JPH09252015A - Dispensing device - Google Patents
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- JPH09252015A JPH09252015A JP5952196A JP5952196A JPH09252015A JP H09252015 A JPH09252015 A JP H09252015A JP 5952196 A JP5952196 A JP 5952196A JP 5952196 A JP5952196 A JP 5952196A JP H09252015 A JPH09252015 A JP H09252015A
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- Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 高粘度の樹脂材料中のパーティクルによる障
害を防止するディスペンス装置に関し、この樹脂材料中
のパーティクルの粒径及び数を、吐出する直前に測定可
能なディスペンス装置の提供を目的とする。
【解決手段】 樹脂材料の充填口1aと、圧送ガスの供給
を制御するバルブ2aを備え圧送ガスを導入する導入管２
と、樹脂材料の吐出口４を備え、導入管２から導入した
圧送ガスにより底面の吐出口４から樹脂材料を吐出する
貯蔵部１と、貯蔵部１の側壁に形成されている樹脂材料
の出入口と連通する樹脂材料の循環流路と、循環流路3c
に設けられ循環流路3cと貯蔵部１との間で樹脂材料を循
環させるポンプ3dと、循環流路3c中を流れている樹脂材
料中のパーティクルの粒径及び数を測定する測定セル3a
と、循環流路3cの出入口に設けられ貯蔵部１の導入管２
へ導入する圧送ガスを制御するバルブ2aの開閉と連動し
て開閉する遮断バルブ3bとからなる測定部３とから構成
する。
(57) Abstract: Dispensing apparatus for preventing obstacles due to particles in high-viscosity resin material, and to provide a dispensing apparatus capable of measuring the particle size and number of particles in this resin material immediately before discharging. With the goal. An inlet pipe (2) having a resin material filling port (1a) and a valve (2a) for controlling the supply of the pressure-fed gas is introduced.
And a storage part 1 which is provided with a discharge port 4 for the resin material, and discharges the resin material from the discharge port 4 on the bottom surface by the pressure-feeding gas introduced from the introduction pipe 2, and a port for the resin material formed on the side wall of the storage part 1. Circulation channel for resin material that communicates with the circulation channel 3c
A pump 3d provided in the circulation channel 3c for circulating the resin material between the storage section 1 and a measuring cell 3a for measuring the particle size and the number of particles in the resin material flowing in the circulation channel 3c.
And the introduction pipe 2 of the storage unit 1 provided at the entrance of the circulation channel 3c
And a shutoff valve 3b that opens and closes in conjunction with the opening and closing of a valve 2a that controls the pressure-fed gas that is introduced into the measuring unit 3.
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は電子機器や電子部品
等の製造工程に用いるディスペンス装置に係り、特に高
粘度の樹脂材料中に含まれているパーティクルによる障
害を防止するディスペンス装置に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a dispenser used in a manufacturing process of electronic equipment, electronic parts, etc., and more particularly to a dispenser for preventing an obstacle caused by particles contained in a highly viscous resin material. .
【０００２】電子機器、電子部品等の製造工程に用いる
100センチポイズ（１ポイズ）を超える高粘度の樹脂材
料中に含まれているパーティクルは、製造工程の歩留り
を低下させたり、後工程やフィールドにおいて発生する
障害の原因となっており、製品の信頼性を低下させてい
る。Used in the manufacturing process of electronic devices, electronic parts, etc.
Particles contained in high-viscosity resin materials exceeding 100 centipoise (1 poise) reduce the yield of the manufacturing process and cause obstacles that occur in the post-process and the field, resulting in product reliability. Is decreasing.
【０００３】以上のような状況から、高粘度の樹脂材料
に含まれているパーティクルの粒径及び数を測定するこ
とが可能なディスペンス装置が要望されている。Under the circumstances as described above, there is a demand for a dispenser capable of measuring the particle size and the number of particles contained in a highly viscous resin material.
【０００４】[0004]
【従来の技術】従来の樹脂材料中に含まれているパーテ
ィクルの粒径及び数を測定する測定装置について説明す
る。2. Description of the Related Art A conventional measuring device for measuring the particle size and the number of particles contained in a resin material will be described.
【０００５】樹脂材料中に含まれているパーティクルの
粒径及び数を測定する時には、従来はレイリー散乱光を
利用するパーティクルカウンタを用いて測定している。
レイリー散乱光を利用したパーティクルカウンタにおい
ては、２mm角程度の測定セルの中に測定する樹脂材料を
安定した状態で通過させることが必要である。When measuring the particle size and number of particles contained in a resin material, conventionally, a particle counter utilizing Rayleigh scattered light is used.
In a particle counter using Rayleigh scattered light, it is necessary to pass a resin material to be measured in a stable state in a measuring cell of about 2 mm square.
【０００６】ここでいう安定とは、測定する樹脂材料
の流量、測定する樹脂材料の圧力及び測定する樹脂
材料と測定セルの界面の状態、このがすべて測定
時に一定の測定に適した状態にあることを称している。The term "stability" as used herein means the flow rate of the resin material to be measured, the pressure of the resin material to be measured, and the state of the interface between the resin material to be measured and the measuring cell, all of which are suitable for constant measurement during measurement. It means that.
【０００７】従来のレイリー散乱を利用する樹脂材料中
に含まれているパーティクルの粒径及び数を測定する測
定装置を用いて１ポイズを超える高粘度の樹脂材料中に
含まれているパーティクルの粒径及び数を測定する時に
は、一定の吐出圧力で吐出するためには一定流量に達す
るまでの時間が必要であり、測定セル内で層流を生じさ
せ、測定セルの内壁との界面状態を含めてその層流が安
定するための時間が必要である。Particles of particles contained in a high-viscosity resin material exceeding 1 poise using a conventional measuring device for measuring the particle size and number of particles contained in the resin material utilizing Rayleigh scattering. When measuring the diameter and number, it takes time to reach a constant flow rate in order to discharge at a constant discharge pressure, which causes laminar flow in the measurement cell, including the state of the interface with the inner wall of the measurement cell. It takes time for the laminar flow to stabilize.
【０００８】従って精度の高い測定を行うためには、測
定セルに流入する樹脂材料の流量を規定の流量にしなけ
ればならないが、粘度の高い樹脂材料中のパーティクル
の粒径及び数を測定する場合には、配管系の圧力損失の
ために測定セルの耐圧内で規定流量に達しなければ、清
浄な溶剤で希釈して粘度を低くしなければ測定すること
ができない。Therefore, in order to perform highly accurate measurement, the flow rate of the resin material flowing into the measuring cell must be set to a prescribed flow rate, but in the case of measuring the particle size and number of particles in the resin material having high viscosity. In addition, if the specified flow rate is not reached within the pressure resistance of the measurement cell due to the pressure loss of the piping system, measurement cannot be performed unless the viscosity is lowered by diluting with a clean solvent.
【０００９】このように高粘度の樹脂材料中のパーティ
クルの粒径及び数を測定するには、清浄な溶剤で希釈し
て粘度を低くしなければ測定できないので、レイリー散
乱光を利用して樹脂材料中に含まれているパーティクル
の粒径及び数を測定するパーティクルカウンタをディス
ペンス装置に設け、吐出する直前に樹脂材料中に含まれ
ているパーティクルの粒径及び数を測定するディスペン
ス装置は実現していない。As described above, in order to measure the particle size and the number of particles in a resin material having a high viscosity, it cannot be measured unless the viscosity is lowered by diluting with a clean solvent. A particle counter that measures the particle size and the number of particles contained in the material is provided in the dispensing device, and a dispensing device that measures the particle size and the number of particles contained in the resin material immediately before ejection is realized. Not not.
【００１０】[0010]
【発明が解決しようとする課題】以上説明した従来のレ
イリー散乱を利用して樹脂材料中に含まれているパーテ
ィクルの粒径及び数を測定する測定装置を用い、１ポイ
ズを超える高粘度の樹脂材料中に含まれているパーティ
クルの粒径及び数を測定する場合には、樹脂材料が高粘
度のため、一定の吐出圧力で吐出するためには一定流量
に達するまでの時間が必要であり、測定セル内で層流を
生じさせ、セル内壁との界面状態を含めてその層流が安
定するための時間が必要であるという問題点があり、精
度の高い測定を行うためには、測定セルに流入する樹脂
材料の流量を規定の流量にしなければならないが、粘度
の高い樹脂材料中のパーティクルの粒径及び数を測定す
るには、高粘度のため測定セルを通過させる際の配管系
の圧力損失が大きいので高い吐出力が必要であるが、石
英製の２mm角の測定セルの耐圧性能（４Kg／cm2)内では
規定流量に達しないので、清浄な溶剤で希釈して粘度を
低くしなければ測定できないという問題点があった。A resin having a high viscosity exceeding 1 poise is measured by using the conventional measuring apparatus for measuring the particle size and the number of particles contained in the resin material using the Rayleigh scattering described above. When measuring the particle size and number of particles contained in the material, because the resin material has a high viscosity, it takes time to reach a constant flow rate in order to discharge at a constant discharge pressure, There is a problem that laminar flow is generated in the measurement cell, and it takes time for the laminar flow to stabilize, including the state of the interface with the cell inner wall. The flow rate of the resin material flowing into the must be a specified flow rate, but in order to measure the particle size and number of particles in the resin material with high viscosity, the viscosity of the piping system when passing through the measurement cell due to the high viscosity Large pressure loss Since it is necessary a high discharge force, since in pressure resistance of the measuring cell of quartz 2mm square (4Kg / cm 2) does not reach the prescribed flow rate, measured unless the viscosity low by diluting with clean solvent There was a problem that it could not be done.
【００１１】本発明は以上のような状況から、簡単且つ
容易に高粘度の樹脂材料中に含まれているパーティクル
の粒径及び数を、吐出する直前に測定することが可能と
なるディスペンス装置の提供を目的としたものである。In view of the above situation, the present invention provides a dispensing device that can easily and easily measure the particle size and number of particles contained in a high-viscosity resin material immediately before discharging. It is intended to be provided.
【００１２】[0012]
【課題を解決するための手段】本発明のディスペンス装
置は、樹脂材料を充填する充填口と、圧送ガスの供給を
制御するバルブを備えこの圧送ガスを導入する導入管
と、この樹脂材料を吐出する吐出口を備え、この導入管
から導入した圧送ガスにより底面に設けたこの吐出口か
らこの樹脂材料を吐出する貯蔵部と、この貯蔵部の側壁
に形成されているこの樹脂材料の出入口と連通するこの
樹脂材料の循環流路と、この循環流路に設けられこの循
環流路とこの貯蔵部との間でこの樹脂材料を循環させる
ポンプと、この循環流路中を流れている樹脂材料中に含
まれているパーティクルの粒径及び数を測定する測定セ
ルと、この循環流路の出入口に設けられこの貯蔵部のこ
の導入管へ導入する圧送ガスを制御するバルブの開閉と
連動して閉開する遮断バルブとからなる測定部とから構
成される。DISCLOSURE OF THE INVENTION The dispensing device of the present invention is provided with a filling port for filling a resin material, a valve for controlling the supply of the pressure-fed gas, and an introduction pipe for introducing the pressure-fed gas, and the resin material for discharging the resin material. And a storage part for discharging the resin material from the discharge port provided on the bottom surface by the pressure-feeding gas introduced from the introduction pipe and a communication port with the resin material inlet / outlet formed on the side wall of the storage part. This resin material circulation channel, a pump provided in this circulation channel for circulating this resin material between this circulation channel and this storage unit, and a resin material flowing in this circulation channel And a measuring cell for measuring the particle size and number of particles contained in, and a valve provided at the inlet / outlet of this circulation channel for controlling the pressure-fed gas introduced into this introduction pipe of this storage unit, which is closed in conjunction with the opening / closing. Shield to open Composed of a measurement unit consisting of the valve.
【００１３】即ち本発明においては、測定部においてポ
ンプを作動させて貯蔵部と循環流路との間で樹脂材料を
循環させ、測定セルにより安定した状態で樹脂材料中の
パーティクルの粒径及び数を測定し、圧送ガスの供給を
制御するバルブを開いて圧送ガスを導入管により貯蔵部
に供給する場合には、樹脂材料の流れを遮断バルブで遮
断し、圧送ガスの供給を制御するバルブを閉じて圧送ガ
スを停止する場合には、遮断バルブを開いて樹脂材料を
循環させて樹脂材料中のパーティクルの数を測定セルに
より測定することができるので、樹脂材料中のパーティ
クルの粒径及び数を測定しながら樹脂材料をディスペン
スすることが可能となる。That is, in the present invention, the pump is operated in the measuring section to circulate the resin material between the storage section and the circulation channel, and the particle size and the number of particles in the resin material are stabilized in the measuring cell. When the valve that controls the supply of the pressure-fed gas is opened and the pressure-fed gas is supplied to the storage section through the introduction pipe, the flow of the resin material is blocked by the cutoff valve, and the valve that controls the supply of the pressure-fed gas is opened. When closing and stopping the pressure-feeding gas, open the shutoff valve to circulate the resin material and measure the number of particles in the resin material with the measuring cell. It is possible to dispense the resin material while measuring.
【００１４】[0014]
【発明の実施の形態】以下、図１〜図２により本発明の
一実施例について詳細に説明する。図１は本発明による
ディスペンス装置の一実施例の構造を示す図、図２は本
発明のディスペンス装置により測定したパーティクルの
粒径及び数を示す図表である。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION An embodiment of the present invention will be described in detail below with reference to FIGS. FIG. 1 is a diagram showing a structure of an embodiment of a dispensing apparatus according to the present invention, and FIG. 2 is a table showing particle diameters and numbers of particles measured by the dispensing apparatus according to the present invention.
【００１５】本発明の一実施例のディスペンス装置は図
１に示すように、ディスペンスする樹脂材料を貯蔵する
ポリテトラフルオロエチレン製の貯蔵部１の上部には樹
脂材料を充填する充填口1aが設けられており、この樹脂
材料を圧送する圧送ガスの供給を制御するバルブ2aを備
えた導入管２がこの貯蔵部１の上壁を貫通して設けられ
ている。As shown in FIG. 1, a dispensing apparatus according to an embodiment of the present invention is provided with a filling port 1a for filling a resin material in an upper portion of a storage portion 1 made of polytetrafluoroethylene for storing a resin material to be dispensed. An introduction pipe 2 provided with a valve 2a for controlling the supply of a pressure-feeding gas for pressure-feeding the resin material is provided so as to penetrate the upper wall of the storage unit 1.
【００１６】充填口1aは、圧送ガス導入時の圧送ガスの
もれにより圧送が不安定になるのを防止するために、ポ
リテトラフルオロエチレン製のパッキングを用いてリー
クを防止している。The filling port 1a uses packing made of polytetrafluoroethylene to prevent leakage in order to prevent unstable pumping due to leakage of the pumped gas when the pumped gas is introduced.
【００１７】この貯蔵部１の底面には樹脂材料を吐出す
る吐出口４が設けられており、導入管２から圧送ガスが
供給されると樹脂材料が吐出口４から滴下するようにな
っている。A discharge port 4 for discharging the resin material is provided on the bottom surface of the storage unit 1, and the resin material drops from the discharge port 4 when the pressure-fed gas is supplied from the introduction pipe 2. .
【００１８】本発明のディスペンス装置においては、樹
脂材料を循環させてその中に含まれているパーティクル
の粒径及び数を測定する測定セル3aを含む測定部３とこ
の貯蔵部１とを循環流路3cである二本の配管によって接
続している。In the dispensing apparatus of the present invention, a circulating flow is carried out between a measuring section 3 including a measuring cell 3a for circulating a resin material and measuring the particle size and number of particles contained therein, and the storage section 1. It is connected by two pipes, which is the path 3c.
【００１９】本発明のディスペンス装置の測定部３は、
この貯蔵部１と二本の配管により接続され樹脂材料を循
環させる循環流路3cと、樹脂材料を貯蔵部１と循環流路
3cとの間で循環させるポンプ3dと、樹脂材料中に含まれ
ているパーティクルの粒径と数を測定する測定セル3a
と、遮断バルブ3bとから構成されている。The measuring unit 3 of the dispensing device of the present invention is
A circulation flow path 3c connected to the storage unit 1 by two pipes for circulating a resin material, and a storage material 1 and a circulation flow path for the resin material.
Pump 3d that circulates between 3c and measuring cell 3a that measures the particle size and number of particles contained in the resin material.
And a shutoff valve 3b.
【００２０】この遮断バルブ3bは、導入管２に圧送ガス
を供給するバルブ2aを開いて貯蔵部１に圧送ガスを供給
して充填樹脂を吐出口４から吐出する時に、樹脂材料に
加わる圧力が樹脂材料を介して測定セル3aに加わるのを
防止するため、貯蔵部１と循環流路3cとの間を遮断し、
吐出圧による測定セル3aの破損を防止するポリテトラフ
ルオロエチレン製のバルブである。This shut-off valve 3b opens the valve 2a for supplying the pressure-fed gas to the introduction pipe 2 to supply the pressure-fed gas to the storage unit 1 to discharge the filling resin from the discharge port 4, so that the pressure applied to the resin material is In order to prevent it from being added to the measuring cell 3a via the resin material, the storage section 1 and the circulation channel 3c are shut off,
This is a valve made of polytetrafluoroethylene for preventing the measurement cell 3a from being damaged by the discharge pressure.
【００２１】測定セル3aは石英製で、内径２mm, 長さ４
cmであり、測定セル3aを通過する樹脂材料中のパーティ
クルによって生じるレイリー散乱光の強度でパーティク
ルの粒径を、散乱の回数でパーティクルの数を測定する
ものである。The measuring cell 3a is made of quartz and has an inner diameter of 2 mm and a length of 4
The particle size is cm, and the particle size of particles is measured by the intensity of Rayleigh scattered light generated by particles in the resin material passing through the measurement cell 3a, and the number of particles is measured by the number of times of scattering.
【００２２】循環流路3cはポリテトラフルオロエチレン
製のチューブで、圧力損失、循環流路3c内の残留樹脂量
を低減させるために、1/4 インチ径程度の太さで長さは
できる限り短くしている。The circulation channel 3c is a tube made of polytetrafluoroethylene. In order to reduce the pressure loss and the amount of residual resin in the circulation channel 3c, the thickness is about 1/4 inch and the length is as long as possible. Making it short.
【００２３】ポンプ3dも樹脂材料中への不純物の混入を
防止するためにポリテトラフルオロエチレン製とし、空
気或いは窒素を動力源とする例えばイワキ製のポンプＭ
ＤＧ−Ｍ２Ｓが最適である。The pump 3d is also made of polytetrafluoroethylene in order to prevent impurities from being mixed into the resin material, and uses air or nitrogen as a power source, for example, a pump M made of Iwaki.
DG-M2S is the most suitable.
【００２４】吐出口４は貯蔵部１内の樹脂材料を吐出す
る部分であり、高粘度の樹脂材料を吐出する場合の圧力
損失を防ぐようにできるだけ短くしている。本発明のデ
ィスペンス装置のこのような測定部３においては、ポン
プ3dを作動させて貯蔵部１と循環流路3cとの間で樹脂材
料を循環させ、圧送ガスを供給するバルブ2aを開いて導
入管２により貯蔵部１に圧送ガスを供給して充填樹脂を
吐出口４から吐出する時には、樹脂材料に加わる圧力が
樹脂材料を介して測定セル3aに加わるのを防止するた
め、貯蔵部１と循環流路3cとを遮断バルブ3bで遮断し、
吐出圧による測定セル3aの破損を防止するようにしてい
る。The discharge port 4 is a portion for discharging the resin material in the storage unit 1, and is made as short as possible so as to prevent pressure loss when discharging the resin material having high viscosity. In such a measuring unit 3 of the dispensing device of the present invention, the pump 3d is operated to circulate the resin material between the storage unit 1 and the circulation channel 3c, and the valve 2a for supplying the pressure-fed gas is opened and introduced. When the pressure-feeding gas is supplied to the storage unit 1 through the pipe 2 and the filling resin is discharged from the discharge port 4, the pressure applied to the resin material is prevented from being applied to the measurement cell 3a via the resin material. Shut off the flow path 3c with the shutoff valve 3b,
The measuring cell 3a is prevented from being damaged by the discharge pressure.
【００２５】このように貯蔵部１と測定部３とを一体に
しているので、ディスペンスする直前の樹脂材料中のパ
ーティクルの粒径及び数を測定セル3aにより測定するこ
とができるので、樹脂材料中のパーティクルの粒径及び
数を測定しながら樹脂材料をディスペンスすることが可
能となる。Since the storage unit 1 and the measuring unit 3 are integrated as described above, the particle size and the number of particles in the resin material immediately before dispensing can be measured by the measuring cell 3a. It is possible to dispense the resin material while measuring the particle size and number of the particles.
【００２６】このディスペンス装置を用い、貯蔵部１と
循環流路3cとの間の遮断バルブ3bを開き、ポンプ3dを３
分間作動させて貯蔵部１と循環流路3cとの間で30ポイズ
の高粘度の充填樹脂を循環させた後、この充填樹脂中の
パーティクルの粒径及び数を10回連続して測定を行った
結果は図２に示すようになった。この測定結果から明ら
かなように、本発明のディスペンス装置によれば樹脂材
料中のパーティクルの粒径及び数の測定を、樹脂材料を
ディスペンスする直前に安定して行うことが可能であ
る。Using this dispensing device, the shutoff valve 3b between the storage unit 1 and the circulation channel 3c is opened, and the pump 3d is turned on.
After operating for 30 minutes to circulate a high-viscosity filled resin of 30 poise between the storage unit 1 and the circulation channel 3c, the particle size and number of particles in this filled resin are continuously measured 10 times. The results are shown in FIG. As is clear from this measurement result, according to the dispensing apparatus of the present invention, the particle size and the number of particles in the resin material can be stably measured immediately before the resin material is dispensed.
【００２７】[0027]
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によれば極めて簡単な構造のディスペンス装置により高
粘度の樹脂材料中のパーティクルの粒径及び数をディス
ペンスする直前に安定して測定することが可能となる利
点があり、著しい信頼性向上の効果が期待できるディス
ペンス装置の提供が可能である。As is apparent from the above description, according to the present invention, the particle size and the number of particles in a resin material having a high viscosity can be stably measured just before dispensing by a dispensing device having an extremely simple structure. It is possible to provide a dispensing device that has the advantage of being capable of achieving the above, and can expect a significant improvement in reliability.
【図１】 本発明によるディスペンス装置の一実施例の
構造を示す図FIG. 1 is a diagram showing the structure of an embodiment of a dispensing device according to the present invention.
【図２】 本発明のディスペンス装置により測定したパ
ーティクルの粒径及び数を示す図表FIG. 2 is a chart showing particle size and number of particles measured by the dispensing device of the present invention.
【符号の説明】 １ 貯蔵部 1a 充填口 ２ 導入管 2a バルブ ３ 測定部 3a 測定セル 3b 遮断バルブ 3c 循環流路 3d ポンプ ４ 吐出口[Explanation of symbols] 1 Storage part 1a Filling port 2 Inlet pipe 2a Valve 3 Measuring part 3a Measuring cell 3b Shutoff valve 3c Circulating flow path 3d Pump 4 Discharge port
Claims (1)
の供給を制御するバルブを備え該圧送ガスを導入する導
入管と、前記樹脂材料を吐出する吐出口を備え、前記導
入管から導入した圧送ガスにより底面に設けた前記吐出
口から前記樹脂材料を吐出する貯蔵部と、 該貯蔵部の側壁に形成されている前記樹脂材料の出入口
と連通する前記樹脂材料の循環流路と、前記循環流路に
設けられ該循環流路と前記貯蔵部との間で前記樹脂材料
を循環させるポンプと、前記循環流路中を流れている樹
脂材料中に含まれているパーティクルの粒径及び数を測
定する測定セルと、前記循環流路の出入口に設けられ前
記貯蔵部の前記導入管へ導入する圧送ガスを制御するバ
ルブの開閉と連動して開閉する遮断バルブとからなる測
定部と、 から構成されることを特徴とするディスペンス装置。1. A filling port for filling a resin material, a valve for controlling the supply of the pressure-fed gas, an introduction pipe for introducing the pressure-fed gas, and a discharge port for discharging the resin material, and the introduction pipe. A storage section for discharging the resin material from the discharge port provided on the bottom surface by the compressed gas, and a circulation channel of the resin material communicating with the inlet / outlet of the resin material formed on the side wall of the storage section; A pump provided in the circulation channel for circulating the resin material between the circulation channel and the storage unit, and a particle size and number of particles contained in the resin material flowing in the circulation channel. And a measuring unit comprising a shutoff valve that is opened and closed in conjunction with the opening and closing of a valve that is provided at the inlet and outlet of the circulation channel and that controls the pressure-feeding gas that is introduced into the introduction pipe of the storage unit. To be composed Dispensing device for the butterflies.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5952196A JPH09252015A (en) | 1996-03-15 | 1996-03-15 | Dispensing device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5952196A JPH09252015A (en) | 1996-03-15 | 1996-03-15 | Dispensing device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09252015A true JPH09252015A (en) | 1997-09-22 |
Family
ID=13115661
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5952196A Withdrawn JPH09252015A (en) | 1996-03-15 | 1996-03-15 | Dispensing device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09252015A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100469362B1 (en) * | 1997-12-30 | 2005-04-06 | 삼성전자주식회사 | Particle Measurement Method for High Viscosity Chemicals for Semiconductors |
-
1996
- 1996-03-15 JP JP5952196A patent/JPH09252015A/en not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100469362B1 (en) * | 1997-12-30 | 2005-04-06 | 삼성전자주식회사 | Particle Measurement Method for High Viscosity Chemicals for Semiconductors |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
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