JPH10180602A - 薄板円板状ワークの両面研削装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 薄板円板状ワークの両面を同時にかつ容易に
研削でき、しかも小型化が可能な装置を提供する。 【解決手段】 両面研削装置は、１対の研削砥石12、13
と、ワークＷの両面の加工面が砥石12、13の円形研削面
に対向しかつワークＷの外周の一部および中心ｃが研削
面の外周の内側に位置するようにワークＷを研削加工位
置に支持して自転させるワーク自転装置とを備えてい
る。ワーク自転装置は、砥石12、13の間から外に出てい
るワークＷの外周に接触して回転する少なくとも３個の
ガイドローラ17、18と、砥石12、13の間から外に出てい
るワークＷの加工面の２箇所に接触して移動することに
よりワークＷを自転させる１対の駆動ベルト15、16と、
ワークＷを各駆動ベルト15、16との間に挟むように駆動
ベルト15、16の反対側からワークＷの加工面に圧接する
押えローラ19、20とを備えている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、薄板円板状ワー
クの両面研削装置、さらに詳しくは、たとえば半導体ウ
ェーハなどのような薄板円板状ワークの両面を同時に研
削する装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】円板状ワークの両面を同時に研削する装
置として、端面の研削面同志が対向するように配置され
て回転する１対の研削砥石の間に、回転する円板状のキ
ャリヤのポケットに入れたワークを通すものが従来から
知られている。この場合、研削砥石の研削面の外径（直
径）は、ワークの外径より大きくなくてはならない。ま
た、キャリヤには、通常、外周寄りの円周上に複数のポ
ケットが等間隔をおいて形成されており、キャリヤの一
部もウェーハとともに１対の研削砥石の間に入るが、こ
の部分のキャリヤの厚さは、もちろん、研削時の１対の
砥石の間隔すなわちワークの仕上がり厚さより小さくな
くてはならない。

【０００３】ところで、現在用いられている半導体ウェ
ーハには外径が約２００ｍｍ（８インチ）のものと約３
００ｍｍ（１２インチ）のものがあるが、いずれも厚さ
（研削仕上がり寸法）は０．８ｍｍ程度であり、外径に
比べて厚さがきわめて薄いものである。このようなウェ
ーハを上記のような装置で研削する場合、ウェーハの外
径が比較的大きいため、砥石の外径が大きくなり、ウェ
ーハを収容して回転するキャリヤも大きくなる。このた
め、装置が大型になる。また、ウェーハの厚さが薄いた
め、ウェーハとともに研削砥石の間に入るキャリヤの部
分を非常に薄くする必要がある。研削砥石の間に入るキ
ャリヤのとくにポケットの部分には、これに収容されて
いるワークを介して研削力が作用するが、この部分を薄
くすると強度が低下し、ワークを円滑に移動させること
が困難になる。このため、従来は、ウェーハの両面研削
は困難であった。

【０００４】ウェーハ以外の薄板円板状のワークの場合
にも、同様の問題がある。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】この発明の目的は、薄
板円板状ワークの両面を同時にかつ容易に研削でき、し
かも小型化が可能な装置を提供することにある。

【０００６】

【課題を解決するための手段および発明の効果】この発
明による装置は、端面の円形研削面同志が対向するとと
もに軸方向に相対的に移動しうるように配置されて回転
させられる１対の研削砥石と、薄板円板状ワークの両面
の加工面が前記１対の研削砥石の研削面にそれぞれ対向
するとともに前記ワークの外周の一部および中心が前記
研削面の外周の内側に位置するように前記ワークを前記
研削面の間の研削加工位置に支持して自転させるための
ワーク自転手段とを備えており、前記ワーク自転手段
が、前記ワークの径方向の位置を規制する径方向支持手
段と、前記ワークの軸方向の位置を規制する軸方向支持
手段とを備え、前記径方向支持手段が、前記研削砥石の
間から外に出ている前記ワークの外周に接触して回転す
る少なくとも３個のガイドローラを備え、前記軸方向支
持手段が、前記研削砥石の間から外に出ている前記ワー
クの加工面の２箇所に接触して移動することにより前記
ワークを自転させる１対の駆動ベルトと、前記ワークを
前記各駆動ベルトとの間に挟むように前記駆動ベルトの
反対側から前記ワークの加工面に圧接する押えローラと
を備えていることを特徴とするものである。

【０００７】ワークは、その外周の一部および中心が研
削面の外周の内側に位置するように、ワーク自転手段の
径方向支持手段および軸方向支持手段により研削加工位
置に支持されて、自転させられ、１対の研削砥石が、そ
れぞれの研削面をワークの各加工面に接触させた状態
で、回転させられる。研削砥石が回転することにより、
それらの研削面に接触しているワークの加工面が研削さ
れ、ワークが外周の一部および中心を研削面の外周の内
側に位置させた状態で自転することにより、ワークが１
回転する間に、ワークの加工面の全面が研削面の間を通
過して、研削面に接触する。このため、ワークの半径よ
り研削面の外径が少し大きい研削砥石を用いて、ワーク
をその場で自転させるだけで、その両面の加工面の全面
を同時に研削することができる。ワークをその場で自転
させるだけでよく、従来のようにキャリヤなどを用いて
移動させる必要がないため、薄板円板状のワークであっ
ても容易にかつ確実に研削ができ、しかも装置の小型化
が可能である。また、ワークの半径より研削面の外径が
少し大きい研削砥石を用いてワークの加工面全体を研削
することができ、ワークの外径より研削面の外径が大き
い大型の砥石を用いる必要がないため、この点からも、
装置の小型化が可能である。

【０００８】しかも、径方向支持手段および軸方向支持
手段を構成する少数のローラと１対の駆動ベルトだけ
で、確実にワークを支持して自転させることができ、装
置の構成の簡素化および小型化が可能である。

【０００９】したがって、この発明の装置によれば、薄
板円板状ワークの両面を同時に、容易にかつ確実に研削
でき、しかも装置の構成の簡素化および小型化が可能で
ある。

【００１０】たとえば、前記１対の駆動ベルトが、前記
ワークに接触するワーク支持部の面が上向きになるよう
に互いに平行に配置され、前記１対の駆動ローラの駆動
状態が、前記ワーク支持部が互いに同じ搬入方向に移動
してその上に載ったワークを前記研削加工位置に搬入す
るワーク搬入状態と、前記ワーク支持部が互いに同じ搬
出方向に移動してその上に載ったワークを前記研削加工
位置から搬出するワーク搬出状態と、前記ワーク支持部
が互いに逆方向に移動してその上に載ったワークを自転
させるワーク自転状態とに切替えられるようになされ、
前記押えローラが、前記駆動ベルト上の前記ワークより
上方に離れた待機位置と、前記駆動ベルト上の前記ワー
クに圧接する作動位置との間を昇降するようになされ、
前記軸方向支持手段が、前記ワーク搬入状態の前記１対
の駆動ベルトにより移動させられてきた前記ワークの移
動方向前側の部分の外周に当接してこれを停止させる少
なくとも２個の固定ガイドローラと、前記固定ガイドロ
ーラにより停止させられている前記ワークの移動方向後
側の部分の外周に当接する少なくとも１個の可動ガイド
ローラとを備え、前記可動ガイドローラが、前記駆動ベ
ルト上の前記ワークより上方に離れた待機位置と、前記
駆動ベルト上の前記ワークの外周に接触する作動位置と
の間を昇降するようになされている。

【００１１】このようにすれば、駆動ベルトの上向きの
ワーク支持部の面にワークを載せるだけで、後は、駆動
ベルトのワーク支持部により、ワークを研削加工位置に
搬入し、その位置でワークを自転させて研削加工を行
い、研削の終了したワークを研削加工位置から搬出する
ことができる。そして、ワークを自転させるための駆動
ベルトでワークの搬入、搬出もできることにより、装置
の構成の簡素化および小型化が可能である。

【００１２】この場合、たとえば、前記１対の駆動ベル
トの前記ワーク支持部が、その下に配置されたガイド部
材により案内されている。

【００１３】このようにすれば、押えローラの圧接力を
ガイド部材によって受けることができ、駆動ベルトが変
形することがないため、ワークを軸方向の一定位置に確
実に支持することができる。

【００１４】上記の場合、たとえば、前記押えローラと
前記可動ガイドローラとが、同一の昇降部材に取付けら
れ、互いに同期して昇降するようになされているこのよ
うにすれば、１つの昇降部材だけで押えローラと可動ガ
イドローラを同時に昇降させることができ、装置の構成
および操作の簡素化ならびに小型化が可能である。

【００１５】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して、この発明
を半導体ウェーハの両面研削に適用した実施形態につい
て説明する。

【００１６】図１〜図３は第１実施形態を示し、図１は
両面研削装置の全体構成を示している。第１実施形態
は、位置決め用平坦部が形成されていないワークを対象
とするものである。両面研削装置は縦軸両頭平面研削盤
(1) にワーク自転手段としてのワーク自転装置(2) が付
加されたものであり、自転装置(2) の詳細が図２および
図３に示されている。この実施形態の説明において、図
１の左側を前、右側を後とし、前から後を見たときの左
右を左右とする。

【００１７】研削盤(1) は、床(A) に固定された水平な
ベース(3) 、ベース(3) の後部から鉛直上方にのびるコ
ラム(4) 、コラム(4) の前面に取付けられた上下のスラ
イド(5)(6)、および各スライド(5)(6)の前面に固定され
た上下の砥石ヘッド(7)(8)を備えている。各スライド
(5)(6)は、図示しない適当な駆動手段により、互いに独
立してコラム(4) に沿って上下方向に移動させられるよ
うになっている。上下の砥石ヘッド(7)(8)に、それぞ
れ、鉛直な砥石軸(10)(11)が回転支持されている。上下
の砥石軸(10)(11)の軸心は、１つの共通の鉛直線上にあ
る。上側砥石ヘッド(7) の下面より下方に突出した上側
砥石軸(10)の下端部にカップ状の上側研削砥石(12)が固
定され、下側砥石ヘッド(8) の上面より上方に突出した
下側砥石軸(11)の上端部にこれと同形状、同寸法の下側
研削砥石(13)が固定される。上側砥石(12)の環状の水平
下端面は上側円形研削面(12a) 、下側砥石(13)の環状の
水平上端面は下側円形研削面(13a) となっており、上下
の研削面(12a)(13a)が互いに平行な状態で対向してい
る。この実施形態の場合、各砥石(12)(13)の外周と各研
削面(12a)(13a)の外周は一致している。上下のスライド
(5)(6)の少なくともいずれか一方が上下方向に移動する
ことにより、上下の砥石(12)(13)が上下方向すなわち軸
方向に相対移動する。上下の砥石軸(10)(11)は、図示し
ない適当な駆動手段により、互いに逆方向に同速度で回
転させられ、その結果、上下の砥石(12)(13)が互いに逆
方向に同速度で回転させられる。研削盤(1) の他の部分
は、公知の縦軸両頭平面研削盤と同様に構成することが
できる。

【００１８】自転装置(2) は、ワーク（ウェーハ）(W)
の両面の加工面(a)(b)が上下の研削面(12a)(13a)にそれ
ぞれ対向するとともにワーク(W) の外周の一部および中
心(c) が研削面(12a)(13a)の外周の内側に位置するよう
に、ワーク(W) を上下の研削面(12a)(13a)の間の研削加
工位置に水平に支持して自転させるとともに、ワーク
(W) の研削加工位置への搬入および研削加工位置からの
搬出を行うものであり、研削盤(1) のベース(3) の前部
とその前方の床(A) の間に跨がるように固定された基台
(14)に設けられている。基台(14)は、鉛直で前後方向に
長い左右の側板(14a)(14b)を備えている。左右の側板(1
4a)(14b)は下部において互いに連結され、基台(14)は砥
石ヘッド(7)(8)、砥石(12)(13)などと干渉しないように
なっている。

【００１９】自転装置(2) は、前後方向にのびる左右１
対の無端駆動ベルト(15)(16)、鉛直軸を中心に回転する
４個のガイドローラ(17)(18)、および左右方向の水平軸
を中心に回転する左右１対の押えローラ(19)(20)を備え
ている。

【００２０】基台(14)の各側板(14a)(14b)の左右方向内
側の面に、駆動プーリ(21)、従動プーリ(22)およびテン
ションプーリ(23)が左右方向の水平軸を中心に回転しう
るように取付けられ、これらに各ベルト(15)(16)が巻き
かけられている。ベルト(15)(16)は、たとえばゴム製の
平ベルトである。各駆動プーリ(21)は各側板(14a)(14b)
の後部上部に、各従動プーリ(22)は各側板(14a)(14b)の
前部上部に、各テンションプーリ(23)はこれらの前後方
向中間の下方に配置されている。ベルト(15)(16)の駆動
プーリ(21)と従動プーリ(22)の間の部分はほぼ水平に前
後方向にのびており、この部分がその上向きの面でワー
ク(W) に接触してこれを支持するワーク支持部(15a)(16
a)となっている。各側板(14a)(14b)の左右方向内側の面
に、各ベルト(15)(16)のワーク支持部(15a)(16a)を下か
ら受けて案内するほぼ水平なガイド部材(24)が固定され
ている。各駆動プーリ(21)は、それぞれ、電動モータ(2
5)によって駆動され、各モータ(25)の回転方向を制御す
ることにより、各ベルト(15)(16)の駆動方向を独立して
切替えられるようになっている。各ベルト(15)(16)につ
いて、ワーク支持部(15a)(16a)が後側に移動させられる
駆動方向を搬入方向、ワーク支持部(15a)(16a)が前側に
移動させられる駆動方向を搬出方向といい、また、両方
のベルト(15)(16)が搬入方向に駆動される状態をワーク
搬入状態、両方のベルト(15)(16)が搬出方向に駆動され
る状態をワーク搬出状態、ベルト(15)(16)の一方が搬入
方向に他方が搬出方向に駆動される状態をワーク自転状
態という。

【００２１】ガイドローラ(17)(18)は、基台(14)の後寄
りの部分の前後２箇所に、左右対称となるように配置さ
れ、後側の２個が固定ガイドローラ(17)、前側の２個が
可動ガイドローラ(18)となっている。各側板(14a)(14b)
の上部前端部に左右方向内側に水平に突出した支持部材
(26)が固定され、これらの先端部に固定ガイドローラ(1
7)が回転自在に取付けられている。各固定ガイドローラ
(17)は、対応するベルト(15)(16)のワーク支持部(15a)
(16a)のすぐ前に位置し、ワーク支持部(15a)(16a)の上
面は固定ガイドローラ(14)の外周の高さの中間部に位置
している。左右の側板(14a)(14b)のベルト(15)(16)の前
部に対応する部分の相互間に、門形のフレーム(27)がわ
たし止められている。フレーム(27)の上部の水平部分の
左右方向中央部に、下向きに配置された電動モータ(28)
の下端部が貫通状に固定され、モータ(28)により駆動さ
れる鉛直な送りねじ(29)にナット(30)を介して昇降部材
(31)が吊り下げられている。昇降部材(31)は水平板状を
なし、その左右両側部がフレーム(27)の両側の鉛直部分
によって案内され、鉛直軸のまわりに回転しないように
なっている。そして、モータ(28)を駆動することによ
り、昇降部材(31)が所定の範囲を昇降するようになって
いる。昇降部材(31)の前部の左右対称位置に、下向きに
鉛直にのびた支持部材(32)が固定され、各支持部材(32)
の下端部に可動ガイドローラ(18)がそれぞれ回転自在に
取付けられている。昇降部材(31)の後部の左右対称位置
に、下向きに鉛直にのびて下部が開口した各筒状のガイ
ド部材(33)が固定され、上部が開口した鉛直な角筒状の
支持部材(34)の上部がガイド筒(33)に摺動自在にはめら
れている。支持部材(34)はガイド部材(33)に沿って所定
の範囲を昇降しうるようになっており、その下端部に押
えローラ(19)(20)が回転自在に取付けられている。そし
て、ガイド部材(33)と支持部材(34)の中空部内に、支持
部材(34)および押えローラ(19)(20)を下向きに付勢する
ための弾性部材としての圧縮コイルばね(35)が設けられ
ている。図３に示すように、昇降部材(31)が下端位置ま
で下降したとき、可動ガイドローラ(18)および押えロー
ラ(19)(20)は下端の作動位置まで下降する。ベルト(15)
(16)のワーク支持部(15a)(16a)の上面は、作動位置にあ
る可動ガイドローラ(19)の外周の高さの中間に位置す
る。また、作動位置まで下降した押えローラ(19)(20)
は、ばね(35)の弾性力により、ガイド部材(24)の前部上
面で受けられたベルト(15)(16)のワーク支持部(15a)(16
a)の前部上面に圧接する。昇降部材(31)が上端位置まで
上昇したとき、可動ガイドローラ(18)および押えローラ
(19)(20)は上端の待機位置まで上昇し、このとき、可動
ガイドローラ(18)の最下部およびばね(35)によりガイド
部材(33)に対して最も下側に移動している押えローラ(1
9)(20)の最下部は、いずれもベルト(15)のワーク支持部
(15a)(16a)の上面より上方にかなりはなれている。

【００２２】ベルト(15)(16)の前部、固定ガイドローラ
(17)および押えローラ(19)(20)は、砥石(12)(13)の近傍
に位置しているが、砥石(12)(13)と干渉しないよう、左
右に適当な間隔をあけて配置されている。

【００２３】４個のガイドローラ(17)(18)により、ワー
ク(W) の径方向の位置を規制する径方向支持手段が構成
され、左右のベルト(15)(16)と押えローラ(19)(20)によ
り、ワーク(W) の軸方向の位置を規制するとともにワー
ク(W) を自転させる軸方向支持手段が構成されている。

【００２４】この実施形態の場合、砥石(12)(13)の外径
はワーク(W) の外径の約７０％であり、後述する研削作
業時には、ワーク(W) の中心(c) が研削面(12a)(13a)の
外周よりわずかに内側（右側）に位置するようになって
いる。

【００２５】詳細な図示は省略したが、研削装置には、
たとえば搬出搬入コンベヤ(36)などを備えたワーク搬出
搬入装置が設けられている。

【００２６】上記の研削装置において、ワーク(W) の研
削作業はたとえば次のようにして行われる。

【００２７】研削作業中、上下の砥石(12)(13)は常時回
転している。作業開始時には、上下の砥石(12)(13)は上
下に離れた待機位置に移動し、可動ガイドローラ(18)お
よび押えローラ(19)(20)は上端の待機位置まで上昇し、
左右のベルト(15)(16)は停止している。このような状態
で、コンベヤ(36)によりワーク(W) が後側に移動させら
れて、ベルト(15)(16)のワーク支持部(15a)(16a)の前部
に搬入される。ワーク(W) が搬入されると、これが図示
しない適宜なセンサなどにより検出されて、コンベヤ(3
6)は停止し、左右のベルト(15)(16)が搬入方向に駆動さ
れて、ワーク搬入状態になり、ワーク(W) がワーク支持
部(15a)(16a)に載せられて、後側に移動させられる。ワ
ーク(W) が研削加工位置まで移動すると、その後部の２
箇所が固定ガイドローラ(17)に当接し、ワーク(W) はそ
の位置に停止する。ワーク(W) が固定ガイドローラ(17)
に当接すると、これが図示しない適宜なセンサなどによ
って検知され、ベルト(15)(16)が停止する。ベルト(15)
(16)が停止すると、可動ガイドローラ(18)および押えロ
ーラ(19)(20)が下端の作動位置まで下降させられる。こ
れにより、可動ガイドローラ(18)がワーク(W) の前側２
箇所の外周に接するかあるいはその近傍に位置するとと
もに、押えローラ(19)(20)がベルト(15)(16)のワーク支
持部(15a)(16a)の上に載っているワーク(W) の上側の加
工面(a) に圧接し、ワーク(W) が、研削加工位置におい
て、径方向および軸方向に支持される。ワーク(W) は、
研削加工位置に支持されると、図２に示すように、ワー
ク(W)の中心(c) が研削面(12a)(12b)の外周の最前部よ
りわずかに後側（内側）に位置する。

【００２８】可動ガイドローラ(18)および押えローラ(1
9)(20)が作動位置まで下降したならば、左右のベルト(1
5)(16)が互いに逆方向に駆動されて、ワーク自転状態に
なる。左右のベルト(15)(16)が逆方向に駆動されること
により、各ベルト(15)(16)のワーク支持部(15a)(16a)が
前後方向に関して互いに逆方向に移動し、ワーク(W)の
左右両側部が、ベルト(15)(16)との摩擦力により、円周
方向に関して同方向に駆動され、ワーク(W) が、研削加
工位置において、ほぼその中心(c) を中心に自転させら
れる。

【００２９】ワーク(W) が自転を開始すると、砥石(12)
(13)が互いに接近する方向に移動させられ、研削面(12
a)(13a)が対応する加工面(a)(b)に接触させられる。こ
れにより、ワーク(W) の後側の部分が砥石(12)(13)で挟
まれ、ワーク(W) の後側の外周の一部と中心(c) とが研
削面(12a)(13a)の外周の内側に位置する。砥石(12)(13)
は、ワーク(W) の仕上がり寸法より決まる所定の位置ま
で移動させられ、その位置に所定時間停止させられる。
その間に、砥石(12)(13)が回転することにより、それら
の研削面(12a)(13a)に接触しているワーク(W) の加工面
(a)(b)が研削され、ワーク(W) が外周の一部および中心
(c) を研削面(12a)(13a)の外周の内側に位置させた状態
で自転することにより、ワーク(W) が１回転する間に、
ワーク(W)の加工面(a)(b)の全面が研削面(12a)(13a)の
間を通過して、研削面(12a)(13a)に接触し、その結果、
ワーク(W) が何回転かする間に、両面の加工面(a)(b)の
全面が同時に研削される。

【００３０】ワーク(W) の研削が終了すると、砥石(12)
(13)がワーク(W) から離れ、さらに上下の待機位置まで
移動する。砥石(12)(13)がワーク(W) から離れると、ベ
ルト(15)(16)が停止し、これにより、ワーク(W) の回転
が停止する。ワーク(W) が停止すると、可動ガイドロー
ラ(18)および押えローラ(19)(20)が待機位置まで上昇
し、左右のベルト(15)(16)が搬出方向に駆動されて、ワ
ーク搬出状態になる。これにより、ワーク(W) がワーク
支持部(15a)(16a)に載せられて、前側に移動させられ、
コンベヤ(36)に移される。ワーク(W) がコンベヤ(36)に
移されると、ベルト(15)(16)が停止し、コンベヤ(36)が
前向きに駆動されて、ワーク(W) を前側に搬出する。こ
のように加工の終了したワーク(W) が搬出されると、次
のワーク(W) が前記のようにコンベヤ(36)により搬入さ
れ、以後は、上記の動作を繰返すことにより、次々に研
削が行われる。

【００３１】なお、必要があれば、基台(14)全体を前後
方向に移動しうるようにしておき、研削中に、基台(14)
を前後方向に往復移動させ、これにより、ワーク(W)
を、前後方向、すなわち、研削面(12a)(13a)に平行であ
ってワーク(W) の中心(c) と砥石(12)(13)の軸心を結ぶ
方向に往復移動させる。この往復移動は、ワーク(W) の
後側の外周の一部と中心(c) とが常に研削面(12a)(13a)
の外周の内側に位置する範囲内で行われる。たとえば、
往復移動のストロークは約５ｍｍである。このようにワ
ーク(W) を往復移動させることにより、とくにワーク
(W) の中心部の平面度、面粗度を向上させることができ
る。

【００３２】研削中にワーク(W) を往復移動させる場
合、往復移動の方向は、上記のようにワーク(W) の中心
(c) と砥石(12)(13)の軸心を結ぶ方向あるいはこれに近
い方向が望ましいが、研削面(12a)(13a)に平行な他の方
向に往復移動させてもよい。

【００３３】上下の砥石(12)(13)は、通常は、上記実施
形態のように同速度で回転させられるが、たとえば上下
の加工面(a)(b)の研削取代配分を変化させたい場合な
ど、場合によっては、上下の砥石(12)(13)の回転速度を
変えて研削することもできる。また、上下の砥石(12)(1
3)を互いに同方向に回転させて研削することも可能であ
る。

【００３４】第１実施形態において、固定ガイドローラ
(17)は、ベルト(15)(16)により移動させられてきたワー
ク(W) を研削加工位置に確実に停止させるため、２個以
上必要であるが、可動ガイドローラ(18)は固定ガイドロ
ーラ(17)とでワーク(W) の径方向の位置を規制するもの
であるから、１個以上であればよい。

【００３５】第１実施形態では、ベルト(15)(16)に対し
て、コンベヤ(36)によりワーク(W)の搬出、搬入を行う
ようになっているが、たとえば吸着盤などを備えた適当
なワーク搬出搬入装置を使用して、ベルト(15)(16)のワ
ーク支持部(15a)(16a)の前部に直接ワーク(W) を搬入
し、この部分から直接ワーク(W) を搬出するようにして
もよい。

【００３６】また、第１実施形態では、駆動ベルト(15)
(16)の後端部を研削加工位置とし、ワーク(W) を後側に
移動させて研削加工位置に搬入し、ワーク(W) を前側に
移動させて研削加工位置から搬出するようになっている
が、たとえば、研削加工位置の左右両側にのびた駆動ベ
ルトにより、ワークを左側から研削加工位置に搬入し、
研削の終了したワークを研削加工位置から右側に搬出す
るようにすることもできる。このようにすれば、ベルト
を１方向に駆動して、ワークの搬入、搬出を行うことが
できる。しかし、この場合は、上記実施形態の固定ガイ
ドローラ(17)に相当するガイドローラも昇降自在にし、
このガイドローラをワークの搬出時には上方の待機位置
に上昇させておくようにする必要がある。

【００３７】さらに、第１実施形態では、ベルト(15)(1
6)によりワーク(W) の搬入、搬出も行うようになってい
るが、ベルト(15)(16)はワーク(W) を自転させるだけの
ものであってもよい。その場合、ベルト(15)(16)は、研
削加工位置にあるワーク(W)を支持するだけの短いもの
でよい。また、ガイドローラ(17)(18)の位置は全て固定
として、押えローラ(19)(20)だけを適当な位置に退避で
きるようにし、たとえば吸着板などを備えた適当なワー
ク搬入搬出手段により、ワーク(W) をガイドローラ(17)
(18)の間のベルト(15)(16)のワーク支持部(15a)(16a)に
直接搬入し、この位置から直接搬出するようにしてもよ
い。

【００３８】駆動ベルト(15)(16)として、第１実施形態
では平ベルトを用いているが、たとえばタイミングベル
トなど、他の形式のベルトを用いることも可能である。

【００３９】図４は、第２実施形態を示し、第１実施形
態の図２に相当する部分の主要なものだけを表わしてい
る。

【００４０】第２実施形態は、位置決め用平坦部(f) が
形成されたワーク(W) を対象とするものであり、可動ガ
イドローラ(18)(37)の数が第１実施形態の場合と異なっ
ている。すなわち、第２実施形態の場合、第１実施形態
と同じ２個の可動ガイドローラ(18)の少し後方にそれぞ
れ補助の可動ガイドローラ(37)が設けられている。可動
ガイドローラ(18)と可動ガイドローラ(37)の円周方向の
間隔は、平坦部(f) の円周方向の寸法より少し大きい。
また、可動ガイドローラ(37)は、可動ガイドローラ(18)
と共通の昇降部材(31)に可動ガイドローラ(18)と同様に
取付けられている。

【００４１】第２実施形態のようにすれば、平坦部(f)
があるワーク(W) を６個のガイドローラ(17)(18)(37)で
確実に径方向に支持して自転させることができる。しか
し、この実施形態のものは、位置決め用平坦部のないワ
ークの研削にももちろん使用することができる。

【００４２】第２実施形態における研削装置の具体的な
構成は、第１実施形態のものと同様にすることができ
る。図４において、第１実施形態と同じ部分には同一の
符号を付している。

【００４３】上記実施形態においては、研削砥石の軸心
が鉛直である縦軸の両面研削装置を示したが、研削砥石
の軸心が水平である横軸のものにすることもできる。そ
の場合、駆動ベルトのワーク支持部は、横軸の砥石の鉛
直な研削面と平行な鉛直面内にあるが、その駆動方向
は、鉛直方向、水平方向、あるいはこれらの間の斜めの
方向のいずれでもよい。

【００４４】また、この発明は、半導体ウェーハ以外の
薄板円板状ワークの研削にも適用することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は、この発明の第１実施形態を示す両面研
削装置の概略側面図である。

【図２】図２は、図１のワーク自転装置の主要部を拡大
して示す水平断面図である。

【図３】図３は、図２のIII −III 線の断面図である。

【図４】図４は、この発明の第２実施形態におけるワー
ク自転装置の主要部を示す概略構成図である。

【符号の説明】

(2) ワーク自転装置（ワーク自転手段） (12)(13) 研削砥石 (12a)(13a) 研削面 (15)(16) 駆動ベルト (15a)(16a) ワーク支持部 (17) 固定ガイドローラ (18) 可動ガイドローラ (19)(20) 押えローラ (37) 可動ガイドローラ (W) ワーク（半導体ウェーハ） (a)(b) 加工面 (c) 中心

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】端面の円形研削面同志が対向するとともに
   軸方向に相対的に移動しうるように配置されて回転させ
   られる１対の研削砥石と、薄板円板状ワークの両面の加
   工面が前記１対の研削砥石の研削面にそれぞれ対向する
   とともに前記ワークの外周の一部および中心が前記研削
   面の外周の内側に位置するように前記ワークを前記研削
   面の間の研削加工位置に支持して自転させるためのワー
   ク自転手段とを備えており、前記ワーク自転手段が、前
   記ワークの径方向の位置を規制する径方向支持手段と、
   前記ワークの軸方向の位置を規制する軸方向支持手段と
   を備え、前記径方向支持手段が、前記研削砥石の間から
   外に出ている前記ワークの外周に接触して回転する少な
   くとも３個のガイドローラを備え、前記軸方向支持手段
   が、前記研削砥石の間から外に出ている前記ワークの加
   工面の２箇所に接触して移動することにより前記ワーク
   を自転させる１対の駆動ベルトと、前記ワークを前記各
   駆動ベルトとの間に挟むように前記駆動ベルトの反対側
   から前記ワークの加工面に圧接する押えローラとを備え
   ていることを特徴とする薄板円板状ワークの両面研削装
   置。
2. 【請求項２】前記１対の駆動ベルトが、前記ワークに接
   触するワーク支持部の面が上向きになるように互いに平
   行に配置され、前記１対の駆動ローラの駆動状態が、前
   記ワーク支持部が互いに同じ搬入方向に移動してその上
   に載ったワークを前記研削加工位置に搬入するワーク搬
   入状態と、前記ワーク支持部が互いに同じ搬出方向に移
   動してその上に載ったワークを前記研削加工位置から搬
   出するワーク搬出状態と、前記ワーク支持部が互いに逆
   方向に移動してその上に載ったワークを自転させるワー
   ク自転状態とに切替えられるようになされ、前記押えロ
   ーラが、前記駆動ベルト上の前記ワークより上方に離れ
   た待機位置と、前記駆動ベルト上の前記ワークに圧接す
   る作動位置との間を昇降するようになされ、前記軸方向
   支持手段が、前記ワーク搬入状態の前記１対の駆動ベル
   トにより移動させられてきた前記ワークの移動方向前側
   の部分の外周に当接してこれを停止させる少なくとも２
   個の固定ガイドローラと、前記固定ガイドローラにより
   停止させられている前記ワークの移動方向後側の部分の
   外周に当接する少なくとも１個の可動ガイドローラとを
   備え、前記可動ガイドローラが、前記駆動ベルト上の前
   記ワークより上方に離れた待機位置と、前記駆動ベルト
   上の前記ワークの外周に接触する作動位置との間を昇降
   するようになされていることを特徴とする請求項１の薄
   板円板状ワークの両面研削装置。
3. 【請求項３】前記１対の駆動ベルトの前記ワーク支持部
   が、その下に配置されたガイド部材により案内されてい
   ることを特徴とする請求項２の薄板円板状ワークの両面
   研削装置。
4. 【請求項４】前記押えローラと前記可動ガイドローラと
   が、同一の昇降部材に取付けられ、互いに同期して昇降
   するようになされていることを特徴とする請求項２また
   は３の薄板円板状ワークの両面研削装置。