JPH092564A - ディスクケース - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 ディスクの高温処理に好適なディスクケー
スを提供すること。 【構成】 上下を開口とし、一対の側壁は上側連結部
４、ディスク支持部５、６から構成し、かつこれらの間
を開口部とし、この開口部には連結片２０を設ける。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、シリコンウエハー、ハ
ードディスク基板などのディスクを移動、保管するため
に使用される、あるいはディスクを処理する際に使用さ
れる間隔を介してディスクを垂直に保持するディスクケ
ースに関する。

【０００２】

【従来の技術】シリコンウエハー、ハードディスク基板
などのディスクは、集積回路、ハードディスク等の動作
の信頼性を得るために、その表面平滑性を確保すること
が重要である。しかし、ディスクは、傷を受け易く又厚
みも０．６〜１．５ｍｍと薄いので、その取扱中に相互
のあるいは他のものとの接触により損傷を受けないよう
に数十枚のディスクを間隔をあけて保持するディスクケ
ースに収容されて移動、保管、処理されている。

【０００３】このようなケースとして、すでに各種のも
のが提案されている。例えば、実開平４−１３１９３８
号がある。これはケースの側面に対向するように設けら
れた溝部にウエハーを収容する際、同一の溝に誤収納さ
れるのを防止するため溝を構成するリブの形状を工夫し
たものである。しかし、このケースでは側面部に解放部
分がないため、このケースを薬液槽や炉内に収容して必
要な処理を施す場合には、ケースの内部の薬液や熱雰囲
気の流通が不充分となり、ディスク表面を均一に処理す
ることが困難となる。この点を改良して、ケース側面部
に開口部を設けて処理流体がケース内部まで流通するよ
うにしたものも提案されている。このような例として
は、特公表平３−５００７１３号、実開昭６１−４９４
５０号がある。 しかし、前者は、ウエハーが特に薬液
中などで高温度の処理を受ける際にケースに変形が生じ
て、またケース成形の際にも曲がりが生じてウエハー端
部に対して圧縮力が加わりこれを損傷することがある
が、こうしたことを防止するためにケースの形状を工夫
して、曲がりや歪みに強いケースとしたものである。そ
の結果、一方の側面部は特殊形状の開口部のない構造と
なっており、また他方の側面部の開口部もディスクを支
持するリブ間の溝に設けられた細長形状のものとなり、
ディスクを収納すると開口を塞ぐようになって、前記の
処理流体の均一流動化に関しては不充分なものである。

【０００４】また、後者では、側壁部の下部には開口部
があるが、この開口部も前者と同様にディスクを支持す
るリブ間にのみ設けられているため、ディスクを収納し
た状態ではそのディスクが開口を塞ぐ結果となり、また
側壁自体には開口がなく、後者のケース内の流動性も不
充分である。

【０００５】さらに、実開昭５９−５６７３７号のよう
に組み立て式のケースも提案されている。このようなケ
ースは処理流体の均一流動化に関しては適していると言
えようが、組み立て時の寸法精度に問題があり、高度の
精密度を要求されるディスクケースとしては不適当であ
る。また、コストの点でも一体成形による方が有利であ
る。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、こうした状
況の下に、所定の寸法精度で一体成形することができ、
またディスクの高温での薬剤処理や熱処理雰囲気中にお
いてもディスクの寸法精度を損なうような変形を来たす
ことがなく、かつディスクの均一な処理を可能とし、そ
の高品質を確保することができるように処理流体が均一
に流動できるよううにしたディスクケースを提供するこ
とを目的とするものである。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明者は、ディスクケ
ースの形状について鋭意検討した結果、ディスクケース
の上側と下側とを開口し、また、一対の対向する側壁を
上側連結部、中間支持部、及び下側支持部とから構成
し、それらの部材の間を開口部とし、ディスクを垂直に
支持する前記下側支持部と中間支持部以外は開口部とし
て処理流体の均一な流動性を確保するとともに、ケース
の成形時の寸法精度を確保するため、また開口部を大き
くしたケースの剛性を高めるため前記各部材間には所定
間隔にて連結片を設けることにより、前記課題を解決し
得ることを見出し、本発明に至った。

【０００８】すなわち、本発明は、多数のディスクを所
定間隔を介して垂直に保持するディスクケースであっ
て、上側開口と下側開口とを有し、一対の対向する側壁
はディスクの下部側端面を支持する下側支持部と、ディ
スク側端部を支持する中間支持部と、上側開口部に設け
た上側連結部とからなり、かつ、これらの三部材を開口
部を介して離間させるとともに、該開口部にはこれら部
材を連結し、ディスクケースの剛性を高める連結片を設
け、前記下側支持部と中間支持部にはディスクを所定間
隔を介して支持する所定幅の凹溝が連続的に形成され、
全体を樹脂一体成形で製造したことを特徴とするディス
クケースを要旨とするものである。

【０００９】本発明のディスクケースにおいて、下側支
持部と中間支持部には、正常な姿勢でディスクが収納さ
れるように、ディスクを所定間隔を介して支持する所定
幅の凹溝が連続的に形成されており、この凹溝にはディ
スクを挿入するとき、それをガイドするように凹溝の上
方を幅広な傾斜面（テーパー）に形成することが好まし
い。

【００１０】また、本発明のディスクケースは、その好
ましい態様においては、上側連結部にはディスクの挿入
をスムーズにする好ましくはテーパー状とした案内溝が
形成されている。さらにその案内溝の底部を貫通させ開
口部とすることがより好ましい。

【００１１】また、別の好ましい態様においては、上側
連結部の対向するディスク案内溝の間隔を、中間支持部
の対向する凹溝の間隔よりも短かくすることが好まし
い。前記の従来技術（特公表平３−５００７１３号、実
開昭６１−４９４５０号）では、ディスクを案内し、支
持する対向する溝は垂直に形成されており、その間隔は
同一寸法となっている。ところで、ディスクケースは、
その成形時の変形やディスクを処理する際に高温下にお
かれるための熱膨脹による変形のため、各溝部を構成す
る側壁もわずかに変形する。この変形による影響でディ
スクが傷まないように、ディスクと溝との間には一定の
クリアランスが必要である。しかし、十分なクリアラン
スを確保し、かつディスクを挿入する時にはそれを正常
な姿勢で所定の支持溝に確実に収納させるためには上部
連結部のディスク案内リブの高さをクリアランスを確保
する分大きくする必要が生じる。ところが、リブの高さ
を大きくすると、ケース成形時（冷却時）の変形量が大
きくなり、所定の寸法精度を実現することが困難とな
る。

【００１２】そこで、本発明のディスクケースの好まし
い態様においては、上部連結部のディスク案内リブの高
さを最低限とする一方、この案内リブにより形成された
対向する案内溝の間隔を、前記クリアランスを確保した
中間支持部の対向する凹溝の間隔よりも短かくすること
により、ディスクケースの成形時の変形とクリアランス
の問題を克服することができた。このようなことが可能
なのは、上部連結部は、ディスク挿入時ディスクを正常
な姿勢で案内できればよく、ディスク収納後は、ディス
クと接することはないから、上部連結部においては前記
した熱膨脹時のクリアランスの確保を考慮する必要がな
いからである。

【００１３】さらに、本発明のディスクケースにおいて
は、中間支持部の凹溝幅は、下部支持部の凹溝幅よりも
狭くすることが好ましい。

【００１４】ディスクの厚みは、およそ０．６〜１．６
ｍｍの間で使用されているので、ディスクケースの下側
支持部の凹溝は、最大厚みのものがその厚み面で凹溝底
部と面接触できるような幅が必要である。これは、ディ
スクのディスクケースへの収納作業は自動化されてお
り、本発明のディスクケースの場合にはたとえばロボッ
トによりケース上方の開口からディスクを下降させ、上
側連結部の案内溝にガイドされた時点でディスクを解放
して自由落下させて所定の中間支持部の凹溝と下側支持
部の凹溝に挿入することができる。このとき落下させた
ディスクの厚み面にて凹溝と面接触させ、ディスク面の
端部とは接触させないようにすることが重要である。デ
ィスク面の端部がディスク落下時に溝と接触するとその
落下の衝撃でディスク面端部が損傷するおそれがあるた
めであり、また、ディスクの荷重がその端部に負荷され
続けるため、同様に損傷するおそれがあるからである。
しかし、中間支持部の凹溝は、衝撃が下側支持部程大き
くはなく、また下側支持部のようにディスクの重量を支
えるわけではないので、この支持部の凹溝の幅は、下側
支持部の凹溝の幅よりも狭くしてディスク面端部の点接
触により支持されることとなっても、ディスクを損傷さ
せるおそれがない。そして、凹溝にはディスクケース自
体の成形後の脱型を円滑にするため、抜き勾配が設けら
れているが、中間支持部の溝幅を狭くすることにより、
この抜き勾配による凹溝の幅の拡大を制限することがで
きるので、凹溝に収納されたディスクを損傷するおそれ
のあるガタツキを抑制することができ、またディスクが
所定の凹溝でなく異なった凹溝に誤収納されることを防
止することができる。

【００１５】さらに本発明のディスクケースにおいて
は、もう一対の対向する側壁をＵ字状に大きく切り欠く
ことが好ましい。これにより本発明のディスクケース内
は、さらに処理流体の流動性が均一化され、したがっ
て、品質が均一なディスクを得ることができる。

【００１６】本発明のディスクケースは、通常の射出成
形法により製造することができる。その材質としてはデ
ィスクを処理するための条件に耐える耐熱性や耐薬品性
樹脂が好ましい。たとえば、ポリアミド、ＬＣＰ（サー
モトロピック液晶ポリマー）、ポリエーテルエーテルケ
トン（ＰＥＥＫ）、ポリエーテルケトン（ＰＥＫ）、Ｐ
ＥＥＫ系アロイ樹脂（たとえばＰＥＥＫ／サーモトロピ
ック液晶ポリマー、ＰＥＥＫ／ポリベンゾイミダゾール
（ＰＢＩ）など）、ポリベンゾイミダゾール（ＰＢ
Ｉ）、ポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）、ポリエ
ーテルスルホン（ＰＥＳ）、ポリエーテルイミド（ＰＥ
Ｉ）、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）などの
フッ素樹脂などを挙げることができる。

【００１７】また、本発明のディスクケースに使用され
るディスクは、たとえばシリコンウエハーやハードディ
スク用アルミニウム基板などがある。本発明のディスク
ケースを使用してこれらのディスクを収納して安全に移
動、保管、輸送することができる。またディスクケース
に収納した状態で、各種の必要な処理を受けることがで
きる。たとえばシリコンウエハーの場合には各種の液
体、ガス又は高温による処理がされる。またハードディ
スク基板用のディスクではアルミニウム製のディスクを
加熱炉に入れ、そのひずみを除く処理も行われる。本発
明のディスクケースは、その好ましい態様においては、
このような高温においても熱膨脹の影響によってディス
クが損傷することがないように対向する中間支持部の凹
溝間には収納されたディスクとの間で十分なクリアラン
スが確保できるようにする一方、ディスクが円滑に所定
の凹溝に案内され、収納されるよう、（案内リブの高さ
を高くすることなく）対向する上側連結部の案内溝の間
隔を相対的に狭くすることにより寸法精度も保持するこ
とができるので、焼鈍処理のような高温処理にはとくに
好適である。

【００１８】

【実施例】以下に図面により本発明の実施例を説明す
る。

【００１９】図１は、本発明のディスクケースおよびそ
こに収納されるディスクを示す斜視図である。図１中、
１はディスク、２は上側開口、３は側壁、４、５、６は
側壁３を構成するもので、それぞれ上側連結部４、ディ
スクの側端部を支持する中間支持部５、ディスクの側端
面を支持する下側支持部６である。６は下側開口１７に
対して傾斜している。７は上側連結部に設けたディスク
を案内する案内溝を構成する案内リブで、ディスクが正
常な姿勢で所定の位置にスムーズに収納されるようにこ
の案内リブは好ましくはテーパー状８に構成される。

【００２０】９は各案内溝底部に設けた処理流体を流動
し易くするための開口部、１０は案内リブを連結する横
梁、１１は中間支持部に設けた凹溝を構成するリブであ
る。このリブにはディスクがスムーズに凹溝に案内され
るようにその上方が幅広となるよう傾斜面１２に面とり
されている。１３は下側支持部に設けた凹溝を構成する
リブであり、このリブにも中間支持部の凹溝と同様にデ
ィスクの案内をスムーズにするためその上面１４から底
部に向かって傾斜面１５に面とりされている。１６はも
う一つの対向する側壁で、Ｕ字形に大きく切り欠かれて
いる。そして、下側支持部のリブ１３間の凹溝の幅は、
中間支持部のリブ１１間の凹溝の幅よりも広く、厚みの
厚いディスクでもその端面（円周面）が溝底部と面接触
できるようにされている。

【００２１】さらに、１８は上側連結部と中間支持部と
の間の開口で、１９は中間支持部と下側支持部との間の
開口である。このように、本発明のディスクケースにお
いては、収納したディスクを処理する流体の流動性を向
上するため、上下及び側方に大きな開口を設けている
が、これによるディスクケースの剛性の低下を防ぐた
め、これらの開口には連結片２０を配設している。この
連結片２０によりケースの剛性を向上することができる
だけでなく、成形時、この連結片が樹脂の流動路を形成
し、開口部やリブの多い複雑な形状のディスクケースを
所定の寸法精度で成形することができる。

【００２２】図２は、図１矢視Ａよりの側面図で、図３
は、図１Ｂ線断面図である。図３のａで示される中間支
持部の対向するリブ間の凹溝の間隔は、ｂで示される上
部連結部の案内溝間の間隔よりも若干広くなっている。

【００２３】また、図４は、下側支持部の凹溝にディス
クが支持されている状態を説明する図で、図５は中間支
持部の凹溝にディスクが支持されている状態を説明する
図である。このように、中間支持部の凹溝の幅ｄが、下
側支持部の凹溝の幅ｃよりも狭くしてある。

【００２４】上記形状のディスクケースを使用する場
合、ディスクはケースの上方から下降させて上側連結部
の案内リブまで達した時点で自由落下させても、ディス
クは案内溝に案内されて中間支持部と下側支持部の各所
定の凹溝に正常な姿勢でかつ損傷されることなく収納す
ることができるので、ディスクケースへのディスクの収
納作業を著しく効率化することができる。

【００２５】

【発明の効果】以上説明したように、本発明のディスク
ケースは、上方と下方を全面開口とし、また側壁部もそ
の一対はディスクを案内する上側連結部と支持部以外は
大きな開口とした構造としたので、しかも、これらの開
口はディスクを収納した状態でもそれにより開口が塞が
れることがないので、ディスクケースに収納したディス
クを処理する場合に、薬液や空気、不活性ガスなどの雰
囲気を含む処理気体などの流体がディスク面全体に十分
に流動するからディスクの均一な処理が可能となる。

【００２６】また、このように大きな開口を設けた構造
としながら、側壁部の開口には連結片を配設しているの
で、十分な剛性を有し、しかも成形時はこれが樹脂の流
路となって複雑な形状を所定寸法精度をもって成形性よ
く製造することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のディスクケースの実施例を示す斜視
図、

【図２】図１矢視Ａよりの側面図、

【図３】図１中Ｂ線断面図、

【図４】下側支持部凹溝にディスクが支持されている状
態の説明図、

【図５】中間支持部の凹溝にディスクが支持されている
状態の説明図。

【符号の説明】

１…ディスク ２…上側開口 ４…上側連結部 ５…中間支持部 ６…下側支持部 ７…案内リブ ９…開口部 １１…中間支持部の凹溝構成リブ １３…下側支持部の凹溝構成リブ ２０…連結片

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 川住 太樹 神奈川県川崎市川崎区田辺新田１番１号 富士電機株式会社内

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 多数のディスクを所定間隔を介して垂直
   に保持するディスクケースであって、上側開口と下側開
   口とを有し、一対の対向する側壁はディスクの下部側端
   面を支持する下側支持部と、ディスク側端部を支持する
   中間支持部と、上側開口部に設けた上側連結部とからな
   り、かつ、これらの三部材を開口部を介して離間させる
   とともに、該開口部にはこれら部材を連結し、ディスク
   ケースの剛性を高める連結片を設け、前記下側支持部と
   中間支持部にはディスクを所定間隔を介して支持する所
   定幅の凹溝が連続的に形成され、全体を樹脂一体成形で
   製造したことを特徴とするディスクケース。
2. 【請求項２】 上側連結部には、ディスクを挿入する案
   内溝が形成されている請求項１記載のディスクケース。
3. 【請求項３】 上側連結部の案内溝底部が貫通している
   請求項２記載のディスクケース。
4. 【請求項４】 もう一対の側壁は、Ｕ字状に切り欠かれ
   ている請求項１〜３記載のディスクケース。
5. 【請求項５】 下側支持部と中間支持部の凹溝には、デ
   ィスクを挿入時ガイドする上方が幅広な傾斜面が形成さ
   れている請求項１〜４記載のディスクケース。
6. 【請求項６】 上側連結部の対向するディスク案内溝間
   隔が中間支持部の同凹溝間隔より短かい請求項１〜５記
   載のディスクケース。
7. 【請求項７】 中間支持部の凹溝は、下部支持部の凹溝
   よりもせまい請求項１〜６記載のディスクケース。