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JPH09322062A - 光電変換装置、該装置を有するシステム及び画像読み取り方法 - Google Patents

光電変換装置、該装置を有するシステム及び画像読み取り方法

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Publication number
JPH09322062A
JPH09322062A JP9054598A JP5459897A JPH09322062A JP H09322062 A JPH09322062 A JP H09322062A JP 9054598 A JP9054598 A JP 9054598A JP 5459897 A JP5459897 A JP 5459897A JP H09322062 A JPH09322062 A JP H09322062A
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JP9054598A
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JP3984676B2 (ja
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Junichi Yamayoshi
純一 山吉
Hideki Nonaka
秀樹 野中
Takashi Ogura
隆 小倉
Yutaka Endo
豊 遠藤
Noriyuki Umibe
紀之 海部
Isao Kobayashi
功 小林
Toshio Kameshima
登志男 亀島
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Canon Inc
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Publication date
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    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10FINORGANIC SEMICONDUCTOR DEVICES SENSITIVE TO INFRARED RADIATION, LIGHT, ELECTROMAGNETIC RADIATION OF SHORTER WAVELENGTH OR CORPUSCULAR RADIATION
    • H10F39/00Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one element covered by group H10F30/00, e.g. radiation detectors comprising photodiode arrays
    • H10F39/10Integrated devices
    • H10F39/12Image sensors
    • H10F39/18Complementary metal-oxide-semiconductor [CMOS] image sensors; Photodiode array image sensors
    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04NPICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
    • H04N23/00Cameras or camera modules comprising electronic image sensors; Control thereof
    • H04N23/30Cameras or camera modules comprising electronic image sensors; Control thereof for generating image signals from X-rays

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Multimedia (AREA)
  • Signal Processing (AREA)
  • Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)
  • Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
  • Measurement Of Radiation (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 低ノイズの画像を連続的に読み出すことが困
難。 【解決手段】 リフレッシュ動作後に一定期間の信号読
み出し不能期間を伴う光電変換素子S11〜S44がマ
トリクス状に配列された光電変換装置において、一配列
方向に配された複数の前記光電変換素子は列ごとにそれ
ぞれ設けられたリフレッシュ信号ラインrf1、rf2
に共通接続され、前記リフレッシュ信号ラインは独立的
に分けられて、リフレッシュ信号発生源SWr1,V
r,RF、SWr2,Vr,RFに接続される。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、光電変換装置、該
装置を有するシステム及び画像読み取り方法に係わり、
特にX線等の放射線検出装置用として好適に用いること
ができる光電変換装置、それを用いたシステム及び画像
読み取り方法に関する。
【0002】
【従来の技術】医療診断を目的とする放射線撮影である
医療用放射線撮影あるいは、物体の内部構造を物体を破
壊せずに検査する非破壊検査において、(スポット)撮
影には増感紙とX線写真フィルムを組み合わせたX線写
真法が用いられている。この方法によれば、人体や物体
などの被検体を透過したX線等の放射線が増感紙に入射
すると、増感紙に含まれる蛍光体がこのX線エネルギー
を吸収し、蛍光を発する。
【0003】この発光がX線写真フィルムを感光させ、
X線写真フィルム上には放射線画像が形成される。この
フィルムを現像・定着処理することによってX線画像を
可視化することができる。
【0004】最近では放射線画像をディジタル的に取り
込む手法が種々開発されている。X線に感度を持ち、検
出したX線をその強度に応じた電気信号に変換・出力す
る光電変換素子、あるいはX線エネルギーを吸収し、そ
れに応じた強度の蛍光を発する蛍光体と、可視光に感度
を持ちその強度に応じた電気信号を出力する光電変換素
子の組み合わせからなるX線像検出手段を用いて、X線
画像を電気信号に変換し、A/D変換によってディジタ
ル的に取り込む手法等がある。
【0005】この光電変換材料としてアモルファスシリ
コン(a−Si)を用いた光電変換素子の一例が欧州特
許公開公報EP0660421Aに示されている。
【0006】図5は、この光電変換素子を用いた光電変
換装置の一例を示す概略的回路図であり、S11〜S4
4は光電変換素子である。T11〜T44はスイッチン
グTFTである。Vsは読み出し電源、Vrはリフレッ
シュ電源であり、それぞれスイッチSWs、SWrを介
して光電変換素子S11〜S44のドレイン電極に接続
されている。スイッチSWsはインバータを介して、ス
イッチSWrは直接に、リフレッシュ制御回路RFに接
続されており、リフレッシュ期間中は、スイッチSWr
がON、その他の期間は、スイッチSWsがONするよ
う制御されている。また、rfはリフレッシュライン、
g1〜g4はゲート駆動ライン、o1〜o4は読み出し
ラインであり、SR1,SR2は夫々シフトレジスタで
ある。
【0007】1画素は、1個の光電変換素子と1個のス
イッチングTFTとで構成され、行アドレス選択回路と
してのシフトレジスタSR1で選択された行の画素の出
力信号は、転送回路としてのシフトレジスタSR2によ
って順次出力され増幅器Ampによって所望の出力に増
幅される。
【0008】(発明の目的)本発明はSN比の優れた画
像情報を担った信号を出力することが可能な光電変換装
置及び該装置を有するシステムを提供することを目的と
する。
【0009】又、本発明は、画像読み取りを連続的に又
は読み取りもリフレッシュなどの動作を行なわない無駄
な期間なしに行なうことができる光電変換装置及び該装
置を有するシステムを提供することを目的とする。
【0010】更に本発明は装置の構成が複雑にならず、
かつ、工程数の増加することなく高性能な読み出しを行
なうことができる光電変換装置及び該装置を有するシス
テムを提供することを目的とする。
【0011】加えて本発明は上記目的を達成することが
できる画像読み取り方法を提供することを目的とする。
【0012】
【課題を解決するための手段】本発明は上記の目的を達
成するためになされたものであり、本発明の光電変換装
置は、夫々リフレッシュ信号ラインに接続された光電変
換素子の複数がマトリクス状に配された光電変換装置に
おいて、前記光電変換素子の複数は複数の群に分けら
れ、該群ごとに独立的に接続されたリフレッシュ信号ラ
インの複数を有するものである。
【0013】加えて本発明のシステムは、夫々リフレッ
シュ信号ラインに接続された光電変換素子の複数がマト
リクス状に配された光電変換装置と該光電変換装置から
の情報を処理するための画像処理装置とを有するシステ
ムにおいて、前記光電変換素子の複数は複数の群に分け
られ、該群ごとに独立的に接続されたリフレッシュ信号
ラインの複数を有するものである。
【0014】更に本発明の画像読み取り方法は、マトリ
クス状に配された光電変換素子の複数を有する光電変換
装置の画像読み取り方法において、前記光電変換素子を
リフレッシュするためのリフレッシュ動作と前記光電変
換素子からの画像情報を担った信号の読み取り動作の間
に画像情報の読み取りに係わらない信号読み取り動作を
有するものである。
【0015】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態について
必要に応じて図面を用いて説明する。
【0016】図5に示される画像読取装置における画像
データの読み出しタイミングの一例を図2に示す。
【0017】図2に示すように、時刻t1 でリフレッシ
ュを行なうとその直後に多大な暗電流が発生し、それが
電荷として光電変換素子に蓄積される。そこで、実際に
光電変換素子から画素データを読み出す場合、本読み
(時刻t3 )の前に光電変換素子を空読み(時刻t2 )
して、蓄積された電荷を放出する。
【0018】画像データに対するノイズは、暗電流によ
って蓄積された電荷の平方根に比例することが知られて
いる。そこで、上記空読みの後、一定時間後に本読みを
行なうわけであるが、空読みから本読みまでの間にも暗
電流による電荷は、蓄積されており、この値は、できる
だけ少ない方が望ましい。暗電流は、時間と共に減少す
るため上記リフレッシュ動作後、できるだけ遅らせて空
読みを行なうことによって本読みでのノイズを減らすこ
とができる。
【0019】しかしながら、リフレッシュ動作から空読
みまでの時間を充分に遅らせると、一定時間ごとに読み
出せる本読みの回数が減少する。この場合、遅らせた時
間によっては連続画像出力(所謂動画)とならない場合
がある。
【0020】このような問題はリフレッシュ動作を全画
素一括に行なわず、複数のグループに分割して行なうこ
とで解決することができる。
【0021】つまり、リフレッシュ信号ラインを複数の
群に分け、独立にリフレッシュできるように、たとえば
独立に駆動可能なリフレッシュ信号発生源に夫々のライ
ンを接続したり、共通のリフレッシュ信号発生手段にス
イッチなどのリフレッシュライン選択手段を介して接続
すればよい。
【0022】また更に、読取動作間隔を少なくするため
にはたとえばリフレッシュ信号ラインの群ごとに分けら
れた光電変換素子の群の1つを選択し、該1つの群の光
電変換素子を駆動し、他の群の少なくとも1つの群の中
の光電変換素子をリフレッシュ動作するようにすればよ
い。
【0023】上記点について更に詳述する。
【0024】光信号から電気信号に変換された画像デー
タを得るためにまず、光電変換素子列を例えば2つの系
統に分け、第1の系統のライン(光電変換素子列)のリ
フレッシュと第2の系統のラインのリフレッシュとを別
のタイミングで行なうものとし、第1の系統のラインを
選択してリフレッシュが必要になるまでの時間は、連続
して第1の系統のラインから画像をとりこむ。そして、
第1の系統がリフレッシュ動作を行いその後の信号読み
出しが不能な時間(例えば、図3のリフレッシュ時刻T
rf1 から空読みまで)は、第2の系統のラインから同様
にしてデータを読み出す。この動作を繰り返すことによ
って第1系統のラインの画像と第2系統のラインの画像
が交代で更新され、低ノイズの画像を連続的に読み出す
ことが可能である。もちろん、光電変換素子列を3以上
の系統に分けてリフレッシュ動作を行なうこともでき、
同様に低ノイズの画像を連続的に読み出すことが可能で
ある。
【0025】本発明の光電変換装置を用いた放射線検出
装置では、X線等の放射線が蛍光体(シンチレータ)な
どの波長変換体によって光電変換素子の感光性がある又
は感度の高い波長を含む波長帯域の光に変換され、その
光が2次元マトリクス状に配列された光電変換素子を有
する本発明の光電変換装置に入射され、低ノイズの画像
を連続的に読み出すことが可能となる。なお、放射線と
してはX線の他にα線、β線、γ線等が適用できる。ま
た、紫外線などを波長変換してもよいのは言うまでもな
い。
【0026】図4は、本発明の光電変換装置を用いたシ
ステムの1つであるX線画像検出装置の一例を表す模式
的構成図である。図2において、1はX線発生装置、2
は被写体、3はシンチレータ、4は光電変換装置、5は
画像処理装置を表す。X線発生装置1から照射されたX
線は、被写体2を通過してシンチレータ3によって入射
したX線量に比例した光に変換される。この光は、光電
変換装置4によって電気信号に変換され、画像処理装置
5に転送される。尚、X線発生装置は必要な波長を発す
る光源であり、この光源からの光に対して感光性がある
場合、波長変換体としてのシンチレータ3は不要であ
る。
【0027】図1は本発明の光電変換装置の構成を表し
た図である。なお、図5に示した構成部材と同一構成部
材については同一符号を付する。図1の光電変換装置は
図5に示した光電変換装置と同様に図4の光電変換装置
4として用いることができる。
【0028】図1において、S11〜S44は光電変換
素子である。光電変換素子S11〜S44は夫々上側電
極、下側電極を有する例を1例として示している。T1
1〜T44はスイッチングTFTである。Vsは読み出
し電源、Vrはリフレッシュ電源であり、それぞれスイ
ッチSWs1,SWr1を介してリフレッシュ信号ライ
ンrf1により光電変換素子S11〜S14及びS31
〜S34のドレイン電極に接続され、またスイッチSW
s2,SWr2を介してリフレッシュ信号ラインrf2
により光電変換素子S21〜S24及びS41〜S44
のドレイン電極に接続されている。
【0029】スイッチSWs1,SWs2はインバータ
In1,In2を介して、スイッチSWr1,SWr2
は直接にリフレッシュ制御回路RFに接続されており、
リフレッシュ期間中は、スイッチSWr1もしくはSW
r2がON、その他の期間は、スイッチSWs1もしく
はSWs2がONするよう制御されている。なお、リフ
レッシュ電源Vr,スイッチSWr1,リフレッシュ制
御回路RF、及びリフレッシュ電源Vr,スイッチSW
r2,リフレッシュ制御回路RFはそれぞれリフレッシ
ュ信号発生源となる。リフレッシュと読み取りの切換え
を行なう切換手段はここではスイッチとインバーター回
路を有している。
【0030】1画素は、1個の光電変換素子と1個のス
イッチングTFTとで構成され、行アドレス選択回路S
R1で選択された行の画素の出力信号は、転送回路SR
2によって順次出力される。
【0031】図3は、本発明を実施するためのX線照
射、画像読み出し、リフレッシュのタイミングを表すタ
イミングチャートである。図1,図3,図4を用いてそ
の動作の一例を説明する。
【0032】まず、図3の時刻Trf1 において、図1中
の行アドレス選択回路SR1によって制御配線g1,g
3はHレベルにされ、転送回路SR2によって出力配線
o1〜o4が出力可能になると同時に、リフレッシュ制
御回路RFがスイッチSWr1にHレベルを出し、スイ
ッチSWr1はON状態になり、第1系統の光電変換素
子S11〜S14,S31〜S34のドレイン電極はリ
フレッシュ電源Vrによって正電位になる。すると第1
系統の光電変換素子は、リフレッシュモードになり、リ
フレッシュされる。
【0033】次に、行アドレス選択回路SR1によって
制御配線g1,g3はLレベルにされ、転送回路SR2
によって出力配線o1〜o4が出力不能になると同時
に、リフレッシュ制御回路RFはスイッチSWs1にH
レベルを出し、スイッチSWs1はON状態になり、第
1系統の光電変換素子S11〜S14,S31〜S34
のドレイン電極は、読み出し電源Vsによって正電位に
なり光電変換モードになる。
【0034】ここで、X線は図3のX−rayに示すよ
うにパルス的に出射され、被写体を通過し、シンチレー
タでX線量に比例した光として光電変換素子に入射す
る。この光によって生じた電荷は、光電変換素子内に蓄
積される。そして、行アドレス選択回路SR1によって
制御配線g1をHレベルにし、転送回路SR2によって
o1〜o4を出力可能状態にすることで、光電変換素子
S11〜S14に蓄積された電荷による信号がスイッチ
TFTたるT11〜T14、転送回路SR2を介して順
次出力される。
【0035】次に制御配線g3をHレベルにし光電変換
素子S31〜S34に蓄積された電荷による信号がスイ
ッチTFTたるT31〜T34、転送回路SR2を介し
て順次出力される。光電変換素子S11〜S14,S3
1〜S34に蓄積された画像データを1フレームとして
図4の画像処理装置5内の記憶手段に記憶し、必要に応
じてディスプレイ6に表示する。このリフレッシュ後の
X線画像の読み取りを再度リフレッシュが必要になるま
で適当な回数繰り返す。なお、光電変換素子から画素デ
ータを読み出す場合には既に述べたように、本読みの前
に空読みを行なう。
【0036】第1系統の光電変換素子S11〜S14,
S31〜S34での画像読み取りが行なわれている間の
ある時刻Trf2 において、図1中の行アドレス選択回路
SR1によって制御配線g2,g4は、Hレベルにさ
れ、転送回路SR2によって出力配線o1〜o4が出力
可能になると同時に、リフレッシュ制御回路RFがスイ
ッチSWr2にHレベルを出し、スイッチSWr2はO
N状態になり、第2系統の光電変換素子S21〜S2
4,S41〜S44のドレイン電極は、リフレッシュ電
源Vrによって正電位になる。すると第2系統の光電変
換素子はリフレッシュモードになり、リフレッシュされ
る。
【0037】次に行アドレス選択回路SR1によって、
制御配線g2,g4はLレベルにされ、転送回路SR2
によって出力配線o1〜o4が出力不能になると同時
に、リフレッシュ制御回路RFは、スイッチSWs2に
Hレベルを出し、スイッチSWs2はON状態になり、
第2系統の光電変換素子S21〜S24,S41〜S4
4のドレイン電極は読み出し用電源Vsによって正電位
になり、光電変換モードになる。
【0038】この後、第1系統での画像読み取りが終了
する次のX線パルスから行アドレス選択回路SR1によ
って制御配線g2をHレベルにし、転送回路SR2によ
ってo1〜o4を出力可能状態にすることで、光電変換
素子S21〜S24に蓄積された電荷による信号がスイ
ッチTFTたるT21〜T24、転送回路SR2を介し
て順次出力される。
【0039】次に制御配線g4をHレベルにし、光電変
換素子S41〜S44に蓄積された電荷による信号がス
イッチTFTたるT41〜T44、転送回路SR2を介
して順次出力される。光電変換素子S21〜S24,S
41〜S44に蓄積された画像データを1フレームとし
て図4の画像処理装置5内の記憶手段に記憶し、必要に
応じてディスプレイ6に表示する。
【0040】以上のようにして第1系統の光電変換素子
S11〜S14,S31〜S34と第2系統の光電変換
素子S21〜S24,S41〜S44での画像読み出し
を繰り返し行なうことによって、リフレッシュ後の画像
の抜け(リフレッシュ動作から空読みまでの期間の画像
抜け)を防ぐことができる。
【0041】本実施形態では、リフレッシュ信号ライン
をrf1,rf2の2本設けて2系統としたが、光電変
換素子S11〜S14,S21〜S24,S31〜S3
4,S41〜S44に対しそれぞれ別のリフレッシュ信
号ラインを設けて制御することも可能である。
【0042】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば光
電変換装置の構成を複雑にすることなくリフレッシュ動
作の後、実際の信号読み出し動作である本読みの前に信
号読み出しに係わらない空読みを行なうことで暗電流な
どによるSN比の低下の問題を解決することができる。
【0043】また、本発明によれば、光電変換素子のリ
フレッシュ信号ラインを複数系統設けることによって各
系統ごとにリフレッシュ動作を行なうことができる。よ
って、リフレッシュ動作、空読み動作のような実際の画
像読み取りでない動作を各系統ごとに行なうことも可能
になるため、本読みである画像読み取りを連続的に(無
駄な期間なしに)行なうことができる。
【0044】更に、1つの系統の読み取り動作を行って
いる間に他の系統のリフレッシュ動作や空読み動作を必
要に応じて行なうことでより連続的な画像読み取りを行
なうことができる。
【0045】尚、本発明は上記説明に限定されるわけで
はなく、本発明の主旨の範囲で適宜、変形、組合せ可能
であることは言うまでもない。
【図面の簡単な説明】
【図1】光電変換装置の一例を説明するための概略的回
路図である。
【図2】暗電流によるノイズの一例を説明するための模
式的タイミングチャートである。
【図3】光電変換装置の駆動の一例を説明するための概
略的タイミングチャートである。
【図4】光電変換装置を有する画像読み取りシステムの
一例を説明するための模式的構成図である。
【図5】光電変換装置の一例を説明するための概略的回
路図である。
【符号の説明】
1 X線発生装置 2 被写体 3 シンチレータ 4 光電変換装置 5 画像処理装置 6 ディスプレイ S11〜S44 光電変換素子 T11〜T44 スイッチングTFT Vs 読み出し電源 Vr リフレッシュ電源 SWr1,SWr2 スイッチ SWs1,SWs2 スイッチ rf1,rf2 リフレッシュ信号ライン In1,In2 インバータ RF リフレッシュ制御回路 SR1 行アドレス選択回路 SR2 転送回路
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 遠藤 豊 東京都大田区下丸子3丁目30番2号 キヤ ノン株式会社内 (72)発明者 海部 紀之 東京都大田区下丸子3丁目30番2号 キヤ ノン株式会社内 (72)発明者 小林 功 東京都大田区下丸子3丁目30番2号 キヤ ノン株式会社内 (72)発明者 亀島 登志男 東京都大田区下丸子3丁目30番2号 キヤ ノン株式会社内

Claims (16)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 夫々リフレッシュ信号ラインに接続され
    た光電変換素子の複数がマトリクス状に配された光電変
    換装置において、前記光電変換素子の複数は複数の群に
    分けられ、該群ごとに独立的に接続されたリフレッシュ
    信号ラインの複数を有する光電変換装置。
  2. 【請求項2】 請求項1記載の光電変換装置において、
    前記リフレッシュ信号ラインに接続されるリフレッシュ
    信号発生手段を有する光電変換装置。
  3. 【請求項3】 請求項1記載の光電変換装置において、
    前記リフレッシュ信号ラインの夫々に接続されるリフレ
    ッシュ信号発生手段の複数を有する光電変換装置。
  4. 【請求項4】 請求項1記載の光電変換装置において、
    前記光電変換素子の1つの群を駆動するための信号入力
    によって、該群と異なる別の群の光電変換素子にリフレ
    ッシュ動作を行なうための切換え手段を有する光電変換
    装置。
  5. 【請求項5】 請求項4記載の光電変換装置において、
    前記切換え手段はスイッチ手段とインバーター回路を有
    する光電変換装置。
  6. 【請求項6】 夫々リフレッシュ信号ラインに接続され
    た光電変換素子の複数がマトリクス状に配された光電変
    換装置と該光電変換装置からの情報を処理するための画
    像処理装置とを有するシステムにおいて、 前記光電変換素子の複数は複数の群に分けられ、該群ご
    とに独立的に接続されたリフレッシュ信号ラインの複数
    を有するシステム。
  7. 【請求項7】 請求項6記載のシステムにおいて、前記
    リフレッシュ信号ラインに接続されるリフレッシュ信号
    発生手段を有するシステム。
  8. 【請求項8】 請求項6記載のシステムにおいて、前記
    リフレッシュ信号ラインの夫々に接続されるリフレッシ
    ュ信号発生手段の複数を有するシステム。
  9. 【請求項9】 請求項6記載のシステムにおいて、前記
    光電変換素子の1つの群を駆動するための信号入力によ
    って、該群と異なる別の群の光電変換素子にリフレッシ
    ュ動作を行なうための切換え手段を有するシステム。
  10. 【請求項10】 請求項9記載のシステムにおいて、前
    記切換え手段はスイッチ手段とインバーター回路を有す
    るシステム。
  11. 【請求項11】 請求項6記載のシステムにおいて、更
    にディスプレイ手段を有するシステム。
  12. 【請求項12】 請求項6記載のシステムにおいて、更
    に前記光電変換装置の光入射側に蛍光体を有するシステ
    ム。
  13. 【請求項13】 請求項6記載のシステムにおいて、更
    に前記光電変換装置に入力される画像情報を形成するの
    に利用される光源を有するシステム。
  14. 【請求項14】 マトリクス状に配された光電変換素子
    の複数を有する光電変換装置の画像読み取り方法におい
    て、 前記光電変換素子をリフレッシュするためのリフレッシ
    ュ動作と前記光電変換素子からの画像情報を担った信号
    の読み取り動作の間に画像情報の読み取りに係わらない
    信号読み取り動作を有する画像読み取り方法。
  15. 【請求項15】 請求項14記載の画像読み取り方法に
    おいて、前記リフレッシュ動作は複数の群に分けられた
    前記光電変換素子の群ごとに行なわれる画像読み取り方
    法。
  16. 【請求項16】 請求項14記載の画像読み取り方法に
    おいて、前記光電変換素子は複数の群に分けられ、該群
    の1つが画像情報の読み取り動作のために選択されると
    き他の群の少なくとも1つはリフレッシュ動作のために
    選択される画像読み取り方法。
JP05459897A 1996-03-26 1997-03-10 光電変換装置、及び該装置を有するシステム Expired - Fee Related JP3984676B2 (ja)

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