JPH0963033A - 磁気記録媒体 - Google Patents
磁気記録媒体Info
- Publication number
- JPH0963033A JPH0963033A JP20959595A JP20959595A JPH0963033A JP H0963033 A JPH0963033 A JP H0963033A JP 20959595 A JP20959595 A JP 20959595A JP 20959595 A JP20959595 A JP 20959595A JP H0963033 A JPH0963033 A JP H0963033A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic layer
- recording medium
- magnetic
- column
- magnetic recording
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims abstract 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 abstract 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 abstract 1
Landscapes
- Magnetic Record Carriers (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
- Thin Magnetic Films (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 高出力、高Ｃ／Ｎで高密度記録に好適な磁気
記録媒体を提供すること。 【解決手段】 支持体上に斜方コラム構造の磁性層を15
00〜3000Å程度の厚み（ｄ）で成膜してなる金属薄膜型
の磁気記録媒体において、斜方コラム構造を構成するコ
ラム粒子が、磁性層表面におけるコラム幅（ａ）と磁性
層表面から２／ｄ、或いは800〜1500Å程度の深さにお
けるコラム幅（ｂ）の比が0.9〜1.1となる関係を満たす
形状を有すること。
記録媒体を提供すること。 【解決手段】 支持体上に斜方コラム構造の磁性層を15
00〜3000Å程度の厚み（ｄ）で成膜してなる金属薄膜型
の磁気記録媒体において、斜方コラム構造を構成するコ
ラム粒子が、磁性層表面におけるコラム幅（ａ）と磁性
層表面から２／ｄ、或いは800〜1500Å程度の深さにお
けるコラム幅（ｂ）の比が0.9〜1.1となる関係を満たす
形状を有すること。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は金属薄膜型の磁気記
録媒体に関し、より詳しくは高出力、高Ｃ／Ｎが得られ
る蒸着型の磁気記録媒体に関する。
録媒体に関し、より詳しくは高出力、高Ｃ／Ｎが得られ
る蒸着型の磁気記録媒体に関する。
【０００２】
【従来の技術】電子ビーム加熱により金属薄膜を支持体
上に成膜させてなる蒸着型の磁気記録媒体は、磁性体充
填率が高いため塗布型の磁気記録媒体等と比べて薄膜で
飽和磁化が大きく、高密度記録に適したものとして種々
の応用分野において利用されている。こうした蒸着型の
磁気記録媒体、例えばビデオテープや８ミリビデオテー
プを製造するに当たっては、特公昭41−19389号に記載
されたような、いわゆる斜め蒸着の技術を用いることが
一般的である。斜め蒸着の技術を用いると斜方コラム構
造を有する磁性層が得られ、これによって保磁力Ｈｃを
大きくとり、出力を向上させることができる。
上に成膜させてなる蒸着型の磁気記録媒体は、磁性体充
填率が高いため塗布型の磁気記録媒体等と比べて薄膜で
飽和磁化が大きく、高密度記録に適したものとして種々
の応用分野において利用されている。こうした蒸着型の
磁気記録媒体、例えばビデオテープや８ミリビデオテー
プを製造するに当たっては、特公昭41−19389号に記載
されたような、いわゆる斜め蒸着の技術を用いることが
一般的である。斜め蒸着の技術を用いると斜方コラム構
造を有する磁性層が得られ、これによって保磁力Ｈｃを
大きくとり、出力を向上させることができる。
【０００３】こうした斜め蒸着法の改良として、例えば
特公平４−18371号のように電子ビームの電流密度を規
定するもの、特公昭61−41985号のように斜め蒸着によ
り得られるコバルト薄膜の特性を規定するもの、或いは
特開平６−111265号のように磁性層の構成材料を規定す
るものなどがある。これらは何れも異なる観点から、斜
め蒸着によって得られる磁気記録媒体の特性を向上させ
ようとするものである。
特公平４−18371号のように電子ビームの電流密度を規
定するもの、特公昭61−41985号のように斜め蒸着によ
り得られるコバルト薄膜の特性を規定するもの、或いは
特開平６−111265号のように磁性層の構成材料を規定す
るものなどがある。これらは何れも異なる観点から、斜
め蒸着によって得られる磁気記録媒体の特性を向上させ
ようとするものである。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところで、斜め蒸着に
よって得られる斜方コラム構造の形状も、テープの電磁
変換特性に大きな影響を及ぼす一因であることが判明し
ている。これに着目したものとして例えば特開平３−17
8028号では、テープが正逆両方向に走行する場合に備え
て互いに逆方向に成長させた二層の斜方蒸着膜が提案さ
れている。
よって得られる斜方コラム構造の形状も、テープの電磁
変換特性に大きな影響を及ぼす一因であることが判明し
ている。これに着目したものとして例えば特開平３−17
8028号では、テープが正逆両方向に走行する場合に備え
て互いに逆方向に成長させた二層の斜方蒸着膜が提案さ
れている。
【０００５】また特開平６−111267号公報には、斜め蒸
着により形成された複数の磁性層を有する磁気記録媒体
であって、各磁性層のコラム構造の成長方向が上層に向
かうにつれてより垂直に近くなるものが開示されてい
る。しかしながら、コラム構造の成長方向やコラム角を
別にすれば、斜方コラム構造を構成するコラム粒子自体
の形状について規定したものはない。
着により形成された複数の磁性層を有する磁気記録媒体
であって、各磁性層のコラム構造の成長方向が上層に向
かうにつれてより垂直に近くなるものが開示されてい
る。しかしながら、コラム構造の成長方向やコラム角を
別にすれば、斜方コラム構造を構成するコラム粒子自体
の形状について規定したものはない。
【０００６】記録信号の周波数が高くなり、記録波長が
短くなるにつれて、より高出力、高Ｃ／Ｎの磁気記録媒
体が求められている。現在用いられている高域の記録波
長λは約0.5μｍ程度であるが、磁気記録に対して実効
的な記録深さはλ／４、即ち0.12μｍ程度であることが
判明している。従って、こうした短い記録波長に対して
は、磁性層表面から0.12μｍ程度までのコラム粒子の形
状が重要であると考えられる。本発明はこうした観点か
らコラム粒子の形状について規定し、高出力、高Ｃ／Ｎ
の磁気記録媒体を提供することを課題としている。
短くなるにつれて、より高出力、高Ｃ／Ｎの磁気記録媒
体が求められている。現在用いられている高域の記録波
長λは約0.5μｍ程度であるが、磁気記録に対して実効
的な記録深さはλ／４、即ち0.12μｍ程度であることが
判明している。従って、こうした短い記録波長に対して
は、磁性層表面から0.12μｍ程度までのコラム粒子の形
状が重要であると考えられる。本発明はこうした観点か
らコラム粒子の形状について規定し、高出力、高Ｃ／Ｎ
の磁気記録媒体を提供することを課題としている。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、支持体
上に斜方コラム構造の磁性層を成膜してなる金属薄膜型
の磁気記録媒体において、斜方コラム構造を構成するコ
ラム粒子が、磁性層表面におけるコラム幅と磁性層表面
から800〜1500Åの深さにおけるコラム幅の比が0.9〜1.
1となる関係を満たす形状を有することを特徴とする磁
気記録媒体が提供される。一般には、蒸着により成膜さ
れた磁性層の厚み（ｄ）は1500〜3000Å程度の範囲にあ
るから、コラム粒子は、磁性層表面におけるコラム幅と
磁性層表面から２／ｄの深さにおけるコラム幅の比が0.
9〜1.1となる関係を満たす形状を有する。なおコラム幅
とは、磁気記録媒体長手方向に沿った磁性層垂直断面に
おけるコラム粒子の幅方向長さであり、透過型電子顕微
鏡などで観察することができる。
上に斜方コラム構造の磁性層を成膜してなる金属薄膜型
の磁気記録媒体において、斜方コラム構造を構成するコ
ラム粒子が、磁性層表面におけるコラム幅と磁性層表面
から800〜1500Åの深さにおけるコラム幅の比が0.9〜1.
1となる関係を満たす形状を有することを特徴とする磁
気記録媒体が提供される。一般には、蒸着により成膜さ
れた磁性層の厚み（ｄ）は1500〜3000Å程度の範囲にあ
るから、コラム粒子は、磁性層表面におけるコラム幅と
磁性層表面から２／ｄの深さにおけるコラム幅の比が0.
9〜1.1となる関係を満たす形状を有する。なおコラム幅
とは、磁気記録媒体長手方向に沿った磁性層垂直断面に
おけるコラム粒子の幅方向長さであり、透過型電子顕微
鏡などで観察することができる。
【０００８】本発明の磁気記録媒体において、支持体と
してはポリエチレンテレフタレートが好ましい。しかし
他にも、ポリエチレンナフタレートのようなポリエステ
ル；ポリエチレン、ポリプロピレン等のポリオレフィ
ン; セルローストリアセテート、セルロースジアセテー
ト等のセルロース誘導体；ポリカーボネート；ポリ塩化
ビニル；ポリイミド；芳香族ポリアミド等のプラスチッ
ク等を使用できる。これらの支持体の厚みは３〜50μm
程度である。
してはポリエチレンテレフタレートが好ましい。しかし
他にも、ポリエチレンナフタレートのようなポリエステ
ル；ポリエチレン、ポリプロピレン等のポリオレフィ
ン; セルローストリアセテート、セルロースジアセテー
ト等のセルロース誘導体；ポリカーボネート；ポリ塩化
ビニル；ポリイミド；芳香族ポリアミド等のプラスチッ
ク等を使用できる。これらの支持体の厚みは３〜50μm
程度である。
【０００９】斜方コラム構造の磁性層は、先に引用した
特公昭41−19389号に記載されたような、斜め蒸着法に
よって成膜される。これは例えば真空チャンバ内を走行
する支持体、例えばＰＥＴフィルムに対し、電子ビーム
加熱によりルツボから蒸発される磁性材料を、所定以上
の入射角で堆積させて磁性層とするものである。本発明
において磁性層を形成するのに用いられる磁性材料とし
ては、通常の金属薄膜型の磁気記録媒体の製造に用いら
れる強磁性金属材料が挙げられる。例えばCo,Ni, Fe等
の強磁性金属、或いはFe−Co、Fe−Ni、Co−Ni、Fe−Co
−Ni、Fe−Fh、Fe−Cu、Co−Cu、Co−Au、Co−Y 、Co−
La、Co−Pr、Co−Gd、Co−Sm、Co−Pt、Ni−Cu、Mn−B
i、Mn−Sb、Mn−Al、Fe−Cr、Co−Cr、Ni−Cr、Fe−Co
−Cr、Ni−Co−Cr等の強磁性合金などである。特に、
鉄、コバルト、ニッケルを主体とする強磁性合金及びこ
れらの窒化物、炭化物から選ばれる少なくとも１種が好
ましい。また蒸着により磁性層を形成する際に酸化性ガ
スを導入し、磁性層表面に酸化物を形成することにより
耐久性の向上を図ることができる。蒸着の際の真空度は
10-4〜10-7Torr程度である。
特公昭41−19389号に記載されたような、斜め蒸着法に
よって成膜される。これは例えば真空チャンバ内を走行
する支持体、例えばＰＥＴフィルムに対し、電子ビーム
加熱によりルツボから蒸発される磁性材料を、所定以上
の入射角で堆積させて磁性層とするものである。本発明
において磁性層を形成するのに用いられる磁性材料とし
ては、通常の金属薄膜型の磁気記録媒体の製造に用いら
れる強磁性金属材料が挙げられる。例えばCo,Ni, Fe等
の強磁性金属、或いはFe−Co、Fe−Ni、Co−Ni、Fe−Co
−Ni、Fe−Fh、Fe−Cu、Co−Cu、Co−Au、Co−Y 、Co−
La、Co−Pr、Co−Gd、Co−Sm、Co−Pt、Ni−Cu、Mn−B
i、Mn−Sb、Mn−Al、Fe−Cr、Co−Cr、Ni−Cr、Fe−Co
−Cr、Ni−Co−Cr等の強磁性合金などである。特に、
鉄、コバルト、ニッケルを主体とする強磁性合金及びこ
れらの窒化物、炭化物から選ばれる少なくとも１種が好
ましい。また蒸着により磁性層を形成する際に酸化性ガ
スを導入し、磁性層表面に酸化物を形成することにより
耐久性の向上を図ることができる。蒸着の際の真空度は
10-4〜10-7Torr程度である。
【００１０】磁性層表面におけるコラム幅は、蒸着条件
によって異なるので一概には言えないが、一般的には20
〜80nmの範囲内にある。本発明においては、厚みｄの磁
性層において、このコラム幅と、磁性層表面から２／ｄ
の深さ、或いは磁性層表面から800〜1500Åの深さにお
けるコラム幅の比が0.9〜1.1の範囲にある。このような
関係が満たされる場合、後で実施例として述べるところ
から明らかなように、高出力と、優れたＣ／Ｎ特性とを
得ることができる。これは、高周波記録に対して実効的
な記録深さまでコラム粒子の幅が一様であるために、コ
ラム粒子間の磁気的相互作用が均一となり、雑音が低減
されるためであると考えられる。
によって異なるので一概には言えないが、一般的には20
〜80nmの範囲内にある。本発明においては、厚みｄの磁
性層において、このコラム幅と、磁性層表面から２／ｄ
の深さ、或いは磁性層表面から800〜1500Åの深さにお
けるコラム幅の比が0.9〜1.1の範囲にある。このような
関係が満たされる場合、後で実施例として述べるところ
から明らかなように、高出力と、優れたＣ／Ｎ特性とを
得ることができる。これは、高周波記録に対して実効的
な記録深さまでコラム粒子の幅が一様であるために、コ
ラム粒子間の磁気的相互作用が均一となり、雑音が低減
されるためであると考えられる。
【００１１】以上のような本発明による所定の比率関係
を満たすコラム粒子を得るためには、蒸着に際しての電
子ビーム出力、支持体走行速度、入射角といった諸条件
を相互に注意深く選定しなければならない。
を満たすコラム粒子を得るためには、蒸着に際しての電
子ビーム出力、支持体走行速度、入射角といった諸条件
を相互に注意深く選定しなければならない。
【００１２】また本発明により製造される磁気記録媒体
には、磁性層と反対の面において支持体にバックコート
層を形成することができる。バックコート層の形成は磁
性層の形成よりも前でも後でもよい。バックコート層は
常法によりバックコート塗料を塗布して形成してもよい
し、真空中で金属又は半金属を付着させることにより形
成することもできる。その厚みは特に限定されるもので
はないが、塗布の場合には0.1〜1.0μm程度、蒸着の場
合には0.05〜1.0μm程度である。また必要に応じて、ダ
イヤモンドライクカーボン、炭化ホウ素、二酸化ケイ素
などからなる50〜200Å程度の厚みの保護層を設けても
よい。
には、磁性層と反対の面において支持体にバックコート
層を形成することができる。バックコート層の形成は磁
性層の形成よりも前でも後でもよい。バックコート層は
常法によりバックコート塗料を塗布して形成してもよい
し、真空中で金属又は半金属を付着させることにより形
成することもできる。その厚みは特に限定されるもので
はないが、塗布の場合には0.1〜1.0μm程度、蒸着の場
合には0.05〜1.0μm程度である。また必要に応じて、ダ
イヤモンドライクカーボン、炭化ホウ素、二酸化ケイ素
などからなる50〜200Å程度の厚みの保護層を設けても
よい。
【００１３】さらに、磁性層上には適当な潤滑剤からな
るトップコート層を形成してもよい。これは例えばフッ
素系潤滑剤を大気中で塗布し、或いは真空中で磁性層上
に噴霧して形成される。トップコート層の厚みは５〜50
Å程度である。バックコート層を設ける場合は、その上
にもトップコート層を形成することができる。
るトップコート層を形成してもよい。これは例えばフッ
素系潤滑剤を大気中で塗布し、或いは真空中で磁性層上
に噴霧して形成される。トップコート層の厚みは５〜50
Å程度である。バックコート層を設ける場合は、その上
にもトップコート層を形成することができる。
【００１４】
【発明の実施の形態】図１に、本発明の磁気記録媒体の
製造に用いることのできる製造装置の一例を示す。支持
体であるＰＥＴフィルム10を水冷されたプレート11上を
介して、巻き出しロール12から巻き取りロール13へと走
行させる。遮蔽板14によって限定された蒸着領域に向け
て、ルツボ15に収容された磁性材料16を電子銃17からの
電子ビームで蒸発させて蒸着雰囲気とし、ＰＥＴフィル
ム10上に入射角θで堆積させる。なおこの処理は真空チ
ャンバ18内において、インライン式で行われる。また19
で示すものは酸素ノズル、20は真空ポンプである。
製造に用いることのできる製造装置の一例を示す。支持
体であるＰＥＴフィルム10を水冷されたプレート11上を
介して、巻き出しロール12から巻き取りロール13へと走
行させる。遮蔽板14によって限定された蒸着領域に向け
て、ルツボ15に収容された磁性材料16を電子銃17からの
電子ビームで蒸発させて蒸着雰囲気とし、ＰＥＴフィル
ム10上に入射角θで堆積させる。なおこの処理は真空チ
ャンバ18内において、インライン式で行われる。また19
で示すものは酸素ノズル、20は真空ポンプである。
【００１５】図２にはこうして得られた本発明の磁気記
録媒体の長手方向に沿った磁性層断面を、一つのコラム
粒子に関して示してある。磁性層の厚みをｄとすると、
磁性層表面におけるコラム粒子の幅ａは、２／ｄにおけ
る幅ｂとの比が0.9〜1.1の範囲にある。この場合前述し
たように、ｄの値は通常1500〜3000Å程度である。
録媒体の長手方向に沿った磁性層断面を、一つのコラム
粒子に関して示してある。磁性層の厚みをｄとすると、
磁性層表面におけるコラム粒子の幅ａは、２／ｄにおけ
る幅ｂとの比が0.9〜1.1の範囲にある。この場合前述し
たように、ｄの値は通常1500〜3000Å程度である。
【００１６】
実施例１ 図１に示す如き装置を構成した。真空チャンバ18を10-6
Torrまで排気し、ルツボ15には磁性材料16としてCoを入
れ、電子銃17から出力10kWで電子ビームを照射して蒸着
雰囲気とした。ＰＥＴフィルム10を巻き出しロール12か
ら巻き取りロール13へと５ｍ／分で走行させ、入射角度
θは65゜とした。また酸素ノズルからは70SCCMで酸素を
導入した。得られた磁性層の厚みは1800Åであった。次
いでＰＥＴフィルムの磁性層が形成された面とは反対側
に、平均粒径40nmのカーボンブラックをウレタンプレポ
リマーと塩化ビニル系樹脂とのバインダー樹脂中に分散
させてなるバックコート用の塗料を、乾燥膜厚0.5μmと
なるようにダイコーティング方式により塗布し、乾燥し
てバックコート層を形成した。次いで、パーフルオロポ
リエーテル（FOMBLIN Z DOL、モンテカチーニ社製）を
フッ素系不活性液体（フロリナートFC-77、住友スリー
エム株式会社製）に0.05重量％となるように希釈、分散
させた塗料を、乾燥膜厚が30Åとなるように磁性層上に
ダイコーティング方式により塗布し、105℃で乾燥させ
て潤滑層を形成した。得られたものを８mm幅に裁断し、
カセットにローディングしてハイバンド８mmＶＣＲカセ
ットテープを得た。
Torrまで排気し、ルツボ15には磁性材料16としてCoを入
れ、電子銃17から出力10kWで電子ビームを照射して蒸着
雰囲気とした。ＰＥＴフィルム10を巻き出しロール12か
ら巻き取りロール13へと５ｍ／分で走行させ、入射角度
θは65゜とした。また酸素ノズルからは70SCCMで酸素を
導入した。得られた磁性層の厚みは1800Åであった。次
いでＰＥＴフィルムの磁性層が形成された面とは反対側
に、平均粒径40nmのカーボンブラックをウレタンプレポ
リマーと塩化ビニル系樹脂とのバインダー樹脂中に分散
させてなるバックコート用の塗料を、乾燥膜厚0.5μmと
なるようにダイコーティング方式により塗布し、乾燥し
てバックコート層を形成した。次いで、パーフルオロポ
リエーテル（FOMBLIN Z DOL、モンテカチーニ社製）を
フッ素系不活性液体（フロリナートFC-77、住友スリー
エム株式会社製）に0.05重量％となるように希釈、分散
させた塗料を、乾燥膜厚が30Åとなるように磁性層上に
ダイコーティング方式により塗布し、105℃で乾燥させ
て潤滑層を形成した。得られたものを８mm幅に裁断し、
カセットにローディングしてハイバンド８mmＶＣＲカセ
ットテープを得た。
【００１７】実施例２ 実施例１において、入射角度θを70゜とし、他は同様に
操作して、ハイバンド８mmＶＣＲカセットテープを得
た。
操作して、ハイバンド８mmＶＣＲカセットテープを得
た。
【００１８】実施例３ 実施例１において、入射角度θを62゜とし、また酸素流
量を83SCCMとした。他は同様に操作して、ハイバンド８
mmＶＣＲカセットテープを得た。
量を83SCCMとした。他は同様に操作して、ハイバンド８
mmＶＣＲカセットテープを得た。
【００１９】比較例１ 図１に示す装置において、プレート11に代えて直径30cm
のキャンロールを用い、最低入射角度を65゜に設定して
成膜を行った。他の条件は実施例１と同じとして同様に
操作し、ハイバンド８mmＶＣＲカセットテープを得た。
のキャンロールを用い、最低入射角度を65゜に設定して
成膜を行った。他の条件は実施例１と同じとして同様に
操作し、ハイバンド８mmＶＣＲカセットテープを得た。
【００２０】比較例２ 比較例１において、直径50cmのキャンロールを用い、最
低入射角度を60゜とし、他は同様に操作して、ハイバン
ド８mmＶＣＲカセットテープを得た。
低入射角度を60゜とし、他は同様に操作して、ハイバン
ド８mmＶＣＲカセットテープを得た。
【００２１】比較例３ 実施例１において、入射角度θを40゜とし、他は同様に
操作して、ハイバンド８mmＶＣＲカセットテープを得
た。
操作して、ハイバンド８mmＶＣＲカセットテープを得
た。
【００２２】実施例及び比較例で得られたテープについ
て、市販のＶＴＲデッキを改造した装置を用いて、記録
波長１MHz及び７MHzにおける電磁変換特性を測定した。
結果を表１に示す。表１において、出力は比較例１を基
準とする相対値である。またこれらのテープについて、
透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）を用いて図２におけるａ／
ｂを測定した。結果を表１に併せて示す。
て、市販のＶＴＲデッキを改造した装置を用いて、記録
波長１MHz及び７MHzにおける電磁変換特性を測定した。
結果を表１に示す。表１において、出力は比較例１を基
準とする相対値である。またこれらのテープについて、
透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）を用いて図２におけるａ／
ｂを測定した。結果を表１に併せて示す。
【００２３】
【表１】
【００２４】
【発明の効果】以上の如く本発明によれば、高出力、高
Ｃ／Ｎで高密度記録に好適な磁気記録媒体が提供され
る。
Ｃ／Ｎで高密度記録に好適な磁気記録媒体が提供され
る。
【図１】本発明の磁気記録媒体の製造に用いることので
きる製造装置の一例を示す概略図である。
きる製造装置の一例を示す概略図である。
【図２】本発明による磁気記録媒体の長手方向に沿った
磁性層断面の一例の説明図である。
磁性層断面の一例の説明図である。
10 ＰＥＴフィルム 11 プレート 12 巻き出しロール 13 巻き取りロール 14 遮蔽板 15 ルツボ 16 磁性材料 17 電子銃 18 真空チャンバ 19 酸素ノズル 20 真空ポンプ
Claims (3)
- 【請求項１】 支持体上に斜方コラム構造の磁性層を厚
み（ｄ）で成膜してなる金属薄膜型の磁気記録媒体にお
いて、前記斜方コラム構造を構成するコラム粒子が、磁
性層表面におけるコラム幅と磁性層表面から２／ｄの深
さにおけるコラム幅の比が0.9〜1.1となる関係を満たす
形状を有することを特徴とする、磁気記録媒体。 - 【請求項２】 前記厚み（ｄ）が1500〜3000Åの範囲に
ある、請求項１の磁気記録媒体。 - 【請求項３】 支持体上に斜方コラム構造の磁性層を成
膜してなる金属薄膜型の磁気記録媒体において、前記斜
方コラム構造を構成するコラム粒子が、磁性層表面にお
けるコラム幅と磁性層表面から800〜1500Åの深さにお
けるコラム幅の比が0.9〜1.1となる関係を満たす形状を
有することを特徴とする、磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20959595A JPH0963033A (ja) | 1995-08-17 | 1995-08-17 | 磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20959595A JPH0963033A (ja) | 1995-08-17 | 1995-08-17 | 磁気記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0963033A true JPH0963033A (ja) | 1997-03-07 |
Family
ID=16575433
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20959595A Pending JPH0963033A (ja) | 1995-08-17 | 1995-08-17 | 磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0963033A (ja) |
-
1995
- 1995-08-17 JP JP20959595A patent/JPH0963033A/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0053811B1 (en) | Magnetic recording media | |
| JPH0546013B2 (ja) | ||
| JPH0963033A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| US7198861B2 (en) | Magnetic recording medium and method of producing the same | |
| JP2629847B2 (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
| JP3167129B2 (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPH06139541A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JP2951892B2 (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPH08129748A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JP2977617B2 (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPH0991659A (ja) | 磁気記録媒体及びその製造方法 | |
| JPH097172A (ja) | 磁気記録媒体及びその製造方法 | |
| JP2977618B2 (ja) | 磁気記録方法 | |
| JP2006048840A (ja) | 磁気記録媒体およびその製造方法、ならびに磁気記録媒体の記録再生方法 | |
| JPH0969220A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPH09198648A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPH10105953A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPH09212844A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPH1027328A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPH09204628A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPH10334441A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPH10105952A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPH1196538A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPH10228619A (ja) | 磁気記録媒体、及び磁気記録方法 | |
| JPH07320264A (ja) | 磁気記録媒体の製造装置及び製造方法 |