JPH095085A - 振動型ジャイロスコープ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 振動板を用いた振動型ジャイロスコープにお
いて、安定した支持を可能にし且つトリミング調整の際
に圧電材料に加工変質を与えないものとする。 【構成】 恒弾性材料の金属板１１に圧電材料１２が積
層された弾性部材１０に溝１０ｄが形成されて、振動板
１０ａ，１０ｂ，１０ｃが形成されている。各振動板の
圧電材料１２の表面に電極が形成され、電極に与えられ
る交流駆動電力により各振動板１０ａ，１０ｂ，１０ｃ
がｘ方向へ駆動され、回転系内にて与えられるコリオリ
力により各振動板１０ａ，１０ｂ，１０ｃはｚ方向へ振
動する。この振動成分が検出用の電極にて検出され角速
度が得られる。弾性部材１０の両側部では圧電材料１２
が部分的に除去され金属板の露出部１１ｂが保持体３０
に保持されている。振動板の先端には、金属板の露出部
１１ｃが設けられ、この部分をトリミングすることによ
り、振動数の調整がなされる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、回転系の角速度を検出
する振動板を備えた振動型ジャイロスコープに係り、特
に支持を安定させ、またトリミング調整の際に圧電材料
が加工変質するのを防止できるようにした振動型ジャイ
ロスコープに関する。

【０００２】

【従来の技術】回転角速度を検出するジャイロスコープ
は、航空機や船舶の慣性航法システムなどに使用されて
いるが、最近では、車載用ナビゲーションシステムやロ
ボットや無人走行車の姿勢制御、さらにはテレビカメラ
やビデオカメラの画面振れ防止装置、およびアミューズ
メント関連機器などにも使用されるようになってきてい
る。

【０００３】このような種々の分野の使用に適するジャ
イロスコープとしては小型のものが必要になっており、
そこで振動型ジャイロスコープが着目されている。従来
の振動型ジャイロスコープは、エリンバなどの恒弾性材
料により形成された四角柱形状や三角柱形状などの弾性
体に、駆動用の圧電素子と検出用の圧電素子が貼着され
たものとなっている。この振動型ジャイロスコープで
は、駆動用の圧電素子による圧電歪み力により、弾性体
を所定の方向へ振動させる。振動している弾性体は回転
系内でコリオリ力を受け前記振動方向と交叉する方向へ
振動させられるが、この振動が検出用の圧電素子から電
圧または電流として検出される。

【０００４】しかし、角柱形状の弾性体を使用した振動
型ジャイロスコープでは、弾性体の加工が難しく、共振
周波数の調整も困難であり、また振動特性を劣化させる
ことなく支持するのが難しい欠点がある。

【０００５】そこで、図６に示すような振動板を使用し
た振動型ジャイロスコープが着目されている。この振動
型ジャイロスコープは、プレス工程による打ち抜きによ
る製造が可能であり、また振動板をトリミングすること
により共振周波数の調整が可能である。また一端を剛体
支持でき支持条件も楽である。

【０００６】図６に示す振動型ジャイロスコープは、エ
リンバなどの恒弾性材料で形成された一定幅寸法の金属
板１の表裏両面に、圧電材料４，４が積層されて、金属
板１と表裏の圧電材料４，４との積層体により振動板５
が構成されている。振動板５の表裏両面では、幅方向の
両側にて圧電材料４，４の表面に形成された駆動用の電
極６と、幅方向の中央にて圧電材料４，４の表面に形成
された検出用の電極７が設けられている。また、恒弾性
材料の金属板１がコモン電極となり、通常は接地電位に
設定されている。

【０００７】駆動用の電極６と金属板１との間に交流駆
動電力が与えられると、圧電材料４，４の歪みにより振
動板５がｘ方向へ振動させられる。振動板５がｘ方向へ
振動している状態でｙ軸回りの回転系内に置かれると、
コリオリ力により振動板５がｚ方向へ振動する。このと
きの圧電材料４，４の歪みによる検出電圧または検出電
流が、検出用の電極７と金属板１との間で取り出され、
この検出出力に基づいて角速度ωが求められる。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】上記振動板５は、金属
板１の表裏両面に圧電セラミックなどの圧電材料４，４
が積層されたものであるため、例えば基端部（イ）が支
持体２により挟持されて剛体支持される場合、圧電材料
４，４の部分に挟持支持力が作用する。圧電材料４，４
は硬度の低いものであるため、支持体２により支持され
たときに基端部（イ）にて圧電材料４，４が変形しやす
く、よって振動板５を支持体２の支持面とｙ軸方向へ高
精度に平行とすることが困難である。また支持体２によ
る保持力を大きくすると、圧電材料４，４が押しつぶさ
れて劣化し、このとき金属板１と圧電材料４，４との接
着部での剥離が生じやすくなる。

【０００９】また、振動板５の共振周波数を調整し、ま
たは振動モードの調整を行なう際に、振動板５の先端部
（ロ）をトリミングする必要が生じる。このとき、金属
板１と圧電材料４，４とが積層された状態で先端部
（ロ）を機械加工すると、圧電材料４，４が加工変質し
やすい。圧電材料４，４では、誘電分極方向が例えばｚ
軸方向へ設定され、これによりｘ方向への振動駆動や、
ｚ方向へ振動したときの撓み変形の検出が可能となって
いる。しかし上記のように圧電材料４，４に加工変質が
生じると、先端部（ロ）にて圧電材料４，４の誘電分極
が乱れる。誘電分極が乱れると、ｘ方向への振動駆動の
効率が低下し、またｚ方向への振動の際の検出感度およ
び検出出力が低下することになる。

【００１０】本発明は、金属板と圧電材料との積層体に
より振動子が構成される場合に、この積層体を安定して
且つ確実に支持できるようにし、また振動調整などのた
めに振動子をトリミングするのを容易にし、またトリミ
ングにより圧電材料に加工変質が生じないようにした振
動型ジャイロスコープを提供することを目的としてい
る。

【００１１】

【課題を解決するための手段】本発明の振動型ジャイロ
スコープは、エリンバなどの金属板と、この金属板に積
層された圧電セラミックなどの圧電材料とから成る振動
板を有し、前記圧電材料の表面に、前記振動板を所定方
向へ撓み振動させる駆動用の電極と、振動している振動
板が回転系に置かれコリオリ力により前記撓み振動と交
叉する方向の振動が生じたときにこの振動に基づく検出
電力を得る検出用の電極とが形成されており、前記振動
板には圧電材料が部分的に除去されて金属板が露出して
いる部分が形成され、この露出している金属板が支持体
に挟持されて振動板が支持されていることを特徴とする
ものである。

【００１２】また、金属板と、この金属板に積層された
圧電材料とからなる弾性部材に２つの溝が形成されて、
弾性部材に互いに平行な３枚の振動板が形成され、圧電
材料の表面には、中央の振動板と両側の振動板を互いに
逆の位相にて撓み振動させる駆動用の電極と、振動して
いる振動板が回転系に置かれコリオリ力により前記撓み
振動と交叉する方向の振動が生じたときにこの振動に基
づく検出電力を得る検出用の電極とが形成されており、
前記弾性部材の溝が形成されていない基部には、両側の
振動板の縁部よりもさらに側方へ突出する突出部が形成
され、この突出部では圧電材料が除去されて金属板が露
出しており、この露出している金属板が支持体に挟持さ
れて弾性部材が両側部にて支持されていることを特徴と
するものである。

【００１３】さらに、金属板と、この金属板に積層され
た圧電材料とから成る振動板を有し、前記圧電材料の表
面に、前記振動板を所定方向へ撓み振動させる駆動用の
電極と、振動している振動板が回転系に置かれコリオリ
力により前記撓み振動と交叉する方向の振動が生じたと
きにこの振動に基づく検出電力を得る検出用の電極とが
形成されており、金属板の先部では、圧電材料が除去さ
れて金属板が露出している部分が形成され、この金属板
が露出している部分が、振動板を加工する加工部とされ
ていることを特徴とするものである。

【００１４】

【作用】本発明の振動型ジャイロスコープでは、エリン
バなどの恒弾性材料の金属板と、圧電セラミックなどの
圧電材料とが積層された弾性部材により振動子が構成さ
れている。振動子は、長辺形状の１枚の板状のものとさ
れることも可能であり、また１つの溝により分離された
２枚の振動子を有する二脚音叉型の形状であってよい
が、好ましくは弾性部材に２つの溝が形成されて互いに
平行な３枚の振動板が形成された三脚音叉型として構成
される。また圧電材料は、金属板の片面に積層されてい
るものであっても、両面に積層されているものであって
もよい。

【００１５】１枚構成の振動板、または三脚音叉型など
の弾性部材は、その基端が支持体により挟持されて片持
ち支持される。このとき、振動板または弾性部材の基端
では、圧電材料が部分的に除去されて金属板が露出して
いる。この金属板の露出している部分が支持体に挟持さ
れ、これにより振動板または弾性部材は片持ち状態にて
剛体支持される。支持体により金属板が挟持されること
により、支持体による挟持固定力を強固にでき、振動板
または弾性部材を安定して確実に支持することが可能で
ある。また振動板または弾性部材は、本来の延び方向に
対して高精度な平行状態に保てるように支持される。

【００１６】弾性部材に２つの溝が形成されて３枚の振
動板が形成された三脚音叉型の場合には、溝が形成され
ていない基部の端部が支持体により支持されたものでも
よいが、好ましくは弾性部材の基部にて、両側に位置す
る振動板の縁部よりもさらに突出する突出部が形成され
て、この突出部にて圧電材料が除去されて金属板が露出
する構造とする。そして基部の両側にて金属板が露出し
ている部分を支持体により挟持することにより、弾性部
材の振動板が形成されていない部分を両側方にて保持す
ることが可能である。この支持構造でも、金属板が露出
している部分が支持体に挟持されることにより、弾性部
材が安定して確実に支持される。また弾性部材の基部の
両側部を固定していると、３枚の各振動板が振動したと
きに、弾性部材全体のねじれを防止でき、圧電材料のね
じり変形による洩れ出力を防止できる。

【００１７】次に、振動板の共振周波数は、振動板の先
端部をトリミング加工することにより調整できる。特に
振動板が３枚設けられた三脚音叉型では、中央の振動板
の長さをトリミングすることにより、３枚の振動板から
なる弾性部材全体の共振周波数の調整が可能である。本
発明では、振動板の先端部分にて圧電材料が除去され金
属板が露出している。前記トリミングのときにこの金属
板の露出部分を加工することにより周波数の調整が可能
である。振動板の先部の圧電材料を加工する必要がない
ため、圧電材料に加工変質が生じることがなく、誘電分
極の乱れが生じることなどを防止できる。

【００１８】また、振動板または弾性部材の支持部にて
前述のように金属板を露出させてこの金属板を挟持でき
るようにし、且つ振動板の先部にて金属板を露出させ、
この露出部分を加工部としてもよい。

【００１９】本発明の振動型ジャイロスコープは、基本
的には金属板と圧電材料との積層体から切り出されて形
成されるものであるため、前記支持体による支持部にて
金属板が露出している部分、および／または振動板の先
部にて金属板が露出している加工部を除く、これ以外の
全ての部分またはほとんどの部分は金属板と圧電材料と
が積層されたものとなる。

【００２０】

【実施例】図１（Ａ）は本発明の第１実施例の振動型ジ
ャイロスコープを示す平面図、図１（Ｂ）はその右側面
図、図２（Ａ）は本発明の第２実施例の振動型ジャイロ
スコープを示す平面図、図２（Ｂ）は図２（Ａ）のＢ−
Ｂ線の断面図である。図３は各振動板の電極配置例を示
す平面図、図４は圧電材料の誘電分極の方向を示すもの
であり、図３の右端面図である。

【００２１】図１に示す振動型ジャイロスコープでは、
平板状の弾性部材１０が使用されている。この弾性部材
１０は、エリンバなどの恒弾性材料の金属板１１と、こ
の金属板１１の表裏両面に積層された圧電材料１２，１
２との積層体により構成されている。圧電材料１２，１
２は圧電セラミックなどである。この弾性部材１０は、
金属板１１と圧電材料１２，１２とが積層された積層板
から切り出し加工される。

【００２２】弾性部材１０の先部では、一対の溝１０
ｄ，１０ｄが切り込まれ、３枚の振動板１０ａ，１０
ｂ，１０ｃが平行に形成されている。各振動板１０ａ，
１０ｂ，１０ｃの部分で積層されている圧電材料１２，
１２では、図４にて矢印で示す方向となるように誘電分
極が設定されている。

【００２３】弾性部材１０の基端部（ハ）では、圧電材
料１２，１２が部分的に除去され、金属板１１の基端が
露出している。この露出部１１ａが支持体２０により支
持されている。図１に示す実施例では、支持体２０が金
属またはプラスチック材料またはセラミック等の剛性を
有する素材からなるブロック状であり、この支持体２０
に形成された保持溝２１内に前記露出部１１ａが圧入ま
たは挿入されて必要に応じて接着剤で固定される。金属
板１１の露出部１１ａが前記保持溝２１内で挟持された
状態で保持固定されている。なお支持体２０は回路基板
上などに固定される。

【００２４】金属板１１の露出部１１ａが支持体２０に
挟持されて固定されることにより、弾性部材１０全体が
片持ち支持される。支持体２０により金属板１１が直接
に挟持されているため、弾性部材１０は確実に保持さ
れ、またｙ方向への支持姿勢が安定したものとなる。よ
って例えば支持体２０の底面２０ａが回路基板と平行に
固定されたときに、弾性部材１０と回路基板との平行度
を確保できるものとなる。

【００２５】上記弾性部材１０の各振動板１０ａ，１０
ｂ，１０ｃの部分の圧電材料１２，１２の誘電分極方向
は例えば図４にて矢印で示す通りである。また各振動板
１０ａ，１０ｂ，１０ｃでの圧電材料１２，１２の表裏
両面には、図３に示すように電極が形成される。

【００２６】各振動板１０ａ，１０ｂ，１０ｃの幅方向
の両側部には、一対の駆動用の電極１３が設けられてい
る。また振動板１０ａ，１０ｂ，１０ｃの幅方向の中央
部分には検出用の電極１４が設けられている。駆動用の
各電極１３に導通される駆動端子をＡで示し、検出用の
各電極１４に導通される検出端子をＢで示している。ま
た金属板１１は、前記各電極に共通して対向するコモン
電極であり、金属板１１は接地端子Ｃを介して接地電位
に設定されている。

【００２７】上記の電極１３と１４の配置、および圧電
材料１２，１２の誘電分極方向により、各振動板１０
ａ，１０ｂ，１０ｃはｘ方向へ振動駆動される。すなわ
ち、駆動端子Ａに交流駆動電力が与えられると、圧電材
料１２，１２の各分極方向に応じた圧電歪みが生じ、各
振動板１０ａ，１０ｂ，１０ｃは板面方向（ｘ方向）へ
振動する。ただし、図４に示すように、中央の振動板１
０ａと左右両側の振動板１０ｂ，１０ｃとで駆動用の電
極１３が対向する部分での誘電分極を示す矢印の方向が
逆である。したがって、中央の振動板１０ａと両側の振
動板１０ｂ，１０ｃでは、ｘ方向への振動の位相が１８
０度ずれる。ある時点で、中央の振動板１０ａの振幅方
向が＋ｘ方向のとき、両側の振動板１０ｂ，１０ｃの振
幅方向は−ｘ方向である。

【００２８】上記弾性部材１０が、ｙ軸回りの回転系内
に置かれると、コリオリ力により各振動板１０ａ，１０
ｂ，１０ｃがｚ方向へ撓み変形させられる。このとき、
図５に示すように、中央の振動板１０ａのｚ方向への振
動と、両側の振動板１０ｂ，１０ｃのｚ方向への振動と
では、位相が１８０度相違している。ある時点で中央の
振動板１０ａの振幅が＋ｚ方向のとき、両側の振動板１
０ｂ，１０ｃの振幅は−ｚ方向である。図４に示すよう
に、中央の振動板１０ａと両側の振動板１０ｂ，１０ｃ
とで、検出用の電極１４が設けられている部分での圧電
材料１２，１２の誘電分極の方向が逆である。よって異
なる位相で振動する各振動板１０ａと１０ｂ，１０ｃに
おいて、電極１４から検出される検出電力の位相（極
性）は同じである。検出端子Ｂからの検出出力のピーク
ツーピーク値はコリオリ力により比例し、この検出出力
から角速度ωを求めることができる。

【００２９】図１の実施例では、弾性部材１０の基端部
（ハ）が支持体２０により剛体支持されているが、各振
動板１０ａ，１０ｂ，１０ｃは図５に示すように互い違
いの位相でバランスよく振動するため、前記基端部
（ハ）が剛体支持されていても、各振動子１０ａ，１０
ｂ，１０ｃの振動特性に悪影響を与えることがない。

【００３０】図２に示す弾性部材１０の構造は、図１に
示したものと同じである。図２に示す弾性部材１０も金
属板１１と圧電材料１２，１２とが積層されたものであ
り、先部には溝１０ｄ，１０ｄで分離された振動板１０
ａ，１０ｂ，１０ｃが形成されている。図２に示す弾性
部材１０では（図１に示すものも同じ形状であるが）、
弾性部材１０の、振動板１０ａ，１０ｂ，１０ｃが形成
されていない基部１０ｇの両側部において、両側の振動
板１０ｂと１０ｃの縁部よりもさらに段差１０ｅ，１０
ｅを介してｘ方向両側へ突出する突出部１０ｆ，１０ｆ
が設けられている。

【００３１】図１（Ａ）に示すものでは、上記突出部１
０ｆ，１０ｆの部分に圧電材料１２，１２が積層されて
いるが、図２に示す実施例では、前記突出部１０ｆ，１
０ｆにて圧電材料１２，１２が部分的に除去され、金属
板１１が露出している。この金属板１１の露出部１１
ｂ，１１ｂが支持体３０に挟持されて支持されている。
支持体３０，３０は金属またはプラスチック材料または
セラミック製であり、その側部に長手方向に延びる溝３
１，３１が形成され、前記露出部１１ｂ，１１ｂはこの
溝３１，３１内に圧入または挿入され、必要に応じて接
着剤で固定されている。

【００３２】圧電材料１２，１２が設けられていない金
属板１１の露出部１１ｂ，１１ｂが支持体３０の溝３１
内に挟持されて保持固定されることにより、圧電材料１
２，１２に何ら保持応力を与えることなく、弾性部材１
０の両側部（ニ）が支持体３０，３０により確実に固定
されるものとなる。なお支持体３０，３０は例えばその
底部３０ａ，３０ａが回路基板に平行となるように固定
される。よって弾性部材１０は回路基板に平行に固定支
持される。

【００３３】図２に示す各振動板１０ａ，１０ｂ，１０
ｃでの圧電材料１２，１２の誘電分極方向は図４と同じ
であり、また電極の配置も図３に示すものと同じであ
る。よって駆動時にて中央の振動板１０ａと左右両側の
振動板１０ｂ，１０ｃとが異なる位相にてｘ方向へ駆動
され、また回転系内でのコリオリ力により、中央の振動
板１０ａと左右両側の振動板１０ｂ，１０ｃはｚ方向へ
異なる位相にて振動する。図５に示すように、振動板１
０ａと振動板１０ｂ，１０ｃは互い違いの振動モードで
あるため、弾性部材１０の振動板１０ａ，１０ｂ，１０
ｃが形成されていない基部１０ｇは安定しており、よっ
てその両側部（ニ）が支持体３０，３０により剛体支持
されても、各振動板１０ａ，１０ｂ，１０ｃの振動モー
ドに悪影響を及ぼすことがない。

【００３４】各振動板１０ａ，１０ｂ，１０ｃが図５に
示すように互い違いのモードで振動するため、前述のよ
うに弾性部材１０の基部１０ｇは安定しているが、図１
に示すように基端部（ハ）のみが支持されているもので
は、各弾性板１０ａ，１０ｂ，１０ｃがｚ方向へ振動し
たときに両側の弾性板１０ｂと１０ｃの外側の縁部が共
に図５にてαで示す方向またはその逆の方向へねじられ
る変形が生じることを完全に防止することができない。
前記αで示すようなねじり振動が生じると、圧電材料１
２，１２にこのねじり振動の歪みによるヌル電圧が発生
し、これが検出用の電極１４，１４からの検出出力に洩
れ出力として重畳される。しかし、図２に示すように、
弾性部材１０の両側部（ニ）が支持体３０，３０に保持
された構造では、ｙ軸まわりのねじり振動を押え込むこ
とが可能で、前記ヌル電圧を抑制でき、コリオリ力の検
出感度を高めることが可能である。

【００３５】次に、上記弾性部材１０では、振動板１０
ａと振動板１０ｂ，１０ｃがｘ方向およびｚ方向へ互い
違いのモードで振動するときの共振周波数が、振動板の
長さにより決められる。よって溝１０ｄ，１０ｄが形成
されて各振動板１０ａ，１０ｂ，１０ｃが形成された後
に、共振周波数の調整のために振動板１０ａ，１０ｂ，
１０ｃの先端部（ホ）をトリミングする必要が生じるこ
とがある。特に、３枚の振動板が形成された三脚音叉型
では、中央の振動板１０ａのｙ軸方向への長さを調整す
ることにより全体の共振周波数を調整できるという利点
がある。図２に示す実施例では、全ての振動板１０ａ，
１０ｂ，１０ｃの先端部（ホ）にて、圧電材料１２，１
２が部分的に除去されて、金属板１１が露出している。

【００３６】よって中央の振動板１０ａの先端をトリミ
ングするとき、あるいは両側の振動板１０ｂと１０ｃの
先端をトリミングする必要があるときには、先端部
（ホ）での金属板１１の露出部１１ｃの部分を切断す
る。この切断作業では、振動板１０ａ，１０ｂ，１０ｃ
に積層されている圧電材料に加工応力または加工変質を
与えないものとなるため、図４に示すように設定された
分極方向に乱れが生じることがなくなる。なお、図１に
示す実施例においても、各振動板１０ａ，１０ｂ，１０
ｃの先端にて圧電材料を部分的に除去した露出部１１ｃ
を形成しておくことが好ましい。

【００３７】また図１と図２に示す実施例では、支持体
２０または３０に溝２１または３１が形成され、金属板
１１の露出部がこの溝２１または３１内に圧入または挿
入されて固定されるものとなっているが、例えば図１に
示す基端部（ハ）での露出部１１ａまたは、図２に示す
両側部（ニ）での露出部１１ｂ，１１ｂをｚ方向の両側
から挟み込むような支持体を用いてもよい。さらに本発
明は三脚音叉型のジャイロスコープに限られず、二脚音
叉型、または図６に示すような単板形状の振動体にも実
施可能である。

【００３８】

【発明の効果】以上のように本発明では、金属板と圧電
材料とが積層された積層体により振動板または弾性部材
が構成され、圧電材料を部分的に除去した金属板の露出
部が支持体により支持されるものとなっている。よって
振動板または弾性部材の支持が安定する。

【００３９】また振動板の先部の圧電材料が除去された
金属板の露出部がトリミングなどの加工部となっている
ため、トリミングなどの作業において、圧電材料に加工
変質が生じることがない。

【図面の簡単な説明】

【図１】（Ａ）は第１実施例の振動型ジャイロスコープ
を示す平面図、（Ｂ）は振動型ジャイロスコープの側面
図、

【図２】（Ａ）は第２実施例の振動型ジャイロスコープ
を示す平面図、（Ｂ）は同図（Ａ）のＢ−Ｂ線の断面
図、

【図３】各振動板の電極配置を示す平面図、

【図４】圧電材料の誘電分極を示すものであり、図３の
右端面図、

【図５】各実施例の振動板の変形状態を示す斜視図、

【図６】従来の振動型ジャイロスコープの斜視図、

【符号の説明】

１０ 弾性部材 １０ａ，１０ｂ，１０ｃ 振動板 １０ｄ 溝 １０ｅ 段差 １０ｆ 突出部 １１ 金属板 １１ａ，１１ｂ，１１ｃ 露出部 １２ 圧電材料 １３ 駆動用の電極 １４ 検出用の電極 ２０，３０ 支持体

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 金属板と、この金属板に積層された圧電
   材料とから成る振動板を有し、前記圧電材料の表面に、
   前記振動板を所定方向へ撓み振動させる駆動用の電極
   と、振動している振動板が回転系に置かれコリオリ力に
   より前記撓み振動と交叉する方向の振動が生じたときに
   この振動に基づく検出電力を得る検出用の電極とが形成
   されており、前記振動板には圧電材料が部分的に除去さ
   れて金属板が露出している部分が形成され、この露出し
   ている金属板が支持体に挟持されて振動板が支持されて
   いることを特徴とする振動型ジャイロスコープ。
2. 【請求項２】 金属板と、この金属板に積層された圧電
   材料とからなる弾性部材に２つの溝が形成されて、弾性
   部材に互いに平行な３枚の振動板が形成され、圧電材料
   の表面には、中央の振動板と両側の振動板を互いに逆の
   位相にて撓み振動させる駆動用の電極と、振動している
   振動板が回転系に置かれコリオリ力により前記撓み振動
   と交叉する方向の振動が生じたときにこの振動に基づく
   検出電力を得る検出用の電極とが形成されており、前記
   弾性部材の溝が形成されていない基部には、両側の振動
   板の縁部よりもさらに側方へ突出する突出部が形成さ
   れ、この突出部では圧電材料が除去されて金属板が露出
   しており、この露出している金属板が支持体に挟持され
   て弾性部材が両側部にて支持されていることを特徴とす
   る振動型ジャイロスコープ。
3. 【請求項３】 金属板と、この金属板に積層された圧電
   材料とから成る振動板を有し、前記圧電材料の表面に、
   前記振動板を所定方向へ撓み振動させる駆動用の電極
   と、振動している振動板が回転系に置かれコリオリ力に
   より前記撓み振動と交叉する方向の振動が生じたときに
   この振動に基づく検出電力を得る検出用の電極とが形成
   されており、金属板の先部では、圧電材料が除去されて
   金属板が露出している部分が形成され、この金属板が露
   出している部分が、振動板を加工する加工部とされてい
   ることを特徴とする振動型ジャイロスコープ。