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JPH10303067A - Cr element - Google Patents

Cr element

Info

Publication number
JPH10303067A
JPH10303067A JP10597897A JP10597897A JPH10303067A JP H10303067 A JPH10303067 A JP H10303067A JP 10597897 A JP10597897 A JP 10597897A JP 10597897 A JP10597897 A JP 10597897A JP H10303067 A JPH10303067 A JP H10303067A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
layer
dielectric layer
dielectric
glass
electrode
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP10597897A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Yasuhiro Shiyatou
康弘 社藤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Materials Corp
Original Assignee
Mitsubishi Materials Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Materials Corp filed Critical Mitsubishi Materials Corp
Priority to JP10597897A priority Critical patent/JPH10303067A/en
Publication of JPH10303067A publication Critical patent/JPH10303067A/en
Pending legal-status Critical Current

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  • Fixed Capacitors And Capacitor Manufacturing Machines (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a CR element of large electrostatic capacity with no increased element size nor limit on a dielectric material which is used. SOLUTION: Relating to a CR element wherein a dielectrics layer 3 and a resistor layer 5 are allocated in series on a substrate 1, a facing electrode 10B is formed in the dielectrics layer 3, to constitute such dielectrics layer 3 of multi layered structure. With the dielectrics layer 3 as multi layered structure, an electrostatic capacity at a capacity part is increased without increasing the size of element or change of dielectrics material.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明はコンデンサ機能と抵
抗機能とを有するCR素子に係り、特に、素子サイズを
大きくすることなく、また、用いる誘電体材料に制約を
受けることなく、大きな静電容量を得ることができるC
R素子に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a CR element having a capacitor function and a resistance function, and particularly to a large capacitance without increasing the element size and without being restricted by a dielectric material used. C that can get
It relates to an R element.

【0002】[0002]

【従来の技術】コンピュータの集積回路とアースとの間
には、信号中のノイズを除去するために、CR素子が挿
入される。
2. Description of the Related Art A CR element is inserted between an integrated circuit of a computer and ground to remove noise in a signal.

【0003】図2は、このような用途に用いられる従来
のCR素子を示す断面図である。このCR素子は、アル
ミナ基板1上の一半側に、コンデンサとしての下部電極
2A、誘電体層3及び上部電極4が積層形成され、他半
側には、下部電極2Aと下部電極2Bとの間に抵抗層5
が設けられて抵抗体が形成されている。このアルミナ基
板1の裏面には裏電極6A,6Bが形成されており、両
端縁に端子電極7A,7Bが設けられている。そして、
コンデンサ部分は第1ガラス層8で被覆され、更にコン
デンサ部分及び抵抗体部分の全体が第2ガラス層9で被
覆されている。
FIG. 2 is a sectional view showing a conventional CR element used for such a purpose. In this CR element, a lower electrode 2A as a capacitor, a dielectric layer 3 and an upper electrode 4 are laminated on one half of the alumina substrate 1, and the other half of the CR element is provided between the lower electrode 2A and the lower electrode 2B. To resistance layer 5
Are provided to form a resistor. Back electrodes 6A and 6B are formed on the back surface of the alumina substrate 1, and terminal electrodes 7A and 7B are provided on both end edges. And
The capacitor portion is covered with the first glass layer 8, and the entire capacitor portion and the resistor portion are further covered with the second glass layer 9.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】上記従来のCR素子で
は、コンデンサの誘電体層が1層のみであるため、静電
容量を大きくするためには比誘電率の大きな誘電体材料
を用いるか、或いは、コンデンサ部分の面積を大きくし
なくてはならない。従って素子サイズを大きくする必要
がある。
In the above-mentioned conventional CR element, since the capacitor has only one dielectric layer, in order to increase the capacitance, a dielectric material having a large relative dielectric constant must be used. Alternatively, the area of the capacitor portion must be increased. Therefore, it is necessary to increase the element size.

【0005】しかしながら、比誘電率の大きな誘電体材
料を選定することは、用いる誘電体材料が制約され、材
料コストが高騰するなど、工業的に不利である。また、
素子の大型化は、回路の大型化につながり、あらゆる機
器において小型化が進められている最近の技術的要請に
逆行する。
[0005] However, selecting a dielectric material having a large relative dielectric constant is industrially disadvantageous in that the dielectric material to be used is restricted and the material cost rises. Also,
The increase in the size of the element leads to an increase in the size of the circuit, which goes against recent technical demands for miniaturization of all devices.

【0006】本発明は上記従来の問題点を解決し、素子
サイズを大きくすることなく、また、用いる誘電体材料
に制約を受けることなく、大きな静電容量を有するCR
素子を提供することを目的とする。
The present invention solves the above-mentioned conventional problems, and has a large capacitance without increasing the element size and without being restricted by the dielectric material used.
It is intended to provide an element.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】本発明のCR素子は、基
板上に誘電体層と抵抗層とが直列に配置されたCR素子
において、該誘電体層の間に対向する電極を形成するこ
とにより、該誘電体層を多層構造としたことを特徴とす
る。
According to the CR element of the present invention, in a CR element having a dielectric layer and a resistance layer arranged in series on a substrate, opposed electrodes are formed between the dielectric layers. Thus, the dielectric layer has a multilayer structure.

【0008】誘電体層の間に対向する電極を形成して誘
電体層を多層構造とすることにより、素子サイズを大き
くすることなく、また、誘電体材料を変更することな
く、コンデンサ部分の静電容量を大きくすることができ
る。
By forming opposing electrodes between the dielectric layers and forming the dielectric layers into a multilayer structure, the capacitance of the capacitor portion can be reduced without increasing the element size and without changing the dielectric material. The electric capacity can be increased.

【0009】[0009]

【発明の実施の形態】以下に、図面を参照して本発明の
CR素子を詳細に説明する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, a CR device according to the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

【0010】図1は本発明のCR素子の実施の形態を示
す図であって、(a)図は断面図,(b)図は平面図を
示す。なお、図1において、図2に示す部材と同一機能
を奏する部材には同一符号を付してある。また、図1
(b)においては、第1,第2ガラス層8,9とを端子
電極7A,7Bは図示を省略してある。
FIG. 1 is a view showing an embodiment of a CR element according to the present invention. FIG. 1 (a) is a sectional view and FIG. 1 (b) is a plan view. In FIG. 1, members having the same functions as those shown in FIG. 2 are denoted by the same reference numerals. FIG.
In (b), the first and second glass layers 8, 9 and the terminal electrodes 7A, 7B are not shown.

【0011】このCR素子は、コンデンサと抵抗とが直
列に接続されたものであり、アルミナ基板1の一方の板
面の一半側に設けられた抵抗体の構成は、図2に示す従
来のCR素子と同様、下部電極2A,2B及び抵抗層5
よりなるものであるが、他半側に設けられたコンデンサ
が、下部電極10A,中間電極10B,上部電極10C
及び誘電体層3(3A,3B)よりなる点が、従来のC
R素子と異なる。
In this CR element, a capacitor and a resistor are connected in series, and the structure of a resistor provided on one half of one plate surface of the alumina substrate 1 is a conventional CR element shown in FIG. Like the element, the lower electrodes 2A and 2B and the resistance layer 5
The capacitor provided on the other half side includes a lower electrode 10A, an intermediate electrode 10B, and an upper electrode 10C.
And the dielectric layer 3 (3A, 3B)
Different from R element.

【0012】即ち、本実施例のCR素子のコンデンサ部
分は、誘電体層3の厚さ方向の中間の位置に中間電極1
0Bが設けられることにより、誘電体層3が下部誘電体
層3A,上部誘電体層3Bの2層構造とされたものであ
る。なお、上部電極10Cは誘電体層3の上面から下部
電極10Aに導通するように設けられ、中間電極10B
は誘電体層3の内部から抵抗体の下部電極2Aに導通す
るように設けられている。
That is, the capacitor portion of the CR element of the present embodiment has the intermediate electrode 1 at an intermediate position in the thickness direction of the dielectric layer 3.
By providing 0B, the dielectric layer 3 has a two-layer structure of a lower dielectric layer 3A and an upper dielectric layer 3B. The upper electrode 10C is provided so as to conduct from the upper surface of the dielectric layer 3 to the lower electrode 10A.
Is provided so as to conduct from the inside of the dielectric layer 3 to the lower electrode 2A of the resistor.

【0013】このCR素子であれば、誘電体層3が中間
電極10Bにより2層構造とされることにより、大きな
静電容量を得ることができる。
In this CR element, a large capacitance can be obtained by forming the dielectric layer 3 into a two-layer structure with the intermediate electrode 10B.

【0014】このようなCR素子を製造するには、ま
ず、アルミナ基板1に印刷法によりAg,Pd,Pt,
Au,Ag/Pd,Ag/Pt等の貴金属又はNi,C
u等の卑金属粉末を含む導電性ペーストを塗布して80
0〜900℃で焼成することにより下部電極10A,2
A,2Bと裏電極6A,6Bを焼き付ける。
In order to manufacture such a CR element, first, Ag, Pd, Pt,
Precious metals such as Au, Ag / Pd, Ag / Pt or Ni, C
a conductive paste containing a base metal powder such as u
By firing at 0 to 900 ° C, the lower electrodes 10A, 2
A, 2B and back electrodes 6A, 6B are printed.

【0015】次に、誘電体セラミックスのペーストを印
刷して800〜900℃で焼成することにより下部誘電
体層3Aを形成する。なお、ペーストの印刷、焼成は、
所定の厚みの誘電体層が得られるように数回繰り返し行
っても良い。
Next, a paste of dielectric ceramics is printed and baked at 800 to 900 ° C. to form the lower dielectric layer 3A. The printing and firing of the paste
It may be repeated several times so as to obtain a dielectric layer having a predetermined thickness.

【0016】その後、上記下部電極の形成方法と同様に
して中間電極10Bを下部電極2Aと連続するように下
部誘電体層3A上に形成し、再度上記と同様にして上部
誘電体層3Bを形成する。そして、更に、上記下部電極
の形成方法と同様にして下部電極10Aに連続する上部
電極10Cを上部誘電体層3B上に印刷して焼き付けた
後、保護ガラス用のペーストを印刷して600〜850
℃で焼き付けることにより、第1ガラス層8を形成す
る。
Thereafter, the intermediate electrode 10B is formed on the lower dielectric layer 3A so as to be continuous with the lower electrode 2A in the same manner as in the method of forming the lower electrode, and the upper dielectric layer 3B is formed in the same manner as above. I do. Further, an upper electrode 10C continuous with the lower electrode 10A is printed and baked on the upper dielectric layer 3B in the same manner as in the method of forming the lower electrode described above, and then a paste for protective glass is printed to 600 to 850.
The first glass layer 8 is formed by baking at ℃.

【0017】次に、抵抗材料のセラミックスのペースト
を印刷して800〜900℃で焼成することにより抵抗
層5を形成する。なお、ペーストの印刷、焼成は、所定
の厚みの抵抗層が得られるように数回繰り返し行っても
良い。
Next, the resistance layer 5 is formed by printing a ceramic paste of a resistance material and firing at 800 to 900 ° C. The printing and baking of the paste may be repeated several times so that a resistance layer having a predetermined thickness is obtained.

【0018】その後、保護ガラス用のペーストを印刷し
て600〜850℃で焼き付けることにより、第2ガラ
ス層9を形成する。
After that, the second glass layer 9 is formed by printing a paste for a protective glass and baking it at 600 to 850 ° C.

【0019】最後に、端子電極7A,7Bを印刷して焼
き付け、その後、Niめっき及びはんだめっきを施して
CR素子を得る。
Finally, the terminal electrodes 7A and 7B are printed and baked, and then Ni plating and solder plating are performed to obtain a CR element.

【0020】本発明において、基板としてはアルミナ基
板の他、ムライト等のセラミックス基板を用いることが
でき、通常の場合、このような絶縁性基板の厚さは0.
4〜0.6mm程度とされる。
In the present invention, a ceramic substrate such as mullite can be used as a substrate in addition to an alumina substrate. In a normal case, the thickness of such an insulating substrate is 0.1 mm.
It is about 4-0.6 mm.

【0021】上部電極、中間電極及び下部電極の形成に
使用される導電性ペーストは、金属粉末とガラスフリッ
トを含む厚膜印刷用に適した導電性ペーストが望まし
い。
The conductive paste used for forming the upper electrode, the intermediate electrode, and the lower electrode is preferably a conductive paste containing a metal powder and a glass frit and suitable for thick film printing.

【0022】上部電極、中間電極及び下部電極は、この
ような導電性ペーストにより5〜15μm程度の厚さに
形成するのが好ましい。また、誘電体層3の各層3A,
3Bの厚さは5〜30μm、抵抗層5の厚さは5〜15
μm、第1ガラス層8の厚さは10〜30μm,第2ガ
ラス層9の厚さは第1ガラス層8の上部において、10
〜30μm程度であることが好ましい。
The upper electrode, the intermediate electrode and the lower electrode are preferably formed with such a conductive paste to a thickness of about 5 to 15 μm. In addition, each layer 3A of the dielectric layer 3,
3B has a thickness of 5 to 30 μm, and the resistance layer 5 has a thickness of 5 to 15 μm.
μm, the thickness of the first glass layer 8 is 10 to 30 μm, and the thickness of the second glass layer 9 is 10 μm above the first glass layer 8.
It is preferably about 30 μm.

【0023】なお、誘電体材料、抵抗材料、及び第1,
第2ガラス層のガラス材料には特に制限はなく、一般の
CR素子に使用されているものを用いることができる。
通常の場合、誘電体材料としては、鉛リラクサ系材料、
その他、チタン酸バリウム系材料等を使用でき、抵抗材
料としてはRuO2 ガラス系等が使用できる。第1ガラ
ス層のガラス材料は、一般に第2ガラス層と誘電体層と
の反応を抑えるために結晶化ガラスを用いるのが好まし
く、第2ガラス層の保護ガラス材料としては、非晶質ガ
ラスが好適である。
It should be noted that the dielectric material, the resistance material, and the first,
The glass material of the second glass layer is not particularly limited, and a glass material used for a general CR element can be used.
Usually, as a dielectric material, a lead relaxer-based material,
In addition, a barium titanate-based material or the like can be used, and a RuO 2 glass-based material or the like can be used as a resistance material. As the glass material of the first glass layer, it is generally preferable to use crystallized glass in order to suppress the reaction between the second glass layer and the dielectric layer. As the protective glass material of the second glass layer, amorphous glass is preferably used. It is suitable.

【0024】なお、図1においては、1個の中間電極に
より、誘電体層を2層構造としたものを示したが、本発
明はこれに限らず、中間電極を2個以上設けることによ
り誘電体層を3層以上の多層構造とすることができる。
Although FIG. 1 shows an example in which the dielectric layer has a two-layer structure with one intermediate electrode, the present invention is not limited to this, and the dielectric layer is provided by providing two or more intermediate electrodes. The body layer can have a multilayer structure of three or more layers.

【0025】このような本発明のCR素子は、両端の端
子電極7A,7Bに配線するのみで容易に回路に接続す
ることができる。
Such a CR element of the present invention can be easily connected to a circuit simply by wiring the terminal electrodes 7A and 7B at both ends.

【0026】このCR素子は、同一誘電体材料を用い
た、同一実装面積の従来のCR素子に比べて、中間電極
を形成することによる誘電体層の積層数に応じて、コン
デンサの静電容量を大幅に増大することができる。この
静電容量は、中間電極を設けずに、単に誘電体層の厚さ
を厚くしたものよりも格段に大きい。
This CR element has a smaller capacitance than a conventional CR element using the same dielectric material and having the same mounting area in accordance with the number of dielectric layers stacked by forming the intermediate electrode. Can be greatly increased. This capacitance is much larger than the case where the thickness of the dielectric layer is simply increased without providing the intermediate electrode.

【0027】[0027]

【実施例】以下に実施例及び比較例を挙げて本発明をよ
り具体的に説明する。
The present invention will be described more specifically below with reference to examples and comparative examples.

【0028】実施例1〜3 図1に示す本発明のCR素子を作製した。Examples 1 to 3 CR devices of the present invention shown in FIG. 1 were produced.

【0029】まず、アルミナ基板1に導電性ペースト
(デュポン社製「5424」)を印刷して850℃で1
0分焼成することにより、厚さ10μmの下部電極2
A,2B,10Aと裏電極6A,6Bを形成した。
First, a conductive paste (“5424” manufactured by DuPont) was printed on the alumina substrate 1 and the paste was heated at 850 ° C. for 1 hour.
By firing for 0 minutes, the lower electrode 2 having a thickness of 10 μm is formed.
A, 2B, 10A and back electrodes 6A, 6B were formed.

【0030】次に、誘電体セラミックスペースト(デュ
ポン社製「5530」)を印刷して850℃で10分焼
成することにより厚さ20μmの下部誘電体層3Aを形
成した。
Next, a dielectric ceramic paste (“5530” manufactured by DuPont) was printed and baked at 850 ° C. for 10 minutes to form a lower dielectric layer 3A having a thickness of 20 μm.

【0031】次に、上記下部電極と同様にして厚さ10
μmで、下部誘電体層3A上の面積が0.2322mm
2 の中間電極10Bを形成した後、上記下部誘電体層3
Aと同様にして厚さ20μmの上部誘電体層3Bを形成
し、更に、上記下部電極と同様にして厚さ10μmで、
誘電体層3上の面積が表1に示す面積となる上部電極1
0Cを形成した。
Next, in the same manner as the lower electrode,
μm, the area on the lower dielectric layer 3A is 0.2322 mm
After forming the second intermediate electrode 10B, the lower dielectric layer 3
An upper dielectric layer 3B having a thickness of 20 μm is formed in the same manner as in A, and further, a 10 μm thickness is formed in the same manner as the lower electrode.
Upper electrode 1 whose area on dielectric layer 3 is as shown in Table 1.
0C was formed.

【0032】その後、結晶化ガラスペーストを印刷して
乾燥後850℃で焼成することにより、厚さ20μmの
第1ガラス層8を形成した後、抵抗材料ペースト(住友
金属社製)を印刷して850℃で10分焼成することに
より厚さ10μmの抵抗層5を形成し、更に、非晶質ガ
ラスペーストを印刷して乾燥後600℃で焼成すること
により第2ガラス層9を形成した。
Thereafter, the crystallized glass paste is printed, dried and baked at 850 ° C. to form a first glass layer 8 having a thickness of 20 μm, and then a resistance material paste (manufactured by Sumitomo Metal Co., Ltd.) is printed. The resistor layer 5 having a thickness of 10 μm was formed by baking at 850 ° C. for 10 minutes, and the second glass layer 9 was formed by printing and drying the amorphous glass paste at 600 ° C.

【0033】最後に、端子電極7A,7Bを形成し、N
iめっき及びはんだめっきを施してCR素子を得た。
Finally, terminal electrodes 7A and 7B are formed, and N
i-plating and solder plating were performed to obtain a CR element.

【0034】このCR素子の素子寸法は3.2mm×
1.6mmであり、その静電容量は表1に示す通りであ
った。
The element size of this CR element is 3.2 mm ×
1.6 mm, and its capacitance was as shown in Table 1.

【0035】比較例1〜6 中間電極を形成せず、表1に示す厚さの1層構造の誘電
体層を形成したこと以外は同様にして、図2に示す従来
の構成のCR素子を作製した。ただし、上部電極4の誘
電体層3上の面積は表1に示す通りとした。このCR素
子の寸法は3.2mm×1.6mmで実施例1〜3のも
のと同等であり、静電容量は表1に示す通りであった。
Comparative Examples 1 to 6 In the same manner as in the conventional CR device shown in FIG. 2 except that the intermediate electrode was not formed and a single-layer dielectric layer having a thickness shown in Table 1 was formed. Produced. However, the area of the upper electrode 4 on the dielectric layer 3 was as shown in Table 1. The dimensions of this CR element were 3.2 mm × 1.6 mm, which were equivalent to those of Examples 1 to 3, and the capacitance was as shown in Table 1.

【0036】表1より明らかなように本発明によれば、
同一の誘電体材料を用いて、素子サイズを大きくするこ
となく、大きな静電容量を得ることができる。
As apparent from Table 1, according to the present invention,
By using the same dielectric material, a large capacitance can be obtained without increasing the element size.

【0037】[0037]

【表1】 [Table 1]

【0038】[0038]

【発明の効果】以上詳述した通り、本発明のCR素子に
よれば、素子面積が小さく、従って、小さな実装面積で
足り、回路の小型化が可能な高容量CR素子が安価に提
供される。
As described in detail above, according to the CR element of the present invention, a high-capacity CR element having a small element area, a small mounting area is sufficient, and a circuit can be miniaturized is provided at low cost. .

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明のCR素子の実施の形態を示す図であっ
て、(a)図は断面図,(b)図は平面図を示す。
FIG. 1 is a view showing an embodiment of a CR element according to the present invention, wherein FIG. 1 (a) is a sectional view and FIG. 1 (b) is a plan view.

【図2】従来のCR素子を示す断面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view showing a conventional CR element.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 アルミナ基板 2A,2B 下部電極 3 誘電体層 3A 下部誘電体層 3B 上部誘電体層 4 上部電極 5 抵抗層 6A,6B 裏電極 7A,7B 端子電極 8 第1ガラス層 9 第2ガラス層 10A 下部電極 10B 中間電極 10C 上部電極 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Alumina substrate 2A, 2B Lower electrode 3 Dielectric layer 3A Lower dielectric layer 3B Upper dielectric layer 4 Upper electrode 5 Resistive layer 6A, 6B Back electrode 7A, 7B Terminal electrode 8 First glass layer 9 Second glass layer 10A Lower part Electrode 10B Intermediate electrode 10C Upper electrode

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 基板上に誘電体層と抵抗層とが直列に配
置されたCR素子において、該誘電体層の間に対向する
電極を形成することにより、該誘電体層を多層構造とし
たことを特徴とするCR素子。
In a CR device in which a dielectric layer and a resistance layer are arranged in series on a substrate, opposing electrodes are formed between the dielectric layers so that the dielectric layer has a multilayer structure. A CR element, characterized in that:
JP10597897A 1997-04-23 1997-04-23 Cr element Pending JPH10303067A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP10597897A JPH10303067A (en) 1997-04-23 1997-04-23 Cr element

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JP10597897A JPH10303067A (en) 1997-04-23 1997-04-23 Cr element

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ID=14421853

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Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH10303067A (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001015381A (en) * 1999-06-28 2001-01-19 Hokuriku Electric Ind Co Ltd Surface-mounting type composite electronic component and manufacture thereof

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001015381A (en) * 1999-06-28 2001-01-19 Hokuriku Electric Ind Co Ltd Surface-mounting type composite electronic component and manufacture thereof

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