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JPH1024582A - 液体吐出ヘッド並びに該液体吐出ヘッドの回復方法及び製造方法、並びに該液体吐出ヘッドを用いた液体吐出装置 - Google Patents

液体吐出ヘッド並びに該液体吐出ヘッドの回復方法及び製造方法、並びに該液体吐出ヘッドを用いた液体吐出装置

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Publication number
JPH1024582A
JPH1024582A JP8183038A JP18303896A JPH1024582A JP H1024582 A JPH1024582 A JP H1024582A JP 8183038 A JP8183038 A JP 8183038A JP 18303896 A JP18303896 A JP 18303896A JP H1024582 A JPH1024582 A JP H1024582A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
liquid
flow path
supply path
discharge head
movable member
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP8183038A
Other languages
English (en)
Inventor
Seiichiro Karita
誠一郎 刈田
Toshio Kashino
俊雄 樫野
Yoshie Nakada
佳恵 中田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Canon Inc filed Critical Canon Inc
Priority to JP8183038A priority Critical patent/JPH1024582A/ja
Priority to DE69731032T priority patent/DE69731032T2/de
Priority to EP97305060A priority patent/EP0819532B1/en
Priority to US08/890,567 priority patent/US6151049A/en
Priority to CN97118025A priority patent/CN1082448C/zh
Priority to AU28612/97A priority patent/AU722632B2/en
Priority to CA002210387A priority patent/CA2210387C/en
Publication of JPH1024582A publication Critical patent/JPH1024582A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】 【課題】 発熱体がインクに接した状態において加熱が
繰り返し行われるため、発熱体の表面にインクの焦げに
よる堆積物が発生してしまい、インクの種類によっては
この堆積物が多く発生することで、気泡の発生を不安定
にしてしまい、良好なインクの吐出を行うことが困難と
なる。 【解決手段】 吐出用の液体が第１液室から第１供給路
７２０及び第１液流路７１４を介して吐出口７１８へ導
かれ、また、発泡用の液体が第２液室から第２供給路７
２１及び第２液流路７１６を介して発熱体７０２上に形
成された気泡発生領域７１１に導かれる構成として発熱
体７０２上に吐出用の液体が導かれることを防ぐことに
より、熱に弱い液体を吐出する場合においても、発熱体
７０２上にこげ等の堆積物を生じることはない。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、熱エネルギーを液
体に作用させることで起こる気泡の発生によって、所望
の液体を吐出する液体吐出ヘッド、液体吐出ヘッドを用
いたヘッドカートリッジ及び液体吐出装置に関し、特
に、気泡の発生を利用して変位する可動部材を有する液
体吐出ヘッド、液体吐出ヘッドを用いたヘッドカートリ
ッジ及び液体吐出装置に関する。
【０００２】また、本発明は、紙、糸、繊維、布帛、皮
革、金属、プラスチック、ガラス、木材、セラミックス
等の被記録媒体に対し記録を行うプリンタ、複写機、通
信システムを有するファクシミリ、プリンタ部を有する
ワードプロセッサ等の装置、さらには各種処理装置と複
合的に組み合わせた産業用記録装置に適用できる発明で
ある。
【０００３】なお、本発明における、「記録」とは、文
字や図形等の意味を持つ画像を被記録媒体に対して付与
することだけでなく、パターン等の意味を持たない画像
を付与することをも意味する。
【０００４】
【従来の技術】熱等のエネルギーをインクに与えること
で、インクに急峻な体積変化（気泡の発生）を伴う状態
変化を生じさせ、この状態変化に基づく作用力によって
吐出口からインクを吐出し、これを被記録媒体上に付着
させて画像形成を行なうインクジェット記録方法、いわ
ゆるバブルジェット記録方法が従来知られている。この
バブルジェット記録方法を用いる記録装置には、米国特
許第４，７２３，１２９号等の公報に開示されているよ
うに、インクを吐出するための吐出口と、この吐出口に
連通するインク流路と、インク流路内に配されたインク
を吐出するためのエネルギー発生手段としての電気熱変
換体が一般的に配されている。
【０００５】この様な記録方法によれば、品位の高い画
像を高速、低騒音で記録することができると共に、この
記録方法を行うヘッドではインクを吐出するための吐出
口を高密度に配置することができるため、小型の装置で
高解像度の記録画像、さらにカラー画像をも容易に得る
ことができるという多くの優れた点を有している。この
ため、このバブルジェット記録方法は近年、プリンタ
ー、複写機、ファクシミリ等の多くのオフィス機器に利
用されており、さらに、捺染装置等の産業用システムに
まで利用されるようになってきている。
【０００６】このようにバブルジェット技術が多方面の
製品に利用されるに従って、次のような様々な要求が近
年さらにたかまっている。
【０００７】例えば、エネルギー効率の向上の要求に対
する検討としては、保護膜の厚さを調整するといった発
熱体の最適化が挙げられている。この手法は、発生した
熱の液体への伝搬効率を向上させる点で効果がある。
【０００８】また、高画質な画像を得るために、インク
の吐出スピードが速く、安定した気泡発生に基づく良好
なインク吐出を行える液体吐出方法等を与えるための駆
動条件が提案されたり、また、高速記録の観点から、吐
出された液体の液流路内への充填（リフィル）速度の速
い液体吐出ヘッドを得るために流路形状を改良したもの
も提案されている。
【０００９】この流路形状の内、流路構造として図４２
（ａ），（ｂ）に示すものが、特開昭６３−１９９９７
２号公報等に記載されている。この公報に記載されてい
る流路構造やヘッド製造方法は、気泡の発生に伴って発
生するバック波（吐出口へ向かう方向とは逆の方向へ向
かう圧力、即ち、液室１０１２へ向かう圧力）に着目し
た発明である。このバック波は、吐出方向へ向かうエネ
ルギーでないため損失エネルギーとして知られている。
【００１０】図４２（ａ），（ｂ）に示す発明は、発熱
素子１００２が形成する気泡の発生領域よりも離れ且
つ、発熱素子１００２に関して吐出口１０１１とは反対
側に位置する弁１０１０を開示する。
【００１１】図４２（ｂ）においては、この弁１０１０
は、板材等を利用する製造方法によって、流路１００３
の天井に貼り付いたように初期位置を持ち、気泡の発生
に伴って流路１００３内へ垂れ下がるものとして開示さ
れている。この発明は、上述したバック波の一部を弁１
０１０によって制御することでエネルギー損失を抑制す
るものとして開示されている。
【００１２】しかしながら、この構成において、吐出す
べき液体を保持する流路１００３内部に、気泡が発生し
た際を検討するとわかるように、弁１０１０によるバッ
ク波の一部を抑制することは、液体吐出にとっては実用
的なものでないことがわかる。
【００１３】もともとバック波自体は、前述したように
吐出に直接関係しないものである。このバック波が流路
１００３内に発生した時点では、図４２（ａ）に示すよ
うに、気泡のうち吐出に直接関係する圧力はすでに流路
１００３から液体を吐出可能状態にしている。従って、
バック波のうち、しかもその一部を抑制したからといっ
ても、吐出に大きな影響を与えないことは明らかであ
る。
【００１４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
たような従来の液体吐出ヘッドにおいては、発熱体がイ
ンクに接した状態において加熱が繰り返し行われるた
め、発熱体の表面にインクの焦げによる堆積物が発生し
てしまい、インクの種類によってはこの堆積物が多く発
生することで、気泡の発生を不安定にしてしまい、良好
なインクの吐出を行うことが困難となる虞れがある。特
には、記録速度の一層の向上という近年の要求に従っ
て、駆動周波数が高まると共に吐出口がマルチ化してヘ
ッドが長尺化するに伴い、液体を吐出口へ円滑にかつ均
一にかつ安定的に高速再充填することが困難となり、結
果として記録品位の低下につながる虞れもある。
【００１５】また、吐出すべき液体が熱によって劣化し
やすい液体の場合や十分に発泡が得られにくい液体であ
る場合においても、良好なインクの吐出を行うことが困
難となる虞れがある。
【００１６】本発明は、上述したような従来の技術が有
する問題点に鑑みてなされたものであって、ヘッドが長
尺化されたものにおいても、均一にかつ安定的に高速再
充填を行うことが可能であり、液体吐出効率を向上させ
ながらも、吐出する液体の選択範囲を広げることができ
る液体吐出ヘッド並びに該液体吐出ヘッドの回復方法及
び製造方法、並びに該液体吐出ヘッドを用いた液体吐出
装置を提供することを目的とする。
【００１７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明は、液体を吐出する吐出口に連通する第１液流
路と、液体に熱を加えることで前記液体に気泡を発生さ
せる気泡発生領域を有する第２液流路と、前記第１液流
路と前記気泡発生領域との間に配され、前記吐出口側に
自由端を有し、前記気泡発生領域での気泡の発生による
圧力に基づいて前記自由端を前記第１液流路側に変移さ
せて前記圧力を前記吐出口側に導く可動部材とを有する
液体吐出ヘッドにおいて、前記第１液流路が複数設けら
れており、該複数の第１液流路に共通に連通する第１液
室に液体を供給するための第１供給路が、複数の第１供
給口を介して前記第１液室に連通していることを特徴と
する。
【００１８】また、前記第２液流路が複数設けられてお
り、該複数の第２液流路に共通に連通する第２液室と該
第２液室に液体を供給するための第２供給口とが設けら
れていることを特徴とする。
【００１９】また、前記第２液流路には、前記気泡発生
領域に対応して熱を発生する発熱体が設けられているこ
とを特徴とする。
【００２０】また、前記発熱体は、素子基板に設けられ
ていることを特徴とする。
【００２１】また、前記素子基板を支持するための支持
体を有することを特徴とする。
【００２２】また、前記第１供給路と前記第２供給路と
は一体的に形成されていることを特徴とする。
【００２３】また、前記第１供給路が形成された部材と
前記支持体とは熱膨張係数がほぼ等しいことを特徴とす
る。
【００２４】また、前記第１供給路が形成された部材
は、ステンレスからなることを特徴とする。
【００２５】また、前記支持体は、アルミニウムである
ことを特徴とする。
【００２６】また、前記素子基板は、前記支持体上に複
数設けられ、前記可動部材が形成された分離壁は、前記
複数の素子基板に跨って延在するように配されているこ
とを特徴とする。
【００２７】また、前記素子基板は、前記支持体上に複
数設けられ、前記可動部材が形成された分離壁は、前記
複数の素子基板のそれぞれに対応して複数配されている
ことを特徴とする。
【００２８】また、前記複数の第１供給口は、前記第１
液室の両端近傍で該第１液室に連通していることを特徴
とする。
【００２９】また、前記素子基板は、複数個設けられ、
前記第１供給路は、前記複数の素子基板に跨いで設けら
れたパイプ形状を有し、各素子基板毎の第１液流路に吐
出用の液体を供給することを特徴とする。
【００３０】また、前記第２供給路は、前記複数の素子
基板に跨いで設けられたパイプ形状を有し、各素子基板
毎の第２液流路に発泡用の液体を供給することを特徴と
する。
【００３１】また、前記第２液流路は、前記第２供給路
と連通する側とは反対側において前記可動部材の自由端
の位置が終端となっていることを特徴とする。
【００３２】また、前記第２液流路は、前記第２供給路
と連通する側とは反対側において前記可動部材の下部が
終端となっていることを特徴とする。
【００３３】また、前記液体吐出ヘッドの駆動方法であ
って、前記第１供給路の両端を閉鎖した状態において前
記第２供給路内に液体を流し、前記第１供給路の両端を
閉鎖した状態において前記第２供給路を両端から加圧
し、前記第２供給路の両端を閉鎖した状態において前記
第１供給路内に液体を流し、前記第２供給路の両端を閉
鎖した状態において前記第１供給路を両端から加圧する
ことによって、前記第１供給路及び前記第２供給路の回
復を行うことを特徴とする。
【００３４】また、前記液体吐出ヘッドの製造方法であ
って、前記第１供給路及び前記第２供給路の前記液体吐
出ヘッドへの組み込みは、インサート成形により行うこ
とを特徴とする。
【００３５】また、前記液体吐出ヘッドと、該液体吐出
ヘッドから液体を吐出させるための駆動信号を供給する
駆動信号供給手段とを有することを特徴とする。
【００３６】また、前記液体吐出ヘッドと、該液体吐出
ヘッドから吐出された液体を受ける被記録媒体を搬送す
る被記録媒体搬送手段とを有することを特徴とする。
【００３７】また、前記液体吐出ヘッドからインクを吐
出し、記録紙にインクを付着させることで記録を行うこ
とを特徴とする。
【００３８】また、前記液体吐出ヘッドからインクを吐
出し、布帛にインクを付着させることで記録を行うこと
を特徴とする。
【００３９】また、前記液体吐出ヘッドからインクを吐
出し、プラスチックにインクを付着させることで記録を
行うことを特徴とする。
【００４０】また、前記液体吐出ヘッドからインクを吐
出し、金属にインクを付着させることで記録を行うこと
を特徴とする。
【００４１】また、前記液体吐出ヘッドからインクを吐
出し、木材にインクを付着させることで記録を行うこと
を特徴とする。
【００４２】また、前記液体吐出ヘッドからインクを吐
出し、皮革にインクを付着させることで記録を行うこと
を特徴とする。
【００４３】また、前記液体吐出ヘッドから複数色の記
録液体を吐出し、被記録媒体に前記複数色の記録液体を
付着させることでカラー記録を行うことを特徴とする。
【００４４】また、前記吐出口が被記録媒体の記録可能
領域の全幅に渡って、複数配されていることを特徴とす
る。
【００４５】（作用）上記のように構成された本発明に
おいては、吐出用の液体が第１液室から第１供給路及び
第１液流路を介して吐出口へ導かれ、また、発泡用の液
体が第２液室から第２供給路及び第２液流路を介して発
熱体上に形成された気泡発生領域に導かれるので、吐出
用の液体と発泡用の液体が分離され、発熱体上に吐出用
の液体が導かれることはなく、熱に弱い液体を吐出する
場合においても、発熱体上にこげ等の堆積物を生じるこ
とはない。
【００４６】そのため、ヘッドが長尺化されたものにお
いても、均一にかつ安定的に高速再充填を行うことが可
能となる。
【００４７】また、第１供給路と第２供給路とが一体で
形成され、パイプ形状を有している場合は、液体吐出ヘ
ッドが長尺タイプであって素子基板が複数個設けられて
いる場合においても、第１供給路及び第２供給路を形成
する際に従来通りの製法で製造される。
【００４８】
【発明の実施の形態】本発明の実施例について説明する
前に、本発明が適用される液体吐出ヘッドにおける液体
吐出原理について図面を参照して説明する。
【００４９】（第１の実施の形態）まず、本形態では、
液体を吐出するための、気泡に基づく圧力の伝搬方向や
気泡の成長方向を制御することで吐出力や吐出効率の向
上を図る場合の例を説明する。
【００５０】図１は、本発明の液体吐出ヘッドの一例を
示す模式断面図であり、図２は、本発明の液体吐出ヘッ
ドの部分破断斜視図である。
【００５１】本形態の液体吐出ヘッドは、液体を吐出す
るための吐出エネルギー発生素子として、液体に熱エネ
ルギーを作用させる発熱体２（本形態においては４０μ
ｍ×１０５μｍの形状の発熱抵抗体）が素子基板１に設
けられており、素子基板１上に発熱体２に対応して液流
路１０が配されている。液流路１０は吐出口１８に連通
していると共に、複数の液流路１０に液体を供給するた
めの共通液室１３に連通しており、吐出口１８から吐出
された液体に見合う量の液体をこの共通液室１３から受
け取る。
【００５２】液流路１０の素子基板１上には、発熱体２
に対向するように面して、金属等の弾性を有する材料で
構成され、平面部を有する板状の可動部材３１が片持梁
状に設けられており、可動部材３１の一端は液流路１０
の壁や素子基板１上に感光性樹脂などをパターニングし
て形成した土台（支持部材）３４等に固定されている。
これによって、可動部材３１は保持されると共に支点
（支点部分）３３を構成している。
【００５３】可動部材３１は、液体の吐出動作によって
共通液室１３から可動部材３１を経て吐出口１８側へ流
れる大きな流れの上流側に支点（支点部分；固定端）３
３を持ち、支点３３に対して下流側に自由端（自由端部
分）３２を持つように、発熱体２に面した位置に発熱体
２を覆うような状態で発熱体２から１５μｍ程度の距離
を隔てて配されている。発熱体２と可動部材３１との間
が気泡発生領域１１となる。なお、発熱体２及び可動部
材３１の種類や形状および配置はこれに限られることな
く、後述するように気泡の成長や圧力の伝搬を制御しう
る形状および配置であればよい。また、上述した液流路
１０は、後に取り上げる液体の流れの説明のため、可動
部材３１を境にして直接吐出口１８に連通している部分
を第１の液流路１４とし、気泡発生領域１１や液体供給
路１２を有する第２の液流路１６の２つの領域に分けて
説明する。
【００５４】発熱体２を発熱させることで可動部材３１
と発熱体２との間の気泡発生領域１１の液体に熱を作用
し、液体に米国特許４，７２３，１２９号公報に記載さ
れているような膜沸騰現象に基づく気泡４０を発生させ
る。気泡４０の発生に基づく圧力と気泡４０は可動部材
３１に優先的に作用し、可動部材３１は、図１（ｂ），
（ｃ）もしくは図２で示されるように支点３３を中心に
吐出口１８側に大きく開くように変位する。可動部材３
１の変位若しくは変位した状態によって気泡４０の発生
に基づく圧力の伝搬や気泡４０自身の成長が吐出口１８
側に導かれる。
【００５５】ここで、本発明における吐出原理の一つを
説明する。
【００５６】本発明において重要な原理の１つは、気泡
４０に対面するように配された可動部材３１が気泡４０
の圧力あるいは気泡４０自体に基づいて、定常状態の第
１の位置から変位後の位置である第２の位置へ変位し、
この変位する可動部材３１によって気泡４０の発生に伴
う圧力や気泡４０自身を吐出口１８が配された下流側へ
導くことである。
【００５７】この原理を従来の液流路構造と比較してさ
らに詳しく説明する。
【００５８】図３は、従来のヘッドにおける気泡からの
圧力伝搬を示す模式図であり、図４は、本発明のヘッド
における気泡からの圧力伝搬を示す模式図である。な
お、ここでは吐出口方向への圧力の伝搬方向をＶA、上
流側への圧力の伝搬方向をＶBとして示した。
【００５９】図３で示されるような従来のヘッドにおい
ては、発生した気泡４０による圧力の伝搬方向を規制す
る構成はない。このため気泡４０の圧力伝搬方向はＶ1
〜Ｖ8のように気泡表面の垂線方向となり様々な方向を
向いていた。このうち、特に液吐出に最も影響を及ぼす
ＶA方向に圧力伝搬方向の成分を持つものは、Ｖ1〜Ｖ4
即ち気泡のほぼ半分の位置より吐出口に近い部分の圧力
伝搬の方向成分であり、液吐出効率、液吐出力、吐出速
度等に直接寄与する重要な部分である。さらにＶ 1は吐
出方向ＶAの方向に最も近いため効率よく働き、逆にＶ4
はＶAに向かう方向成分は比較的少ない。
【００６０】これに対して、図４で示される本発明の場
合には、可動部材３１が図３の場合のように様々な方向
を向いていた気泡の圧力伝搬方向Ｖ1〜Ｖ4を下流側（吐
出口側）へ導き、ＶAの圧力伝搬方向に変換するもので
あり、これにより気泡４０の圧力が直接的に効率よく吐
出に寄与することになる。そして、気泡の成長方向自体
も圧力伝搬方向Ｖ1〜Ｖ4と同様に下流方向に導かれ、上
流より下流で大きく成長する。このように、気泡の成長
方向自体を可動部材によって制御し、気泡の圧力伝搬方
向を制御することで、吐出効率や吐出力また吐出速度等
の根本的な向上を達成することができる。
【００６１】次に図１に戻って、本形態の液体吐出ヘッ
ドの吐出動作について詳しく説明する。
【００６２】図１（ａ）は、発熱体２に電気エネルギー
等のエネルギーが印加される前の状態であり、発熱体２
が熱を発生する前の状態である。
【００６３】ここで重要なことは、可動部材３１が、発
熱体２の発熱によって発生した気泡に対し、この気泡の
少なくとも下流側部分に対面する位置に設けられている
ことである。つまり、気泡の下流側が可動部材３１に作
用するように、液流路構造上では少なくとも発熱体２の
面積中心３より下流（発熱体の面積中心３を通って流路
の長さ方向に直交する線より下流）の位置まで可動部材
３１が配されている。
【００６４】図１（ｂ）は、発熱体２に電気エネルギー
等が印加されて発熱体２が発熱し、発生した熱によって
気泡発生領域１１内を満たす液体の一部を加熱し、膜沸
騰に伴う気泡４０を発生させた状態である。
【００６５】このとき、可動部材３１は気泡４０の発生
に基づく圧力により、気泡４０の圧力の伝搬方向を吐出
口１８方向に導くように第１位置から第２位置へ変位す
る。ここで重要なことは前述したように、可動部材３１
の自由端３２を下流側（吐出口側）に配置し、支点３３
を上流側（共通液室側）に位置するように配置して、可
動部材３１の少なくとも一部を発熱体２の下流部分すな
わち気泡４０の下流部分に対面させることである。
【００６６】図１（ｃ）は、気泡４０がさらに成長した
状態であるが、気泡４０発生に伴う圧力に応じて可動部
材３１はさらに変位している。発生した気泡４０は、上
流より下流に大きく成長すると共に可動部材３１の第１
の位置（点線位置）を越えて大きく成長している。この
ように、気泡４０の成長に応じて可動部材３１が徐々に
変位して行くことで気泡４０の圧力伝搬方向や堆積移動
のしやすい方向、すなわち自由端側への気泡４０の成長
方向を吐出口１８に均一的に向かわせることができるこ
とも吐出効率を高めると考えられる。可動部材３１は気
泡４０や発泡圧を吐出口１８方向へ導く際もこの伝達の
妨げになることはほとんどなく、伝搬する圧力の大きさ
に応じて効率よく圧力の伝搬方向や気泡４０の成長方向
を制御することができる。
【００６７】図１（ｄ）は、気泡４０が、前述した膜沸
騰の後気泡内部圧力の減少によって収縮し、消滅する状
態を示している。
【００６８】第２の位置まで変位していた可動部材３１
は、気泡４０の収縮による負圧と可動部材３１自身のば
ね性による復元力によって図１（ａ）の初期位置（第１
の位置）に復帰する。また、消泡時には、気泡発生領域
１１での気泡４０の収縮体積を補うため、また、吐出さ
れた液体の体積分を補うために上流側（Ｂ）、すなわち
共通液室１３側から流れのＶD1、ＶD2のように、また、
吐出口１８側から流れのＶcのように液体が流れ込んで
くる。
【００６９】以上、気泡の発生に伴う可動部材の動作と
液体の吐出動作について説明したが、以下に、本発明の
液体吐出ヘッドにおける液体のリフィルについて詳しく
説明する。
【００７０】図１を用いて本発明における液供給メカニ
ズムをさらに詳しく説明する。
【００７１】図１（ｃ）の後、気泡４０が最大体積の状
態を経て消泡過程に入ったときには、消泡した体積を補
う体積の液体が気泡発生領域１１に、第１液流路１４の
吐出口１８側と第２液流路１６の共通液室側１３から流
れ込む。可動部材３１を持たない従来の液流路構造にお
いては、消泡位置に吐出口側から流れ込む液体の量と共
通液室から流れ込む液体の量は、気泡発生領域より吐出
口に近い部分と共通液室に近い部分との流抵抗の大きさ
に起因する（流路抵抗と液体の慣性に基づくものであ
る。）。
【００７２】このため、吐出口に近い側の流抵抗が小さ
い場合には、多くの液体が吐出口側から消泡位置に流れ
込みメニスカスの後退量が大きくなることになる。特
に、吐出効率を高めるために吐出口に近い側の流抵抗を
小さくして吐出効率を高めようとするほど、消泡時のメ
ニスカスＭの後退が大きくなり、リフィル時間が長くな
って高速印字を妨げることとなっていた。
【００７３】これに対して本形態においては、可動部材
３１を設けたため、気泡の体積Ｗを可動部材３１の第１
位置を境に上側をＷ１、気泡発生領域１１側をＷ２とし
た場合、消泡時に可動部材３１が元の位置に戻った時点
でメニスカスの後退は止まり、その後残ったＷ２の体積
分の液体供給は主に第２流路１６の流れＶD2からの液供
給によって成される。これにより、従来、気泡Ｗの体積
の半分程度に対応した量がメニスカスの後退量になって
いたのに対して、それより少ないＷ１の半分程度のメニ
スカス後退量に抑えることが可能になった。
【００７４】さらに、Ｗ２の体積分の液体供給は消泡時
の圧力を利用して可動部材３１の発熱体側の面に沿っ
て、主に第２液流路１６の上流側（ＶD2）から強制的に
行うことができるためより速いリフィルを実現できた。
【００７５】ここで特徴的なことは、従来のヘッドで消
泡時の圧力を用いたリフィルを行った場合、メニスカス
の振動が大きくなってしまい画像品位の劣化につながっ
ていたが、本形態の高速リフィルにおいては可動部材３
１によって吐出口１８側の第１液流路１４の領域と、気
泡発生領域１１との吐出口１８側での液体の流通が抑制
されるためメニスカスの振動を極めて少なくすることが
できることである。
【００７６】このように本発明は、第２流路１６の液供
給路１２を介しての発泡領域への強制リフィルと、上述
したメニスカス後退や振動の抑制によって高速リフィル
を達成することで、吐出の安定や高速繰り返し吐出、ま
た記録の分野に用いた場合、画質の向上や高速記録を実
現することができる。
【００７７】本発明の構成においては、さらに次のよう
な有効な機能を兼ね備えている。
【００７８】それは、気泡の発生による圧力の上流側へ
の伝搬（バック波）を抑制することである。発熱体２上
で発生した気泡の内、共通液室１３側（上流側）の気泡
による圧力は、その多くが、上流側に向かって液体を押
し戻す力（バック波）になっていた。このバック波は、
上流側の圧力と、それによる液移動量、そして液移動に
伴う慣性力を引き起こし、これらは液体の液流路内への
リフィルを低下させ高速駆動の妨げにもなっていた。
【００７９】本発明においては、まず可動部材３１によ
って上流側へのこれらの作用を抑えることでもリフィル
供給性の向上をさらに図っている。
【００８０】次に、本形態の更なる特徴的な構造と効果
について、以下に説明する。
【００８１】本形態における第２液流路１６は、発熱体
２の上流に発熱体２と実質的に平坦につながる（発熱体
表面が大きく落ち込んでいない）内壁を持つ液体供給路
１２を有している。このような場合、気泡発生領域１１
および発熱体２の表面への液体の供給は、可動部材３１
の気泡発生領域１１に近い側の面に沿って、ＶD2のよう
に行われる。このため、発熱体２の表面上に液体が淀む
ことが抑制され、液体中に溶存していた気体の析出や、
消泡できずに残ったいわゆる残留気泡が除去され易く、
また、液体への蓄熱が高くなりすぎることもない。従っ
て、より安定した気泡の発生を高速に繰り返し行うこと
ができる。なお、本形態では実質的に平坦な内壁を持つ
液体供給路１２を持つもので説明したが、これに限ら
ず、発熱体２表面となだらかに繋がり、なだらかな内壁
を有する液供給路であればよく、発熱体２上に液体の淀
みや、液体の供給に大きな乱流を生じない形状であれば
よい。
【００８２】また、気泡発生領域１１への液体の供給
は、可動部材３１の側部（スリット３５）を介してＶD1
から行われるものもある。しかし、気泡発生時の圧力を
さらに有効に吐出口１８に導くために図１で示すように
気泡発生領域１１の全体を覆う（発熱体面を覆う）よう
に大きな可動部材３１を用い、可動部材３１が第１の位
置へ復帰することで、気泡発生領域１１と第１液流路１
４の吐出口１８に近い領域との液体の流抵抗が大きくな
るような形態の場合、前述のＶD1から気泡発生領域１１
に向かっての液体の流れが妨げられる。しかし、本発明
のヘッド構造においては、気泡発生領域１１に液体を供
給するための流れＶD1があるため、液体の供給性能が非
常に高くなり、可動部材３１で気泡発生領域１１を覆う
ような吐出効率向上を求めた構造を採っても、液体の供
給性能を落とすことがない。
【００８３】図５は、本発明の液体の流れを説明するた
めの模式図である。
【００８４】可動部材３１の自由端３２と支点３３の位
置は、例えば図５で示されるように、自由端３２が相対
的に支点３３より下流側にある。このような構成のた
め、前述した発泡の際に気泡の圧力伝搬方向や成長方向
を吐出口１８側に導く等の機能や効果を効率よく実現で
きるのである。さらに、この位置関係は吐出に対する機
能や効果のみならず、液体の供給の際にも液流路１０を
流れる液体に対する流抵抗を小さくしでき高速にリフィ
ルできるという効果を達成している。これは図５に示す
ように、吐出によって後退したメニスカスＭが毛管力に
より吐出口１８へ復帰する際や、消泡に対しての液供給
が行われる場合に、液流路１０（第１液流路１４、第２
液流路１６を含む）内を流れる流れＳ1、Ｓ2、Ｓ3に対
し、逆らわないように自由端３２と支点３３とを配置し
ているためである。
【００８５】補足すれば、本形態図１においては、前述
のように可動部材３１の自由端３２が、発熱体２を上流
側領域と下流側領域とに２分する面積中心３（発熱体の
面積中心（中央）を通り液流路の長さ方向に直交する
線）より下流側の位置に対向するように発熱体２に対し
て延在している。これによって発熱体２の面積中心位置
３より下流側で発生する液体の吐出に大きく寄与する圧
力、又は気泡４０を可動部材３１が受け、この圧力及び
気泡４０を吐出口１８側に導くことができ、吐出効率や
吐出力を根本的に向上させることができる。
【００８６】さらに、加えて気泡４０の上流側をも利用
して多くの効果を得ている。
【００８７】また、本形態の構成においては可動部材３
１の自由端が瞬間的な機械的変位を行っていることも、
液体の吐出に対して有効に寄与している考えられる。
【００８８】（第２の実施の形態）図６は、本発明の第
２の実施の形態における液体吐出ヘッドの部分破断斜視
図である。
【００８９】図６において、Ａは可動部材３１が変位し
ている状態を示し（気泡は図示せず）、Ｂは可動部材３
１が初期位置（第１位置）の状態を示し、このＢの状態
をもって、気泡発生領域１１を吐出口１８に対して実質
的に密閉しているとする（ここでは、図示していないが
Ａ、Ｂ間には流路壁があり流路と流路を分離してい
る）。
【００９０】図６における可動部材３１は土台３４を側
部に２点設け、その間に液供給路１２を設けている。こ
れにより、可動部材３１の発熱体２側の面に沿って、ま
た、発熱体２の面と実質的に平坦もしくは、なだらかに
つながる面を持つ液供給路から液体の供給を成すことが
できる。
【００９１】ここで、可動部材３１の初期位置（第１位
置）では、可動部材３１は発熱体２の下流側および横方
向に配された発熱体下流壁３６と発熱体側壁３７に近接
または密着しており、気泡発生領域１１の吐出口１８側
に実質的に密閉されている。このため、発泡時の気泡の
圧力、特に気泡の下流側の圧力を逃がさず可動部材３１
の自由端側に集中的に作用させることができる。
【００９２】また、消泡時には、可動部材３１は第１位
置に戻り、発熱体２上への消泡時の液供給は気泡発生領
域１１の吐出口１８側が実質的に密閉状態になるため、
メニスカスの後退抑制等、先の実施の形態で説明した種
々の効果を得ることができる。また、リフィルに関する
効果においても先の実施の形態と同様の機能、効果を得
ることができる。
【００９３】また、本形態においては、図２や図６のよ
うに、可動部材３１を支持固定する土台３４を発熱体２
より離れた上流に設けると共に液流路１０より、小さな
幅の土台３４とすることで前述のような液供給路１２へ
の液体の供給を行っている。また、土台３４の形状のこ
れに限らず、リフィルをスムースに行えるものであれば
よい。
【００９４】なお、本形態においては可動部材３１と発
熱体２の間隔を１５μｍ程度としたが、気泡の発生に基
づく圧力が十分に可動部材に伝わる範囲であればよい。
【００９５】（第３の実施の形態）図７は、本発明の第
３の実施の形態における液体吐出ヘッドの部分破断斜視
図である。
【００９６】図７は、一つの液流路中に気泡発生領域、
そこで発生する気泡および可動部材３１との位置関係を
示していると共に、本発明の液体吐出方法やリフィル方
法をより分かり易くした図である。
【００９７】前述の実施の形態の多くは、可動部材３１
の自由端に対して、発生する気泡の圧力を集中して、急
峻な可動部材３１の移動と同時に気泡の移動を吐出口１
８側に集中させることを達成している。
【００９８】これに対して、本形態は、発生する気泡の
自由度を与えながら、滴吐出に直接作用する気泡の吐出
口１８側である気泡の下流側部分を可動部材３１の自由
端側で規制するものである。
【００９９】構成上で説明すると、図７では、前述の図
２（第１の実施の形態）に比較すると、図２の素子基板
１上に設けられた気泡発生領域の下流端に位置するバリ
ヤーとしての凸部（図の斜線部分）が本形態では設けら
れていない。つまり、可動部材３１の自由端領域および
両側端領域は、吐出口領域に対して気泡発生領域を実質
的に密閉せずに開放しており、この構成が本形態であ
る。
【０１００】本形態では、気泡の液滴吐出に直接作用す
る下流側部分のうち、下流側先端部の気泡成長が許容さ
れているので、その圧力成分を吐出に有効に利用してい
る。加えて少なくともこの下流側部分の上方へ向かう圧
力（図３のＶ2，Ｖ3，Ｖ4の分力）を可動部材３１の自
由端側部分が、この下流側先端部の気泡成長に加えられ
るように作用するため吐出効率を上述した実施の形態と
同様に向上する。前記実施の形態に比較して本形態は、
発熱体２の駆動に対する応答性が優れている。
【０１０１】また、本形態は、構造上簡単であるため製
造上の利点がある。
【０１０２】本形態施例の可動部材３１の支点部は、可
動部材３１の面部に対して小さい幅の１つの土台３４に
固定されている。従って、消泡時の気泡発生領域１１へ
の液体供給は、この土台の両側を通って供給される（図
の矢印参照）。この土台は供給性を確保するものであれ
ばどのような構造でもよい。
【０１０３】液体の供給時におけるリフィルは、本形態
の場合には、可動部材３１の存在によって気泡の消泡に
ともなって上方から気泡発生領域へ流れ込む流れが制御
されるので、従来の発熱体のみの気泡発生構造に対して
優れたものとなる。無論、これによって、メニスカスの
後退量を減じることもできる。
【０１０４】本形態の変形例としては、可動部材３１の
自由端に対する両側端（一方でも可）のみを気泡発生領
域１１に対して実質的に密閉状態とすることは好ましい
ものとして挙げられる。この構成によれば、可動部材３
１の側方へ向かう圧力をも先に説明した気泡の吐出口１
８側端部の成長に変更して利用することができるので、
一層吐出効率が向上する。
【０１０５】（第４の実施の形態）前述した機械的変位
による液体の吐出力をさらに向上させた例を、本形態で
説明する。
【０１０６】図８は、本発明の第４の実施の形態におけ
る液体吐出ヘッドの断面図である。
【０１０７】図８においては、可動部材３１の自由端３
２の位置が発熱体２のさらに下流側に位置するように、
可動部材３１が延在している。これによって自由端３２
位置での可動部材３１の変位速度を高くすることがで
き、可動部材３１の変位による吐出力の発生をさらに向
上させることができる。
【０１０８】また、自由端３２が先の実施の形態に比較
して吐出口１８側に近づくことになるので気泡４０の成
長をより安定した方向成分に集中できるので、より優れ
た吐出を行うことができる。
【０１０９】また、気泡４０の圧力中心部の気泡成長速
度に応じて、可動部材３１は変位速度Ｒ１で変位する
が、この位置より支点３３に対して、遠い位置の自由端
３２はさらに速い速度Ｒ２で変位する。これにより、自
由端３２を高い速度で機械的に液体に作用せしめ液移動
を起こさせることで吐出効率を高めている。
【０１１０】また、自由端形状は、図７と同じように液
流れに対して垂直な形状をすることにより、気泡４０の
圧力や可動部材３１の機械的な作用をより効率的に吐出
に寄与させることができる。
【０１１１】（第５の実施の形態）図９は、本発明の第
５の実施の形態における液体吐出ヘッドの模式断面図で
ある。
【０１１２】本形態の構造は先の実施の形態と異なり、
吐出口１８と直接連通する領域は液室側と連通した流路
形状となっておらず、構造の簡略化が図れるものであ
る。
【０１１３】液供給は全て、可動部材３１の発泡領域側
の面に沿った液供給路１２からのみ行われるもので、可
動部材３１の自由端３２や支点３３の吐出口１８に対す
る位置関係や発熱体２に面する構成は前述の実施の形態
と同様である。
【０１１４】本形態は、吐出効率や液供給性等、前述し
た効果を実現するものであるが、特に、メニスカスの後
退を抑制し消泡時の圧力を利用して、ほとんど全ての液
供給を消泡時の圧力を利用して、強制リフィルを行うも
のである。
【０１１５】図９（ａ）は、発熱体２により液体を発泡
させた状態を示しており、図９（ｂ）は、前記発泡が収
縮しつつある状態で、このとき可動部材３１の初期位置
への復帰とＳ3による液供給が行われる。
【０１１６】図９（ｃ）では、可動部材３１が、初期部
材が初期位置に復帰する際のわずかなメニスカス後退Ｍ
を、消泡後に吐出口１８付近の毛細管力によって、リフ
ィルしている状態である。
【０１１７】（第６の実施の形態）本形態においても主
たる液体の吐出原理については先の実施の形態と同じで
あるが、本形態においては、液流路を複流路構成にする
ことで、さらに熱を加えることで発泡させる液体（発泡
液）と、主として吐出される液体（吐出液）とを分ける
ことができるものである。
【０１１８】図１０は、本発明の第６の実施の形態にお
ける液体吐出ヘッドの断面図であり、図１１は、本発明
の第６の実施の形態における液体吐出ヘッドの部分破断
斜視図である。
【０１１９】本形態の液体吐出ヘッドは、液体に気泡を
発生させるための熱エネルギーを与える発熱体２が設け
られた素子基板１上に、発泡用の第２液流路１６があ
り、その上に吐出口１８に直接連通した吐出液用の第１
液流路１４が配されている。
【０１２０】第１液流路１４の上流側は、複数の第１液
流路１４に吐出液を供給するための第１共通液室１５に
連通しており、第２液流路１６の上流側は、複数の第２
液流路１６に発泡液を供給するための第２共通液室１７
に連通している。
【０１２１】但し、発泡液と吐出液を同じ液体とする場
合には、共通液室を一つにして共通化させてもよい。
【０１２２】第１と第２の液流路の間には、金属等の弾
性を有する材料で構成された分離壁３０が配されてお
り、第１液流路１４と第２液流路１６とを区分してい
る。なお、発泡液と吐出液とができる限り混ざり合わな
い方がよい液体の場合には、この分離壁３０によって、
できる限り完全に第１液流路１４と第２液流路１６の液
体の流通を分離した方がよいが、発泡液と吐出液とがあ
る程度混ざり合っても、問題がない場合には、分離壁３
０に完全分離の機能を持たせなくてもよい。
【０１２３】発熱体２の面方向上方への投影空間（以
下、吐出圧発生領域という；図１０中のＡの領域とＢの
気泡発生領域１１）に位置する部分の分離壁３０は、ス
リット３５によって吐出口１８側（液体の流れの下流
側）が自由端で、共通液室（１５，１７）側に支点３３
が位置する片持梁形状の可動部材３１となっている。こ
の可動部材３１は、気泡発生領域１１（Ｂ）に面して配
されているため、発泡液の発泡によって第１液流路１４
側の吐出口１８側に向けて開口するように動作する（図
中矢印方向）。図１１においても、発熱体２としての発
熱抵抗部と、この発熱抵抗部に電気信号を印加するため
の配線電極５とが配された素子基板１上に、第２の液流
路１６を構成する空間を介して分離壁３０が配置されて
いる。
【０１２４】可動部材３１の支点３３、自由端３２の配
置と、発熱体２との配置の関係については、先の実施の
形態と同様にしている。
【０１２５】また、先の実施の形態で液供給路１２と発
熱体２との構造の関係について説明したが、本形態にお
いても第２液流路１６と発熱体２との構造の関係を同じ
くしている。
【０１２６】次に、本形態の液体吐出ヘッドの動作につ
いて説明する。
【０１２７】図１２は、可動部材の動作を説明するため
の図である。
【０１２８】ヘッドを駆動させるにあたっては、第１液
流路１４に供給される吐出液と第２の液流路１６に供給
される発泡液として同じ水系のインクを用いて動作させ
た。発熱体２が発生した熱が、第２液流路１６の気泡発
生領域内の発泡液に作用することで、先の実施の形態で
説明したのと同様に発泡液に米国特許４，７２３，１２
９号公報に記載されているような膜沸騰現象に基づく気
泡４０を発生させる。
【０１２９】本形態においては、気泡発生領域１１の上
流側を除く、３方からの発泡圧の逃げがないため、この
気泡発生にともなう圧力が吐出圧発生部に配された可動
部材３１側に集中して伝搬し、気泡４０の成長をともな
って可動部材３１が図１２（ａ）の状態から図１２
（ｂ）のように第１液流路１４側に変位する。この可動
部材３１の動作によって第１液流路１４と第２液流路１
６とが大きく連通し、気泡４０の発生に基づく圧力が第
１液流路１４の吐出口側の方向（Ａ方向）に主に伝わ
る。この圧力の伝搬と、前述のような可動部材３１の機
械的変位によって液体が吐出口から吐出される。
【０１３０】次に、気泡が収縮するに伴って可動部材３
１が図１２（ａ）の位置まで戻ると共に、第１液流路１
４では吐出された吐出液体の量に見合う量の吐出液体が
上流側から供給される。本形態においても、この吐出液
体の供給は前述の実施の形態と同様に、可動部材３１が
閉じる方向であるため、吐出液体のリフィルを可動部材
３１で妨げることがない。
【０１３１】本形態は、可動部材３１の変位に伴う発泡
圧力の伝搬、気泡の成長方向、バック波の防止等に関す
る主要部分の作用や効果については先の第１の実施の形
態等と同じであるが、本形態のような２流路構成をとる
ことによって、さらに次のような長所がある。
【０１３２】すなわち、上述の形態の構成によると、吐
出液と発泡液とを別液体とし、発泡液の発泡で生じた圧
力によって吐出液を吐出することができる。このため従
来、熱を加えても発泡が十分に行われにくく吐出力が不
十分であったポリエチレングリコール等の高粘度の液体
であっても、この液体を第１の液流路に供給し、発泡液
に発泡が良好に行われる液体（エタノール：水＝４：６
の混合液１〜２ｃＰ程度等）や低沸点の液体を第２の液
流路１６に供給することで良好に吐出させることができ
る。
【０１３３】また、発泡液として、熱を受けても発熱体
の表面にコゲ等の堆積物を生じない液体を選択すること
で、発泡を安定化し、良好な吐出を行うことができる。
【０１３４】さらに、本発明のヘッドの構造においては
先の実施の形態で説明したような効果をも生じるため、
さらに高吐出効率、高吐出力で高粘性液体等の液体を吐
出することができる。
【０１３５】また、加熱に弱い液体の場合においてもこ
の液体を第１の液流路１４に吐出液として供給し、第２
の液流路１６で熱的に変質しにくく良好に発泡を生じる
液体を供給すれば、加熱に弱い液体に熱的な害を与える
ことなく、しかも上述のように高吐出効率、高吐出力で
吐出することができる。
【０１３６】（その他の実施の形態）以上、本発明の液
体吐出ヘッドや液体吐出方法の要部の実施の形態につい
て説明を行ったが、以下に、これらの実施の形態に好ま
しく適用できる実施態様例について図面を用いて説明す
る。但し、以下の説明においては前述の１流路形態の実
施の形態と２流路形態の実施の形態のいずれかを取り上
げて説明する場合があるが特に記載しない限り、両形態
に適用しうるものである。
【０１３７】＜液流路の天井形状＞図１３は、可動部材
と第１液流路の構造を説明するための図である。
【０１３８】図１３に示すように、第１液流路１３（若
しくは図１における液流路１０）を構成するための溝が
設けられた溝付き部材５０が分離壁３０上に設けられて
いる。本形態においては、可動部材の自由端３２位置近
傍の流路天井の高さが高くなっており、可動部材の動作
角度θをより大きく取れるようにしている。この可動部
材の動作範囲は、液流路の構造、可動部材の耐久性や発
泡力等を考慮して決定すればよいが、吐出口の軸方向の
角度を含む角度まで動作することが望ましいと考えられ
る。
【０１３９】また、この図で示されるように吐出口の直
径より可動部材の自由端の変位高さを高くすることで、
より十分な吐出力の伝達が成される。また、この図で示
されるように、可動部材の自由端３２位置の液流路天井
の高さより可動部材の支点３３位置の液流路天井の高さ
の方が低くなっているため、可動部材の変位よる上流側
への圧力波の逃げがさらに有効に防止できる。
【０１４０】＜第２液流路と可動部材との配置関係＞図
１４は、可動部材と液流路の構造を説明するための図で
あり、（ａ）は分離壁３０及び可動部材３１近傍を上方
から見た図、（ｂ）は分離壁３０を外した第２液流路１
６を上方から見た図、（ｃ）は可動部材６と第２液流路
１６との配置関係をこれらの各要素を重ねることで模式
的に示した図である。なお、いずれの図も図面下方が吐
出口が配されている前面側である。
【０１４１】本形態の第２の液流路１６は発熱体２の上
流側（ここでの上流側とは第２共通液室側から発熱体位
置、可動部材、第１流路を経て吐出口に向う大きな流れ
の中の上流側のことである）に狭窄部１９を持ってお
り、発泡時の圧力が第２液流路１６の上流側に容易に逃
げることを抑制するような室（発泡室）構造となってい
る。
【０１４２】従来のヘッドのように、発泡する流路と液
体を吐出するための流路とが同じで、発熱体より液室側
に発生した圧力が共通液室側に逃げないように狭窄部を
設けるヘッドの場合には、液体のリフィルを充分考慮し
て、狭窄部における流路断面積があまり小さくならない
構成を採る必要があった。
【０１４３】しかし、本形態の場合、吐出される液体の
多くを第１液流路内の吐出液とすることができ、発熱体
が設けられた第２液流路内の発泡液はあまり消費されな
いようにできるため、第２液流路の気泡発生領域１１へ
の発泡液の充填量は少なくて良い。従って、上述の狭窄
部１９における間隔を数μｍ〜十数μｍと非常に狭くで
きるため、第２液流路で発生した発泡時の圧力をあまり
周囲に逃がすことをさらに抑制でき、集中して可動部材
側に向けることができる。そしてこの圧力を可動部材３
１を介して吐出力として利用することができるため、よ
り高い吐出効率、吐出力を達成することができる。た
だ、第１液流路１６の形状は上述の構造に限られるもの
ではなく、気泡発生に伴う圧力が効果的に可動部材側に
伝えられる形状であれば良い。
【０１４４】なお、図１４（ｃ）で示されるように、可
動部材３１の側方は、第２液流路を構成する壁の一部を
覆っており、このことで、可動部材３１の第２液流路へ
の落ち込みが防止できる。これによって、前述した吐出
液と発泡液との分離性をさらに高めることができる。ま
た、気泡のスリットからの逃げの抑制ができるため、さ
らに吐出圧や吐出効率を高めることができる。さらに、
前述の消泡時の圧力による上流側からのリフィルの効果
を高めることができる。
【０１４５】なお、図１２（ｂ）や図１３においては、
可動部材６の第１の液流路１４側への変位に伴って第２
の液流路４の気泡発生領域で発生した気泡の一部が第１
の液流路１４側に延在しているが、この様に気泡が延在
するような第２流路の高さにすることで、気泡が延在し
ない場合に比べ更に吐出力を向上させることができる。
この様に気泡が第１の液流路１４に延在するようにする
ためには、第２の液流路１６の高さを最大気泡の高さよ
り低くすることが望ましく、この高さを数μｍ〜３０μ
ｍとすることが望ましい。なお、本形態においてはこの
高さを１５μｍとした。
【０１４６】＜可動部材および分離壁＞図１５は、可動
部材の他の形状を説明するための図であり、（ａ）は長
方形の形状を示す図、（ｂ）は支点側が細くなっている
形状で可動部材の動作が容易な形状を示す図、（ｃ）は
支点側が広くなっており、可動部材の耐久性が向上する
形状を示す図である。
【０１４７】図１５において、３５は、分離壁に設けら
れたスリットであり、このスリットによって、可動部材
３１が形成されている。動作の容易性と耐久性が良好な
形状として、図１４（ａ）で示したように、支点側の幅
が円弧状に狭くなっている形態が望ましいが、可動部材
の形状は第２の液流路側に入り込むことがなく、容易に
動作可能な形状で、耐久性に優れた形状であればよい。
【０１４８】先の実施の形態においては、板状可動部材
３１をおよびこの可動部材を有する分離壁５は厚さ５μ
ｍのニッケルで構成したが、これに限られることなく可
動部材、分離壁を構成する材質としては発泡液と吐出液
に対して耐溶剤性があり、可動部材として良好に動作す
るための弾性を有し、微細なスリットが形成できるもの
であればよい。
【０１４９】可動部材の材料としては、耐久性の高い、
銀、ニッケル、金、鉄、チタン、アルミニュウム、白
金、タンタル、ステンレス、りん青銅等の金属、および
その合金、または、アクリロニトリル、ブタジエン、ス
チレン等のニトリル基を有する樹脂、ポリアミド等のア
ミド基を有する樹脂、ポリカーボネイト等のカルボキシ
ル基を有する樹脂、ポリアセタール等のアルデヒド基を
持つ樹脂、ポリサルフォン等のスルホン基を持つ樹脂、
そのほか液晶ポリマー等の樹脂およびその化合物、耐イ
ンク性の高い、金、タングステン、タンタル、ニッケ
ル、ステンレス、チタン等の金属、これらの合金および
耐インク性に関してはこれらを表面にコーティングした
もの若しくは、ポリアミド等のアミド基を有する樹脂、
ポリアセタール等のアルデヒド基を持つ樹脂、ポリエー
テルエーテルケトン等のケトン基を有する樹脂、ポリイ
ミド等のイミド基を有する樹脂、フェノール樹脂等の水
酸基を有する樹脂、ポリエチレン等のエチル基を有する
樹脂、ポリプロピレン等のアルキル基を持つ樹脂、エポ
キシ樹脂等のエポキシ基を持つ樹脂、メラミン樹脂等の
アミノ基を持つ樹脂、キシレン樹脂等のメチロール基を
持つ樹脂およびその化合物、さらに二酸化珪素等のセラ
ミックおよびその化合物が望ましい。
【０１５０】分離壁の材質としては、ポリエチレン、ポ
リプロピレン、ポリアミド、ポリエチレンテレフタレー
ト、メラミン樹脂、フェノール樹脂、エポキシ樹脂、ポ
リブタジエン、ポリウレタン、ポリエーテルエーテルケ
トン、ポリエーテルサルフォン、ポリアリレート、ポリ
イミド、ポリサルフォン、液晶ポリマー（ＬＣＰ）等の
近年のエンジニアリングプラスチックに代表される耐熱
性、耐溶剤性、成型性の良好な樹脂、およびその化合
物、もしくは、二酸化珪素、チッ化珪素、ニッケル、
金、ステンレス等の金属、合金およびその化合物、もし
くは表面にチタンや金をコーティングしたものが望まし
い。
【０１５１】また、分離壁の厚さは、分離壁としての強
度を達成でき、可動部材として良好に動作するという観
点からその材質と形状等を考慮して決定すればよいが、
０．５μｍ〜１０μｍ程度が望ましい。
【０１５２】なお、可動部材３１を形成するためのスリ
ット３５の幅は本実施例では２μｍとしたが、発泡液と
吐出液とが異なる液体であり、両液体の混液を防止した
い場合は、スリット幅を両者の液体間でメニスカスを形
成する程度の間隔とし、夫々の液体同士の流通を抑制す
ればよい。例えば、発泡液として２ｃｐ（センチポア
ズ）程度の液体を用い、吐出液として１００ｃｐ以上の
液体を用いた場合には、５μｍ程度のスリットでも混液
を防止することができるが、３μｍ以下にすることが望
ましい。
【０１５３】本発明における可動部材としてはμｍオー
ダーの厚さ（ｔμｍ）を対象としており、ｃｍオーダー
の厚さの可動部材は意図していない。μｍオーダーの厚
さの可動部材にとって、μｍオーダーのスリット幅（Ｗ
μｍ）を対象とする場合、製造のバラツキをある程度考
慮することが望ましい。
【０１５４】スリットを形成する可動部材の自由端ある
いは／且つ側端に対向する部材の厚みが可動部材の厚み
と同等の場合（図１２，図１３等）、スリット幅と厚み
の関係を製造のバラツキを考慮して以下のような範囲に
することで発泡液と吐出液の混液を安定的に抑制するこ
とができる。このことは限られた条件ではあるが設計上
の観点として、３ｃｐ以下の粘度の発泡液に対して高粘
度インク（５ｃｐ、１０ｃｐ等）を用いる場合、Ｗ／ｔ
≦１を満足するようにすることで、２液の混合を長期に
わたって抑制することが可能な構成となった。
【０１５５】本発明の「実質的な密閉状態」を与えるス
リットとしては、このような数μｍオーダであればより
確実である。
【０１５６】上述のように、発泡液と吐出液とに機能分
離させた場合、可動部材がこれらの実質的な仕切部材と
なる。この可動部材が気泡の生成に伴って移動する際に
吐出液に対して発泡液がわずかに混入することが見られ
る。画像を形成する吐出液は、インクジェット記録の場
合、色材濃度を３％乃至５％程度有するものが一般的で
あることを考慮すると、この発泡液が吐出液滴に対して
２０％以下の範囲で含まれても大きな濃度変化をもたら
さない。従って、このような混液としては、吐出液滴に
対して２０％以下となるような発泡液と吐出液との混合
を本発明に含むものとする。
【０１５７】尚、上記構成例の実施では、粘性を変化さ
せても上限で１５％の発泡液の混合であり、５ｃｐ以下
の発泡液では、この混合比率は、駆動周波数にもよる
が、１０％程度を上限とするものであった。
【０１５８】特に、吐出液の粘度を２０ｃｐ以下にすれ
ばする程、この混液は低減（例えば５％以下）できる。
【０１５９】次に、このヘッドにおける発熱体と可動部
材の配置関係について、図を用いて説明する。ただし、
可動部材と発熱体の形状および寸法，数は、以下に限定
されるものではない。発熱体と可動部材の最適な配置に
よって、発熱体による発泡時の圧力を吐出圧として有効
に利用することが可能となる。
【０１６０】図１６は、発熱体面積とインク吐出量の関
係を示す図である。
【０１６１】熱等のエネルギーをインクに与えること
で、インクに急峻な体積変化（気泡の発生）を伴う状態
変化を生じさせ、この状態変化に基づく作用力によって
吐出口からインクを吐出し、これを被記録媒体上に付着
させて画像形成を行うインクジェット記録方法、いわゆ
るバブルジェット記録方法の従来技術においては、図１
６に示すように、発熱体面積とインク吐出量は比例関係
にあるが、インク吐出に寄与しない非発泡有効領域Ｓが
存在していることがわかる。また、発熱体上のコゲの様
子から、この非発泡有効領域Ｓが発熱体の周囲に存在し
ていることがわかる。これらの結果から、発熱体周囲の
約４μｍ幅は、発泡に関与されていないとされている。
【０１６２】したがって、発泡圧を有効利用するために
は、発熱体の周囲から約４μｍ以上内側の発泡有効領域
の直上が可動部材の可動領域で覆われるように、可動部
材を配置するのが効果的であると言える。本形態におい
ては、発泡有効領域を発熱体周囲から約４μｍ以上内側
としたが、発熱体の種類や形成方法によっては、これに
限定されるものではない。
【０１６３】図１７は、可動部材と発熱体との位置関係
を示す図であり、５８×１５０μｍの発熱体２に可動領
域の総面積が異なる可動部材３０１（（ａ）図）、可動
部材３０２（（ｂ）図）を配置したときの上部から見た
模式図である。
【０１６４】可動部材３０１の寸法は、５３×１４５μ
ｍで、発熱体２の面積よりも小さいが、発熱体２の発泡
有効領域と同じ程度の寸法であり、該発泡有効領域を覆
うように、配置されている。一方、可動部材３０２の寸
法は、５３×２２０μｍで発熱体２の面積よりも大きく
（幅寸法を同じにした場合、支点〜可動先端間の寸法が
発熱体の長さよりも長い）、可動部材３０１と同じよう
に発泡有効領域を覆うように配置されている。上記２種
の可動部材３０１、３０２に対し、それらの耐久性と吐
出効率について測定を行った。測定条件は以下の通りで
ある。
【０１６５】 発泡液 ： エタノール４０％水溶液 吐出用インク： 染料インク 電圧 ： ２０．２Ｖ 周波数 ： ３ｋＨｚ この測定条件で実験を行った結果、可動部材の耐久性に
関しては、（ａ）可動部材３０１の方は、１×１０7パ
ルス印加したところで可動部材３０１の支点部分に損傷
が見られた。（ｂ）可動部材３０２の方は、３×１０8
パルス印加しても、損傷は見られなかった。また、投入
エネルギーに対する吐出量と吐出速度からもとまる運動
エネルギーも約１．５〜２．５倍程度向上することが確
認された。
【０１６６】以上の結果から、耐久性、吐出効率の両面
からみても、発泡有効領域の真上を覆うように可動部材
を設け、該可動部材の面積が発熱体の面積よりも大きい
方が、優れていることがわかる。
【０１６７】図１８は、発熱体のエッジから可動部材の
支点までの距離と、可動部材の変位量の関係を示す図で
あり、図１９は、発熱体２と可動部材３１との配置関係
を側面方向から見た断面構成図である。
【０１６８】発熱体２は４０×１０５μｍのものを用い
た。発熱体２のエッジから可動部材３１の支点３３まで
の距離ｌが大きい程、変位量が大きいことがわかる。し
たがって、要求されるインクの吐出量や吐出液の流路構
造および発熱体形状などによって、最適変位量を求め、
可動部材の支点の位置を決めることが望ましい。
【０１６９】また、可動部材の支点が発熱体の発泡有効
領域直上に位置する場合は、可動部材の変位による応力
に加え、発泡圧力が直接支点に加わるため可動部材の耐
久性が低下してしまう。本発明者の実験によると、発泡
有効領域の真上に支点を設けたものでは、１×１０6パ
ルス程度で、可動壁に損傷が生じており、耐久性が低下
してしまうことが分かっている。したがって、可動部材
の支点は、発熱体の発泡有効領域直上外に配置すること
で耐久性がそれ程高くない形状や材質の可動部材であっ
ても実用可能性が高くなる。ただし、前記発泡有効領域
直上に支点がある場合でも形状や材質を選択すれば、良
好に用いることができる。かかる構成において、高吐出
効率および耐久性に優れた液体吐出ヘッドが得られる。
【０１７０】＜素子基板＞以下に、液体に熱を与えるた
めの発熱体が設けられた素子基板の構成について説明す
る。
【０１７１】図２０は、本発明の液体吐出ヘッドの縦断
面図であり、（ａ）は後述する保護膜があるヘッドを示
す図、（ｂ）は保護膜がないヘッドを示す図である。
【０１７２】素子基板１上に第２液流路１６、分離壁３
０、第１液流路１４、第１液流路を構成する溝を設けた
溝付き部材５０が配されている。
【０１７３】素子基板１には、シリコン等の基板１０７
に絶縁および蓄熱を目的としたシリコン酸化膜またはチ
ッ化シリコン膜１０６を成膜し、その上に発熱体を構成
するハフニュウムボライド（ＨｆＢ2）、チッ化タンタ
ル（ＴａＮ）、タンタルアルミ（ＴａＡｌ）等の電気抵
抗層１０５（０．０１〜０．２μｍ厚）とアルミニュウ
ム等の配線電極（０．２〜１．０μｍ厚）を図１１のよ
うにパターニングされている。この２つの配線電極１０
４から抵抗層１０５に電圧を印加し、抵抗層に電流を流
し発熱させる。配線電極間の抵抗層上には、酸化シリコ
ンやチッ化シリコン等の保護層を０．１〜２．０μｍ厚
で形成し、さらにそのうえにタンタル等の耐キャビテー
ション層（０．１〜０．６μｍ厚）が成膜されており、
インク等の各種の液体から抵抗層１０５を保護してい
る。
【０１７４】特に、気泡の発生、消泡の際に発生する圧
力や衝撃波は非常に強く、堅くてもろい酸化膜の耐久性
を著しく低下させるため、金属材料のタンタル（Ｔａ）
等が耐キャビテーション層として用いられる。
【０１７５】また、液体、液流路構成、抵抗材料の組み
合わせにより上述の保護層を必要としない構成でもよく
その例を図２０（ｂ）に示す。このような保護層を必要
としない抵抗層の材料としてはイリジュウム−タンタル
−アルミ合金等が挙げられる。
【０１７６】このように、前述の各実施例における発熱
体の構成としては、前述の電極間の抵抗層（発熱部）だ
けででもよく、また抵抗層を保護する保護層を含むもの
でもよい。
【０１７７】本形態においては、発熱体として電気信号
に応じて発熱する抵抗層で構成された発熱部を有するも
のを用いたが、これに限られることなく、吐出液を吐出
させるのに十分な気泡を発泡液に生じさせるものであれ
ばよい。例えば、発熱部としてレーザ等の光を受けるこ
とで発熱するような光熱変換体や高周波を受けることで
発熱するような発熱部を有する発熱体でもよい。
【０１７８】なお、前述の素子基板１には、前述の発熱
部を構成する抵抗層１０５とこの抵抗層に電気信号を供
給するための配線電極１０４で構成される電気熱変換体
の他に、この電気熱変換素子を選択的に駆動するための
トランジスタ、ダイオード、ラッチ、シフトレジスタ等
の機能素子が一体的に半導体製造工程によって作り込ま
れていてもよい。
【０１７９】また、前述のような素子基板１に設けられ
ている電気熱変換体の発熱部を駆動し、液体を吐出する
ためには、前述の抵抗層１０５に配線電極１０４を介し
て図２１で示されるような矩形パルスを印加し、配線電
極間の抵抗層１０５を急峻に発熱させる。
【０１８０】図２１は、駆動パルスの形状を示す模式図
である。
【０１８１】前述の各形態のヘッドにおいては、それぞ
れ電圧２４Ｖ、パルス幅７μｓｅｃ、電流１５０ｍＡ、
電気信号を６ｋＨｚで加えることで発熱体を駆動させ、
前述のような動作によって、吐出口から液体であるイン
クを吐出させた。しかしながら、駆動信号の条件はこれ
に限られることなく、発泡液を適正に発泡させることが
できる駆動信号であればよい。
【０１８２】＜２流路構成のヘッド構造＞以下に、第
１、第２の共通液室に異なる液体を良好に分離して導入
でき部品点数の削減を図れ、コストダウンを可能とする
液体吐出ヘッドの構造例について説明する。
【０１８３】図２２は、本発明の液体吐出ヘッドの供給
路を説明するための断面図であり、先の実施の形態と同
じ構成要素については同じ符号を用いており、詳しい説
明はここでは省略する。
【０１８４】本形態においては、溝付き部材５０は、吐
出口１８を有するオリフィスプレート５１と、複数の第
１液流路１４を構成する複数の溝と、複数の液流路１４
に共通して連通し、各第１の液流路３に液体（吐出液）
を供給するための第１の共通液室１５を構成する凹部と
から概略構成されている。
【０１８５】この溝付部材５０の下側部分に分離壁３０
を接合することにより複数の第１液流路１４を形成する
ことができる。このような溝付部材５０は、その上部か
ら第１共通液室１５内に到達する第１液体供給路２０を
有している。また、溝付部材５０は、その上部から分離
壁３０を突き抜けて第２共通液室１７内に到達する第２
の液体供給路２１を有している。
【０１８６】第１の液体（吐出液）は、図２２の矢印Ｃ
で示すように、第１液体供給路２０を経て、第１の共通
液室１５、次いで第１の液流路１４に供給され、第２の
液体（発泡液）は、図２２の矢印Ｄで示すように、第２
液体供給路２１を経て、第２共通液室１７、次いで第２
液流路１６に供給されるようになっている。
【０１８７】本形態では、第２液体供給路２１は、第１
液体供給路２０と平行して配されているが、これに限る
ことはなく、第１共通液室１５の外側に配された分離壁
３０を貫通して、第２共通液室１７に連通するように形
成されればどのように配されてもよい。
【０１８８】また、第２液体供給路２１の太さ（直径）
に関しては、第２液体の供給量を考慮して決められる。
第２液体供給路２１の形状は丸形状である必要はなく、
矩形状等でもよい。
【０１８９】また、第２共通液室１７は、溝付部材５０
を分離壁３０で仕切ることによって形成することができ
る。形成の方法としては、図２３で示す本実施例の分解
斜視図のように、素子基板上にドライフィルムで共通液
室枠と第２液路壁を形成し、分離壁を固定した溝付部材
５０と分離壁３０との結合体と素子基板１とを貼り合わ
せることにより第２共通液室１７や第２液流路１６を形
成してもよい。
【０１９０】本形態では、アルミニュウム等の金属で形
成された支持体７０上に、前述のように、発泡液に対し
て膜沸騰による気泡を発生させるための熱を発生する発
熱体としての電気熱変換素子が複数設けられた素子基板
１が配されている。
【０１９１】この素子基板１上には、第２液路壁により
形成された液流路１６を構成する複数の溝と、複数の発
泡液流路に連通し、それぞれの発泡液路に発泡液を供給
するための第２共通液室（共通発泡液室）１７を構成す
る凹部と、前述した可動壁３１が設けられた分離壁３０
とが配されている。
【０１９２】符号５０は、溝付部材である。この溝付部
材は、分離壁３０と接合されることで吐出液流路（第１
液流路）１４を構成する溝と、吐出液流路に連通し、そ
れぞれの吐出液流路に吐出液を供給するための第１の共
通液室（共通吐出液室）１５を構成するための凹部と、
第１共通液室に吐出液を供給するための第１供給路（吐
出液供給路）２０と、第２の共通液室１７に発泡液を供
給するための第２の供給路（発泡液供給路）２１とを有
している。第２の供給路２１は、第１の共通液室１５の
外側に配された分離壁３０を貫通して第２の共通液室１
７に連通する連通路に繋がっており、この連通路によっ
て吐出液と混合することなく発泡液を第２の共通液室１
５に供給することができる。
【０１９３】なお、素子基板１、分離壁３０、溝付天板
５０の配置関係は、素子基板１の発熱体に対応して可動
部材３１が配置されており、この可動部材３１に対応し
て吐出液流路１４が配されている。また、本形態では、
第２の供給路を１つ溝付部材に配した例を示したが、供
給量に応じて複数設けてもよい。さらに吐出液供給路２
０と発泡液供給路２１の流路断面積は供給量に比例して
決めればよい。 このような流路断面積の最適化により
溝付部材５０等を構成する部品をより小型化することも
可能である。
【０１９４】以上説明したように本形態によれば、第２
液流路に第２液体を供給する第２の供給路と、第１液流
路に第１液体を供給する第１の供給路とが同一の溝付部
材としての溝付天板からなることにより部品点数が削減
でき、工程の短縮化とコストダウンが可能となる。
【０１９５】また第２液流路に連通した第２の共通液室
への、第２液体の供給は、第１液体と第２液体を分離す
る分離壁を突き抜ける方向で第２液流路によって行なわ
れる構造であるため、前記分離壁と溝付部材と発熱体形
成基板との貼り合わせ工程が１度で済み、作りやすさが
向上すると共に、貼り合わせ精度が向上し、良好に吐出
することができる。
【０１９６】また、第２液体は、分離壁を突き抜けて第
２液体共通液室へ供給されるため、第２液流路に第２液
体の供給が確実となり、供給量が十分確保できるため、
安定した吐出が可能となる。
【０１９７】＜吐出液体、発泡液体＞先の実施の形態で
説明したように本発明においては、前述のような可動部
材を有する構成によって、従来の液体吐出ヘッドよりも
高い吐出力や吐出効率でしかも高速に液体を吐出するこ
とができる。本形態の内、発泡液と吐出液とに同じ液体
を用いる場合には、発熱体から加えられる熱によって劣
化せずに、また加熱によって発熱体上に堆積物を生じに
くく、熱によって気化、凝縮の可逆的状態変化を行うこ
とが可能であり、さらに液流路や可動部材や分離壁等を
劣化させない液体であれば種々の液体を用いることがで
きる。
【０１９８】このような液体の内、記録を行う上で用い
る液体（記録液体）としては従来のバブルジェット装置
で用いられていた組成のインクを用いることができる。
【０１９９】一方、本発明の２流路構成のヘッドを用
い、吐出液と発泡液を別液体とした場合には、発泡液と
して前述のような性質の液体を用いればよく、具体的に
は、メタノール、エタノール、ｎ−プロパノール、イソ
プロパノール、ｎ−ヘキサン、ｎ−ヘプタン、ｎ−オク
タン、トルエン、キシレン、二塩化メチレン、トリクレ
ン、フレオンＴＦ、フレオンＢＦ、エチルエーテル、ジ
オキサン、シクロヘキサン、酢酸メチル、酢酸エチル、
アセトン、メチルエチルケトン、水等およびこれらの混
合物が挙げられる。
【０２００】吐出液としては、発泡性の有無、熱的性質
に関係なく様々な液体を用いることができる。また、従
来吐出が困難であった発泡性が低い液体、熱によって変
質、劣化しやすい液体や高粘度液体等であっても利用で
きる。
【０２０１】ただし、吐出液の性質として吐出液自身、
又は発泡液との反応によって、吐出や発泡また可動部材
の動作等を妨げるような液体でないことが望まれる。
【０２０２】記録用の吐出液体としては、高粘度インク
等をも利用することができる。その他の吐出液体として
は、熱に弱い医薬品や香水等の液体を利用することもで
きる。
【０２０３】本発明においては、吐出液と発泡液の両方
に用いることができる記録液体として以下のような組成
のインクを用いて記録を行ったが、吐出力の向上によっ
てインクの吐出速度が高くなったため、液滴の着弾精度
が向上し非常に良好な記録画像を得ることができた。
【０２０４】 染料インク粘度２ｃｐ：（Ｃ．Ｉ．フードブラック２）染料 ３ｗｔ％ ジエチレングリコール １０ｗｔ％ チオジグリコール ５ｗｔ％ エタノール ３ｗｔ％ 水 ７７ｗｔ％ また、発泡液と吐出液に以下で示すような組成の液体を
組み合わせて吐出させて記録を行った。その結果、従来
のヘッドでは吐出が困難であった十数ｃｐ粘度の液体は
もちろん１５０ｃｐという非常に高い粘度の液体でさえ
も良好に吐出でき、高画質な記録物を得ることができ
た。
【０２０５】 発泡液１ ：エタノール ４０ｗｔ％ 水 ６０ｗｔ％ 発泡液２ ：水 １００ｗｔ％ 発泡液３ ：イゾプロピルアルコール １０ｗｔ％ 水 ９０ｗｔ％ 吐出液１ ：カーボンブラック５ ５ｗｔ％ 顔料インク スチレン−アクリル酸− （粘度約１５ｃｐ） アクリル酸エチル共重合体 １ｗｔ％ （酸化１４０，重量平均分子量８０００） モノエタノールアミン ０．２５ｗｔ％ グリセリン ６９ｗｔ％ チオジグリコール ５ｗｔ％ エタノール ３ｗｔ％ 水 １６．７５ｗｔ％ 吐出液２ ：ポリエチレングリコール２００ １００ｗｔ％ （粘度５５ｃｐ） 吐出液３ ：ポリエチレングリコール６００ １００ｗｔ％ （粘度１５０ｃｐ） ところで、前述したような従来吐出されにくいとされて
いた液体の場合には、吐出速度が低いために、吐出方向
性のバラツキが助長され記録紙上のドットの着弾精度が
悪く、また吐出不安定による吐出量のバラツキが生じこ
れらのことで、高品位画像が得にくかった。しかし、上
述の実施例の構成においては、気泡の発生を発泡液を用
いることで充分に、しかも安定して行うことができる。
このことで、液滴の着弾精度向上とインク吐出量の安定
化を図ることができ記録画像品位を著しく向上すること
ができた。
【０２０６】＜液体吐出ヘッドの製造＞次に、本発明の
液体吐出ヘッドの製造工程について説明する。
【０２０７】図２で示したような液体吐出ヘッドの場合
には、素子基板１上に可動部材３１を設けるための土台
３４をドライフィルム等をパターニングすることで形成
し、この土台３４に可動部材３１を接着、もしくは溶着
固定した。その後、各液流路１０を構成する複数の溝と
吐出口１８と共通液室１３を構成する凹部を有する溝付
部材を、溝と可動部材が対応するような状態で素子基板
１に接合することで形成した。
【０２０８】次に、図１０や図２３で示されるような２
流路構成の液体吐出ヘッドの製造工程について説明す
る。
【０２０９】図２３は、本発明のヘッドの分解斜視図で
ある。
【０２１０】大まかには、素子基板１上に第２液流路１
６の壁を形成し、その上に分離壁３０を取り付け、さら
にその上に第１液流路１４を構成する溝等が設けられた
溝付き部材５０を取り付ける。もしくは、第２液流路１
６の壁を形成した後、この壁の上に分離壁３０を取り付
けた溝付き部材５０を接合することでヘッドの製造を行
った。
【０２１１】さらに第２液流路の作製方法について詳し
く説明する。
【０２１２】図２４は、本発明の液体吐出ヘッドの製造
方法を説明するための工程図である。
【０２１３】本形態においては、（ａ）に示すように、
素子基板（シリコンウエハ）１上に半導体製造工程で用
いるのと同様の製造装置を用いてハフニュウムボライド
やチッ化タンタル等からなる発熱体２を有する電気熱変
換用素子を形成した後、次工程における感光性樹脂との
密着性の向上を目的として素子基板１の表面に洗浄を施
した。さらに、密着性を向上させるには、素子基板表面
に紫外線−オゾン等による表面改質を行った後、例えば
シランカップリング剤（日本ユニカ製：Ａ１８９）をエ
チルアルコールで１重量％に希釈した液を上記改質表面
上にスピンコートすることで達成される。
【０２１４】次に、表面洗浄を行い、密着性を向上した
基板１上に、（ｂ）に示すように、紫外線感光性樹脂フ
ィルム（東京応化製：ドライフィルム オーディルＳＹ
−３１８）ＤＦをラミネートした。
【０２１５】次に、（ｃ）に示すように、ドライフィル
ムＤＦ上にフォトマスクＰＭを配し、このフォトマスク
ＰＭを介してドライフィルムＤＦのうち、第２の流路壁
として残す部分に紫外線を照射した。この露光工程は、
キヤノン（株）製：ＭＰＡ−６００を用いて行い、約６
００ｍＪ／ｃｍ2の露光量で行った。
【０２１６】次に、（ｄ）に示すように、ドライフィル
ムＤＦを、キシレンとブチルセルソルブアセテートとの
混合液からなる現像液（東京応化製：ＢＭＲＣ−３）で
現像し、未露光部分を溶解させ、露光して硬化した部分
を第２液流路１６の壁部分として形成した。さらに、素
子基板１表面に残った残渣を酸素プラズマアッシング装
置（アルカンテック社製：ＭＡＳ−８００）で約９０秒
間処理して取り除き、引き続き、１５０℃で２時間、さ
らに紫外線照射１００ｍＪ／ｃｍ2を行って露光部分を
完全に硬化させた。
【０２１７】以上の方法により、上記シリコン基板から
分割、作製される複数のヒータボード（素子基板）に対
し、一様に第２の液流路を精度よく形成することができ
る。シリコン基板を、厚さ０．０５ｍｍのダイヤモンド
ブレードを取り付けたダイシングマシン（東京精密製：
ＡＷＤ−４０００）で各々のヒータボード１に切断、分
離した。分離されたヒータボード１を接着剤（東レ製：
ＳＥ４４００）でアルミベースプレート７０上に固定し
た（図２７）。次いで、予めアルミベースプレート７０
上に接合しておいたプリント配線基板７１と、ヒータボ
ード１とを直径０．０５ｍｍのアルミワイヤ（図示略）
で接続した。
【０２１８】次に、このようにして得られたヒータボー
ド１に、図２４（ｅ）に示すように、上述の方法で溝付
部材５０と分離壁３０との接合体を位置決め接合した。
すなわち、分離壁３０を有する溝付部材とヒータボード
１とを位置決めし、押さえバネ７８により係合、固定し
た後、インク・発泡液用供給部材８０をアルミベースプ
レート７０上に接合固定し、アルミワイヤ間、溝付部材
５０とヒータボード１とインク・発泡液用供給部材８０
との隙間をシリコーンシーラント（東芝シリコーン製：
ＴＳＥ３９９）で封止して完成させた。
【０２１９】以上の製法で、第２の液流路を形成するこ
とにより、各ヒータボードのヒータに対して位置ズレの
ない精度の良い流路を得ることができる。特に、溝付部
材５０と分離壁３０とをあらかじめ先の工程で接合して
おくことで、第１液流路１４と可動部材３１の位置精度
を高めることができる。
【０２２０】そして、これらの高精度製造技術によっ
て、吐出安定化が図られ印字品位が向上する。また、ウ
エハ上に一括で形成することが可能なため、多量に低コ
ストで製造することが可能である。
【０２２１】なお、本形態では、第２の液流路を形成す
るために紫外線硬化型のドライフィルムを用いたが、紫
外域、特に２４８ｎｍ付近に吸収帯域をもつ樹脂を用
い、ラミネート後、硬化させ、エキシマレーザで第２の
液流路となる部分の樹脂を直接除去することによっても
得ることが可能である。
【０２２２】また、この他の製造方法もある。
【０２２３】図２５は、本発明の液体吐出ヘッドの製造
方法を説明するための工程図である。
【０２２４】本形態においては、（ａ）に示すように、
ＳＵＳ基板１００上に厚さ１５μｍのレジスト１０１を
第２の液流路の形状でパターニングした。
【０２２５】次に、（ｂ）に示すように、ＳＵＳ基板１
００に対して電気メッキを行ってＳＵＳ基板１００上に
ニッケル層１０２を同じく１５μｍ成長させた。メッキ
液としては、スルフォミン酸ニッケルに応力減少剤（ワ
ールドメタル社製：ゼロオール）とほう酸、ピット防止
剤（ワールドメタル社製：ＮＰ−ＡＰＳ）、塩化ニッケ
ルを使用した。電着時の電界のかけ方としては、アノー
ド側に電極を付け、カソード側に既にパターニングした
ＳＵＳ基板１００を取り付け、メッキ液の温度を５０℃
とし、電流密度を５Ａ／ｃｍ2とした。
【０２２６】次に、（ｃ）に示すように、上記のような
メッキを終了したＳＵＳ基板１００に超音波振動を与
え、ニッケル層１０２の部分をＳＵＳ基板１００から剥
離し、所望の第２の液流路を得た。
【０２２７】一方、電気熱変換用素子を配設したヒータ
ボードを、半導体と同様の製造装置を用いてシリコンウ
エハに形成した。このウエハを先の実施例と同様に、ダ
イシングマシンで各々のヒータボードに分離した。この
ヒータボード１を、予めプリント基板１０４が接合され
たアルミベースプレート７０に接合し、プリント基板７
１とアルミワイヤ（図示略）とを接続することで電気的
配線を形成した。このような状態のヒータボード１上
に、図２５（ｄ）に示すように、先の工程で得た第２液
流路と位置決め固定した。この固定に際しては、後工程
で第１の実施例と同様に分離壁を固定した天板と押さえ
バネによって係合・密着されるため、天板接合時に位置
ズレが発生しない程度に固定されていれば十分である。
【０２２８】本形態では、上記位置決め固定に紫外線硬
化型接着剤（グレースジャパン製：アミコンＵＶ−３０
０）を塗布し、紫外線照射装置を用い、露光量を１００
ｍＪ／ｃｍ2として約３秒間で固定を完了した。
【０２２９】本形態の製法によれば、発熱体に対して位
置ズレのない精度の高い第２の液流路を得ることができ
ることに加え、ニッケルで流路壁を形成しているため、
アルカリ性の液体に強く、信頼性の高いヘッドを提供す
ることが可能となる。
【０２３０】また、この他の製造方法もある。
【０２３１】図２６は、本発明の液体吐出ヘッドの製造
方法を説明するための工程図である。
【０２３２】本形態においては、（ａ）に示すように、
アライメント穴あるいはマーク１００ａを有する厚さ１
５μｍのＳＵＳ基板１００の両面にレジスト３１を塗布
した。ここで、レジストとしては、東京応化製のＰＭＥ
ＲＰ−ＡＲ９００を使用した。
【０２３３】この後、（ｂ）に示すように、素子基板１
００のアライメント穴１００ａに合わせて、露光装置
（キヤノン（株）製：ＭＰＡ−６００）を用いて露光
し、第２の液流路を形成すべき部分のレジスト１０３を
除去した。露光は８００ｍＪ／ｃｍ2の露光量で行っ
た。
【０２３４】次に、（ｃ）に示すように、両面のレジス
ト１０３がパターニングされたＳＵＳ基板１００を、エ
ッチング液（塩化第２鉄または塩化第２銅の水溶液）に
浸漬し、レジスト１０３から露出している部分をエッチ
ングした後、レジストを剥離した。
【０２３５】次に、（ｄ）に示すように、先の製造方法
の実施例と同様に、ヒータボード１上に、エッチングさ
れたＳＵＳ基板１００を位置決め固定して第２の液流路
４を有する液体吐出ヘッドを組み立てた。
【０２３６】本形態の製法によれば、ヒータに対し位置
ズレのない精度の高い第２液流路４を得ることができる
ことに加え、ＳＵＳで流路を形成しているため、酸やア
ルカリ性の液体に強く信頼性の高い液体吐出ヘッドを提
供することができる。
【０２３７】以上説明したように、本形態の製造方法に
よれば、素子基板状に予め第２液流路の壁を配設するこ
とによって、電気熱変換体と第２液流路とが高精度に位
置決めすることが可能となる。また、切断、分離前の基
板上の多数の素子基板に対して第２の液流路を同時に形
成することができるので、多量に、かつ、低コストの液
体吐出ヘッドを提供することができる。
【０２３８】また、本形態の製造方法の液体吐出ヘッド
の製造方法を実施することによって得られた液体吐出ヘ
ッドは、発熱体と第２液流路とが高精度に位置決めされ
ているので、電気熱変換体の発熱による発泡の圧力を効
率よく受けることができ、吐出効率に優れたものとな
る。
【０２３９】＜液体吐出ヘッドカートリッジ＞次に、上
記実施の形態に係る液体吐出ヘッドを搭載した液体吐出
ヘッドカートリッジを概略説明する。
【０２４０】図２７は、液体吐出ヘッドカートリッジの
分解斜視図である。
【０２４１】図２７に示すように、液体吐出ヘッドカー
トリッジは、主に液体吐出ヘッド部２００と液体容器８
０とから概略構成されている。
【０２４２】液体吐出ヘッド部２００は、素子基板１、
分離壁３０、溝付部材５０、押さえバネ７８、液体供給
部材９０、支持体７０等から成っている。素子基板１に
は、前述のように発泡液に熱を与えるための発熱抵抗体
が、複数個、列状に設けられており、また、この発熱抵
抗体を選択的に駆動するための機能素子が複数設けられ
ている。この素子基板１と可動壁を持つ前述の分離壁３
０との間に発泡液路が形成され発泡液が流通する。この
分離壁３０と溝付天板５０との接合によって、吐出され
る吐出液体が流通する吐出流路（不図示）が形成され
る。
【０２４３】押さえバネ７８は、溝付部材５０に素子基
板１方向への付勢力を作用させる部材であり、この付勢
力により素子基板１、分離壁３０、溝付部材５０と、後
述する支持体７０とを良好に一体化させている。
【０２４４】支持体７０は、素子基板１等を支持するた
めのものであり、この支持体７０上にはさらに素子基板
１に接続し電気信号を供給するための回路基板７１や、
装置側と接続することで装置側と電気信号のやりとりを
行うためのコンタクトパッド７２が配置されている。
【０２４５】液体容器９０は、液体吐出ヘッドに供給さ
れる、インク等の吐出液体と気泡を発生させるための発
泡液とを内部に区分収容している。液体容器９０の外側
には、液体吐出ヘッドと液体容器との接続を行う接続部
材を配置するための位置決め部９４と接続部を固定する
ための固定軸９５が設けられている。吐出液体の供給
は、液体容器の吐出液体供給路９２から接続部材の供給
路８４を介して液体供給部材８０の吐出液体供給路８１
に供給され、各部材の吐出液体供給路８３，７１，２１
を介して第１の共通液室に供給される。発泡液も同様
に、液体容器の供給路９３から接続部材の供給路を介し
て液体供給部材８０の発泡液供給路８２に供給され、各
部材の発泡液体供給路８４，７１，２２を介して第２液
室に供給される。
【０２４６】以上の液体吐出ヘッドカートリッジにおい
ては、発泡液と吐出液が異なる液体である場合も、供給
を行いうる供給形態および液体容器で説明したが、吐出
液体と発泡液体とが同じである場合には、発泡液と吐出
液の供給経路および容器を分けなくてもよい。
【０２４７】なお、この液体容器には、各液体の消費後
に液体を再充填して使用してもよい。このためには液体
容器に液体注入口を設けておくことが望ましい。又、液
体吐出ヘッドと液体容器とは一体であってもよく、分離
可能としてもよい。
【０２４８】＜液体吐出装置＞図２８は、液体吐出装置
の概略構成図である。
【０２４９】本形態では特に吐出液体としてインクを用
いたインク吐出記録装置を用いて説明する液体吐出装置
のキャリッジＨＣは、インクを収容する液体タンク部９
０と液体吐出ヘッド部２００とが着脱可能なヘッドカー
トリッジを搭載しており、被記録媒体搬送手段で搬送さ
れる記録紙等の被記録媒体１５０の幅方向に往復移動す
る。
【０２５０】不図示の駆動信号供給手段からキャリッジ
上の液体吐出手段に駆動信号が供給されると、この信号
に応じて液体吐出ヘッドから被記録媒体に対して記録液
体が吐出される。
【０２５１】また、本形態の液体吐出装置においては、
被記録媒体搬送手段とキャリッジを駆動するための駆動
源としてのモータ１１１、駆動源からの動力をキャリッ
ジに伝えるためのギア１１２，１１３キャリッジ軸１１
５等を有している。この記録装置及びこの記録装置で行
う液体吐出方法によって、各種の被記録媒体に対して液
体を吐出することで良好な画像の記録物を得ることがで
きた。
【０２５２】図２９は、本発明の液体吐出方法および液
体吐出ヘッドを適用したインク吐出記録を動作させるた
めの装置全体のブロック図である。
【０２５３】記録装置は、ホストコンピュータ３００よ
り印字情報を制御信号として受ける。印字情報は印字装
置内部の入力インタフェイス３０１に一時保存されると
同時に、記録装置内で処理可能なデータに変換され、ヘ
ッド駆動信号供給手段を兼ねるＣＰＵ３０２に入力され
る。ＣＰＵ３０２はＲＯＭ３０３に保存されている制御
プログラムに基づき、前記ＣＰＵ３０２に入力されたデ
ータをＲＡＭ３０４等の周辺ユニットを用いて処理し、
印字するデータ（画像データ）に変換する。
【０２５４】またＣＰＵ３０２は前記画像データを記録
用紙上の適当な位置に記録するために、画像データに同
期して記録用紙および記録ヘッドを移動する駆動用モー
タを駆動するための駆動データを作る。画像データおよ
びモータ駆動データは、各々ヘッドドライバ３０７と、
モータドライバ３０５を介し、ヘッド２００および駆動
モータ３０６に伝達され、それぞれ制御されたタイミン
グで駆動され画像を形成する。
【０２５５】上述のような記録装置に適用でき、インク
等の液体の付与が行われる被記録媒体としては、各種の
紙やＯＨＰシート、コンパクトディスクや装飾板等に用
いられるプラスチック材、布帛、アルミニュウムや銅等
の金属材、牛皮、豚皮、人工皮革等の皮革材、木、合板
等の木材、竹材、タイル等のセラミックス材、スポンジ
等の三次元構造体等を対象とすることができる。
【０２５６】また上述の記録装置として、各種の紙やＯ
ＨＰシート等に対して記録を行うプリンタ装置、コンパ
クトディスク等のプラスチック材に記録を行うプラスチ
ック用記録装置、金属板に記録を行う金属用記録装置、
皮革に記録を行う皮革用記録装置、木材に記録を行う木
材用記録装置、セラミックス材に記録を行うセラミック
ス用記録装置、スポンジ等の三次元網状構造体に対して
記録を行う記録装置、又布帛に記録を行う捺染装置等を
も含むものである。
【０２５７】またこれらの液体吐出装置に用いる吐出液
としては、夫々の被記録媒体や記録条件に合わせた液体
を用いればよい。
【０２５８】＜記録システム＞次に、本発明の液体吐出
ヘッドを記録ヘッドとして用い被記録媒体に対して記録
を行う、インクジェット記録システムの一例を説明す
る。
【０２５９】図３０は、前述した本発明の液体吐出ヘッ
ド２０１を用いたインクジェット記録システムの構成を
説明するための模式図である。
【０２６０】本形態における液体吐出ヘッドは、被記録
媒体１５０の記録可能幅に対応した長さに３６０ｄｐｉ
の間隔で吐出口を複数配したフルライン型のヘッドであ
り、イエロー（Ｙ），マゼンタ（Ｍ），シアン（Ｃ），
ブラック（Ｂｋ）の４色に対応した４つのヘッドをホル
ダ２０２によりＸ方向に所定の間隔を持って互いに平行
に固定支持されている。
【０２６１】これらのヘッドに対してそれぞれ駆動信号
供給手段を構成するヘッドドライバ３０７から信号が供
給され、この信号に基づいて各ヘッドの駆動が成され
る。
【０２６２】各ヘッドには、吐出液としてＹ，Ｍ，Ｃ，
Ｂｋの４色のインクがそれぞれ２０４ａ〜２０４ｄのイ
ンク容器から供給されている。なお、符号２０４ｅは発
泡液が蓄えられた発泡液容器であり、この容器から各ヘ
ッドに発泡液が供給される構成になっている。
【０２６３】また、各ヘッドの下方には、内部にスポン
ジ等のインク吸収部材が配されたヘッドキャップ２０３
ａ〜２０３ｄが設けられており、非記録時に各ヘッドの
吐出口を覆うことでヘッドの保守を成すことができる。
【０２６４】符号２０６は、先の各実施例で説明したよ
うな各種、非記録媒体を搬送するための搬送手段を構成
する搬送ベルトである。搬送ベルト２０６は、各種ロー
ラにより所定の経路に引き回されており、モータドライ
バ３０５に接続された駆動用ローラにより駆動される。
【０２６５】本形態のインクジェット記録システムにお
いては、記録を行う前後に被記録媒体に対して各種の処
理を行う前処理装置２５１および後処理装置２５２をそ
れぞれ被記録媒体搬送経路の上流と下流に設けている。
【０２６６】前処理と後処理は、記録を行う被記録媒体
の種類やインクの種類に応じて、その処理内容が異なる
が、例えば、金属、プラスチック、セラミックス等の被
記録媒体に対しては、前処理として、紫外線とオゾンの
照射を行い、その表面を活性化することでインクの付着
性の向上を図ることができる。また、プラスチック等の
静電気を生じやすい被記録媒体においては、静電気によ
ってその表面にゴミが付着しやすく、このゴミによって
良好な記録が妨げられる場合がある。このため、前処理
としてイオナイザ装置を用い被記録媒体の静電気を除去
することで、被記録媒体からごみの除去を行うとよい。
また、被記録媒体として布帛を用いる場合には、滲み防
止、先着率の向上等の観点から布帛にアルカリ性物質、
水溶性物質、合成高分子、水溶性金属塩、尿素およびチ
オ尿素から選択される物質を付与する処理を前処理とし
て行えばよい。前処理としては、これらに限らず、被記
録媒体の温度を記録に適切な温度にする処理等であって
もよい。
【０２６７】一方、後処理は、インクが付与された被記
録媒体に対して熱処理、紫外線照射等によるインクの定
着を促進する定着処理や、前処理で付与し未反応で残っ
た処理剤を洗浄する処理等を行うものである。
【０２６８】なお、本形態では、ヘッドとしてフルライ
ンヘッドを用いて説明したが、これに限らず、前述した
ような小型のヘッドを被記録媒体の幅方向に搬送して記
録を行う形態のものであってもよい。
【０２６９】＜ヘッドキット＞以下に、本発明の液体吐
出ヘッドを有するヘッドキットを説明する。
【０２７０】図３１は、ヘッドキットの模式図である。
【０２７１】図３１に示すヘッドキットは、インクを吐
出するインク吐出部５１１を有する本発明のヘッド５１
０と、このヘッドと不可分もしくは分離可能な液体容器
であるインク容器５２０と、このインク容器にインクを
充填するためのインクを保持したインク充填手段とを、
キット容器５０１内に納めたものである。
【０２７２】インクを消費し終わった場合には、インク
容器の大気連通口５２１やヘッドとの接続部や、もしく
はインク容器の壁に開けた穴などに、インク充填手段の
挿入部（注射針等）５３１の一部を挿入し、この挿入部
を介してインク充填手段内のインクをインク容器内に充
填すればよい。
【０２７３】このように、本発明の液体吐出ヘッドと、
インク容器やインク充填手段等を一つのキット容器内に
納めてキットにすることで、インクが消費されてしまっ
ても前述のようにすぐに、また容易にインクをインク容
器内に充填することができ、記録の開始を迅速に行うこ
とができる。
【０２７４】なお、本形態のヘッドキットでは、インク
充填手段が含まれるもので説明を行ったが、ヘッドキッ
トとしては、インク充填手段を持たず、インクが充填さ
れた分離可能タイプのインク容器とヘッドとがキット容
器５１０内に納められている形態のものであってもよ
い。
【０２７５】また、この図３１では、インク容器に対し
てインクを充填するインク充填手段のみを示している
が、インク容器の他に発泡液を発泡液容器に充填するた
めの発泡液充填手段をキット容器内に納めた形態のもの
であってもよい。
【０２７６】
【実施例】以下に、本発明の実施例について図面を参照
して説明する。
【０２７７】（第１の実施例）図３２は、本発明の液体
吐出ヘッドの第１の実施例を示す要部断面図である。
【０２７８】本実施例は図３２に示すように、液体が吐
出される吐出口７１８と、パイプ形状を有する第１供給
路７２０と、第１供給路７２０に供給された液体を吐出
口７１８に導くステンレス等の部材で形成されている第
１液流路７１４と、液体に気泡を発生させるための熱エ
ネルギーを与える発熱体７０２と、アルミニウム等から
なる支持体７７０に支持され、発熱体７０２が設けられ
ている素子基板７０１と、第２液室から発泡用の液体が
供給される第２供給路７２１と、第２供給路７２１に供
給された液体を気泡発生領域７１１に導く第２液流路７
１６と、気泡発生領域７１１において発生する気泡の圧
力によって変位する可動部材７３１と、可動部材７３１
を含む分離壁７３０とから構成されている。ここで、第
１供給路７２０においては、吐出用の液体が貯留されて
いる第１液室（不図示）と連通し、第１液室から吐出用
の液体が供給され、また、第１液流路７１４において
は、吐出口７１８及び第１供給路７２０と連通してお
り、また、第２供給路７２１においては、発熱体７０２
上に形成された気泡発生領域７１１において気泡を発生
させるための発泡用の液体が貯留されている第２液室
（不図示）と連通しており、また、第２液流路において
は、第２供給路７２１と連通しており、また、可動部材
７３１においては、気泡発生領域７１１に面して吐出口
７１８側を自由端、反対側を支点として第１液流路７１
４と第２液流路７１６とを分離するように設けられ、気
泡発生領域７１１において発生する気泡の圧力によって
第１液流路７１４側に変位して第１液流路７１４と第２
液流路７１６とを連通させ、また、分離壁７３０におい
ては、第１液流路７１４と第２液流路７１６とを分離し
ている。なお、第１供給路７２０においては、断面が円
状のパイプ形状に限られることはなく、断面が矩形状の
パイプ形状でもよい。また、第１液流路７２０が形成さ
れている部材と支持体７７０とは熱膨張率がほぼ等しい
ものとする。
【０２７９】ここで、上述した第１供給路７２０及び第
２供給路７２１の構造について詳細に説明する。
【０２８０】図３３は、図３２に示した第２供給路７２
１の構造を示す斜視図であり、（ａ）は第２液流路７１
６毎に設けられたものを示す図、（ｂ）は分離壁７３０
が一体であり、左右２箇所のみに設けられたものを示す
図である。また、図３４は、図３２に示した第１供給路
７２０及び第２供給路７２１を裏面から見た図であり、
（ａ）は第２供給路７２１が第２液流路７１６毎に設け
られたものを示す図、（ｂ）は分離壁７３０が一体であ
り、第２供給路７２１が左右２箇所のみに設けられたも
のを示す図である。
【０２８１】図３３及び図３４に示すように、第２供給
路７２１及びそれに伴って設けられる第２供給口７２１
ａにおいては、第２液流路７１６毎に設けられるもの
と、分離壁７３０が一体のものにおいては、左右２箇所
のみに設けられるものとが考えられる。また、第１供給
路７２０に流される液体は、第１供給路７２０の両端か
ら供給される。
【０２８２】図３５〜図３７は、本発明の液体吐出ヘッ
ドの斜視図であり、図３５は、分離壁が一体であり、第
２供給路が左右２箇所のみに設けられているものを示す
図、図３６は、分離壁が一体であり、各液路毎に第２供
給路が設けられているものを示す図、図３７は、分離壁
が各液路毎に分離されているものを示す図である。
【０２８３】以下に、上記のように構成された液体吐出
ヘッドの動作について説明する。
【０２８４】吐出用の液体が第１供給路７２０から第１
供給口７２０ａを介して第１液流路７１４に供給され、
また、発泡用の液体が第２供給路７２１から第２供給口
７２１ａを介して第２液流路７１６の供給される。この
状態では、可動部材７３１は、第１液流路７１４と第２
液流路７１６とを分離するようになっている。
【０２８５】そして、発熱体７０２の発熱によって気泡
発生領域７１１において気泡が発生し、発生した気泡が
成長すると、可動部材７３１の自由端が第１液流路７１
４側に変位し、第１液流路７１４と第２液流路７１６と
が連通された状態となる。
【０２８６】このようにして、可動部材７３１の変位に
よって、気泡の発生による圧力が可動部材７３１に沿っ
た状態で吐出口７１８側に向けられ、吐出口７１８から
第１液流路７１４内の液体が効率良く吐出される。
【０２８７】その後、気泡が収縮し、消泡すると、可動
部材７３１が閉じた状態となって再び、第１液流路７１
４と第２液流路７１６とが分離される。
【０２８８】可動部材７３１が閉じた状態となると、吐
出用の液体が第１供給路７２０から第１供給口７２０ａ
を介して第１液流路７１４に供給されて吐出口７１８付
近に充填され、また、発泡用の液体が第２供給路７２１
から第２供給口７２１ａを介して第２液流路７１６の供
給されて気泡発生領域７１１付近に充填される。
【０２８９】なお、上述した液体吐出ヘッドは複数の素
子基板からなる長尺タイプであり、パイプ形状を有する
第１供給路７２０と第２供給路７２１とが一体となって
形成されており、製造の際に、ヘッドにインサートによ
り組み込まれる。
【０２９０】（第２の実施例）図３８は、本発明の液体
吐出ヘッドの第２の実施例を示す要部断面図である。
【０２９１】本実施例は図３８に示すように、液体が吐
出される吐出口７１８と、パイプ形状を有する第１供給
路８２０と、第１供給路８２０に供給された液体を吐出
口８１８に導くステンレス等の部材で形成されている第
１液流路８１４と、液体に気泡を発生させるための熱エ
ネルギーを与える発熱体８０２と、アルミニウム等から
なる支持体８７０に支持され、発熱体８０２が設けられ
ている素子基板８０１と、第２液室から発泡用の液体が
供給されるパイプ形状を有する第２供給路８２１と、第
２供給路８２１に供給された液体を気泡発生領域８１１
に導く第２液流路８１６と、気泡発生領域８１１におい
て発生する気泡の圧力によって変位する可動部材８３１
と、可動部材８３１を含む分離壁８３０とから構成され
ている。ここで、第１供給路８２０においては、吐出用
の液体が貯留されている第１液室（不図示）と連通し、
第１液室から吐出用の液体が供給され、また、第１液流
路８１４においては、吐出口８１８及び第１供給路８２
０と連通しており、また、第２供給路８２１において
は、発熱体８０２上に形成された気泡発生領域８１１に
おいて気泡を発生させるための発泡用の液体が貯留され
ている第２液室（不図示）と連通しており、また、第２
液流路においては、第２供給路８２１と連通しており、
また、可動部材８３１においては、気泡発生領域８１１
に面して吐出口８１８側を自由端、反対側を支点として
第１液流路８１４と第２液流路８１６とを分離するよう
に設けられ、気泡発生領域８１１において発生する気泡
の圧力によって第１液流路８１４側に変位して第１液流
路８１４と第２液流路８１６とを連通させ、また、分離
壁８３０においては、第１液流路８１４と第２液流路８
１６とを分離している。なお、第１供給路８２０及び第
２供給路８２１においては、断面が矩形状のパイプ形状
に限られることはなく、断面が矩形状のパイプ形状でも
よい。また、第１液流路８２０が形成されている部材と
支持体８７０とは熱膨張率がほぼ等しいものとする。
【０２９２】ここで、上述した第１供給路８２０及び第
２供給路８２１の構造について詳細に説明する。
【０２９３】図３９は、図３８に示した第１供給路８２
０及び第２供給路８２１の構造を示す図である。
【０２９４】図３９に示すように、パイプ形状を有する
第１供給路８２０及び第２供給路８２１は、それぞれ両
端から液体が供給され、それぞれに複数個設けられた第
１供給口８２０ａ及び第２供給口８２１ａから第１液流
路８１４及び第２液流路８１６にそれぞれ液体が供給さ
れる。
【０２９５】なお、上述した液体吐出ヘッドは長尺タイ
プであり、パイプ形状を有する第１供給路８２０及び第
２供給路８２１とが一体となって形成されており、製造
の際に、ヘッドにインサートにより組み込まれる。ま
た、図３９に示すように、第１供給路８２０及び第２供
給路８２１を形成する際、液体が供給される両端は、第
１供給路８２０及び第２供給路８２１が形成された後に
組付けられる。
【０２９６】以下に、上述した液体吐出ヘッドの回復動
作について説明する。
【０２９７】図４０は、本発明の液体吐出ヘッドの回復
動作の一例について説明するための図である。
【０２９８】液体吐出ヘッドの回復動作は図４０に示す
ように、まず、吐出用の液体が供給される第１供給路８
２０を閉鎖し、発泡用の液体が供給される第２供給路８
２１の循環回復を行う（図４０（ａ））。
【０２９９】次に、第１供給路８２０を閉鎖したまま、
第２供給路８２１を両側から加圧し、第２供給口８２１
ａから発泡用の液体を吐出させる（図４０（ｂ））。
【０３００】次に、第２供給路８２１を閉鎖し、第１供
給路８２０の循環回復を行う（図４０（ｃ））。
【０３０１】その後、第２供給路８２１を閉鎖したま
ま、第１供給路８２０を両側から加圧し、第１供給口８
２０ａから吐出用の液体を吐出させるとともに、吐出液
に混合した発泡液を吐出させる（図４０（ｄ））。
【０３０２】（第３の実施例）図４１は、本発明の第３
の実施例を説明するための図であり、（ａ）は第２液流
路の吐出口側に気泡が溜ってしまうものを示す図、
（ｂ）は（ａ）に示した気泡が溜る部分を削除したもの
を示す図、（ｃ）は可動部材の下部まで壁をのばしたも
のを示す図である。
【０３０３】図４１（ａ）に示すように、発熱体９０２
の発熱により気泡発生領域９１１において気泡を発生さ
せ、その圧力により可動部材９３１を第１液流路９１４
側に変位させて第１液流路９１４内の液体を吐出口９１
８から吐出させる液体吐出ヘッドにおいては、第２液流
路９１６の可動部材９３１よりも吐出口９１８側（図中
Ａ部）において、気泡発生領域９１１において発生した
気泡が溜ってしまい、その回復が困難となってしまう。
【０３０４】そこで、図４１（ｂ）に示すように、気泡
発生領域９１１前方の壁９３６を、可動部材９３１の自
由端の位置までのばし、図４１（ａ）に示したＡ部を削
除する。それにより、気泡発生領域９１１において発生
した気泡が残留してしまう領域がなくなる。
【０３０５】また、図４１（ｃ）に示すように、気泡発
生領域９１１前方の壁９３６を可動部材９３１の下部ま
でのばした場合、可動部材９３１の下方規制部材とな
り、第１液流路９１４と第２液流路９１６との分離がよ
り確実に行われ、吐出用の液体と発泡用の液体とを確実
に分離することができる。
【０３０６】
【発明の効果】本発明は、以上説明したように構成され
ているので、以下に記載するような効果を奏する。
【０３０７】（１）吐出用の液体が第１液室から第１供
給路及び第１液流路を介して吐出口へ導かれ、また、発
泡用の液体が第２液室から第２供給路及び第２液流路を
介して発熱体上に形成された気泡発生領域に導かれる構
成としたため、吐出用の液体と発泡用の液体が分離さ
れ、発熱体上に吐出用の液体が導かれることはなく、熱
に弱い液体を吐出する場合においても、発熱体上にこげ
等の堆積物を生じることはない。
【０３０８】このため、吐出用の液体の選択範囲が広が
り、熱に弱い液体も利用することができる。
【０３０９】（２）ヘッドが長尺化されたものにおいて
も、均一にかつ安定的に高速再充填を行うことが可能と
なる。
【０３１０】（３）第１供給路と第２供給路とが一体で
形成され、パイプ形状を有しているため、液体吐出ヘッ
ドが長尺タイプであって素子基板が複数個設けられてい
る場合においても、第１供給路及び第２供給路を形成す
る際に従来通りの製法で製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の液体吐出ヘッドの一例を示す模式断面
図である。
【図２】本発明の液体吐出ヘッドの部分破断斜視図であ
る。
【図３】従来のヘッドにおける気泡からの圧力伝搬を示
す模式図である。
【図４】本発明のヘッドにおける気泡からの圧力伝搬を
示す模式図である。
【図５】本発明の液体の流れを説明するための模式図で
ある。
【図６】本発明の第２の実施の形態における液体吐出ヘ
ッドの部分破断斜視図である。
【図７】本発明の第３の実施の形態における液体吐出ヘ
ッドの部分破断斜視図である。
【図８】本発明の第４の実施の形態における液体吐出ヘ
ッドの断面図である。
【図９】本発明の第５の実施の形態における液体吐出ヘ
ッドの模式断面図である。
【図１０】本発明の第６の実施の形態における液体吐出
ヘッド（２流路）の断面図である。
【図１１】本発明の第６の実施の形態における液体吐出
ヘッドの部分破断斜視図である。
【図１２】可動部材の動作を説明するための図である。
【図１３】可動部材と第１液流路の構造を説明するため
の図である。
【図１４】可動部材と液流路の構造を説明するための図
である。
【図１５】可動部材の他の形状を説明するための図であ
る。
【図１６】発熱体面積とインク吐出量の関係を示す図で
ある。
【図１７】可動部材と発熱体との配置関係を示す図であ
る。
【図１８】発熱体のエッジと支点までの距離と可動部材
の変位量の関係を示す図である。
【図１９】発熱体と可動部材との配置関係を説明するた
めの図である。
【図２０】本発明の液体吐出ヘッドの縦断面図である。
【図２１】駆動パルスの形状を示す模式図である。
【図２２】本発明の液体吐出ヘッドの供給路を説明する
ための断面図である。
【図２３】本発明のヘッドの分解斜視図である。
【図２４】本発明の液体吐出ヘッドの製造方法を説明す
るための工程図である。
【図２５】本発明の液体吐出ヘッドの製造方法を説明す
るための工程図である。
【図２６】本発明の液体吐出ヘッドの製造方法を説明す
るための工程図である。
【図２７】液体吐出ヘッドカートリッジの分解斜視図で
ある。
【図２８】液体吐出装置の概略構成図である。
【図２９】装置ブロック図である。
【図３０】液体吐出記録システムを示す図である。
【図３１】ヘッドキットの模式図である。
【図３２】本発明の液体吐出ヘッドの第１の実施例を示
す要部断面図である。
【図３３】図３２に示した第２供給路の構造を示す斜視
図であり、（ａ）は第２液流路毎に設けられたものを示
す図、（ｂ）は分離壁が一体であり、左右２箇所のみに
設けられたものを示す図である。
【図３４】図３２に示した第１供給路及び第２供給路を
裏面から見た図であり、（ａ）は第２供給路が第２液流
路毎に設けられたものを示す図、（ｂ）は分離壁が一体
であり、第２供給路が左右２箇所のみに設けられたもの
を示す図である。
【図３５】本発明の液体吐出ヘッドの斜視図であり、分
離壁が一体であり、第２供給路が左右２箇所のみに設け
られているものを示す図である。
【図３６】本発明の液体吐出ヘッドの斜視図であり、分
離壁が一体であり、各液路毎に第２供給路が設けられて
いるものを示す図である。
【図３７】本発明の液体吐出ヘッドの斜視図であり、分
離壁が各液路毎に分離されているものを示す図である。
【図３８】本発明の液体吐出ヘッドの第２の実施例を示
す要部断面図である。
【図３９】図３８に示した第１供給路及び第２供給路の
構造を示す図である。
【図４０】本発明の液体吐出ヘッドの回復動作の一例に
ついて説明するための図である。
【図４１】本発明の第３の実施例を説明するための図で
あり、（ａ）は第２液流路の吐出口側に気泡が溜ってし
まうものを示す図、（ｂ）は（ａ）に示した気泡が溜る
部分を削除したものを示す図、（ｃ）は可動部材の下部
まで壁をのばしたものを示す図である。
【図４２】従来の液体吐出ヘッドの液流路構造を説明す
るための図である。
【符号の説明】
１，７０１，８０１ 素子基板 ２，７０２，８０２，９０２ 発熱体 ３ 面積中心 １０ 液流路 １１，７１１，８１１，９１１ 気泡発生領域 １２ 供給路 １３ 共通液室 １４，７１４，８１４，９１４ 第１液流路 １５，７１５，８１５ 第１共通液室 １６，７１６，８１６，９１６ 第２液流路 １７，７１７，８１７ 第２共通液室 １８，７１８，８１８，９１８ 吐出口 １９ 狭窄部 ２０，７２０，８２０ 第１供給路 ２１，７２１，８２１ 第２供給路 ２２ 第１液流路壁 ２３ 第２液流路壁 ２４ 凸部 ３０，７３０，８３０ 分離壁 ３１，７３１，８３１，９３１ 可動部材 ３２ 自由端 ３３ 支点 ３４ 支持部材 ３５ スリット ３６ 気泡発生領域前壁 ３７ 気泡発生領域側壁 ４０ 気泡 ４５ 液滴 ５０ 溝付き部材 ５１ オリフィスプレート ７０，７７０ 支持体 ７８ ばね ８０ 供給部材 ７２０ａ，８２０ａ 第１供給口 ７２１ａ，８２１ａ 第２供給口 ７２６ 第１供給管 ７２７ 第２供給管 ９３６ 壁

Claims (28)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 液体を吐出する吐出口に連通する第１液
    流路と、 液体に熱を加えることで前記液体に気泡を発生させる気
    泡発生領域を有する第２液流路と、 前記第１液流路と前記気泡発生領域との間に配され、前
    記吐出口側に自由端を有し、前記気泡発生領域での気泡
    の発生による圧力に基づいて前記自由端を前記第１液流
    路側に変移させて前記圧力を前記吐出口側に導く可動部
    材とを有する液体吐出ヘッドにおいて、 前記第１液流路が複数設けられており、該複数の第１液
    流路に共通に連通する第１液室に液体を供給するための
    第１供給路が、複数の第１供給口を介して前記第１液室
    に連通していることを特徴とする液体吐出ヘッド。
  2. 【請求項２】 請求項１に記載の液体吐出ヘッドにおい
    て、 前記第２液流路が複数設けられており、該複数の第２液
    流路に共通に連通する第２液室と該第２液室に液体を供
    給するための第２供給口とが設けられていることを特徴
    とする液体吐出ヘッド。
  3. 【請求項３】 請求項１に記載の液体吐出ヘッドにおい
    て、 前記第２液流路には、前記気泡発生領域に対応して熱を
    発生する発熱体が設けられていることを特徴とする液体
    吐出ヘッド。
  4. 【請求項４】 請求項３に記載の液体吐出ヘッドにおい
    て、 前記発熱体は、素子基板に設けられていることを特徴と
    する液体吐出ヘッド。
  5. 【請求項５】 請求項４に記載の液体吐出ヘッドにおい
    て、 前記素子基板を支持するための支持体を有することを特
    徴とする液体吐出ヘッド。
  6. 【請求項６】 請求項２に記載の液体吐出ヘッドにおい
    て、 前記第１供給路と前記第２供給路とは一体的に形成され
    ていることを特徴とする液体吐出ヘッド。
  7. 【請求項７】 請求項５に記載の液体吐出ヘッドにおい
    て、 前記第１供給路が形成された部材と前記支持体とは熱膨
    張係数がほぼ等しいことを特徴とする液体吐出ヘッド。
  8. 【請求項８】 請求項１に記載の液体吐出ヘッドにおい
    て、 前記第１供給路が形成された部材は、ステンレスからな
    ることを特徴とする液体吐出ヘッド。
  9. 【請求項９】 請求項５または請求項７に記載の液体吐
    出ヘッドにおいて、 前記支持体は、アルミニウムであることを特徴とする液
    体吐出ヘッド。
  10. 【請求項１０】 請求項５に記載の液体吐出ヘッドにお
    いて、 前記素子基板は、前記支持体上に複数設けられ、 前記可動部材が形成された分離壁は、前記複数の素子基
    板に跨って延在するように配されていることを特徴とす
    る液体吐出ヘッド。
  11. 【請求項１１】 請求項５に記載の液体吐出ヘッドにお
    いて、 前記素子基板は、前記支持体上に複数設けられ、 前記可動部材が形成された分離壁は、前記複数の素子基
    板のそれぞれに対応して複数配されていることを特徴と
    する液体吐出ヘッド。
  12. 【請求項１２】 請求項１に記載の液体吐出ヘッドにお
    いて、 前記複数の第１供給口は、前記第１液室の両端近傍で該
    第１液室に連通していることを特徴とする液体吐出ヘッ
    ド。
  13. 【請求項１３】 請求項１に記載の液体吐出ヘッドにお
    いて、 前記素子基板は、複数個設けられ、 前記第１供給路は、前記複数の素子基板に跨いで設けら
    れたパイプ形状を有し、各素子基板毎の第１液流路に吐
    出用の液体を供給することを特徴とする液体吐出ヘッ
    ド。
  14. 【請求項１４】 請求項１３に記載の液体吐出ヘッドに
    おいて、 前記第２供給路は、前記複数の素子基板に跨いで設けら
    れたパイプ形状を有し、各素子基板毎の第２液流路に発
    泡用の液体を供給することを特徴とする液体吐出ヘッ
    ド。
  15. 【請求項１５】 請求項１乃至１４のいずれか１項に記
    載の液体吐出ヘッドにおいて、 前記第２液流路は、前記第２供給路と連通する側とは反
    対側において前記可動部材の自由端の位置が終端となっ
    ていることを特徴とする液体吐出ヘッド。
  16. 【請求項１６】 請求項１乃至１４のいずれか１項に記
    載の液体吐出ヘッドにおいて、 前記第２液流路は、前記第２供給路と連通する側とは反
    対側において前記可動部材の下部が終端となっているこ
    とを特徴とする液体吐出ヘッド。
  17. 【請求項１７】 請求項１４に記載の液体吐出ヘッドの
    回復方法であって、 前記第１供給路の両端を閉鎖した状態において前記第２
    供給路内に液体を流し、 前記第１供給路の両端を閉鎖した状態において前記第２
    供給路を両端から加圧し、 前記第２供給路の両端を閉鎖した状態において前記第１
    供給路内に液体を流し、 前記第２供給路の両端を閉鎖した状態において前記第１
    供給路を両端から加圧することによって、前記第１供給
    路及び前記第２供給路の回復を行うことを特徴とする液
    体吐出ヘッドの回復方法。
  18. 【請求項１８】 請求項１乃至１６のいずれか１項に記
    載の液体吐出ヘッドの製造方法であって、 前記第１供給路及び前記第２供給路の前記液体吐出ヘッ
    ドへの組み込みは、インサート成形により行うことを特
    徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。
  19. 【請求項１９】 請求項１乃至１６のいずれか１項に記
    載の液体吐出ヘッドと、 該液体吐出ヘッドから液体を吐出させるための駆動信号
    を供給する駆動信号供給手段とを有することを特徴とす
    る液体吐出装置。
  20. 【請求項２０】 請求項１乃至１６のいずれか１項に記
    載の液体吐出ヘッドと、 該液体吐出ヘッドから吐出された液体を受ける被記録媒
    体を搬送する被記録媒体搬送手段とを有することを特徴
    とする液体吐出装置。
  21. 【請求項２１】 請求項１９または請求項２０に記載の
    液体吐出装置において、 前記液体吐出ヘッドからインクを吐出し、記録紙にイン
    クを付着させることで記録を行うことを特徴とする液体
    吐出装置。
  22. 【請求項２２】 請求項１９または請求項２０に記載の
    液体吐出装置において、 前記液体吐出ヘッドからインクを吐出し、布帛にインク
    を付着させることで記録を行うことを特徴とする液体吐
    出装置。
  23. 【請求項２３】 請求項１９または請求項２０に記載の
    液体吐出装置において、 前記液体吐出ヘッドからインクを吐出し、プラスチック
    にインクを付着させることで記録を行うことを特徴とす
    る液体吐出装置。
  24. 【請求項２４】 請求項１９または請求項２０に記載の
    液体吐出装置において、 前記液体吐出ヘッドからインクを吐出し、金属にインク
    を付着させることで記録を行うことを特徴とする液体吐
    出装置。
  25. 【請求項２５】 請求項１９または請求項２０に記載の
    液体吐出装置において、 前記液体吐出ヘッドからインクを吐出し、木材にインク
    を付着させることで記録を行うことを特徴とする液体吐
    出装置。
  26. 【請求項２６】 請求項１９または請求項２０に記載の
    液体吐出装置において、 前記液体吐出ヘッドからインクを吐出し、皮革にインク
    を付着させることで記録を行うことを特徴とする液体吐
    出装置。
  27. 【請求項２７】 請求項１９または請求項２０に記載の
    液体吐出装置において、 前記液体吐出ヘッドから複数色の記録液体を吐出し、被
    記録媒体に前記複数色の記録液体を付着させることでカ
    ラー記録を行うことを特徴とする液体吐出装置。
  28. 【請求項２８】 請求項１９または請求項２０に記載の
    液体吐出装置において、 前記吐出口が被記録媒体の記録可能領域の全幅に渡っ
    て、複数配されていることを特徴とする液体吐出装置。
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DE69731032T DE69731032T2 (de) 1996-07-12 1997-07-09 Flüssigkeitsausstosskopf, Wiederherstellungsverfahren und Herstellungsverfahren für einen Flüssigkeitsausstosskopf und diesen Kopf verwendende Flüssigkeitsausstossvorrichtung
EP97305060A EP0819532B1 (en) 1996-07-12 1997-07-09 Liquid discharge head, recovery method and manufacturing method for liquid discharge head, and liquid discharge apparatus using liquid discharge head
US08/890,567 US6151049A (en) 1996-07-12 1997-07-09 Liquid discharge head, recovery method and manufacturing method for liquid discharge head, and liquid discharge apparatus using liquid discharge head
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AU28612/97A AU722632B2 (en) 1996-07-12 1997-07-11 Liquid discharge head, recovery method and manufacturing method for liquid discharge head, and liquid discharge apparatus using liquid discharge head
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103180146A (zh) * 2010-10-26 2013-06-26 伊斯曼柯达公司 包括液体分配元件的阵列的分配器

Families Citing this family (44)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH1024584A (ja) 1996-07-12 1998-01-27 Canon Inc 液体吐出ヘッドカートリッジおよび液体吐出装置
US6786420B1 (en) 1997-07-15 2004-09-07 Silverbrook Research Pty. Ltd. Data distribution mechanism in the form of ink dots on cards
JPH11129483A (ja) * 1997-07-03 1999-05-18 Canon Inc 液体吐出ヘッド用オリフィスプレートの製造方法、オリフィスプレート、該オリフィスプレートを有する液体吐出ヘッド及び液体吐出ヘッドの製造方法
US6618117B2 (en) 1997-07-12 2003-09-09 Silverbrook Research Pty Ltd Image sensing apparatus including a microcontroller
US7556356B1 (en) 1997-07-15 2009-07-07 Silverbrook Research Pty Ltd Inkjet printhead integrated circuit with ink spread prevention
US6879341B1 (en) 1997-07-15 2005-04-12 Silverbrook Research Pty Ltd Digital camera system containing a VLIW vector processor
US6557977B1 (en) * 1997-07-15 2003-05-06 Silverbrook Research Pty Ltd Shape memory alloy ink jet printing mechanism
US6648453B2 (en) 1997-07-15 2003-11-18 Silverbrook Research Pty Ltd Ink jet printhead chip with predetermined micro-electromechanical systems height
US7527357B2 (en) 1997-07-15 2009-05-05 Silverbrook Research Pty Ltd Inkjet nozzle array with individual feed channel for each nozzle
US20040119829A1 (en) 1997-07-15 2004-06-24 Silverbrook Research Pty Ltd Printhead assembly for a print on demand digital camera system
US6935724B2 (en) 1997-07-15 2005-08-30 Silverbrook Research Pty Ltd Ink jet nozzle having actuator with anchor positioned between nozzle chamber and actuator connection point
AUPO802597A0 (en) 1997-07-15 1997-08-07 Silverbrook Research Pty Ltd Image processing method and apparatus (ART08)
AUPP398798A0 (en) * 1998-06-09 1998-07-02 Silverbrook Research Pty Ltd Image creation method and apparatus (ij43)
US7337532B2 (en) 1997-07-15 2008-03-04 Silverbrook Research Pty Ltd Method of manufacturing micro-electromechanical device having motion-transmitting structure
US7110024B1 (en) 1997-07-15 2006-09-19 Silverbrook Research Pty Ltd Digital camera system having motion deblurring means
US6690419B1 (en) 1997-07-15 2004-02-10 Silverbrook Research Pty Ltd Utilising eye detection methods for image processing in a digital image camera
US6727948B1 (en) 1997-07-15 2004-04-27 Silverbrook Research Pty Ltd Utilizing autofocus information for image processing in a digital camera
US7465030B2 (en) 1997-07-15 2008-12-16 Silverbrook Research Pty Ltd Nozzle arrangement with a magnetic field generator
US6188415B1 (en) 1997-07-15 2001-02-13 Silverbrook Research Pty Ltd Ink jet printer having a thermal actuator comprising an external coil spring
US6712453B2 (en) 1997-07-15 2004-03-30 Silverbrook Research Pty Ltd. Ink jet nozzle rim
US7468139B2 (en) 1997-07-15 2008-12-23 Silverbrook Research Pty Ltd Method of depositing heater material over a photoresist scaffold
US6624848B1 (en) 1997-07-15 2003-09-23 Silverbrook Research Pty Ltd Cascading image modification using multiple digital cameras incorporating image processing
US6682174B2 (en) 1998-03-25 2004-01-27 Silverbrook Research Pty Ltd Ink jet nozzle arrangement configuration
US7195339B2 (en) 1997-07-15 2007-03-27 Silverbrook Research Pty Ltd Ink jet nozzle assembly with a thermal bend actuator
US6391527B2 (en) * 1998-04-16 2002-05-21 Canon Kabushiki Kaisha Method of producing micro structure, method of production liquid discharge head
US6959982B2 (en) * 1998-06-09 2005-11-01 Silverbrook Research Pty Ltd Flexible wall driven inkjet printhead nozzle
AUPP702098A0 (en) * 1998-11-09 1998-12-03 Silverbrook Research Pty Ltd Image creation method and apparatus (ART73)
AUPQ056099A0 (en) * 1999-05-25 1999-06-17 Silverbrook Research Pty Ltd A method and apparatus (pprint01)
AUPR399601A0 (en) * 2001-03-27 2001-04-26 Silverbrook Research Pty. Ltd. An apparatus and method(ART108)
US7794052B2 (en) * 2001-03-27 2010-09-14 Silverbrook Research Pty Ltd Printhead module of a printhead assembly
AU2004220740B2 (en) * 2001-03-27 2006-04-13 Memjet Technology Limited A printhead module with a fluid supply and valve to close the fluid supply
US7284826B2 (en) * 2001-03-27 2007-10-23 Silverbrook Research Pty Ltd Printer with elongate support structure for printhead
JP3826749B2 (ja) * 2001-08-22 2006-09-27 株式会社日立製作所 シャント抵抗を備えた電力変換装置
US7448734B2 (en) * 2004-01-21 2008-11-11 Silverbrook Research Pty Ltd Inkjet printer cartridge with pagewidth printhead
JP2007230194A (ja) * 2006-03-03 2007-09-13 Canon Finetech Inc インクジェット記録ヘッドおよび製造方法
PH12019000273B1 (en) * 2018-07-31 2024-01-12 Canon Kk Liquid ejection head, liquid ejection apparatus, and liquid ejection module
JP7286394B2 (ja) * 2018-07-31 2023-06-05 キヤノン株式会社 液体吐出ヘッド、液体吐出モジュール、液体吐出装置および液体吐出方法
US11014356B2 (en) 2018-07-31 2021-05-25 Canon Kabushiki Kaisha Liquid ejection head, liquid ejection module, and liquid ejection apparatus
US11007773B2 (en) 2018-07-31 2021-05-18 Canon Kabushiki Kaisha Liquid ejection head, liquid ejection module, and liquid ejection apparatus
JP7330741B2 (ja) * 2018-07-31 2023-08-22 キヤノン株式会社 液体吐出ヘッド、液体吐出モジュールおよび液体吐出装置
EP3603977B1 (en) * 2018-07-31 2024-03-27 Canon Kabushiki Kaisha Liquid ejection head and liquid ejection module
JP7292940B2 (ja) * 2018-07-31 2023-06-19 キヤノン株式会社 液体吐出ヘッド、液体吐出モジュールおよび液体吐出装置
US11179935B2 (en) 2019-02-19 2021-11-23 Canon Kabushiki Kaisha Liquid ejection head, liquid ejection module, and method of manufacturing liquid ejection head
JP7277180B2 (ja) * 2019-02-28 2023-05-18 キヤノン株式会社 ウルトラファインバブル生成装置およびウルトラファインバブル生成方法

Family Cites Families (42)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CA1127227A (en) * 1977-10-03 1982-07-06 Ichiro Endo Liquid jet recording process and apparatus therefor
JPS5581172A (en) * 1978-12-14 1980-06-18 Canon Inc Liquid injection type recording method and device
US4558333A (en) * 1981-07-09 1985-12-10 Canon Kabushiki Kaisha Liquid jet recording head
US4559543A (en) * 1981-10-13 1985-12-17 Canon Kabushiki Kaisha Ink jet recording device modular frame
US4611219A (en) * 1981-12-29 1986-09-09 Canon Kabushiki Kaisha Liquid-jetting head
JPS5919168A (ja) * 1982-07-26 1984-01-31 Canon Inc インクジエツト記録ヘツド
US4480259A (en) * 1982-07-30 1984-10-30 Hewlett-Packard Company Ink jet printer with bubble driven flexible membrane
US4496960A (en) * 1982-09-20 1985-01-29 Xerox Corporation Ink jet ejector utilizing check valves to prevent air ingestion
JPS59123672A (ja) * 1982-12-28 1984-07-17 Canon Inc 液体噴射ヘッド及び液体噴射記録装置
JPH0643129B2 (ja) * 1984-03-01 1994-06-08 キヤノン株式会社 インクジェット記録ヘッド
JPS61110557A (ja) * 1984-11-05 1986-05-28 Canon Inc 液体噴射記録ヘツド
US4723136A (en) * 1984-11-05 1988-02-02 Canon Kabushiki Kaisha Print-on-demand type liquid jet printing head having main and subsidiary liquid paths
JPS6169467A (ja) * 1985-06-11 1986-04-10 Seiko Epson Corp 記録液滴吐出型記録装置
JPS6248585A (ja) * 1985-08-28 1987-03-03 Sony Corp 感熱記録紙
DE3645017C2 (ja) * 1985-09-06 1990-07-12 Fuji Electric Co., Ltd., Kawasaki, Kanagawa, Jp
JPS62156969A (ja) * 1985-12-28 1987-07-11 Canon Inc 液体噴射記録ヘツド
JP2681350B2 (ja) * 1986-11-19 1997-11-26 キヤノン株式会社 インクジェット装置
JPS63197652A (ja) * 1987-02-13 1988-08-16 Canon Inc インクジエツト記録ヘツドおよびその製造方法
JPS63199972A (ja) * 1987-02-13 1988-08-18 Canon Inc 弁素子の製造方法
JP2801196B2 (ja) * 1987-11-20 1998-09-21 キヤノン株式会社 液体噴射装置
US4994825A (en) * 1988-06-30 1991-02-19 Canon Kabushiki Kaisha Ink jet recording head equipped with a discharging opening forming member including a protruding portion and a recessed portion
EP0352726B1 (en) * 1988-07-26 1994-04-27 Canon Kabushiki Kaisha Liquid-jet recording head and recording apparatus employing the same
JPH02113950A (ja) * 1988-10-24 1990-04-26 Nec Corp インクジェットヘッド
US5208604A (en) * 1988-10-31 1993-05-04 Canon Kabushiki Kaisha Ink jet head and manufacturing method thereof, and ink jet apparatus with ink jet head
JP2883113B2 (ja) * 1989-08-24 1999-04-19 富士ゼロックス株式会社 インクジェットプリントヘッド
DE69029352T2 (de) * 1989-09-18 1997-04-24 Canon Kk Tintenstrahlgerät
CA2025536C (en) * 1989-09-18 1995-04-18 Hiroshi Nakagomi Ink jet recording head and ink jet recording apparatus having same
AU635562B2 (en) * 1989-09-18 1993-03-25 Canon Kabushiki Kaisha Recording head with cover
EP0436047A1 (de) * 1990-01-02 1991-07-10 Siemens Aktiengesellschaft Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungskopf für Tintendruckeinrichtungen
JPH03240546A (ja) * 1990-02-19 1991-10-25 Silk Giken Kk インクジェット式印字ヘッド
JP2690379B2 (ja) * 1990-03-19 1997-12-10 キヤノン株式会社 インクジェット記録装置
JP2980444B2 (ja) * 1991-01-19 1999-11-22 キヤノン株式会社 液室内気泡導入機構を備えた液体噴射器およびこれを用いた記録装置および記録方法
JPH0516387A (ja) * 1991-07-15 1993-01-26 Canon Inc インクジエツトカートリツジ用パツケージ
JP3161635B2 (ja) * 1991-10-17 2001-04-25 ソニー株式会社 インクジェットプリントヘッド及びインクジェットプリンタ
JPH05124189A (ja) * 1991-11-01 1993-05-21 Matsushita Electric Ind Co Ltd インク吐出装置
US5278585A (en) * 1992-05-28 1994-01-11 Xerox Corporation Ink jet printhead with ink flow directing valves
JPH0687214A (ja) * 1992-09-04 1994-03-29 Sony Corp インクジェットプリントヘッドとインクジェットプリンタ及びその駆動方法
JPH06159914A (ja) * 1992-11-24 1994-06-07 Sanyo Electric Co Ltd 薬用保冷庫
AU4092296A (en) * 1995-01-13 1996-08-08 Canon Kabushiki Kaisha Liquid ejecting head, liquid ejecting device and liquid ejecting method
US5821962A (en) * 1995-06-02 1998-10-13 Canon Kabushiki Kaisha Liquid ejection apparatus and method
JP3408059B2 (ja) * 1995-09-22 2003-05-19 キヤノン株式会社 液体吐出ヘッド、液体吐出装置、および液体吐出装置の回復方法
CA2207240C (en) * 1996-06-07 2002-10-22 Canon Kabushiki Kaisha Liquid discharging head, liquid discharging apparatus and printing system

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103180146A (zh) * 2010-10-26 2013-06-26 伊斯曼柯达公司 包括液体分配元件的阵列的分配器

Also Published As

Publication number Publication date
AU2861297A (en) 1998-01-22
US6151049A (en) 2000-11-21
DE69731032T2 (de) 2005-10-06
CA2210387A1 (en) 1998-01-12
EP0819532A3 (en) 1998-11-04
CN1177542A (zh) 1998-04-01
CA2210387C (en) 2003-12-23
AU722632B2 (en) 2000-08-10
EP0819532B1 (en) 2004-10-06
EP0819532A2 (en) 1998-01-21
CN1082448C (zh) 2002-04-10
DE69731032D1 (de) 2004-11-11

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