JPH10207062A - Photosensitive resin composition - Google Patents
Photosensitive resin compositionInfo
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- JPH10207062A JPH10207062A JP2579297A JP2579297A JPH10207062A JP H10207062 A JPH10207062 A JP H10207062A JP 2579297 A JP2579297 A JP 2579297A JP 2579297 A JP2579297 A JP 2579297A JP H10207062 A JPH10207062 A JP H10207062A
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- photosensitive resin
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 経時的な着色や増粘ゲル化等がなく、保存安
定性に優れ、しかも耐熱性に優れた硬化物を与える感光
性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】 (A)スチレン、ビニルエーテル化合物
またはα−オレフィンからなる構造単位(I)、無水マ
レイン酸単位(II)および(メタ)アクリル酸エステル
単位(III )からなり、それらの組成モル比が、[スチ
レン、ビニルエーテル化合物またはα−オレフィンから
なる構造単位(I)]:[無水マレイン酸単位(I
I)]:[(メタ)アクリル酸エステル単位(III )]
=1:0.9〜1.1:0.2〜1.5であって、しか
もガラス転移温度(Tg)が90℃以上である共重合体
を、下記一般式(1)
【化1】
(式中、R1 は水素原子、メチル基またはエチル基を示
し、R2 は炭素数1〜3のアルキレン基を示す)で表さ
れる不飽和アルコールでエステル化してなる感光性樹
脂、(B)希釈剤、および(C)光重合開始剤を含有し
てなる感光性樹脂組成物。(57) [Problem] To provide a photosensitive resin composition which does not cause coloring with time or thickening gelation, has excellent storage stability, and gives a cured product having excellent heat resistance. SOLUTION: (A) Structural unit (I) comprising styrene, vinyl ether compound or α-olefin, maleic anhydride unit (II) and (meth) acrylate unit (III), and their composition molar ratio is , [Structural unit (I) comprising styrene, vinyl ether compound or α-olefin]: [Maleic anhydride unit (I
I)]: [(meth) acrylate unit (III)]
= 1: 0.9-1.1: 0.2-1.5 and a glass transition temperature (Tg) of 90 ° C. or more was obtained by the following general formula (1). (Wherein R 1 represents a hydrogen atom, a methyl group or an ethyl group, and R 2 represents an alkylene group having 1 to 3 carbon atoms). A) a photosensitive resin composition comprising a diluent and (C) a photopolymerization initiator.
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は感光性樹脂組成物、
より詳しくは光により硬化する樹脂組成物に関する。The present invention relates to a photosensitive resin composition,
More specifically, the present invention relates to a resin composition which is cured by light.
【0002】[0002]
【従来の技術】スチレン、メチルビニルエーテル等のビ
ニルエーテル化合物、またはイソブチレン等のα−オレ
フィンと無水マレイン酸の共重合体に水酸基を有する
(メタ)アクリル酸エステルを反応させて得られる感光
性樹脂、光重合性単量体や有機溶剤等の希釈剤および光
重合開始剤からなる光硬化性の樹脂組成物は公知(特開
昭49−37701号公報参照)であり、フォトレジス
ト材等の用途に利用されている。2. Description of the Related Art A photosensitive resin obtained by reacting a copolymer of a maleic anhydride with a vinyl ether compound such as styrene or methyl vinyl ether or an α-olefin such as isobutylene with a (meth) acrylic ester having a hydroxyl group. A photocurable resin composition comprising a polymerizable monomer, a diluent such as an organic solvent, and a photopolymerization initiator is known (see JP-A-49-37701), and is used for applications such as photoresist materials. Have been.
【0003】上記の樹脂組成物においては、水酸基を有
する(メタ)アクリル酸エステルとして、2−ヒドロキ
シエチル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシプロピ
ル(メタ)アクリレート、(メタ)アクリル酸とスチレ
ンオキシドの反応生成物、(メタ)アクリル酸とブチル
グリシジルエーテルの反応生成物などが使用されるが、
これらは工業的に入手が困難であるか又は比較的高価な
ものである。In the above resin composition, 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, 2-hydroxypropyl (meth) acrylate, and a reaction of (meth) acrylic acid with styrene oxide are used as (meth) acrylates having a hydroxyl group. Products, such as the reaction product of (meth) acrylic acid and butyl glycidyl ether,
These are difficult to obtain industrially or relatively expensive.
【0004】また、かかる(メタ)アクリル酸エステル
中の二重結合は一般に熱重合を起こしやすいため、上記
の共重合体との反応時に、著しく増粘したり、架橋ゲル
化を起こしやすいといった問題があった。Further, the double bond in such a (meth) acrylic acid ester is generally liable to be thermally polymerized, so that the double bond in the (meth) acrylic acid ester is liable to be remarkably thickened or cross-linked to form a gel when reacting with the above-mentioned copolymer. was there.
【0005】さらに、上記の共重合体と水酸基を有する
(メタ)アクリル酸エステルの反応によって得られた感
光性樹脂は保存安定性が十分でなく、経時的に着色した
り、増粘してゲル化するといった傾向がみられた。Further, the photosensitive resin obtained by the reaction between the above copolymer and a (meth) acrylic acid ester having a hydroxyl group has insufficient storage stability, and is colored with time or thickened due to gelation. There was a tendency that it became.
【0006】[0006]
【発明が解決しようとする課題】本発明者らは、上記の
問題点を解決し得る組成物として、(イ)スチレン、ビ
ニルエーテル化合物またはα−オレフィンと無水マレイ
ン酸および(メタ)アクリル酸エステルの共重合体に3
−メチル−3−ブテン−1−オールをエステル化反応に
より付加して得られる感光性樹脂、(ロ)希釈剤、およ
び(ハ)光重合開始剤を含有してなる感光性樹脂組成物
を見出し、すでに特許出願している(特開平5−345
815号公報参照)。DISCLOSURE OF THE INVENTION The present inventors have proposed a composition which can solve the above-mentioned problems, which comprises (a) styrene, vinyl ether compound or α-olefin with maleic anhydride and (meth) acrylate. 3 for the copolymer
A photosensitive resin composition comprising a photosensitive resin obtained by adding -methyl-3-buten-1-ol by an esterification reaction, (b) a diluent, and (c) a photopolymerization initiator. Has already filed a patent application (Japanese Unexamined Patent Publication No. Hei 5-345).
No. 815).
【0007】上記の感光性樹脂組成物は、十分な保存安
定性を有しており、しかもベースポリマーの特性を容易
に調整することができる。しかしながら、近年、より高
性能な感光性樹脂組成物が求められるようになってきて
おり、前述のようなフォトレジスト材として用いた場合
に、硬化後に優れた耐熱性を発揮することが求められて
いる。本発明は、このような要求に応えるべく、経時的
な着色や増粘ゲル化等がなく、しかも耐熱性に優れた硬
化物を与える感光性樹脂組成物を提供することを課題と
する。The above photosensitive resin composition has sufficient storage stability, and can easily adjust the properties of the base polymer. However, in recent years, a higher performance photosensitive resin composition has been required, and when used as a photoresist material as described above, it is required to exhibit excellent heat resistance after curing. I have. An object of the present invention is to provide a photosensitive resin composition that does not cause coloring over time or gelling with time and that gives a cured product excellent in heat resistance in order to meet such a demand.
【0008】[0008]
【課題を解決するための手段】本発明者らは、鋭意検討
した結果、前記特開平5−345815号公報に記載さ
れた感光性樹脂組成物において、ベースポリマーのガラ
ス転移点を高めることによって上記の課題が解決される
ことを見出し、さらに検討した結果、本発明を完成させ
るに至った。すなわち、本発明は、(A)スチレン、ビ
ニルエーテル化合物またはα−オレフィンからなる構造
単位(I)、無水マレイン酸単位(II)および(メタ)
アクリル酸エステル単位(III )からなり、それらの組
成モル比が、[スチレン、ビニルエーテル化合物または
α−オレフィンからなる構造単位(I)]:[無水マレ
イン酸単位(II)]:[(メタ)アクリル酸エステル単
位(III )]=1:0.9〜1.1:0.2〜1.5で
あって、しかもガラス転移温度(Tg)が90℃以上で
ある共重合体を、下記一般式(1)Means for Solving the Problems As a result of intensive studies, the present inventors have found that, in the photosensitive resin composition described in JP-A-5-345815, the glass transition point of the base polymer is increased to increase the glass transition point. The present inventors have found that the above-mentioned problem can be solved, and as a result of further study, have completed the present invention. That is, the present invention relates to (A) a structural unit (I) composed of styrene, a vinyl ether compound or an α-olefin, a maleic anhydride unit (II) and (meth)
It is composed of acrylic ester units (III), and their composition molar ratio is [structural unit (I) composed of styrene, vinyl ether compound or α-olefin]: [maleic anhydride unit (II)]: [(meth) acrylic Acid ester unit (III)] = 1: 0.9 to 1.1: 0.2 to 1.5, and a copolymer having a glass transition temperature (Tg) of 90 ° C. or higher is represented by the following general formula: (1)
【0009】[0009]
【化2】 Embedded image
【0010】(式中、R1 は水素原子、メチル基または
エチル基を示し、R2 は炭素数1〜3のアルキレン基を
示す)で表される不飽和アルコールでエステル化してな
る感光性樹脂、(B)希釈剤、および(C)光重合開始
剤を含有してなる感光性樹脂組成物である。(Wherein, R 1 represents a hydrogen atom, a methyl group or an ethyl group, and R 2 represents an alkylene group having 1 to 3 carbon atoms). , (B) a diluent, and (C) a photopolymerization initiator.
【0011】[0011]
【発明の実施の形態】本発明において使用する感光性樹
脂(A)は、スチレン、ビニルエーテル化合物またはα
−オレフィンからなる構造単位(I)[以下、これを構
造単位(I)と略称することがある]、無水マレイン酸
単位(II)および(メタ)アクリル酸エステル単位(II
I )からなる共重合体(以下、これを無水マレイン酸共
重合体と略称する)を、上記の一般式(1)で表される
不飽和アルコールでエステル化してなる樹脂である。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION The photosensitive resin (A) used in the present invention is styrene, a vinyl ether compound or α.
-An olefinic structural unit (I) [hereinafter sometimes abbreviated as a structural unit (I)], a maleic anhydride unit (II) and a (meth) acrylic ester unit (II)
It is a resin obtained by esterifying a copolymer comprising I) (hereinafter abbreviated as a maleic anhydride copolymer) with an unsaturated alcohol represented by the general formula (1).
【0012】無水マレイン酸共重合体を構成する構造単
位(I)としては、例えば、スチレン;メチルビニルエ
ーテル等のビニルエーテル化合物や、エチレン、プロピ
レン、1−ブテン、イソブチレン、1−ペンテン、1−
ヘキセン、1−ヘプテン、1−オクテン等の末端に二重
結合を有する炭素数が2〜8のα−オレフィンから誘導
される構造単位などが挙げられるが、これらの中でもイ
ソブチレン単位が好ましい。The structural unit (I) constituting the maleic anhydride copolymer includes, for example, styrene; vinyl ether compounds such as methyl vinyl ether, ethylene, propylene, 1-butene, isobutylene, 1-pentene and 1-pentene.
Structural units derived from α-olefins having 2 to 8 carbon atoms having a double bond at the terminal such as hexene, 1-heptene and 1-octene are exemplified, and among these, isobutylene units are preferable.
【0013】また、無水マレイン酸共重合体を構成する
(メタ)アクリル酸エステル単位(III)としては、例
えば、メチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)ア
クリレート、プロピル(メタ)アクリレート、ブチル
(メタ)アクリレート、ヘキシル(メタ)アクリレー
ト、オクチル(メタ)アクリレート、ラウリル(メタ)
アクリレート等の種々の(メタ)アクリル酸エステルか
ら誘導される構造単位などが挙げられ、感光性樹脂
(A)に要求されるポリマー物性を考慮して適宜選択さ
れる。なお、本明細書における「(メタ)アクリル酸エ
ステル」とは、アクリル酸エステルとメタクリル酸エス
テルの総称であり、また「(メタ)アクリレート」と
は、アクリレートとメタクリレートの総称である。The (meth) acrylate unit (III) constituting the maleic anhydride copolymer includes, for example, methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, propyl (meth) acrylate and butyl (meth) acrylate. ) Acrylate, hexyl (meth) acrylate, octyl (meth) acrylate, lauryl (meth)
Examples include structural units derived from various (meth) acrylic esters such as acrylates, and are appropriately selected in consideration of the polymer physical properties required for the photosensitive resin (A). In this specification, “(meth) acrylate” is a general term for acrylate and methacrylate, and “(meth) acrylate” is a general term for acrylate and methacrylate.
【0014】上記の無水マレイン酸共重合体は、スチレ
ン、ビニルエーテル等のビニルエーテル化合物またはイ
ソブチレン等のα−オレフィンと無水マレイン酸および
(メタ)アクリル酸エステル(以下、これらを原料モノ
マーと略称する)から、常法に従って製造することがで
きる。例えば、原料モノマーを反応容器に仕込み、溶媒
中、ラジカル重合開始剤とともに溶液重合法等により共
重合させることによって製造することができる。The above maleic anhydride copolymer is prepared from a vinyl ether compound such as styrene or vinyl ether or an α-olefin such as isobutylene and maleic anhydride and a (meth) acrylic acid ester (hereinafter, these are referred to as raw material monomers). , According to a conventional method. For example, it can be produced by charging a raw material monomer in a reaction vessel and copolymerizing it with a radical polymerization initiator in a solvent by a solution polymerization method or the like.
【0015】ラジカル重合開始剤としては、従来から使
用されているものを特に制限なく使用することができ、
例えば、ジ(ドデカノイル)パーオキサイド、ペンゾイ
ルパーオキサイド、クメンハイドロパーオキサイド、t
−ブチルハイドロパーオキサイド等の有機過酸化物;
2,2´−アゾビスイソブチロニトリル、2,2´−ア
ゾビス(2−メチルブチロニトリル)、ジメチル−2,
2´−アゾビスイソブチレート、α,α´−アゾ−α−
エチルブチロニトリル等のアゾ化合物などを使用するこ
とができる。As the radical polymerization initiator, those conventionally used can be used without particular limitation.
For example, di (dodecanoyl) peroxide, benzoyl peroxide, cumene hydroperoxide, t
Organic peroxides such as -butyl hydroperoxide;
2,2′-azobisisobutyronitrile, 2,2′-azobis (2-methylbutyronitrile), dimethyl-2,
2'-azobisisobutyrate, α, α'-azo-α-
An azo compound such as ethylbutyronitrile can be used.
【0016】また、溶液重合に際して用いられる溶媒と
しては、ラジカル重合を阻害しない種々の溶媒、例え
ば、アセトン、メチルエチルケトン等のケトン類;n−
ヘキサン、n−オクタン等の脂肪族炭化水素類;ベンゼ
ン、トルエン、エチルベンゼン等の芳香族炭化水素類;
酢酸エチル、酢酸イソプロピル等のエステル類;ジイソ
プロピルエーテル、ジオキサン、テトラヒドロフラン等
のエーテル類;塩化メチレン、クロロホルム等の塩素化
炭化水素類などを使用することができる。これらの溶媒
は単独で使用してもよいし、2種以上を混合して使用し
てもよい。重合温度は、通常0〜200℃、好ましくは
30〜150℃であり、重合時間は通常1〜50時間、
好ましくは2〜20時間である。Examples of the solvent used in the solution polymerization include various solvents that do not inhibit radical polymerization, for example, ketones such as acetone and methyl ethyl ketone;
Aliphatic hydrocarbons such as hexane and n-octane; aromatic hydrocarbons such as benzene, toluene and ethylbenzene;
Esters such as ethyl acetate and isopropyl acetate; ethers such as diisopropyl ether, dioxane and tetrahydrofuran; chlorinated hydrocarbons such as methylene chloride and chloroform can be used. These solvents may be used alone or as a mixture of two or more. The polymerization temperature is usually 0 to 200 ° C, preferably 30 to 150 ° C, and the polymerization time is usually 1 to 50 hours,
Preferably, it is 2 to 20 hours.
【0017】重合終了後、生成した無水マレイン酸共重
合体の分離回収は、沈澱した重合体を濾過脱液後乾燥す
るか、または重合体の溶液から溶媒を除去し、次いで残
留した重合体を乾燥することにより行われる。After completion of the polymerization, the formed maleic anhydride copolymer is separated and recovered by filtering and removing the precipitated polymer by filtration or by removing the solvent from the polymer solution, and then removing the remaining polymer. It is performed by drying.
【0018】上記の無水マレイン酸共重合体は、構造単
位(I)、無水マレイン酸単位(II)および(メタ)ア
クリル酸エステル単位(III )の組成モル比を変えるこ
とにより種々の特性を有するものとなるが、(メタ)ア
クリル酸エステル単位(III)のモル比が少な過ぎると
後述の希釈剤(B)に対する溶解性が低下し、感光性樹
脂組成物を溶液状として使用することが困難となるばか
りでなく、平板などに塗工して用いる場合において造膜
性が低下する。また、(メタ)アクリル酸エステル単位
(III )のモル比が大き過ぎると無水マレイン酸共重合
体の非露光部分をアルカリ水溶液で溶解除去する際の除
去されやすさの程度、すなわちアルカリ現像性が低下す
る。The above maleic anhydride copolymer has various properties by changing the composition molar ratio of the structural unit (I), maleic anhydride unit (II) and (meth) acrylate unit (III). However, if the molar ratio of the (meth) acrylate unit (III) is too small, the solubility in the diluent (B) described below decreases, making it difficult to use the photosensitive resin composition as a solution. In addition to the above, the film-forming property is reduced when the composition is applied to a flat plate or the like. On the other hand, if the molar ratio of the (meth) acrylate unit (III) is too large, the degree of easiness of removal of the unexposed portion of the maleic anhydride copolymer by dissolution and removal with an aqueous alkali solution, that is, alkali developability, descend.
【0019】無水マレイン酸共重合体における各構成単
位の組成モル比は、[構造単位(I)]:[無水マレイ
ン酸単位(II)]:[(メタ)アクリル酸エステル単位
(III )]=1:0.9〜1.1:0.2〜1.5であ
ることが必要であり、[構造単位(I)]:[無水マレ
イン酸単位(II)]:[(メタ)アクリル酸エステル単
位(III )]=1:0.9〜1.1:0.5〜1.2で
あることが好ましい。The composition molar ratio of each structural unit in the maleic anhydride copolymer is as follows: [structural unit (I)]: [maleic anhydride unit (II)]: [(meth) acrylate unit (III)] = 1: 0.9 to 1.1: 0.2 to 1.5, [Structural unit (I)]: [Maleic anhydride unit (II)]: [(meth) acrylic ester (Unit (III)) = 1: 0.9 to 1.1: 0.5 to 1.2.
【0020】無水マレイン酸共重合体は、十分な耐熱性
を有する硬化物を与える感光性樹脂組成物を得るため
に、ガラス転移温度(Tg)が90℃以上であることが
必要である。無水マレイン酸共重合体のガラス転移温度
は110℃以上であることが好ましい。無水マレイン酸
共重合体のガラス転移温度は原料モノマーの種類や組成
を適宜選択することなどにより、上記の範囲内とするこ
とができる。The maleic anhydride copolymer needs to have a glass transition temperature (Tg) of 90 ° C. or higher in order to obtain a photosensitive resin composition which gives a cured product having sufficient heat resistance. The glass transition temperature of the maleic anhydride copolymer is preferably 110 ° C. or higher. The glass transition temperature of the maleic anhydride copolymer can be set within the above range by appropriately selecting the type and composition of the raw material monomers.
【0021】また、無水マレイン酸共重合体の重量平均
分子量(Mw)は、感光性樹脂組成物としての用途によ
り好適な範囲が異なるが、通常1000〜500000
である。The preferred range of the weight-average molecular weight (Mw) of the maleic anhydride copolymer varies depending on the use as a photosensitive resin composition.
It is.
【0022】無水マレイン酸共重合体のエステル化に用
いる不飽和アルコールを表す一般式(1)において、R
2 が表す炭素数1〜3のアルキレン基は、具体的には、
メチレン基、エチレン基、プロピレン基、トリメチレン
基などである。ここで、一般式(1)で表される不飽和
アルコールの具体例としては、2−プロペン−1−オー
ル、3−ブテン−1−オール、3−メチル−3−ブテン
−1−オール、2−メチル−3−ブテン−1−オール、
4−ペンテン−1−オール、4−メチル−4−ぺンテン
−1−オール等が挙げられるが、これらの中でも3−ブ
テン−1−オール、3−メチル−3−ブテン−1−オー
ルが好ましい。In the general formula (1) representing an unsaturated alcohol used for esterification of a maleic anhydride copolymer,
The alkylene group having 1 to 3 carbon atoms represented by 2 is, specifically,
Examples include a methylene group, an ethylene group, a propylene group, and a trimethylene group. Here, specific examples of the unsaturated alcohol represented by the general formula (1) include 2-propen-1-ol, 3-buten-1-ol, 3-methyl-3-buten-1-ol, -Methyl-3-buten-1-ol,
Examples thereof include 4-penten-1-ol and 4-methyl-4-penten-1-ol, among which 3-buten-1-ol and 3-methyl-3-buten-1-ol are preferable. .
【0023】一般式(1)で示される不飽和アルコール
は無水マレイン酸共重合体の酸無水物基と反応してエス
テルの形となって該共重合体に付加する。ここで不飽和
アルコールの付加量は、無水マレイン酸共重合体に付加
した不飽和アルコールのモル数をx(モル)、不飽和ア
ルコールが付加する前の無水マレイン酸共重合体中の酸
無水物基のモル数をy(モル)としたとき、両者のモル
比(x/y)が0.5以上であることが好ましく、1以
上であることがより好ましく、1.5以上であることが
さらに好ましい。なお、不飽和アルコールの付加量の上
限値は、上記のモル比(x/y)において2を越えるこ
とはない。The unsaturated alcohol represented by the general formula (1) reacts with the acid anhydride group of the maleic anhydride copolymer to form an ester to be added to the copolymer. Here, the addition amount of the unsaturated alcohol is x (mol) of the number of moles of the unsaturated alcohol added to the maleic anhydride copolymer, and the acid anhydride in the maleic anhydride copolymer before the addition of the unsaturated alcohol. When the number of moles of the group is y (mol), the molar ratio (x / y) of the two is preferably 0.5 or more, more preferably 1 or more, and 1.5 or more. More preferred. The upper limit of the amount of the unsaturated alcohol added does not exceed 2 in the above molar ratio (x / y).
【0024】一般式(1)で示される不飽和アルコール
による無水マレイン酸共重合体のエステル化は常法に従
って行うことができるが、一般式(1)で示される不飽
和アルコールと無水マレイン酸共重合体を、エステル化
触媒および所望により有機溶媒やハイドロキノン等の重
合禁止剤の存在下に加熱する方法が簡便であり好まし
い。The esterification of the maleic anhydride copolymer with the unsaturated alcohol represented by the general formula (1) can be carried out according to a conventional method, and the esterification of the unsaturated alcohol represented by the general formula (1) with the maleic anhydride is carried out. A simple and preferred method is to heat the polymer in the presence of an esterification catalyst and, if desired, an organic solvent or a polymerization inhibitor such as hydroquinone.
【0025】エステル化触媒としては、例えば、ギ酸や
p−トルエンスルホン酸のような酸触媒;第3級アミ
ン、ピリジン、イミダゾール系化合物などの塩基性触媒
が挙げられる。エステル化触媒の使用量は無水マレイン
酸共重合体に対し、0.1〜5重量%とすることが好ま
しい。また、溶媒としては、原料および生成物の両方を
溶解する溶媒、例えば、アセトン、ジメチルホルムアミ
ド、テトラヒドロフランなどが好ましく使用される。Examples of the esterification catalyst include an acid catalyst such as formic acid and p-toluenesulfonic acid; and a basic catalyst such as a tertiary amine, pyridine and imidazole compounds. The amount of the esterification catalyst used is preferably 0.1 to 5% by weight based on the maleic anhydride copolymer. As the solvent, a solvent that dissolves both the raw material and the product, such as acetone, dimethylformamide, and tetrahydrofuran, is preferably used.
【0026】エステル化の反応温度は、触媒の使用量、
無水マレイン酸共重合体の組成や分子量等により異なる
が、通常50〜200℃であり、また、反応時間は通常
1〜40時間である。The reaction temperature of the esterification depends on the amount of the catalyst used,
Although it depends on the composition and molecular weight of the maleic anhydride copolymer, it is usually 50 to 200 ° C., and the reaction time is usually 1 to 40 hours.
【0027】反応終了後、未反応の不飽和アルコールお
よび使用した溶媒を除去して感光性樹脂(A)を得るこ
とができる。After completion of the reaction, the unreacted unsaturated alcohol and the solvent used are removed to obtain the photosensitive resin (A).
【0028】かくして得られた感光性樹脂(A)は、も
との無水マレイン酸共重合体中の酸無水物基のすべてが
ジエステルに変換されている場合、すなわち前記のモル
比(x/y)が2である場合を除き、分子中にカルボキ
シル基や酸無水物基を有しているので、水酸化ナトリウ
ム水溶液、水酸化カリウム水溶液、アンモニア水といっ
たアルカリ水溶液に可溶である。The photosensitive resin (A) thus obtained is obtained when all of the acid anhydride groups in the original maleic anhydride copolymer have been converted to diesters, that is, the above molar ratio (x / y). Except when (2) is 2, the compound has a carboxyl group or an acid anhydride group in the molecule, and is soluble in an aqueous alkali solution such as an aqueous sodium hydroxide solution, an aqueous potassium hydroxide solution, and aqueous ammonia.
【0029】本発明における希釈剤(B)は、上記の感
光性樹脂(A)を溶解できるものであり、光重合性単量
体、有機溶剤、アルカリ水溶液などが例示される。希釈
剤(B)は単独で使用してもよいし、2種以上を併用し
てもよい。The diluent (B) in the present invention can dissolve the above-mentioned photosensitive resin (A), and examples thereof include a photopolymerizable monomer, an organic solvent, and an aqueous alkali solution. The diluent (B) may be used alone or in combination of two or more.
【0030】ここで光重合性単量体としては、ラジカル
重合性を有する単量体を使用することができ、例えば、
トリメチロールプロパンジ(メタ)アクリレート、トリ
メチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ポリエ
チレングリコールジ(メタ)アクリレート、2−ヒドロ
キシエチル(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトー
ルトリアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサア
クリレート、N−ビニルピロリドン、シクロヘキシルア
クリレート、フェノキシエチルアクリレート、イソボル
ニル(メタ)アクリレート、ジシクロペンタジエニル
(メタ)アクリレートなどが挙げられる。Here, as the photopolymerizable monomer, a monomer having radical polymerizability can be used.
Trimethylolpropane di (meth) acrylate, trimethylolpropane tri (meth) acrylate, polyethylene glycol di (meth) acrylate, 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, pentaerythritol triacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate, N-vinylpyrrolidone , Cyclohexyl acrylate, phenoxyethyl acrylate, isobornyl (meth) acrylate, dicyclopentadienyl (meth) acrylate, and the like.
【0031】また、有機溶剤としては、例えば、ベンゼ
ン、トルエンなどの芳香族炭化水素類;酢酸エチル、酢
酸ブチル、メチルセロソルブアセテート、カルビトール
アセテートなどの酢酸エステル類;エチルセロソルブ、
ブチルセロソルブなどのセロソルブ類;石油エーテル等
の石油系溶剤などが挙げられる。Examples of the organic solvent include aromatic hydrocarbons such as benzene and toluene; acetates such as ethyl acetate, butyl acetate, methyl cellosolve acetate and carbitol acetate; ethyl cellosolve;
Cellosolves such as butyl cellosolve; petroleum solvents such as petroleum ether;
【0032】さらに、アルカリ水溶液としては、水酸化
ナトリウム水溶液、水酸化カリウム水溶液、アンモニア
水などが挙げられる。希釈剤(B)の使用量は、特に限
定されるものではないが、感光性樹脂(A)に対して通
常0.25〜20倍重量、好ましくは等重量〜9倍重量
の範囲である。Further, examples of the aqueous alkali solution include an aqueous sodium hydroxide solution, an aqueous potassium hydroxide solution, and aqueous ammonia. The amount of the diluent (B) used is not particularly limited, but is usually in the range of 0.25 to 20 times, preferably 1 to 9 times the weight of the photosensitive resin (A).
【0033】本発明で使用される光重合開始剤(C)
は、光の照射によりラジカルを発生するものであり、例
えば、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエ
ーテル、ベンゾインブチルエーテルなどのベンゾインア
ルキルエーテル類;ベンゾフェノン、クロロアセトフェ
ノン、2,2−ジエトキシアセトフェノン、2−ヒドロ
キシ−2−メチルプロピオフェノンなどの芳香族ケトン
類;2−クロロチオキサントン、2,4−ジエチルチオ
キサントンなどのチオキサントン類;クロロアンスラキ
ノン、エチルアンスラキノンなどのアンスラキノン類;
アセトフェノンジメチルケタールなどのケタール類;そ
の他ベンゾイルホスフィンオキサイド、ミヒラーケトン
などが挙げられる。光重合開始剤(C)は単独で使用し
てもよいし、2種以上を併用してもよい。光重合開始剤
(C)の使用量は、特に限定されるものではないが、感
光性樹脂(A)に対して通常0.5〜10重量%の範囲
である。The photopolymerization initiator (C) used in the present invention
Is a compound that generates a radical upon irradiation with light, and examples thereof include benzoin alkyl ethers such as benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether, and benzoin butyl ether; benzophenone, chloroacetophenone, 2,2-diethoxyacetophenone, and 2-hydroxy- Aromatic ketones such as 2-methylpropiophenone; thioxanthones such as 2-chlorothioxanthone and 2,4-diethylthioxanthone; anthraquinones such as chloroanthraquinone and ethylanthraquinone;
Ketals such as acetophenone dimethyl ketal; and other benzoylphosphine oxides and Michler's ketone. The photopolymerization initiator (C) may be used alone or in combination of two or more. The use amount of the photopolymerization initiator (C) is not particularly limited, but is usually in the range of 0.5 to 10% by weight based on the photosensitive resin (A).
【0034】なお、本発明の感光性樹脂組成物には、ハ
イドロキノン、メチルハイドロキノンなどの重合禁止剤
を添加することもできる。また、塗装性、塗膜の硬度や
密着性の調節、着色等を目的として、硫酸バリウム、タ
ルク、クレー、炭酸カルシウム、ガラスパウダーなどの
無機フィラーやフタロシアニンブルー、フタロシアニン
グリーンなどの染料や顔料、シリコン系、フッ素系など
の消泡剤、レベリング剤などを必要に応じて併用するこ
ともできる。Incidentally, a polymerization inhibitor such as hydroquinone and methylhydroquinone can be added to the photosensitive resin composition of the present invention. In addition, for the purpose of coating properties, adjustment of coating film hardness and adhesion, coloring, etc., inorganic fillers such as barium sulfate, talc, clay, calcium carbonate, glass powder, dyes and pigments such as phthalocyanine blue and phthalocyanine green, and silicon. An antifoaming agent such as a fluorine-based or fluorine-based agent, a leveling agent, and the like can be used in combination as needed.
【0035】本発明の感光性樹脂組成物は、組成物中に
含まれる有機溶剤、水などを適宜除去した後、水銀灯、
メタルハライドランプ、キセノンランプ、カーボンアー
ク灯、太陽光などの活性光線(紫外線)を照射すること
により硬化させることができる。また、本発明の感光性
樹脂組成物は、電子線やレーザー光線、X線、ガンマ線
などの放射線を照射することにより硬化させることも可
能である。The photosensitive resin composition of the present invention is obtained by appropriately removing an organic solvent, water and the like contained in the composition,
Curing can be performed by irradiating active light rays (ultraviolet rays) such as a metal halide lamp, a xenon lamp, a carbon arc lamp, and sunlight. Further, the photosensitive resin composition of the present invention can be cured by irradiating radiation such as electron beam, laser beam, X-ray, and gamma ray.
【0036】本発明の感光性樹脂組成物は、レリーフ複
写の凸版、印章、ネームプレート、装飾用型材、エッチ
ング用フォトレジスト、プリント基板などの画像形成用
材料として使用することができるが、優れた耐熱性を生
かしてプリント基板等の用途において特に有効に使用さ
れる。The photosensitive resin composition of the present invention can be used as an image forming material such as relief printing, stamps, seals, name plates, decorative molds, etching photoresists, printed circuit boards, etc. Utilizing heat resistance, it is particularly effectively used in applications such as printed circuit boards.
【0037】[0037]
【実施例】以下、実施例により本発明を具体的に説明す
るが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではな
い。EXAMPLES The present invention will be described below in detail with reference to examples, but the present invention is not limited to these examples.
【0038】実施例1 (a)感光性樹脂の合成 内容積1リットルのオートクレーブにアセトン206.
7gを仕込み、容器内を窒素で置換した後、イソブチレ
ン27.5gを仕込み、100℃に昇温した。続いて
2,2’−アゾビス(2−メチルブチロニトリル)5.
9g、無水マレイン酸40g、n−ブチルメタクリレー
ト23.2gおよびアセトン132.9gの混合溶液を
6時間かけて連続的に仕込み、さらに1時間、合計7時
間かけて100℃で重合反応を行った。重合終了後、オ
ートクレーブから反応液を取り出し、一晩風乾した後、
80℃で真空乾燥して84.3gの無水マレイン酸共重
合体1を得た。Example 1 (a) Synthesis of photosensitive resin Acetone was placed in an autoclave having an internal volume of 1 liter.
After charging 7 g and replacing the inside of the container with nitrogen, 27.5 g of isobutylene was charged and the temperature was raised to 100 ° C. Subsequently, 2,2′-azobis (2-methylbutyronitrile) 5.
A mixed solution of 9 g, 40 g of maleic anhydride, 23.2 g of n-butyl methacrylate, and 132.9 g of acetone was continuously charged over a period of 6 hours, and a polymerization reaction was carried out at 100 ° C. over a further 7 hours, a total of 7 hours. After the polymerization, remove the reaction solution from the autoclave and air-dry overnight,
Vacuum drying was performed at 80 ° C. to obtain 84.3 g of maleic anhydride copolymer 1.
【0039】無水マレイン酸共重合体1の物性は、以下
のとおりであった。 組成モル比(1 H−NMR分析による) イソブチレン単位:無水マレイン酸単位:n−ブチルメ
タリレート単位=1:1:0.4 平均分子量[GPC測定による(ポリスチレン換
算)] Mn=6500、Mw=11100 ガラス転移温度(DSC測定による) 115℃The physical properties of the maleic anhydride copolymer 1 were as follows. Composition molar ratio (by 1 H-NMR analysis) Isobutylene unit: Maleic anhydride unit: n-butyl methacrylate unit = 1: 1: 0.4 Average molecular weight [GPC measurement (in terms of polystyrene)] Mn = 6500, Mw = 11100 Glass transition temperature (by DSC measurement) 115 ° C
【0040】次に得られた無水マレイン酸共重合体1の
50g、3−メチル−3−ブテン−1−オール300
g、ピリジン5gおよびハイドロキノン0.02gを内
容積1リットルのオートクレーブに仕込み、容器内を窒
素で置換した後、130℃で5時間加熱してエステル化
反応を行った。エバポレーターと真空乾燥機を用いて、
未反応の3−メチル−3−ブテン−1−オールおよびピ
リジンを除去し、感光性樹脂1を61.9g得た。Next, 50 g of the obtained maleic anhydride copolymer 1 and 3-methyl-3-buten-1-ol 300
g, 5 g of pyridine and 0.02 g of hydroquinone were charged into an autoclave having an internal volume of 1 liter, the atmosphere in the vessel was replaced with nitrogen, and the mixture was heated at 130 ° C. for 5 hours to carry out an esterification reaction. Using an evaporator and a vacuum dryer,
Unreacted 3-methyl-3-buten-1-ol and pyridine were removed to obtain 61.9 g of photosensitive resin 1.
【0041】IRスペクトルおよび酸価の測定結果か
ら、上記で得られた感光性樹脂1は、無水マレイン酸共
重合体1中の酸無水物基1モル当り3−メチル−3−ブ
テン−1−オールが1.9モル付加してなるエステル化
物であることが分かった。From the results of the IR spectrum and the measurement of the acid value, it was found that the photosensitive resin 1 obtained as described above shows that 3-methyl-3-butene-1-mol per mole of the acid anhydride group in the maleic anhydride copolymer 1 was used. It turned out to be an esterified product obtained by adding 1.9 mol of all.
【0042】(b)感光性樹脂組成物の調製 上記で得られた感光性樹脂1の20g、トリメチロール
プロパントリアクリレート10gおよびベンゾフェノン
0.4gをカルビトールアセテート30gに溶解し、感
光性樹脂組成物1を調製した。感光性樹脂組成物1は、
暗所にて室温で1ヶ月間放置したが、着色、経時的増
粘、ゲル化などは認められなかった。(B) Preparation of photosensitive resin composition: 20 g of the photosensitive resin 1 obtained above, 10 g of trimethylolpropane triacrylate and 0.4 g of benzophenone were dissolved in 30 g of carbitol acetate, and the photosensitive resin composition was dissolved. 1 was prepared. The photosensitive resin composition 1 comprises:
After standing at room temperature for one month in a dark place, no coloring, thickening with time, gelation, etc. were observed.
【0043】上記で得られた感光性樹脂組成物1をアプ
リケーターを用いてアルミ板上に塗布し、乾燥して厚さ
40μmの塗膜を得た。この塗膜に30cmの距離から
紫外線(2kWの水銀灯)を60秒間照射した。紫外線
照射終了後、アセトン中に浸漬して、塗膜の非露光部が
溶解すること、および塗膜の露光部が硬化しており、溶
解しないことを確認した。また、40℃の5%水酸化ナ
トリウム水溶液中に浸漬し、塗膜の非露光部が溶解する
ことおよび塗膜の露光部が硬化しており、溶解しないこ
とを確認した。上記の露光部(硬化した部分)に260
℃に調温したはんだごてを5秒間あてたが、硬化した塗
膜に膨れや剥離はなく、十分な耐熱性を示すことが確認
された。The photosensitive resin composition 1 obtained above was applied on an aluminum plate using an applicator and dried to obtain a coating film having a thickness of 40 μm. The coating film was irradiated with ultraviolet rays (2 kW mercury lamp) from a distance of 30 cm for 60 seconds. After the end of the ultraviolet irradiation, the film was immersed in acetone to confirm that the unexposed portion of the coating film was dissolved, and that the exposed portion of the coating film was cured and did not dissolve. It was immersed in a 5% aqueous solution of sodium hydroxide at 40 ° C., and it was confirmed that the unexposed portion of the coating film was dissolved and that the exposed portion of the coating film was cured and did not dissolve. 260 on the exposed part (cured part)
When the soldering iron adjusted to ° C. was applied for 5 seconds, it was confirmed that the cured coating film did not swell or peel off and showed sufficient heat resistance.
【0044】実施例2 (a)感光性樹脂の合成 内容積1リットルのオートクレーブにトルエン200
g、無水マレイン酸49.1g、メチルメタクリレート
60.1gおよび2,2’−アゾビスイソブチロニトリ
ル1.5gを仕込み、容器内を窒素で置換した後、イソ
ブチレン82gを仕込んで昇温し、70℃で8時間重合
反応を行った。重合終了後、オートクレーブから反応混
合物を取り出し、沈澱物を濾過し、一晩風乾した後、8
0℃で真空乾燥して133.1gの無水マレイン酸共重
合体2を得た。Example 2 (a) Synthesis of photosensitive resin Toluene 200 was placed in an autoclave having an inner volume of 1 liter.
g, 49.1 g of maleic anhydride, 60.1 g of methyl methacrylate, and 1.5 g of 2,2′-azobisisobutyronitrile, and after the inside of the vessel was replaced with nitrogen, 82 g of isobutylene was charged and the temperature was increased. The polymerization reaction was performed at 70 ° C. for 8 hours. After completion of the polymerization, the reaction mixture was taken out of the autoclave, and the precipitate was filtered and air-dried overnight.
Vacuum drying was performed at 0 ° C. to obtain 133.1 g of maleic anhydride copolymer 2.
【0045】無水マレイン酸共重合体2の物性は、以下
のとおりであった。 組成モル比(1 H−NMR分析による) イソブチレン単位:無水マレイン酸単位:メチルメタク
リレート単位=1:1:1.16 平均分子量[GPC測定による(ポリスチレン換
算)] Mn=23200、Mw=63400 ガラス転移温度(DSC測定による)125℃The physical properties of the maleic anhydride copolymer 2 were as follows. Composition molar ratio (by 1 H-NMR analysis) Isobutylene unit: Maleic anhydride unit: Methyl methacrylate unit = 1: 1: 1.16 Average molecular weight [by GPC measurement (in terms of polystyrene)] Mn = 23200, Mw = 63400 Glass transition Temperature (by DSC measurement) 125 ° C
【0046】次に得られた無水マレイン酸共重合体2の
50g、3−ブテン−1−オール300g、ピリジン5
gおよびハイドロキノン0.02gを内容積1リットル
のオートクレーブに仕込み、容器内を窒素で置換した
後、110℃で10時間加熱してエステル化反応を行っ
た。エバポレーターと真空乾燥機を用いて、未反応の3
−ブテン−1−オールおよびピリジンを除去し、感光性
樹脂2を63.8g得た。IRスペクトルおよび酸価の
測定結果から、上記で得られた感光性樹脂2は、無水マ
レイン酸共重合体2中の酸無水物基1モル当り3−ブテ
ン−1−オールが1.92モル付加してなるエステル化
物であることが分かった。Next, 50 g of the obtained maleic anhydride copolymer 2, 300 g of 3-buten-1-ol, pyridine 5
g and 0.02 g of hydroquinone were charged into an autoclave having an internal volume of 1 liter, the atmosphere in the vessel was replaced with nitrogen, and the mixture was heated at 110 ° C. for 10 hours to carry out an esterification reaction. Using an evaporator and a vacuum dryer, unreacted 3
-Buten-1-ol and pyridine were removed to obtain 63.8 g of photosensitive resin 2. From the measurement results of the IR spectrum and the acid value, the photosensitive resin 2 obtained above had 1.92 mol of 3-buten-1-ol added per mol of the acid anhydride group in the maleic anhydride copolymer 2. It was found to be an esterified product.
【0047】(b)感光性樹脂組成物の調製 上記で得られた感光性樹脂2の20g、トリメチロール
プロパントリアクリレート10gおよびベンゾフェノン
0.4gをカルビトールアセテート30gに溶解し、感
光性樹脂組成物2を調製した。感光性樹脂組成物2は、
暗所にて室温で1ヶ月間放置したが、着色、経時的増
粘、ゲル化などは認められなかった。(B) Preparation of photosensitive resin composition 20 g of the photosensitive resin 2 obtained above, 10 g of trimethylolpropane triacrylate and 0.4 g of benzophenone were dissolved in 30 g of carbitol acetate, and the photosensitive resin composition was dissolved. 2 was prepared. The photosensitive resin composition 2 comprises:
After standing at room temperature for one month in a dark place, no coloring, thickening with time, gelation, etc. were observed.
【0048】上記で得られた感光性樹脂組成物2をアプ
リケーターを用いてアルミ板上に塗布し、乾燥して厚さ
40μmの塗膜を得た。この塗膜に30cmの距離から
紫外線(2kWの水銀灯)を60秒間照射した。紫外線
照射終了後、アセトン中に浸漬して、塗膜の非露光部が
溶解すること、および塗膜の露光部が硬化しており、溶
解しないことを確認した。また、40℃の5%水酸化ナ
トリウム水溶液中に浸漬し、塗膜の非露光部が溶解する
こと、および塗膜の露光部が硬化しており、溶解しない
ことを確認した。上記の露光部(硬化した部分)に26
0℃に調温したはんだごてを5秒間あてたが、硬化した
塗膜に膨れや剥離はなく、十分な耐熱性を示すことが確
認された。The photosensitive resin composition 2 obtained above was applied on an aluminum plate using an applicator and dried to obtain a coating having a thickness of 40 μm. The coating film was irradiated with ultraviolet rays (2 kW mercury lamp) from a distance of 30 cm for 60 seconds. After the end of the ultraviolet irradiation, the film was immersed in acetone to confirm that the unexposed portion of the coating film was dissolved, and that the exposed portion of the coating film was cured and did not dissolve. Further, it was immersed in a 5% aqueous solution of sodium hydroxide at 40 ° C., and it was confirmed that the unexposed portion of the coating film was dissolved, and that the exposed portion of the coating film was cured and did not dissolve. 26 in the exposed part (cured part)
When the soldering iron adjusted to 0 ° C. was applied for 5 seconds, it was confirmed that the cured coating film did not swell or peel off and showed sufficient heat resistance.
【0049】比較例1 (a)感光性樹脂の合成 内容積1リットルのオートクレーブにアセトン127.
9g、無水マレイン酸14.7gおよびn−ブチルアク
リレート17.9gを仕込み、容器内を窒素で置換した
後、さらにイソブチレン30.9gを仕込んで昇温し
た。続いて2,2’−アゾビスイソブチロニトリル1.
15g、無水マレイン酸34.3g、n−ブチルアクリ
レート7.7gおよびアセトン60gの混合溶液を5時
間かけて連続的に仕込み、さらに3時間、合計8時間か
けて70℃で8時間重合反応を行った。重合終了後、オ
ートクレーブから反応液を取り出し、一晩風乾した後、
80℃で真空乾燥して98.7gの無水マレイン酸共重
合体3を得た。Comparative Example 1 (a) Synthesis of photosensitive resin Acetone 127. was placed in an autoclave having an inner volume of 1 liter.
9 g, 14.7 g of maleic anhydride and 17.9 g of n-butyl acrylate were charged, the atmosphere in the vessel was replaced with nitrogen, and then 30.9 g of isobutylene was charged and the temperature was raised. Subsequently, 2,2'-azobisisobutyronitrile 1.
A mixed solution of 15 g, 34.3 g of maleic anhydride, 7.7 g of n-butyl acrylate, and 60 g of acetone was continuously charged over 5 hours, and the polymerization reaction was further performed at 70 ° C. for 8 hours at 3 hours for a total of 8 hours. Was. After the polymerization, remove the reaction solution from the autoclave and air-dry overnight,
Vacuum drying was performed at 80 ° C. to obtain 98.7 g of maleic anhydride copolymer 3.
【0050】無水マレイン酸共重合体3の物性は、以下
のとおりであった。 組成モル比(1 H−NMR分析による) イソブチレン単位:無水マレイン酸単位:n−ブチルア
クリレート単位=1:1:0.39 平均分子量[GPC測定による(ポリスチレン換
算)] Mn=36100、Mw=96300 ガラス転移温度(DSC測定による) 70.5℃The physical properties of the maleic anhydride copolymer 3 were as follows. Composition molar ratio (by 1 H-NMR analysis) Isobutylene unit: maleic anhydride unit: n-butyl acrylate unit = 1: 1: 0.39 Average molecular weight [determined by GPC (in terms of polystyrene)] Mn = 36100, Mw = 96300 Glass transition temperature (according to DSC measurement) 70.5 ° C
【0051】次に得られた無水マレイン酸共重合体3の
50g、3−メチル−3−ブテン−1−オール300
g、ピリジン5gおよびハイドロキノン0.02gを内
容積1リットルのオートクレーブに仕込み、容器内を窒
素で置換した後、110℃で10時間加熱してエステル
化反応を行った。エバポレーターと真空乾燥機を用い
て、未反応の3−メチル−3−ブテン−1−オールおよ
びピリジンを除去し、感光性樹脂3を70.2g得た。
IRスペクトルおよび酸価の測定結果から、上記で得ら
れた感光性樹脂3は、無水マレイン酸共重合体3中の酸
無水物基1モル当り3−メチル−3−ブテン−1−オー
ルが1.9モル付加してなるエステル化物であることが
分かった。Next, 50 g of the obtained maleic anhydride copolymer 3 and 3-methyl-3-buten-1-ol 300
g, 5 g of pyridine and 0.02 g of hydroquinone were charged into an autoclave having an internal volume of 1 liter. After the atmosphere in the vessel was replaced with nitrogen, the mixture was heated at 110 ° C. for 10 hours to carry out an esterification reaction. Unreacted 3-methyl-3-buten-1-ol and pyridine were removed using an evaporator and a vacuum dryer, and 70.2 g of photosensitive resin 3 was obtained.
From the measurement results of the IR spectrum and the acid value, it was found that the photosensitive resin 3 obtained above contained 1-methyl-3-buten-1-ol per mole of the acid anhydride group in the maleic anhydride copolymer 3. It was found to be an esterified product obtained by adding 0.9 mol.
【0052】(b)感光性樹脂組成物の調製 上記で得られた感光性樹脂3の20g、トリメチロール
プロパントリアクリレート10gおよびベンゾフェノン
0.4gをカルビトールアセテート30gに溶解し、感
光性樹脂組成物3を調製した。感光性樹脂組成物3は、
暗所にて室温で1ヶ月間放置したが、着色、経時的増
粘、ゲル化などは認められなかった。(B) Preparation of Photosensitive Resin Composition 20 g of the photosensitive resin 3 obtained above, 10 g of trimethylolpropane triacrylate and 0.4 g of benzophenone were dissolved in 30 g of carbitol acetate to obtain a photosensitive resin composition. 3 was prepared. The photosensitive resin composition 3 comprises:
After standing at room temperature for one month in a dark place, no coloring, thickening with time, gelation, etc. were observed.
【0053】上記で得られた感光性樹脂組成物3をアプ
リケーターを用いてアルミ板上に塗布し、乾燥して厚さ
40μmの塗膜を得た。この塗膜に30cmの距離から
紫外線(2kWの水銀灯)を60秒間照射した。紫外線
照射終了後、アセトン中に浸漬して、塗膜の非露光部が
溶解すること、および塗膜の露光部が硬化しており、溶
解しないことを確認した。また、40℃の5%水酸化ナ
トリウム水溶液中に浸漬し、塗膜の非露光部が溶解する
こと、および塗膜の露光部が硬化しており、溶解しない
ことを確認した。上記の露光部(硬化した部分)に26
0℃に調温したはんだごてを5秒間あてると、硬化した
塗膜に膨れが生じ、一部はアルミニウム板から剥離し
た。The photosensitive resin composition 3 obtained above was applied on an aluminum plate using an applicator and dried to obtain a coating film having a thickness of 40 μm. The coating film was irradiated with ultraviolet rays (2 kW mercury lamp) from a distance of 30 cm for 60 seconds. After the end of the ultraviolet irradiation, the film was immersed in acetone to confirm that the unexposed portion of the coating film was dissolved, and that the exposed portion of the coating film was cured and did not dissolve. Further, it was immersed in a 5% aqueous solution of sodium hydroxide at 40 ° C., and it was confirmed that the unexposed portion of the coating film was dissolved, and that the exposed portion of the coating film was cured and did not dissolve. 26 in the exposed part (cured part)
When a soldering iron adjusted to 0 ° C. was applied for 5 seconds, the cured coating film swelled and partly peeled off from the aluminum plate.
【0054】[0054]
【発明の効果】本発明によれば、経時的な着色や増粘ゲ
ル化等がなく、保存安定性に優れ、しかも耐熱性に優れ
た硬化物を与える感光性樹脂組成物が提供される。According to the present invention, there is provided a photosensitive resin composition which is free from coloring over time, becomes thickened and gelled, has excellent storage stability, and gives a cured product having excellent heat resistance.
フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 FI C08F 216/12 C08F 216/12 220/06 220/06 222/08 222/08 299/06 299/06 G03F 7/028 G03F 7/028 (72)発明者 石井 正雄 茨城県鹿島郡神栖町東和田36番地 株式会 社クラレ内Continued on the front page (51) Int.Cl. 6 Identification code FI C08F 216/12 C08F 216/12 220/06 220/06 222/08 222/08 299/06 299/06 G03F 7/028 G03F 7/028 ( 72) Inventor Masao Ishii 36, Towada, Kamisu-cho, Kashima-gun, Ibaraki Prefecture Kuraray Co., Ltd.
Claims (1)
またはα−オレフィンからなる構造単位(I)、無水マ
レイン酸単位(II)および(メタ)アクリル酸エステル
単位(III )からなり、それらの組成モル比が、[スチ
レン、ビニルエーテル化合物またはα−オレフィンから
なる構造単位(I)]:[無水マレイン酸単位(I
I)]:[(メタ)アクリル酸エステル単位(III )]
=1:0.9〜1.1:0.2〜1.5であって、しか
もガラス転移温度(Tg)が90℃以上である共重合体
を、下記一般式(1) 【化1】 (式中、R1 は水素原子、メチル基またはエチル基を示
し、R2 は炭素数1〜3のアルキレン基を示す)で表さ
れる不飽和アルコールでエステル化してなる感光性樹
脂、(B)希釈剤、および(C)光重合開始剤を含有し
てなる感光性樹脂組成物。1. A composition comprising (A) a structural unit (I) composed of styrene, a vinyl ether compound or an α-olefin, a maleic anhydride unit (II) and a (meth) acrylate unit (III), and their composition molar ratios Is a [structural unit (I) composed of styrene, vinyl ether compound or α-olefin]: [maleic anhydride unit (I
I)]: [(meth) acrylate unit (III)]
= 1: 0.9-1.1: 0.2-1.5 and a glass transition temperature (Tg) of 90 ° C. or more was obtained by the following general formula (1). (Wherein R 1 represents a hydrogen atom, a methyl group or an ethyl group, and R 2 represents an alkylene group having 1 to 3 carbon atoms). A) a photosensitive resin composition comprising a diluent and (C) a photopolymerization initiator.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2579297A JPH10207062A (en) | 1997-01-24 | 1997-01-24 | Photosensitive resin composition |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2579297A JPH10207062A (en) | 1997-01-24 | 1997-01-24 | Photosensitive resin composition |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JPH10207062A true JPH10207062A (en) | 1998-08-07 |
Family
ID=12175695
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2579297A Pending JPH10207062A (en) | 1997-01-24 | 1997-01-24 | Photosensitive resin composition |
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Country | Link |
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JP (1) | JPH10207062A (en) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100841205B1 (en) | 2007-07-11 | 2008-06-24 | 제일모직주식회사 | Plasma Display Panel Photosensitive Composition For Electrode Formation And Method For Manufacturing Electrode Thereof, Plasma Display Panel Using The Same |
CN115047713A (en) * | 2022-06-21 | 2022-09-13 | 珠海市能动科技光学产业有限公司 | Dry film photoresist and preparation method and application thereof |
-
1997
- 1997-01-24 JP JP2579297A patent/JPH10207062A/en active Pending
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KR100841205B1 (en) | 2007-07-11 | 2008-06-24 | 제일모직주식회사 | Plasma Display Panel Photosensitive Composition For Electrode Formation And Method For Manufacturing Electrode Thereof, Plasma Display Panel Using The Same |
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