JPH09304177A - Ultraviolet intensity meter - Google Patents
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Classifications
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- G01J1/00—Photometry, e.g. photographic exposure meter
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- G01J1/429—Photometry, e.g. photographic exposure meter using electric radiation detectors applied to measurement of ultraviolet light
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は紫外線強度計に係
り、その目的は高温雰囲気下における紫外線強度を熱の
影響を受けることなく正確且つ連続的に測定監視するこ
とが可能な紫外線強度計を提供することにある。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an ultraviolet intensity meter, and an object thereof is to provide an ultraviolet intensity meter capable of accurately and continuously measuring and monitoring the ultraviolet intensity in a high temperature atmosphere without being affected by heat. To do.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来の紫外線強度計において紫外線強度
を測定する際には、紫外線強度を測定したい場所、即ち
紫外線が照射されている場所に強度センサーを設置して
紫外線強度の測定を行っていた。すなわち、従来の紫外
線強度計（Ａ）は例えば図５に示すような受光器（Ｂ）
及び強度計本体（Ｃ）とこの両者を電気的に接続する接
続線（Ｄ）から構成されているものが一般的であり、紫
外線が照射されている場所に受光器（Ｂ）を設置して測
定を行うものであった。2. Description of the Related Art When measuring the ultraviolet intensity with a conventional ultraviolet intensity meter, the intensity sensor is installed at a place where the ultraviolet intensity is desired to be measured, that is, a place where the ultraviolet is irradiated to measure the ultraviolet intensity. . That is, the conventional ultraviolet intensity meter (A) has a light receiver (B) as shown in FIG. 5, for example.
And the intensity meter main body (C) and a connecting wire (D) that electrically connects the both, are generally used, and the light receiver (B) is installed at a place where ultraviolet rays are radiated. It was a measurement.
【０００３】[0003]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記し
たような従来の紫外線強度計（Ａ）においては、受光器
（Ｂ）にはセンサーとしてシリコンホトダイオードが使
用されているのが一般的であるが、シリコンホトダイオ
ードの動作保証温度は最高でも６０〜８０℃であり、Ｕ
Ｖ炉等の高温雰囲気下において使用するとセンサーが熱
劣化してしまい最悪の場合破壊に至る場合もあり、正確
な紫外線強度の測定が困難であった。また、雰囲気温度
が８０℃にまでならない場合でも、紫外線の照射に伴っ
てセンサーの温度が上昇するためセンサーの特性が変化
してしまい、紫外線強度を正確に測定することが難しか
った。そのため、紫外線強度を連続的に測定することが
できず、測定の度に強度計を設置し直す必要があった。
上記したように従来の紫外線強度計では、高温雰囲気下
において正確にしかも連続的に紫外線強度を測定するこ
とができなかった。そのため業界では、高温雰囲気下に
おいても、熱の影響を受けることなく正確且つ連続的に
紫外線強度を測定監視することが可能な紫外線強度計の
創出が望まれていた。However, in the conventional ultraviolet intensity meter (A) described above, a silicon photodiode is generally used as a sensor in the light receiver (B). The operation guarantee temperature of the silicon photodiode is 60 to 80 ° C at the maximum.
When used in a high-temperature atmosphere such as a V furnace, the sensor is thermally deteriorated and may be destroyed in the worst case, and it is difficult to accurately measure the ultraviolet intensity. Further, even when the ambient temperature does not reach 80 ° C., the temperature of the sensor rises with the irradiation of ultraviolet rays, and the characteristics of the sensor change, making it difficult to accurately measure the ultraviolet intensity. Therefore, the ultraviolet intensity cannot be continuously measured, and the intensity meter needs to be installed again each time the measurement is performed.
As described above, the conventional ultraviolet intensity meter cannot accurately and continuously measure the ultraviolet intensity in a high temperature atmosphere. Therefore, in the industry, it has been desired to create an ultraviolet intensity meter capable of accurately and continuously measuring and monitoring the ultraviolet intensity without being affected by heat even in a high temperature atmosphere.
【０００４】[0004]
【課題を解決するための手段】本発明は、上記従来の課
題を解決するためになされたものであって、請求項１の
発明は、光照射部にその一端が設置される石英ファイバ
ーと、該石英ファイバーにより導かれた光から紫外線成
分のみを取り出すＵＶバンドパスフィルター及び該ＵＶ
バンドパスフィルターにより取り出された紫外線の強度
を測定する光強度センサーを備えた測光部と、該測光部
からの紫外線強度信号に基づいて紫外線強度を表示する
表示部を有する強度計本体とを備えてなる紫外線強度計
である。請求項２の発明は、前記強度計本体に、測光部
からの紫外線強度信号に基づいて照射装置の紫外線強度
を制御するための制御信号を出力する紫外線強度設定機
能が備えられてなることを特徴とする請求項１記載の紫
外線強度計である。また、請求項３の発明は、前記強度
計本体に、紫外線強度データ通信機能が備えられている
ことを特徴とする請求項１又は２記載の紫外線強度計で
ある。The present invention has been made in order to solve the above-mentioned conventional problems, and the invention of claim 1 is a quartz fiber whose one end is installed in a light irradiation part, UV bandpass filter for extracting only ultraviolet component from light guided by the quartz fiber and the UV
A photometering unit having a light intensity sensor for measuring the intensity of the ultraviolet rays taken out by the bandpass filter, and an intensity meter main body having a display unit for displaying the ultraviolet intensity based on the ultraviolet intensity signal from the photometric unit. It is a UV intensity meter. The invention of claim 2 is characterized in that the intensity meter main body is provided with an ultraviolet intensity setting function for outputting a control signal for controlling the ultraviolet intensity of the irradiation device based on the ultraviolet intensity signal from the photometry section. The ultraviolet intensity meter according to claim 1. The invention of claim 3 is the ultraviolet intensity meter according to claim 1 or 2, wherein the intensity meter main body is provided with an ultraviolet intensity data communication function.
【０００５】[0005]
【発明の実施の形態】以下、本発明に係る紫外線強度計
の好適な実施形態について、図面を参照しつつ説明す
る。図１は、本発明に係る紫外線強度計（１）の第１実
施例を示す構成図である。第１実施例に係る紫外線強度
計（１）は、光照射部にその一端が設置される石英ファ
イバー（２）と、該石英ファイバーにより導かれた光か
ら紫外線成分のみを取り出すＵＶバンドパスフィルター
（３１）及び該ＵＶバンドパスフィルターにより取り出
された紫外線の強度を測定する光強度センサー（３２）
を備えた測光部（３）と、該測光部からの紫外線強度信
号に基づいて紫外線強度を表示する表示部（４１）を有
する強度計本体（４）とから構成される。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Preferred embodiments of an ultraviolet intensity meter according to the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a configuration diagram showing a first embodiment of an ultraviolet intensity meter (1) according to the present invention. The ultraviolet intensity meter (1) according to the first embodiment includes a quartz fiber (2), one end of which is installed in a light irradiation part, and a UV bandpass filter () that extracts only an ultraviolet component from light guided by the quartz fiber (2). 31) and a light intensity sensor (32) for measuring the intensity of ultraviolet rays extracted by the UV bandpass filter
And an intensity meter main body (4) having a display unit (41) for displaying the ultraviolet intensity based on the ultraviolet intensity signal from the photometric unit.
【０００６】石英ファイバー（２）としては、ＵＶ光を
導くのに適しているものであれば公知の石英ファイバー
をいずれも好適に使用することができ、石英ガラスＳｉ
Ｏ2或いは石英ガラスＳｉＯ2 にＧｅＯ2 ，Ｐ2Ｏ5 ，Ａ
ｌ2Ｏ2 ，Ｆ，Ｂ2 Ｏ3 等の各種ドーバントを添加した
素材によりコア、クラッドを構成したものが好適に使用
され、具体的には、コアを石英ガラスＳｉＯ2 でクラッ
ドをフッ素を添加した石英ガラスＳｉＯ2 で構成したも
のを好適な例として例示することができる。石英ファイ
バー（２）の受光端部（２１）は、既存の被覆材からフ
ァイバー線を一旦露出させた後、シリコーン樹脂等の高
耐熱性樹脂により再度被覆する構成とすることが好まし
い。受光端部（２１）を耐熱性に優れた石英ファイバー
及びシリコーン樹脂等の高耐熱性樹脂により構成するこ
とにより、受光端部（２１）の耐熱性に優れたものとな
り、高温雰囲気下においても受光端部（２１）が熱劣化
することなく正確な測定を行うことができる。なお、受
光端部（２１）は上記したように単にファイバー線を露
出させる構成としてもよいが、集光器を設ける構成を採
用してもよい。As the quartz fiber (2), any known quartz fiber can be suitably used as long as it is suitable for guiding UV light.
O 2 or quartz glass SiO 2 with GeO 2 , P 2 O 5 , A
A material in which a core and a clad are made of a material to which various dopants such as l 2 O 2 , F and B 2 O 3 are added is preferably used. Specifically, the core is made of silica glass SiO 2 and the clad is added to fluorine. A suitable example is one made of quartz glass SiO 2 . It is preferable that the light receiving end portion (21) of the quartz fiber (2) is configured such that the fiber wire is once exposed from the existing coating material and then is coated again with a high heat resistant resin such as a silicone resin. By configuring the light-receiving end portion (21) with highly heat-resistant quartz fiber and high heat-resistant resin such as silicone resin, the light-receiving end portion (21) has excellent heat resistance and receives light even in a high temperature atmosphere. Accurate measurement can be performed without thermal deterioration of the end portion (21). The light-receiving end portion (21) may have a structure in which the fiber line is simply exposed as described above, but may have a structure in which a light collector is provided.
【０００７】測光部（３）は、ＵＶバンドパスフィルタ
ー（３１）、光強度センサー（３２）、増幅器（３３）
から構成され、石英ファイバー（２）により導かれた光
は、ＵＶバンドパスフィルター（３１）により紫外線成
分のみが取り出された後、光強度センサー（３２）によ
り電流に変換されて増幅器（３３）で増幅される。増幅
器（３３）で増幅された電流は、紫外線強度信号として
ケーブル（５）を介して強度計本体（４）に送られる。
光強度センサー（３２）としては、公知の光強度センサ
ーをいずれも好適に用いることができ、具体的にはホト
ダイオード、ホトトランジスタ等を例示することができ
る。強度計本体（４）には、表示部（４１）、Ａ／Ｄ変
換器（４２）、ＣＰＵ（４３）が備えられており、測光
部（３）からの紫外線強度信号はＡ／Ｄ変換器（４２）
でデジタル変換された後、ＣＰＵ（４３）で処理され、
表示部（４１）に紫外線強度測定値が表示される。なお
表示部（４１）としては、７セグメントＬＥＤ等の任意
の表示装置が用いられる。The photometric section (3) includes a UV bandpass filter (31), a light intensity sensor (32) and an amplifier (33).
In the light guided by the quartz fiber (2), only the ultraviolet component is extracted by the UV bandpass filter (31), and then converted into a current by the light intensity sensor (32), and then is converted by the amplifier (33). Is amplified. The current amplified by the amplifier (33) is sent to the intensity meter main body (4) via the cable (5) as an ultraviolet intensity signal.
As the light intensity sensor (32), any known light intensity sensor can be preferably used, and specifically, a photodiode, a phototransistor or the like can be exemplified. The intensity meter body (4) is provided with a display section (41), an A / D converter (42) and a CPU (43), and the ultraviolet intensity signal from the photometry section (3) is an A / D converter. (42)
After being digitally converted by, it is processed by the CPU (43),
The ultraviolet intensity measurement value is displayed on the display unit (41). An arbitrary display device such as a 7-segment LED is used as the display unit (41).
【０００８】上記したように本発明に係る紫外線強度計
（１）によれば、紫外線強度を測定したい場所に石英フ
ァイバー（２）の受光端部（２１）を設置することによ
り、受光端部（２１）で受光された光が石英ファイバー
（２）を通って側光部（３）まで導かれ、側光部（３）
のＵＶバンドパスフィルター（３１）において赤外線や
可視光線等の紫外線成分以外の波長帯の光がカットされ
た後に強度測定が行われる。As described above, according to the ultraviolet intensity meter (1) of the present invention, the light receiving end (21) of the quartz fiber (2) is installed at the place where the ultraviolet intensity is desired to be measured. The light received by 21) is guided to the side light part (3) through the quartz fiber (2), and the side light part (3)
The intensity is measured after the light in the wavelength band other than the ultraviolet component such as infrared rays and visible light is cut in the UV band pass filter (31).
【０００９】従って、従来の紫外線強度計の如く紫外線
が照射されている場所に直接強度センサーを設置するこ
となく測定を行うことができるとともに紫外線が照射さ
れている場所に設置される受光端部（２１）は耐熱性に
優れた石英ファイバー及びシリコーン樹脂等の高耐熱性
樹脂により構成されており、しかも側光部（３）のＵＶ
バンドパスフィルター（３１）において紫外線成分以外
の波長帯の光がカットされた後に強度測定が行われるの
で、光強度センサー（３２）に熱が伝達されずセンサー
の劣化や破壊等を防止することができるとともにセンサ
ー自体の温度特性による影響も防ぐことができ、正確な
紫外線強度の測定を連続的に行うことができる。Therefore, it is possible to perform measurement without directly installing an intensity sensor at a place where ultraviolet rays are radiated like a conventional ultraviolet intensity meter, and at the same time, a light-receiving end portion (at a place where ultraviolet rays are radiated) is installed. 21) is made of quartz fiber having excellent heat resistance and high heat resistant resin such as silicone resin, and UV of the side light part (3)
Since the intensity is measured after the light in the wavelength band other than the ultraviolet component is cut in the bandpass filter (31), heat is not transferred to the light intensity sensor (32) and the deterioration or destruction of the sensor can be prevented. In addition, it is possible to prevent the influence of the temperature characteristics of the sensor itself, and it is possible to continuously perform accurate UV intensity measurement.
【０００９】図２は、本発明に係る紫外線強度計（１）
の第２実施例を示す構成図である。第２実施例に係る紫
外線強度計（１）では、前記第１実施例の紫外線強度計
の構成に加えて、強度計本体（４）に測光部（３）から
の紫外線強度信号に基づいて紫外線強度を制御するため
の制御信号を出力する紫外線強度設定機能が備えられて
おり、強度計本体（４）に備えられたＵＶ強度設定スイ
ッチ（４４）により照射紫外線強度を設定することがで
きる。すなわち、側光部（３）により測定された紫外線
強度がＵＶ強度設定スイッチ（４４）により設定された
強度レベル以上になると、その旨が表示部（４１）に表
示されるとともにリレー接点により接続ケーブル（６）
を介して紫外線照射装置（７）に制御信号が出力されて
照射紫外線強度の制御が行われる。従って、ＵＶ強度設
定スイッチ（４４）により必要な最低紫外線照射強度を
予め設定しておくことにより、測定強度が設定強度以上
になると自動的に照射紫外線強度の制御が行われること
となり、紫外線照射による接着剤硬化等を確実に行うこ
とができ製品仕上がりが高品質なものとなる。FIG. 2 shows an ultraviolet intensity meter (1) according to the present invention.
It is a block diagram which shows the 2nd Example of this. In the ultraviolet intensity meter (1) according to the second embodiment, in addition to the configuration of the ultraviolet intensity meter of the first embodiment, an ultraviolet intensity signal is transmitted to the intensity meter main body (4) based on the ultraviolet intensity signal from the photometry unit (3). A UV intensity setting function for outputting a control signal for controlling the intensity is provided, and the irradiation UV intensity can be set by the UV intensity setting switch (44) provided in the intensity meter main body (4). That is, when the ultraviolet intensity measured by the side light unit (3) becomes equal to or higher than the intensity level set by the UV intensity setting switch (44), the fact is displayed on the display unit (41) and the connection cable is connected by the relay contact. (6)
A control signal is output to the ultraviolet irradiator (7) via the to control the irradiation ultraviolet intensity. Therefore, by setting the required minimum ultraviolet ray irradiation intensity in advance with the UV intensity setting switch (44), the irradiation ultraviolet ray intensity will be automatically controlled when the measured intensity exceeds the set intensity. Adhesive curing can be reliably performed, and the finished product will be of high quality.
【００１０】図３は、本発明に係る紫外線強度計（１）
の第３実施例を示す構成図である。第３実施例に係る紫
外線強度計（１）では、前記第２実施例の紫外線強度計
の構成に加えて、強度計本体（４）に紫外線強度データ
通信機能が備えられている。図示例においては、ＲＳ２
３２Ｃインターフェイス（４５）が強度計本体（４）に
備えられており、通信ケーブルを介してパソコン等の外
部機器（８）と接続することにより、紫外線強度デー
タ、即ち、設定データ及び測定データを外部機器（８）
と強度計本体（４）との間で送受信することができるよ
うに構成されている。従って、パソコン等の外部機器
（８）により紫外線強度を設定しその設定データを強度
計本体（４）に送信するとともに測定された紫外線強度
データを外部機器（８）に送信することにより、外部か
ら紫外線照射装置（７）の照射紫外線強度の制御を行う
ことができる。FIG. 3 shows an ultraviolet intensity meter (1) according to the present invention.
It is a block diagram which shows the 3rd Example of this. In the ultraviolet intensity meter (1) according to the third embodiment, in addition to the configuration of the ultraviolet intensity meter of the second embodiment, the intensity meter main body (4) has an ultraviolet intensity data communication function. In the illustrated example, RS2
A 32C interface (45) is provided in the intensity meter main body (4), and by connecting it to an external device (8) such as a personal computer via a communication cable, the ultraviolet intensity data, that is, the setting data and the measurement data are externally transmitted. Equipment (8)
And the strength meter body (4) can be transmitted and received. Therefore, by setting the UV intensity with an external device (8) such as a personal computer and transmitting the setting data to the intensity meter body (4) and the measured UV intensity data to the external device (8), It is possible to control the intensity of the irradiation ultraviolet light of the ultraviolet irradiation device (7).
【００１１】図４は、本発明に係る紫外線強度計（１）
の第４実施例を示す構成図である。第４実施例に係る紫
外線強度計（１）では、前記第３実施例において、強度
計本体（４）に、２つの側光部（３）及び石英ファイバ
ー（２）が接続された構成とされている。なお、強度計
本体（４）に接続される側光部（３）及び石英ファイバ
ー（２）の数は、２つに限定されるものではなく２以上
とする構成としてもよい。このように強度計本体（４）
に、複数の側光部（３）及び石英ファイバー（２）を接
続する構成を採用することにより、装置１台で複数ポイ
ントの紫外線強度を同時に連続的に測定することが可能
となる。なおこの場合、図示の如く、強度計本体（４）
に表示測定点切替スイッチ（４６）を設けて表示部（４
１）に表示される紫外線強度の測定ポイントを切り替え
る構成を採用してもよいし、複数の表示部（４１）を設
けて同時に複数の測定ポイントの紫外線強度を表示させ
る構成を採用してもよい。また図示しないが、前記第１
実施例又は第２実施例において、強度計本体（４）に複
数の側光部（３）及び石英ファイバー（２）を接続する
構成を採用してもよいことは勿論である。FIG. 4 shows an ultraviolet intensity meter (1) according to the present invention.
It is a block diagram which shows the 4th Example of this. The ultraviolet intensity meter (1) according to the fourth example is the same as the third example except that the intensity meter body (4) is connected to the two side light portions (3) and the quartz fiber (2). ing. The number of the side light portion (3) and the quartz fiber (2) connected to the intensity meter body (4) is not limited to two, and may be two or more. In this way the strength meter body (4)
In addition, by adopting a configuration in which a plurality of side light parts (3) and the quartz fiber (2) are connected, it becomes possible to continuously measure the ultraviolet light intensity at a plurality of points with one device. In this case, as shown, the strength meter body (4)
A display measuring point selector switch (46) is provided on the display (4
The configuration for switching the ultraviolet intensity measurement points displayed in 1) may be adopted, or the configuration in which a plurality of display parts (41) are provided and the ultraviolet intensity of a plurality of measurement points is displayed at the same time may be adopted. . Although not shown, the first
In the embodiment or the second embodiment, it goes without saying that a structure in which a plurality of side light portions (3) and quartz fibers (2) are connected to the strength meter body (4) may be adopted.
【００１２】[0012]
【発明の効果】以上説明したように、請求項１に係る発
明は、光照射部にその一端が設置される石英ファイバー
と、該石英ファイバーにより導かれた光から紫外線成分
のみを取り出すＵＶバンドパスフィルター及び該ＵＶバ
ンドパスフィルターにより取り出された紫外線の強度を
測定する光強度センサーを備えた測光部と、該測光部か
らの紫外線強度信号に基づいて紫外線強度を表示する表
示部を有する強度計本体とを備えてなる紫外線強度計で
あるから、以下に述べる効果を奏する。すなわち、従来
の紫外線強度計の如く紫外線が照射されている場所に直
接強度センサーを設置することなく測定を行うことがで
きるとともに紫外線が照射されている場所に設置される
受光端部は耐熱性に優れた石英ファイバーにより構成さ
れており、しかも側光部のＵＶバンドパスフィルターに
おいて紫外線成分以外の波長帯の光がカットされた後に
強度測定が行われるので、熱によるセンサーの劣化や破
壊等を防止することができるとともにセンサー自体の温
度特性による影響も防ぐことができ、正確な紫外線強度
の測定を連続的に行うことができる。As described above, the invention according to claim 1 is a UV bandpass for extracting only an ultraviolet component from the quartz fiber whose one end is installed in the light irradiation section and the light guided by the quartz fiber. An intensity meter main body having a photometric unit equipped with a filter and a light intensity sensor for measuring the intensity of the ultraviolet light extracted by the UV bandpass filter, and a display unit for displaying the ultraviolet intensity based on the ultraviolet intensity signal from the photometric unit. Since the ultraviolet intensity meter is provided with, the following effects are obtained. That is, it is possible to perform measurement without directly installing an intensity sensor in a place where ultraviolet rays are radiated like a conventional ultraviolet intensity meter, and the light receiving end installed in a place where ultraviolet rays are radiated has heat resistance. It is composed of excellent quartz fiber, and the intensity is measured after the light in the wavelength band other than the ultraviolet component is cut by the UV bandpass filter in the side light section, so the sensor is not deteriorated or destroyed due to heat. In addition, it is possible to prevent the influence of the temperature characteristics of the sensor itself, and it is possible to continuously perform accurate UV intensity measurement.
【００１３】請求項２に係る発明は、前記強度計本体
に、測光部からの紫外線強度信号に基づいて照射装置の
紫外線強度を制御するための制御信号を出力する紫外線
強度設定機能が備えられてなることを特徴とする請求項
１記載の紫外線強度計であるから、以下に述べる効果を
奏する。すなわち、必要な最低紫外線照射強度を予め設
定しておくことにより、測定強度が設定強度以上になっ
たときに自動的に照射紫外線強度の制御を行わせること
ができ、紫外線照射による接着剤硬化等を確実に行うこ
とができ製品仕上がりが高品質なものとなる。According to a second aspect of the present invention, the intensity meter main body is provided with an ultraviolet intensity setting function for outputting a control signal for controlling the ultraviolet intensity of the irradiation device based on the ultraviolet intensity signal from the photometry section. Since it is the ultraviolet intensity meter according to claim 1, it has the following effects. In other words, by setting the required minimum UV irradiation intensity in advance, it is possible to automatically control the irradiation UV intensity when the measured intensity exceeds the set intensity. Can be reliably performed, and the finished product will be of high quality.
【００１４】請求項３に係る発明は、前記強度計本体
に、紫外線強度データ通信機能が備えられていることを
特徴とする請求項１又は２記載の紫外線強度計であるか
ら、以下に述べる効果を奏する。すなわち、強度計本体
にパソコン等の外部機器を接続することにより、外部機
器により紫外線強度を設定しその設定データを強度計本
体に送信するとともに測定された紫外線強度データを外
部機器に送信することができるので、外部から紫外線照
射装置の照射紫外線強度の制御を行うことができ、操作
性に優れ紫外線強度の管理が容易である。The invention according to claim 3 is the ultraviolet intensity meter according to claim 1 or 2, characterized in that the intensity meter main body is provided with an ultraviolet intensity data communication function. Play. That is, by connecting an external device such as a personal computer to the intensity meter main body, the ultraviolet intensity can be set by the external device, the setting data can be transmitted to the intensity meter main body, and the measured ultraviolet intensity data can be transmitted to the external device. Therefore, it is possible to control the intensity of the ultraviolet light emitted from the ultraviolet irradiation device from the outside, and the operability is excellent and the management of the ultraviolet intensity is easy.
【図１】本発明に係る紫外線強度計の第１実施例を示す
構成図である。FIG. 1 is a configuration diagram showing a first embodiment of an ultraviolet intensity meter according to the present invention.
【図２】本発明に係る紫外線強度計の第２実施例を示す
構成図である。FIG. 2 is a configuration diagram showing a second embodiment of an ultraviolet intensity meter according to the present invention.
【図３】本発明に係る紫外線強度計の第３実施例を示す
構成図である。FIG. 3 is a configuration diagram showing a third embodiment of an ultraviolet intensity meter according to the present invention.
【図４】本発明に係る紫外線強度計の第４実施例を示す
構成図である。FIG. 4 is a configuration diagram showing a fourth embodiment of an ultraviolet intensity meter according to the present invention.
【図５】従来の紫外線強度計の一例を示す図である。FIG. 5 is a diagram showing an example of a conventional ultraviolet intensity meter.
１ 紫外線強度計 ２ 石英ファイバー ２１ 受光端部 ３ 測光部 ３１ ＵＶバンドパスフィルター ３２ 光強度センサー ４ 強度計本体 ４１ 表示部 ７ 紫外線照射装置 1 UV intensity meter 2 Quartz fiber 21 Light receiving end 3 Photometric section 31 UV bandpass filter 32 Light intensity sensor 4 Intensity meter main body 41 Display section 7 UV irradiation device
Claims (3)
ァイバーと、該石英ファイバーにより導かれた光から紫
外線成分のみを取り出すＵＶバンドパスフィルター及び
該ＵＶバンドパスフィルターにより取り出された紫外線
の強度を測定する光強度センサーを備えた測光部と、該
測光部からの紫外線強度信号に基づいて紫外線強度を表
示する表示部を有する強度計本体とを備えてなることを
特徴とする紫外線強度計。1. A quartz fiber whose one end is installed in a light irradiating section, a UV bandpass filter for extracting only an ultraviolet component from light guided by the quartz fiber, and an intensity of ultraviolet rays extracted by the UV bandpass filter. An ultraviolet intensity meter, comprising: a light metering unit having a light intensity sensor for measuring the light intensity; and an intensity meter main body having a display unit for displaying the ultraviolet intensity based on the ultraviolet intensity signal from the light metering unit.
強度信号に基づいて照射装置の紫外線強度を制御するた
めの制御信号を出力する紫外線強度設定機能が備えられ
てなることを特徴とする請求項１記載の紫外線強度計。2. The intensity meter main body is provided with an ultraviolet intensity setting function for outputting a control signal for controlling the ultraviolet intensity of the irradiation device based on the ultraviolet intensity signal from the photometry section. The ultraviolet intensity meter according to claim 1.
信機能が備えられていることを特徴とする請求項１又は
２記載の紫外線強度計。3. The ultraviolet intensity meter according to claim 1, wherein the intensity meter main body is provided with an ultraviolet intensity data communication function.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14793896A JPH09304177A (en) | 1996-05-16 | 1996-05-16 | Ultraviolet intensity meter |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14793896A JPH09304177A (en) | 1996-05-16 | 1996-05-16 | Ultraviolet intensity meter |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09304177A true JPH09304177A (en) | 1997-11-28 |
Family
ID=15441462
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14793896A Pending JPH09304177A (en) | 1996-05-16 | 1996-05-16 | Ultraviolet intensity meter |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09304177A (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6551493B2 (en) | 2000-04-04 | 2003-04-22 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Ultraviolet light measuring chip and ultraviolet light sensor using the same |
| WO2004059270A1 (en) * | 2002-12-16 | 2004-07-15 | Axcelis Technologies Inc. | Apparatus and process for measuring ultraviolet (uv) light intensities |
-
1996
- 1996-05-16 JP JP14793896A patent/JPH09304177A/en active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6551493B2 (en) | 2000-04-04 | 2003-04-22 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Ultraviolet light measuring chip and ultraviolet light sensor using the same |
| WO2004059270A1 (en) * | 2002-12-16 | 2004-07-15 | Axcelis Technologies Inc. | Apparatus and process for measuring ultraviolet (uv) light intensities |
| JP2006510027A (en) * | 2002-12-16 | 2006-03-23 | アクセリス テクノロジーズ インコーポレーテッド | Apparatus and method for measuring the intensity of ultraviolet (UV) light |
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