 搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12920797A JPH10316232A (ja) | 1997-05-20 | 1997-05-20 | 搬送装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH10316232A true JPH10316232A (ja) | 1998-12-02 |
Family
ID=15003791
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP12920797A Pending JPH10316232A (ja) | 1997-05-20 | 1997-05-20 | 搬送装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JPH10316232A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006258727A (ja) * | 2005-03-18 | 2006-09-28 | Olympus Corp | 基板検査装置 |
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1997
- 1997-05-20 JP JP12920797A patent/JPH10316232A/ja active Pending
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2006258727A (ja) * | 2005-03-18 | 2006-09-28 | Olympus Corp | 基板検査装置 |
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